JPH02249120A - 固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造
法に係り、特に、トラック幅精度の高いコアスライダを
良好な生産性をもって製造するための方法に関するもの
である。

（背景技術） 固定磁気ディスク装置１ｆ（ＲＤＤ）に用いられる浮上
型磁気ヘッド用のコアスライダは、一般に、スライダ本
体と、該スライダ本体との間で閉磁路を形成すると共に
、そのディスク摺動面に臨む磁路形成部位において、ス
ライダ本体との間で所定間隙の磁気ギャップを形成する
少なくとも１つのヨーク部とを含んで構成されており、
スライダ本体のディスク摺動面に、所定高さの左右一対
の空気ヘアリング部が設けられると共に、該スライダ本
体の空気ベアリング面高さとディスク摺動面高さ（先端
面高さ）が一致する状態で、スライダ本体とヨーク部の
ディスク摺動面に磁気ギャップを挾んで跨るように、所
定幅のトランク部が設けられた構造とされている。

ところで、このようなコアスライダの製造手法として、
近年、特開昭６２−１８６１５号公報において、スライ
ダ本体に対して、トラック幅規定ギャップ用のトラック
幅規定溝を形成したヨーク部をガラス溶着して一体化し
、しかる後、空気ベアリング部およびヨーク部の左右両
側面を傾斜面に切削形成して、目的とするコアスライダ
を得るようにした手法が提案されている。しかし、かか
る公報に開示のコアスライダの製造手法は、空気ベアリ
ング部やトラック部の形状加工を始めとする各部の加工
が、専ら、時間を要するダイヤモンド砥石等による機械
加工によって行なわれるようになっていることから、そ
の生産性が必ずしも良好きは言い難く、量産品の製造手
法としては未だ決して好ましいものとは言い難かった。

そこで、本願出願人は、先に、特願昭６３−８０１３３
号において、ディスク摺動面に所定高さの左右一対の空
気ベアリング部を備えたスライダ本体の少な（とも一方
の空気ベアリング部の延長部位において、前述の如き閉
磁路と磁気ギャップを該スライダ本体との間で形成する
ヨーク部を設け、そのディスク摺動面に、磁気ギャップ
を挟んでスライダ本体とヨーク部に跨る状態で、空気ベ
アリング部と同じ高さのトラック部を周囲から所定高さ
突出して形成したコアスライダ構造を提案し、また、そ
のコアスライダの製造に際して、空気ベアリング部とト
ラック部とをエンチング手法にて同時に形成するように
したコアスライダの製造手法を提案した。

コアスライダの構造として上述の如き構造を採用し、そ
の製造に際して、空気ベアリング部とトラック部とをエ
ツチング手法にて同時に形成する手法を採用すれば、所
期の機能を備えたコアスライダを良好な生産性をもって
製造できるのであり、コアスライダの製造コストを有利
に低減化できるのである。

ところが、このようなコアスライダの製造手法では、上
述のように、優れた生産性は得られるものの、トラック
部がエツチングによるフェライトブロックの侵食作用に
よって形成されるものであるところから、高いトラック
幅精度を安定して確保しようとすると、エツチングの際
のトラック幅の寸法管理が難しくなるといった事情があ
り、トラック幅精度を高めることに限界があった。

（解決課Ｎ） 本発明は、このような事情を背景として為されたもので
あり、その解決すべき課題とするところは、良好な生産
性をもって製造でき、しかもトラック部の幅寸法を所望
の寸法に高い精度をもって安定して設定することのでき
る固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造法を提供
することにある。

（解決手段） そして、かかる課題を解決するために、本発明にあって
は、固定磁気ディスク装置用のコアスライダの構造とし
て、ディスク摺動面に所定高さの左右一対の空気ベアリ
ング部を備えたスライダ本体と、該スライダ本体の少な
（とも一方の空気ベアリング部の延長部位において、該
スライダ本体との間で閉磁路を形成すると共に、前記デ
ィスク摺動面に臨む磁路形成部位において該スライダ本
体との間で所定間隙の磁気ギャップを形成する状態で、
該スライダ本体に一体的に接合されたヨーク部とを備え
、そのディスク摺動面に、前記磁気ギャップを挟んでス
ライダ本体とヨーク部とに跨る状態で、前記空気ヘアリ
ング部と同じ高さのトラック部が周囲から突出して形成
されてなる構造を採用し、かかる構造のコアスライダの
製造に際して、（ａ）前記スライダ本体を与える第一の
フェライトブロックと、前記ヨーク部を与える第二のフ
ェライトブロックとを突き合わせて一体的に接合し、前
記閉磁路および磁気ギャップを備えたギャップバーを作
製する工程と、（ｂ）前記第二のフェライトブロック側
から、前記トラック部の幅方向の両端部を規定する状態
で、前記第一のフェライトブロック側まで延びる一対の
斜め溝を該ギャップバーに切込形成し、該切込形成した
斜め溝に非磁性の充填材を充填せしめる工程と、（ｃ）
該斜め溝に充填材が充填せしめられたギャップバーの前
記ディスク摺動面に対して、前記第一および第二のフェ
ライトブロックの前記空気ベアリング部およびトラック
部の形成部位を覆うようにマスクを付与し、該マスクを
付与したギャップバーのディスク摺動面にエツチング処
理を施して、該第一および第二のフェライトブロックの
マスク付与部分をそれらフェライトブロックの非マスク
付与部分から所定高さ突出せしめて、前記空気ベアリン
グ部およびトラック部を周りから突出形成せしめる工程
と、（ｄ）該空気ベアリング部およびトラック部が形成
されたギャップバーから、それら空気ベアリング部およ
びトラック部を含むように、前記コアスライダ本体とヨ
ーク部からなる最終形状のコアスライダを切り出す工程
とを、含むようにしたのである。

なお、トラック部の磁気ギャップを所謂メタルインギャ
ップ構造となす場合には、前記第一のフェライトブロッ
クと第二のフェライトブロックとの突き合わせに先立っ
て、それらフェライトブロックの少なくとも一方の突合
せ面の磁気ギャップ形成部位に、所定厚さの金属磁性材
層を形成するようにすればよい。

（実施例） 以下、本発明をより一層具体的に明らかにするために、
その実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

先ず、本発明に従って固定磁気ディスク装置用のコアス
ライダを製造するに際しては、第１図の（ａ）および（
ｂ）に示されている如き、後述のスライダ本体５８およ
びヨーク部６ｏを与える長手短形ブロック状の第一のフ
ェライトブロック１ｏと第二のフェライトブロック１２
が準備される。

なお、これらフェライトブロック１０．１２のフェライ
ト材としては、従来からの高透磁率フェライト材、例え
ばＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の単
結晶体や多結晶体、或いはそれらの複合体が好適に採用
されることとなるが、フェライト材として単結晶体が用
いられる場合には、後述の空気ベアリング面（ディスク
摺動面３６）の結晶面と後述の空気ベアリング部３８の
長手稜部（エツジ部）の結晶方位の組合せとして、（１
００）と＜１００＞　、（１００）と＜１１０＞（１１
（１）と＜１００＞　、（１１０）と＜１１０＞。

（３１１）と＜３３２＞、（３３２）と＜３１１＞（６
１１）と＜３３１＞、（３３１）と＜６１１＞。

（２１１）と＜１１１＞の組合せが好適に選択されるこ
ととなる。

声だ、ここでは、後述の説明から明らかになるように、
目的とするコアスライダを各々複数個（ここでは各２個
）切り出し得る後述のギャップパー３２を２個取りでき
るように、各フェライトブロック１０．１２の大きさが
設定されている。

準備されたフェライトブロック１０．１２には、第２図
の（ａ）および０））に示されているように、それらの
突合せ面（ギャップ対向面；接合面）１４の対応する位
置に、後述の磁気ギャップ３０のギャップデプス位置を
規定する状態で、コイル巻線用の溝２４が形成される。

なお、ここでは、前述のように、目的とするコアスライ
ダを切り出すための後述のギャップパー３２が２個取り
であるため、各フェライトブロック１０．’１２の突合
せ面１４゜１４に各２条のコイル巻線用溝２４が形成さ
れる。

また、ここでは、コイル巻線用溝２４がフェライトブロ
ック１０．１２の双方に形成されるが、かかるコイル巻
線用溝２４は、フェライトブロック１０．１２の突合せ
面１４．１４の一方だけに形成するようにしてもよい。

突合せ面１４にコイル巻線用溝２４が形成されたフェラ
イトブロック１０．１２には、次いで、フェライトブロ
ック１０．１２の突合せ面１４１４の少なくとも一方の
ギャップ形成部位１８（第２図の（ａ）、　（ｂ）参照
）に対して、エツチング処理等によって、ギャップ長に
相当する所定深さのギャップ加工が施される。そして、
かかるギャップ加工が施されたフェライトブロック１０
．１２が、第３図に示されているように、それぞれの突
合せ面１４．１４において、ギャップ形成部位１８が互
いに一致する状態で突き合わされ、ガラス溶着手法やフ
ェライトブロック１０．１２同士の固相反応手法等によ
り、非磁気ギャップ形成部位２０において、互いに一体
的に接合せしめられる。そして、この接合により、各突
き合わされた一対のコイル巻線用溝２４，２．４をそれ
ぞれ取り囲む状態で、２組の環状の閉磁路が形成され、
またフェライトブロック１０．１２の各磁気ギャップ形
成部位１８．１８間において、所定間隙の磁気ギヤツブ
３０が形成せしめられる。

なお、かかる磁気ギャップ３０には、通常、第３図に示
されているように、コイル巻線用溝２４内において溶融
された補強ガラス２８の一部が侵入、充填せしめられ、
その保護が図られることとなる。また、磁気ギャップ３
０は、上述のように、ギャップ形成部位１８にギャップ
加工を施す他、それらギャップ形成部位１８の少なくと
も一方に、ＳｉＯ□、ガラス等の非磁性材からなる非磁
性層（ギャップ形成層）を所定厚さで設けることによっ
ても形成することができる。

このように接合された二つのフェライトブロック１０．
１２からなる接合体２６は、第４図に示されている如き
、コアスライダを切り出すためのブロック組合せ体、所
謂ギャップパー３２を得るために、第３図に示される如
き切断線３４に沿って切断されて二分割される。そして
、このようにして得られたギャップパー３２に対して、
第５図の（ａ）および（ｂ）に示されているように、後
述の各トラック部４０の幅方向両端をそれぞれ規定する
状態で、第二のフェライトブロック１２側から、磁気ギ
ャップ３０を横切って第一のフェライトブロックｌＯ側
まで延びる溝２２が、後述のヨーク部６０の幅に比して
充分狭い形成幅をもって砥石にて斜めに切削形成される
。

なお、この斜め溝２２は、第５図の（ｂ）に示されてい
るように、通常、コイル巻線用溝２４に達する深さをも
って、より厳密には、両ブロック１０゜１２のギャップ
デプス長の小さい方のデプス規定部（アペックス部）よ
り１０μｍ程度以上深く切り込まれるが、この斜め溝２
２のディスク摺動面３６に対する角度は、ヘッド性能上
手さい方が望ましく、通常は、５〜２０°の角度が選択
されることとなる。また、この斜め溝２２は、通常、第
一のフェライトブロック１０の後述の空気ヘアリング部
３８の形成部位まで達する状態で形成されることとなる
が、その空気ヘアリング部形成部位への斜め溝２２の延
出量はできるだけ小さく抑制されることとなる。

ギャップパー３２に斜め溝２２が切込形成されると、そ
の斜め溝２２に対して、第６図に示されているように、
非磁性の充填材であるガラス３４が充填せしめられる。

そして、その充填後、磁気ギャップ３０の深さ（デプス
長）が所望の寸法となるように、磁気ディスクに臨むデ
ィスク摺動面３６側に研磨が施され、更にその後、次工
程のエツチング処理のために、そのギャップパー３２の
ディスク摺動面３６に対して、レジスト等のマスクの密
着性および均一なサイドエッチ量を得るための表面処理
が適宜節される。

エツチング処理のための表面処理が施されたギャップパ
ー３２のディスク摺動面３６には、第７図に示されてい
るように、目的とするコアスライダに形成すべき後述の
空気ベアリング部３８、トラック部４０およびトラック
保護凸部４２に対応した形状のマスク４３が、それら空
気ベアリング部３８、トラック部４０およびトラック保
護凸部４２の形成部位を覆うように付与される。

すなわち、マスク４３は、第７図に示されているように
、後述の空気ベアリング部３８の形状に対応した長手矩
形状部４３ａと、後述のトラック部４０の幅寸法よりは
大きく、該トラック部４゜を挟んで設けられた充填ガラ
ス３４．３４の両端幅よりは狭い幅の狭幅部４３ｂと、
長手矩形状部４３ａよりは狭く、トラック部４０を挟ん
で設けられた充填ガラス３４．３４の両端幅よりは所定
寸法大きい幅のランド部４３ｃとを含み、長手短形状部
４３ａの長手方向の一端部において、ランド部４３ｃが
狭幅部４３ｂを介して長手矩形状部４３ａに連結された
形状として与えられる。そして、このような形状のマス
ク４３が、１個のコアスライダについて２個、即ち１個
のギャップパー３２について２対、計４個、長手矩形状
部４３ａとランド部４３ｃとがそれぞれ第一および第二
のフェライトブロック１０．１２上に位置して、狭幅部
４３ｂにおいて磁気ギャップ３０を横切るように、互い
に平行な状態でギャップパー３２のディスク摺動面３６
に付与されるのである（第８図参照）。

なお、このようなマスク４３の形成には、スフＧ リーン印刷等の公知の手法が必要精度と経済性の点から
適宜選択されて採用されることとなるが、中でも、パタ
ーン精度と工程の簡便さから、フォトレジストを用いた
露光による方法が好適に採用されることとなる。また、
かかるマスク４３には、ポジ型或いはネガ型のフォトレ
ジストや、真空蒸着、スパッタリング若しくはＣＶＤ法
等によって形成されるＣｒ等の金属やＳｉＯ若しくは５
ｉｎ２等の各種のマスクを採用することが可能である。

かかるマスク４３が付与されたギャップパー３２には、
そのディスク摺動面３６のフェライト露出部分を介して
、所定深さのエツチング処理が施され、これによって、
第９図の（ａ）および（ｂ）に示されている如く、マス
ク４３の非付与部分であるフェライトブロック１０．．
１２部分が侵食、除去されて、マスク４３で覆われたフ
ェライトブロック１０．１２部分および充填ガラス３４
部分が所定高さの凸部として残される。つまり、空気ベ
アリング部３Ｂ、トラック部４ｏおよびトラック保護凸
部４２が、充填ガラス３４部分と共に、周りのフェライ
トブロック１０．１２部分から所定高さ突出した凸部と
して形成せしめられるのである。

なお、上記空気ヘアリング部３８およびトラック保護凸
部４２の充填ガラス３４との非接触部である凸部側面は
、かかるエツチング操作により、ディスク摺動面３６と
の為す角度が４５°〜８０゜程度、好ましくは６０°〜
７５°程度の傾斜面４４に形成される。従って、ディス
クとの摺接に起因して空気ベアリング部３８やトラック
保護凸部４２の稜部（エツジ部）に欠けが生じるごとを
回避する目的で、そのような傾斜面（４４）を機械的に
切削加工すること、特に空気ヘアリング部３８およびト
ラック保護凸部４２の左右両側面をそのような傾斜面（
４４）に切削加工することが不要となる。

また、このようなエツチング処理は、通常の電解エツチ
ング或いは化学エツチングで行なわれることとなるが、
本願出願人が特願昭６０−２２２３８８号において明ら
かにした、リン酸主体水溶液を用いた化学エツチング処
理にて特に有利に実施されることとなる。

エツチング処理が完了すると、ギャップパー３２には、
コアスライダの長さを決めるべく、ギャップパー３２の
両端部を切断する加工が施される。

第９図の（ａ）における４６．４８は、この時の切断線
を示している。

コアスライダの長さを決めるための切断加工が完了する
と、第１０図に示されているように、エツチング操作に
よって形成された凸部のリーディング側の端部、即ち空
気ベアリング部３８のリーディング側端部に対して、空
気ベアリング面（ディスク摺動面３６）に対する傾斜角
度が緩やかなテーパ部（リーディングランプ）５０が研
磨加工される。また、このテーバ部５０の形成と前後し
て、その凸部のトレーリング側の端部、即ちトラック保
護凸部４２のトレーリング側端部に対して、面取り加工
としてのチャンバー加工が施される。

そして、かかるチャンバー加工により、かかるトラック
保護凸部４２のトレーリング側端部が充填ガラス３４と
共に所定量切除されて、充填ガラス３４の露出面とフェ
ライトブロック１２の露出面が面一とされた、傾斜が緩
やかなテーパ面５２が、トラック保護凸部４２のトレー
リング側端部を画定する状態で形成される（第１１図参
照）。

かかるリーディングランプ加工およびチャンバー加工に
よるテーパ部５０およびテーパ面５２の形成により、回
転開始時や回転停止時のディスクの摺接によって、空気
ヘアリング部３８のリーディング側端部の稜部やトラッ
ク保護凸部４２のトリーリング側端部の稜部に欠けが惹
起されないようにされるのであり、またそれら稜部との
摺接によって、ディスクが損傷せしめられないようにさ
れるのである。

なお、上述の説明から明らかなように、トラック部４０
を挟んで空気ヘアリング部３８と対向するように設けら
れるトラック保護凸部４２は、上記チャンバー加工によ
って最終形状に仕上げられることとなる。

上記リーディングランプ加工およびチャンバー加工が完
了すると、次に、第１２図に示されているように、目的
とするコアスライダのトレーリング側にヨーク部形状を
与えるように、フェライトブロック１０．１２の不要部
分が第二のフェライトブロック１２側から切削除去され
、その後、同図に示される如き切断線５４に沿ってギャ
ップパー３２が切断されて、第１３図に示されている如
き、目的とする固定磁気ディスク装置用コアスライダが
切り出される。

すなわち、ディスク摺動面３６に所定高さの左右一対の
空気ベアリング部３８．３８が形成されたスライダ本体
５８と、それら空気ヘアリング部３８．３８のそれぞれ
の延長部位において、スライダ本体５８との間で閉磁路
を形成すると共に、ディスク摺動面３６に臨む磁路形成
部位においてスライダ本体５８との間で磁気ギャップ３
０を形成する状態で、スライダ本体５８に一体的に接合
された一対のヨーク部６０’、６０とからなり、そのデ
ィスク摺動面３６に、スライダ本体５８とヨーク部６０
とにそれぞれ磁気ギャップ３０を挾んで跨る状態で、空
気ベアリング部３８と同じ高さのトラック部４０が周り
から突出して形成されると共に、そのトラック部４０を
挾んで空気ヘアリング部３８と対向する状態で、それら
空気ベアリング部３８およびトラック部４０と同じ高さ
の、空気ベアリング部３８よりは狭く、トラック部４０
よりは広い幅のトラック保護凸部４２が周りから所定高
さ突出して形成された構造のコアスライダが切り出され
るのである。

なお、第１３図から明らかなように、かかるコアスライ
ダは、通常、空気ベアリング部３８およびトラック保護
凸部４２の両側に微小幅の段差部６２が残るように、ギ
ャップパー３２から切り出されることとなる。

また、第１３図から明らかなように、各斜め溝２２に充
填せしめられた充填ガラス３４は、チャンバー加工によ
って形成されたテーパ面５２部分以外は、空気ベアリン
グ部３８．トラック部４０およびトラック保護凸部４２
の先端面と同じ高さで残される。つまり、斜め溝２２．
２２間に形成されたトラック部４０を同じ高さで挾む状
態で、充填ガラス３４が残されるのである。

このようにして製造される固定磁気ディスク装置用コア
スライダは、前述のように、空気ベアリング部３８、ト
ラック部４０およびトラック保護凸部４２がエツチング
操作によって周りから同時に突出形成され、しかもその
形成と同時に、それら空気ベアリング部３８およびトラ
ック保護凸部４２を取り囲むように、傾斜面４４が形成
されるため、それら空気ベアリング部３８、トラック部
４０およびトラック保護凸部４２を周りから突出形成す
るために、また空気ベアリング部３８およびトラック保
護凸部４２の左右の傾斜面（４４）を形成するために、
時間を要する砥石を用いた機械加工を施す必要がないの
であり、それ故、前記公報（特開昭６２−１８６１５号
公報）に開示のコアスライダの製造手法に比べて、その
生産性が大幅に優れているのである。

そして、本実施例手法に従って製造されるコアスライダ
においては、前述のように、砥石を用いて切削形成され
る斜め溝２２．２２によってトラエツチング処理によっ
てトラック部４０の幅を直接設定する場合に比べて、ト
ラック部４０の幅寸法を所望の寸法により高い精度でよ
り安定して設定することができるのである。

なお、かかる手法に従って製造されるコアスライダでは
、第１３図に示されているように、トラック部４０が幅
の狭い形状として与えられるが、かかるトラック部４０
のリーディング側には、同じ高さの空気ベアリング部３
８が、またトレーリング側には、同じ高さのトラック保
護凸部４２が設けられ、しかもトラック部４０の両側に
は、充填ガラス３４．３４が同じ高さで設けられている
ため、トラック部４０の機械的強度は、それら空気ベア
リング部３８、トラック保護凸部４２および充填ガラス
３４．３４の存在によって充分良好に保証されることと
なる。

ところで、上記実施例では、トラック部４０の幅を規定
する斜め溝２２．２２がヨーク部６０の幅に比して充分
狭い幅をもってギャップバー３２に切込形成され、その
結果として、ヨーク部６０に充填ガラス３４．．３４の
両端幅よりも広い幅のトラック保護凸部４２が形成され
得るようになっていたが、ギャップパー３２に切込形成
する斜め溝２２．，２２の両端幅をヨーク部６０の幅よ
りも広く設定して、そのような斜め溝２２．２２にガラ
ス３４．　３４を充填してコアスライダを製造するよう
にすることも可能である。

なお、ギャップパー３２に対して上述のような幅をもっ
て斜め溝２２を形成して、そのような斜め溝２２にガラ
ス３４を充填してコアスライダを製造する場合には、そ
のガラス３４の充填後の操作は以下のようにして行なわ
れることとなる。

すなわち、ギャップパー３２に形成された斜め溝２２に
ガラス３４が充填せしめられると、前記実施例と同様に
、ギャップパー３２のディスク摺動面３６に対してギャ
ップデプス長を規定するための研磨が施された後、その
ディスク摺動面３６に対して次のエツチング処理を行な
うための表面処理が適宜族される。そして、その表面処
理の後、該表面処理が施されたギャップパー３２のディ
スク摺動面３６に対して、第１４図に示されているよう
に、空気ヘアリング部３８およびトランク部４０の形成
部位に相当するフェライトブロック１０１２部分を覆う
ように、前記実施例と同様のマスク４３が付与される（
第１５図参照）。なお、本実施例では、前記実施例のト
ラック保護凸部４２に対応するフェライトブロック部の
突出部（凸部）は形成されないため、マスク４３は、第
二のフェライトブロック１２を覆う部分においては、隣
接する充填ガラス３．４．．３４間のフェライトブロッ
ク露出部分を覆うだけの幅を有していればよい。

ギヤシブバー３２のディスク摺動面３６にマスク４３が
付与されると、ディスク摺動面３６のフェライト露出部
を介して、前記実施例と同様にしてエツチング処理が施
され、そのエツチング操作によって、第１６図の（ａ）
および（ｂ）に示されているように、フェライトブロッ
ク１０．１２のマスク付与部分と充填ガラス３４部分が
、前記実施例と同様に、フェライトブロック１０．１２
の非マスク付与部分から所定高さ突出させられる。そし
て、これにより、第一のフェライトブロック１０のディ
スク摺動面３６に所定高さの複数対の空気ベアリング部
３８が形成されると共に、それら空気ベアリング部３８
の延長部位において、該空気ベアリング部３８とディス
ク摺動面３６高さが等しいトラック部４０が、それぞれ
同じ高さの充填ガラス３４．３’４で両側部を挟まれた
状態で、磁気ギャップ３０を挟んでフェライトブロック
１０，１２に跨るように形成される。なお、充填ガラス
３４．３４との非接触部位のフェライトブロック凸部の
側面がかかるエツチング操作によって傾斜面４４に形成
されるのは、前記実施例と同様である。

かかる空気ベアリング部３８およびトラック部４０を突
出形成するためのエツチング操作が完了すると、前記実
施例と同様に、第１６図の（ａ）に示されている如き切
断線４６．４８に沿って、コアスライダの長さを決定す
るための切断加工が行なわれ、その切断加工後、第１７
図に示されているように、空気ベアリング部３８のリー
ディング側の端部に対して、テーパ部５０を形成するリ
ーディングランプ加工が施されると共に、トラック部４
０のトレーリング側の端部にテーパ面５２を形成するチ
ャンバー加工が施される。そして、その後、前記実施例
と同様に、第１８図に示されている如く、フェライトブ
ロック１０．１２のギャップパー３２の幅方向の不要部
分が切除されて、ヨーク部６０が形成され、更にその後
、第１８図に示されている如き切断線５７に沿ってギャ
ップパー３２が切断されて、第１９図に示されている如
きコアスライダが切り出される。

なお、第１９図に示されているように、ヨーク部６０は
、充填ガラス３４．３４の両端幅よりも狭い幅に切り出
され、その結果、ヨーク部６０は、トラック部４０のフ
ェライト露出部以外は、充填ガラス３４．３４でディス
ク摺動面３６が覆われた状態で形成せしめられる。

このようにして製造されるコアスライダにあっても、空
気ヘアリング部３８およびトラック部４０がエツチング
操作によって周りから同時に突出形成され、しかもその
形成と同時に、空気ベアリング部３８の左右両側面が傾
斜面４４に形成されるため、前記実施例の製造手法と同
様に、優れた生産性をもって所期の機能を有するコアス
ライダを製造できるのである。

また、本実施例手法に従って製造されるコアスライダに
おいても、砥石を用いて切削形成される斜め溝２２．２
２によってトラック部４０の幅が実質的に規定されるこ
とから、前記実施例と同様に、トラック部４０の幅寸法
を高い精度で安定して設定することができるのである。

そして、かかる本実施例手法に従って製造されるコアス
ライダにおいても、トラック部゛４０が狭い幅をもって
周囲のフェライト部分から突出して形成されることとな
るが、その両側部に同じ高さの充填ガラス３４．３４が
設けられることから、その機械的強度が充分良好に保証
されるのである。

以上、本発明の幾つかの実施例を詳細に説明したが、こ
れらは文字通りの例示であり、本発明が、それらの具体
例に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内
において、種々なる変更、修正、改良等を施した態様で
実施できることは、言うまでもないところである。

例えば、前記実施例では、ディスクの回転停止時におい
て、ディスクがディスク摺動面３６の凸部のトレーリン
グ側端部のエツジ部に摺接することによって、該端部エ
ツジ部やディスクを損傷−１しめないように、その凸部
のトレーリング側端部のエツジ部にチャンバー加工によ
ってテーパ面５２が形成されるようになっていたが、そ
のようなチャンバー加工を施す代わりに、フッ酸やＫＯ
Ｈ等のアルカリ水溶液で充填ガラス３４．３４をフェラ
イトブロック１０．１２と共にエツチング処理して、デ
ィスク摺動面３６の凸部のトレーリング側端部に上記テ
ーパ面５２の機能と同様の機能を果たす傾斜面を形成す
るようにすることも可能である。

なお、かかるエツチング操作に際しては、前記斜め溝２
２の形成幅に拘わらず、そのマスクの付与形態により、
トラック部４０を挟む充填ガラス３４．３４の幅をその
斜め溝２２の形成幅よりも狭い任意の幅に設定すること
ができるが、前記第一の実施例のように、斜め溝２２の
形成幅がヨーク部６０の幅に比べて充分狭く、トラック
部４０を挾んで空気ベアリング部３８と対向するように
トラック保護凸部４２が形成されるような場合には、通
常、第２０図に示されている如く、かかるトラック部４
０を挟む充填ガラス３４．３４部位を全面的に覆うよう
に、マスク６４が付与されることとなり、また前記第二
の実施例のように、斜め溝２２の形成幅が充分広いよう
な場合には、第２１図に示されている如く、トラック部
４０を挾む充填ガラス３４．３４部位を少なくとも所定
の幅で覆うように、即ちか男・るエツチング操作によっ
て凸部として残される充填ガラス３４．３４部位がトラ
ック部４０を充分良好に保護し得るような幅をもって、
マスク６４が付与せしめられることとなる。ここで、マ
スク６４としては、前記実施例のエツチング操作におけ
るマスク４３をそのきる。

また、前記実施例においては、フェライトブロック１０
．１２の相対向するフェライト面（突合せ面１４）間に
おいて磁気ギャップ３０が直接形成されるようになって
いるが、そのようなフェライト面の少なくとも何れか一
方に所定厚さの金属磁性膜を形成して、磁気ギャップ３
０を所謂メタルインギャップ構造となすことも可能であ
る。なお、磁気ギャップ、３０をメタルインギャップ構
造となす場合には、磁気ギャップ３０のギャップ長を規
定するためのギャップ加工後において、フェライトブロ
ック１０．１２の少なくとも一方の突合せ面１４の磁気
ギャップ成形部位に対して、公知の手法に従って金属磁
性材層を形成するようにすればよい。

更に、前記実施例では、何れも、スライダ本体５８の一
対の空気ベアリング部３８．３８の延長部位のそれぞれ
にヨーク部６０を備えた構造のコアスライダを製造する
場合について本発明の適用例を説明したが、スライダ本
体５８の一方の空気ベアリング部３日の延長部位に１個
のヨーク部６０を備えただけのコアスライダの製造に本
発明を適用することも可能である。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、固定
磁気ディスク装置用のコアスライダの製造に際して、そ
のディスク摺動面の空気ベアリング部およびトラック部
をエツチング手法にて周りから同時に突出して形成でき
ることから、コアスライダを優れた生産性をもって安価
に製造できるのであり、またトラック部の幅が、機械的
に切削されて形成される２条の斜め溝によって規定され
ることから、その幅寸法精度を良好に高め得て、トラッ
ク幅寸法精度の高いコアスライダ′を安定して得ること
ができるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１３図は、本発明の一実施例を説明するた
めの各工程の説明図であって、第１図の（ａ）および（
ト））は、それぞれ、組み合わされるフェライトブロッ
クを示す斜視図であり、第２図の（ａ）および（ｂ）は
、それぞれ、コイル巻線用の溝加工が施された状態のフ
ェライトブロックを示す斜視図であり、第３図は、二つ
のフェライトブロックが一体的に接合された状態を示す
斜視図であり、第４図は、第３図のフェライトブロック
接合体を二分割して得られるギャップバーを示す斜視図
であり、第５図の（ａ）は、トラック部の幅を規定する
ための斜め溝が形成された状態のギャップバーを示す斜
視図であり、第５図の（ｂ）は、第５図の（ａ）のギャ
ップバーの要部断面図であり、第６図は、斜め溝に充填
材であるガラスが充填された状態のギャップバーを示す
要部斜視図でありミ第７図は、ディスク摺動面にエツチ
ングのためのマスクが付与された状態のギャップバ一部
を示す平面図であり、第８図は、第７図の要部拡大図で
あり、第９図の（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、エツ
チング処理が施されたギャップバーを示す平面図および
正面図であり、第１Ｏ図は、空気ベアリング部の長手方
向のリーディング側端部にリーディングランプ加工が施
されると共に、トラック保護凸部のトレーリング側端部
にチャンバー加工が施された状態のギャップバーを示す
平面図であり、第１１図は、第１０図の右側面要部図で
あり、第１２図は、不要部分の切除加工にてヨーク部が
形成された状態のギャップバーを示す平面図であり、第
１３図は、ギャップバーから切り出された最終形状のコ
アスライダを示す平面図である。 第１４図乃至第１９図は、本発明の別の実施例を説明す
るための各工程の説明図であって、第１４図は第７図に
、第１５図は第８図に、第１６図の（ａ）は第９図の（
ａ）に、第１６図の（ｂ）は第９図の（ｂ）に、第１７
図は第１０図に、第１８図は第１２図に、第１９図は第
１３図に、それぞれ対応する説明図である。 第２０図および第２１図は、それぞれ、本発明の更に別
の実施例の工程を説明するための説明図である。 １０：第一のフェライトブロック １２：第二のフェライトブロック １４：突合せ面 ２４：コイル巻線用溝 ３２：ギャップバー ３４：充填ガラス（充填材） ３６：ディスク摺動面 ３８：空気ベアリング部 ４２ニドラック保護凸部 ４３．６４＝マスク ５０：テーパ部 ５８ニスライダ本体 ２２：斜め溝 ３０：磁気ギャップ ４０　ニ ドラック部 ４４：傾斜面 ５２：テーバ面 ６０：ヨーク部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ディスク摺動面に所定高さの左右一対の空気ベア
   リング部を備えたスライダ本体と、該スライダ本体の少
   なくとも一方の空気ベアリング部の延長部位において、
   該スライダ本体との間で閉磁路を形成すると共に、前記
   ディスク摺動面に臨む磁路形成部位において該スライダ
   本体との間で所定間隙の磁気ギャップを形成する状態で
   、該スライダ本体に一体的に接合されたヨーク部とを備
   え、そのディスク摺動面に、前記磁気ギャップを挟んで
   前記スライダ本体とヨーク部とに跨る状態で、前記空気
   ベアリング部と同じ高さのトラック部が周囲から突出し
   て形成されてなる構造の磁気ディスク装置用コアスライ
   ダを製造する方法であって、 前記スライダ本体を与える第一のフェライトブロックと
   、前記ヨーク部を与える第二のフェライトブロックとを
   突き合わせて一体的に接合し、前記閉磁路および磁気ギ
   ャップを備えたギャップバーを作製する工程と、 前記第二のフェライトブロック側から、前記トラック部
   の幅方向の両端部を規定する状態で、前記第一のフェラ
   イトブロック側まで延びる一対の斜め溝を該ギャップバ
   ーに切込形成し、該切込形成した斜め溝に非磁性の充填
   材を充填せしめる工程と、 該斜め溝に充填材が充填せしめられたギャップバーの前
   記ディスク摺動面に対して、前記第一および第二のフェ
   ライトブロックの前記空気ベアリング部およびトラック
   部の形成部位を覆うようにマスクを付与し、該マスクを
   付与したギャップバーのディスク摺動面にエッチング処
   理を施して、該第一および第二のフェライトブロックの
   マスクの付与部分をそれらフェライトブロックの非マス
   ク付与部分から所定高さ突出せしめて、前記空気ベアリ
   ング部およびトラック部を周りから突出形成せしめる工
   程と、 該空気ベアリング部およびトラック部が形成されたギャ
   ップバーから、それら空気ベアリング部およびトラック
   部を含むように、前記スライダ本体とヨーク部からなる
   最終形状のコアスライダを切り出す工程とを、 含むことを特徴とする固定磁気ディスク装置用コアスラ
   イダの製造法。
2. （２）前記第一のフェライトブロックと第二のフェライ
   トブロックとの突き合わせに先立って、それらフェライ
   トブロックの少なくとも一方の突合せ面の磁気ギャップ
   形成部位に、所定厚さの金属磁性材層を形成せしめるこ
   とを特徴とする請求項（１）記載の製造法。