JPH0225564U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0225564U JPH0225564U JP10394488U JP10394488U JPH0225564U JP H0225564 U JPH0225564 U JP H0225564U JP 10394488 U JP10394488 U JP 10394488U JP 10394488 U JP10394488 U JP 10394488U JP H0225564 U JPH0225564 U JP H0225564U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holder
- chamber
- inlet chamber
- substrate
- cooling water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面はこの考案の実施例を示し、第１図は冷却
構造を示す断面図、第２図はスパツタリング装置
の縦断面図、第３図は全体平面図、第４図は第２
図におけるＡ―Ａ線断面図である。 ２……真空槽、６……チヤンバ、７……ターゲ
ツト、８……基板ホルダ、１４……基板、１６…
…公転軸、２０……モータ、２２……自転軸、３
３……給水路、３４……排水路、３６……入口室
、３７……出口室。
構造を示す断面図、第２図はスパツタリング装置
の縦断面図、第３図は全体平面図、第４図は第２
図におけるＡ―Ａ線断面図である。 ２……真空槽、６……チヤンバ、７……ターゲ
ツト、８……基板ホルダ、１４……基板、１６…
…公転軸、２０……モータ、２２……自転軸、３
３……給水路、３４……排水路、３６……入口室
、３７……出口室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空槽の内部にターゲツトと、基板を支持する
基板ホルダを設け、基板ホルダが、真空槽の周壁
を内外に貫通する公転軸と、公転軸と同行回転す
るアームに支持された自転軸とを介して、自転し
ながら公転するプラネタリ式のスパツタリング装
置において、 基板ホルダを中空に形成し、その内部を互いに
通水自在な入口室と出口室に区画し、 公転軸の外端から、アームと自転軸を介して前
記各室に至る間に、冷却水を入口室に向つて通水
案内する給水路と、入口室から出口室へ循環した
冷却水を真空槽の外部に向つて通水案内する排水
路とをそれぞれ設け、 基板ホルダに保持された基板が、入口室を通過
する冷却水で強制冷却されるように構成したこと
を特徴とするスパツタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10394488U JPH0225564U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10394488U JPH0225564U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225564U true JPH0225564U (ja) | 1990-02-20 |
Family
ID=31335225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10394488U Pending JPH0225564U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0225564U (ja) |
-
1988
- 1988-08-05 JP JP10394488U patent/JPH0225564U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0902632B1 (en) | Water-driven cleaning device | |
| KR890008543A (ko) | 진공 회전 건조기 | |
| JPS5925946B2 (ja) | 熱交換器 | |
| JPH0419474B2 (ja) | ||
| JPH0225564U (ja) | ||
| JPH0131282Y2 (ja) | ||
| JPS6412320B2 (ja) | ||
| CN220496641U (zh) | 一种具有清洁功能的低速离心机 | |
| JPH07305934A (ja) | 減圧気化冷却装置 | |
| JPS6010656Y2 (ja) | 回転円筒型濾過器 | |
| JPS5937657Y2 (ja) | 氷片供給装置の貯氷庫 | |
| JPS6310474Y2 (ja) | ||
| JPS5919915Y2 (ja) | ロ−タリ−式熱処理装置 | |
| JPH02138422U (ja) | ||
| JPH01178487U (ja) | ||
| JPS6354448U (ja) | ||
| FI77218C (fi) | Arrangemang foer kylning av ett centrifugalhjul som anvaends vid framstaellning av mineralullsfiber. | |
| JPS61158900U (ja) | ||
| JPS6330517Y2 (ja) | ||
| JPS62114712U (ja) | ||
| JPH08250577A (ja) | 自公転型基板保持装置 | |
| JPS6231922U (ja) | ||
| JPS6024739Y2 (ja) | 導水管式回転取水装置 | |
| RU95116172A (ru) | Аппарат для контакта газа и жидкости | |
| JPH038926Y2 (ja) |