JPH02260212A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度記録再生を行うための磁気ヘッドの製
造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

近年、磁気記録の高密度化の要求により、メタルテープ
等の高保磁力媒体が用いられるようになり、これに伴い
、高透磁率および高飽和磁束密度に優れたＦｅ−３ｉ−
Ａｊ２　（センダスト合金）等の金属磁性薄膜をコアの
ギャップ対向面上に形成してなる磁気ヘッドが提案され
ている。

このような磁気ヘッドを製造するには、第４図（ａ）に
示すように、酸化物磁性材料からなる一方のブロック１
１に外部巻線用溝１３とガラス充填用溝１４と内部巻線
用溝１５とを形成すると共に、同図（ｂ）に示すように
、同じく酸化物磁性材料からなる他方のブロック１２に
外部巻線用溝１３とガラス充填用溝１４とを形成する。

その後、同図（ｃ）および（ｄ）に示すように、所定の
ギャップトラック幅を得るための溝（以下、トラック溝
と称する）１８・・・を形成する。次いで、同図（ｅ）
（ｆ）に示すように、ブロック１１・１２におけるそれ
ぞれのギャップ対向面（前記のトラック溝１８・・・、
内部巻線用溝１５およびガラス充填用溝１４上の各々の
面を含む面）１６上に高透磁率および高飽和磁束密度を
有する合金磁性薄膜１９をスパッタリング法等により形
成する。次いで、合金磁性薄膜１９上にギャップ材とし
て図示しないＳｉＯ□等の非磁性材料を形成した後、同
図（ｇ）に示すように、上記のブロック１１・１２同士
を各りのギャップ対向面１６・１６を突き合わせて貼り
合わせ、ガラス充填用溝１４および内部巻線用溝１５に
よりそれぞれ形成される空洞部位にガラス棒Ｓ２０を配
置した後、窒素雰囲気中で加熱を行い、ガラス棒Ｓ２０
を溶融させることにより、同図（ｈ）に示すように、内
部巻線用溝１５の上部並びにガラス充填用溝１４および
各トラック溝１８内に溶融ガラス２０が充填されてブロ
ック１１・１２が互いに固着される。

この固着により、ブロック１１・１２は非磁性薄膜を介
して上部および下部で密着したものとなり、このうちの
上部であるトラック溝工８・・・により幅を規制された
非溝部同士の間に介設されている非磁性薄膜によって磁
気ギャップ２１・・・が形成される。また、下部の密着
部は非磁性薄膜の影響を無視できる程度に十分に広い面
積で密着することになる。

そして、このようにして得られた磁気ヘッドブロックに
おけるテープ摺動面１７に、一定の曲率を有する曲面を
形成した後、仮想線ｂ・・・に沿って切断することによ
り、同図（＋）に示すように、磁気ヘッド２２（まだ巻
線の施されていない段階）が得られる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記従来の製造方法においては、センダスト
合金等の合金磁性薄膜１９と、溶融ガラス２０との濡れ
性が十分でないことから、溶融状態の溶融ガラス２０が
その表面張力により縮みがちとなり、ガラス溶着が十分
に行われずに不良品が発生する等、歩留まりの低下を招
いていた。さらに、ガラス２０と合金磁性薄膜１９との
界面に、第３図に示すような核化（界面付近に析出物が
発生する現象）と呼ばれる反応が発生し、ギャップ長寸
法の高精度化が図れない上に、上記核化の部分は強度的
にも不十分となり、割れや欠けが発生することから、前
記の歩留まりが一層悪くなるという欠点を有していた。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、上記の課題を解
決するために、一対のコアがそのギャップ対向面上に合
金磁性薄膜を有し、且つ、上記一対のコアが互いのギャ
ップ対向面同士を突き合わせて溶融ガラスにより溶着さ
れてなる磁気ヘッドの製造方法において、前記の合金磁
性薄膜の表面を極浅く酸化して表面酸化被膜を形成した
後に溶融ガラスにて前記一対のコアを溶着することを特
徴としている。

なお、表面酸化被膜の形成は、合金磁性薄膜の形成され
たコアを例えば大気中で２００°Ｃ〜４００°Ｃ程度の
温度下において３０分〜６０分程度保持することにより
行う。

〔作　用〕

上記の構成によれば、τ対のコアにおけるガラス溶着の
際には、合金磁性薄膜とガラスとの間に表面酸化膜が介
在することになり、この表面酸化被膜がガラスとの接触
を担うことになる。ここで、酸化物であるガラスは、同
じく酸化物である表面酸化被膜と相性が良く馴染み易い
ことから濡れ性が向上すると共に、核化の現象が抑制さ
れることになる。前記の濡れ性向上により、ガラス溶着
の不良発生を低減でき、また、核化抑制により、ガラス
の割れや欠けの発生の防止が可能となり、これによって
磁気ヘッドの製造においてその歩留まり向上を図ること
ができると共に、ギャップ長の高精度化をも図ることが
できる。

なお、従来例で示した磁気ヘッドの製造方法においても
、溶融ガラスによる溶着の前に合金磁性薄膜上に、ある
種の酸化物であるギャップ材が介設されることになるの
で、合金磁性゛薄膜を酸化させる必要性があまりないの
ではないかと思われるが、上記のギャップ材はスパッタ
リングにより形成されるものであるため、本発明の表面
酸化被膜と異なり、緻密なものを形成することは困難で
あり、前記ギャップ材による濡れ性向上や核化抑制の効
果はあまり得られないものである。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図および第２図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、従来
例で用いた部材と同一の機能を有する部材には同一の符
号を付記してその説明を省略する。

本発明の磁気ヘッドの製造方法により製造される磁気ヘ
ッドにおいて、第１図（ｉ）に示すように、高透磁率を
有する酸化物磁性材料コア１１′・１２′におけるギャ
ップ対向面１６・１６の各々には、所定幅を有し且つ磁
気ギャップ２１に対し平行な面を有する非溝部分１８′
　・１８′が形成されている。この非溝部分１８′　・
１８′を含む上記のギャップ対向面１６・１６上には、
高透磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性薄膜１
９が形成されている。そして、かかる合金磁性薄膜１９
の形成された酸化物磁性材料コア１１′・１２′同士は
、少な（ともその非溝部分１８′・１８′の間にギャッ
プ材としての非磁性材料を介装した状態でギャップ対向
面１６・１６を互いに突き合わせて溶融ガラス２０にて
固着されている。

上記の磁気ヘッドを製造するには、同図（ａ）に示すよ
うに、酸化物磁性材料からなる一方のコアブロック１１
に外部巻線用溝１３とガラス充填用溝１４と内部巻線用
溝１５とを形成すると共に、同図（ｂ）に示すように、
同じく酸化物磁性材料からなる他方のコア・ブロック１
２に外部巻線用溝１３とガラス充填用溝１４とを形成す
る。その後、同図（Ｃ）および（ｄ）に示すように、所
定のギャップトラック幅を得るための溝（以下、トラッ
ク溝と称する）１８・・・を形成する。

次いで、同図（ｅ）（ｆ）に示すように、ブロック１１
・１２におけるそれぞれのギャップ対向面１６（前記の
トラック溝１８・・・、内部巻線用溝１５およびガラス
充填用溝１４上の各々の面を含む）上に高透磁率および
高飽和磁束密度を有する合金磁性薄膜１９をスパッタリ
ング法等により形成した後、かかるブロック１１・１２
を大気中において３００℃の加熱下で４０分間保持する
。これにより、合金磁性薄膜１９の表面層は極浅く酸化
されて緻密な表面酸化被膜（図中斜線で示している）１
９′が形成される。

なお、あまり長時間にわたって合金磁性薄膜１９の酸化
を行うと、表面酸化被膜１９′が過剰に厚くなる。この
場合、表面酸化被膜１９′が非磁性であることから磁気
ヘッドの出力低下を招くので、表面酸化被膜１９′があ
まり厚くならないように配慮する。

次いで、上記表面酸化被膜１９′の形成された合金磁性
薄膜１９上にギャップ材として５ｉｎ２等の非磁性材料
を形成した後、同図（ｇ）に示すように、上記のブロッ
ク１１・１２同士を各々のギャップ対向面１６・１６を
突き合わせて貼り合わせ、ガラス充填用溝１４および内
部巻線用溝１５によりそれぞれ形成される空隙部位に円
筒状のガラス棒Ｓ２０を挿入配置した後、窒素雰囲気中
で加熱を行い、ガラス棒Ｓ２０を溶融させることにより
、同図（ｈ）に示すように、内部巻線用溝１５の上部並
びに各トラック溝１８内およびガラス充填用溝１４内に
ガラス２０が充填されてブロック１１１２が互いに固着
される。

この固着により、ブロック１１・１２は非磁性薄膜を介
して上部および下部で密着したものとなり、このうちの
上部であるトラ２り溝５１８・・・により幅を規制され
た非溝部１８′　・１８′同士の間に介設されている非
磁性薄膜によって磁気ギャップ２１・・・が形成される
。また、下部の密着部は非磁性薄膜の影響を無視できる
程度に十分に広い面積で密着しているものである。

そして、このようにして得られた磁気ヘッドブロックに
おけるテープ摺動面１７に、一定の曲率を有する曲面を
形成する。この曲面形成により、テープ摺動面１７に位
置する合金磁性薄膜１９の表面酸化被膜１９′は削られ
、磁気特性への影響は無視できる程度に低減される。そ
の後、仮想線ｂ・・・に沿って切断することにより、同
図（ｉ）に示すように、磁気ヘッド２２（まだ巻線の施
されていない段階）を得る。

上記の構成によれば、一対のブロック１１・１２におけ
るガラス溶着の際には、合金磁性薄膜１９とガラス２０
との間に表面酸化膜１９′が介在することになり、この
表面酸化被膜１９′がガラス２０との接触を担うことに
なる。ここで、酸化物であるガラス２０は、同じく酸化
物である表面酸化被膜１９′と相性が良く馴染み易いこ
とから濡れ性が向上すると共に、核化の現象が抑制され
ることになる。前記の濡れ性向上により、ガラス溶着の
不良発生を低減でき、また、核化抑制により、ガラスの
割れや欠けの発生の防止が可能となり、これによって磁
気ヘッドの製造においてその歩留まり向上を図ることが
できる。第２図は溶融ガラスと合金磁性薄膜であるセン
ダスト合金との境界部分を拡大した写真であり、核化抑
止の効果が明瞭に現れている。

〔発明の効果〕

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、以上のように、
一対のコアがそのギャップ対向面上に合金磁性薄膜を有
し、且つ、上記一対のコアが互いのギャップ対向面同士
を突き合わせて溶融ガラスにより溶着されてなる磁気ヘ
ッドの製造方法において、前記の合金磁性薄膜の表面を
極浅く酸化して表面酸化被膜を形成した後に溶融ガラス
にて前記一対のコアを溶着する構成である。

これにより、濡れ性の向上および核化抑制を図ることが
でき、上記の濡れ性向上により、ガラス溶着の不良発生
を低減でき、また、核化抑制により、ガラスの割れや欠
けの発生の防止が可能となり、これによって磁気ヘッド
の製造においてその歩留まりを向上できると共に、ギャ
ップ長の高精度化が図れるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の一実施例を示すものであ
名。 第１図（ａ）ないしくｉ）はそれぞれ磁気ヘッドの製造
工程の各段階を示す斜視図である。 第２図は溶融ガラスと合金磁性薄膜であるセンダスト合
金との境界部分を拡大して示す図面代用写真である。 第３図および第４図は従来例を示すものである。 第３図は溶融ガラスと合金磁性薄膜であるセンダスト合
金との境界部分を拡大して示す図面代用写真である。 第４図（ａ）ないしくｉ）はそれぞれ磁気ヘッドの製造
工程の各段階を示す斜視図である。 １１・１２はコアブロック、１１’　　・１２′　はコ
ア、１６はギャップ対向面、１７はテープ摺動面、１８
はトラック溝、１８′は非溝部分、１９は合金磁性薄膜
、１９′は表面酸化被膜、２０は溶融ガラス、Ｓ２０は
ガラス棒、２１は磁気ギャップ、２２は磁気ヘッドであ
る。 特許出願人　　　　　シャープ　株式会社凶凹の、９口 第２図 第 図 箔４ 図（ａ） ］１ 第 図（Ｃ） 第 図（ｂ） ］２ 第 図（ｄ） １、事件の表示 平成０１年　特　許　願　第８１７１８号２、発明の名
称 磁気ヘッドの製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住　所　大阪市阿倍野区長池町２２番２２号名　称（５
０４）　　シャープ株式会社代表者　　辻　　　晴　雄 ４、代理人　◎５３０ 住　所　大阪市北区天神橋２丁目４番１７号千代田第−
ビル　ｅ大阪（０６）　３５１−４３８４７、補正の内
容 （１）第１２頁第１７行〜末行の「第２図は・・・図面
代用写真である。」を次のように訂正する。 「第２図は溶融ガラスと合金磁性薄膜であるセンダスト
合金との境界部分を拡大して示す説明図である。」 （２）第１３頁第２行〜４行の「第３図は・・・図面代
用写真である。」を次のように訂正する。 「第３図は溶融ガラスと合金磁性薄膜であるセンダスト
合金との境界部分を拡大して示す説明図である。」 （３）第２図および第３図の図面代用写真をそれぞれ図
面に訂正する。補正図面は別紙の通り。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一対のコアがそのギャップ対向面上に合金磁性薄膜
   を有し、且つ、上記一対のコアが互いのギャップ対向面
   同士を突き合わせて溶融ガラスにより溶着されてなる磁
   気ヘッドの製造方法において、 前記の合金磁性薄膜の表面を極浅く酸化して表面酸化被
   膜を形成した後に溶融ガラスにて前記一対のコアを溶着
   することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。