JPH0228974A - 光半導体装置の製造方法 - Google Patents
光半導体装置の製造方法Info
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- JPH0228974A JPH0228974A JP63179582A JP17958288A JPH0228974A JP H0228974 A JPH0228974 A JP H0228974A JP 63179582 A JP63179582 A JP 63179582A JP 17958288 A JP17958288 A JP 17958288A JP H0228974 A JPH0228974 A JP H0228974A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- semiconductor element
- section
- recessed section
- semiconductor
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
- H10W74/10—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光電変換素子を樹脂封止成型した光半導体装置
において、光路側の樹脂部の表面に一定の角度を有する
陥没部を設けた光半導体装置に関するものである。
において、光路側の樹脂部の表面に一定の角度を有する
陥没部を設けた光半導体装置に関するものである。
従来の技術
従来の光半導体装置の平面図、断面図を”第2図(a)
、 (b)に示す。封止用樹脂1の表面はフラットでリ
ード部2ならびに素子載置部7が平板に形成され、半導
体素子3を搭載し使用されている。
、 (b)に示す。封止用樹脂1の表面はフラットでリ
ード部2ならびに素子載置部7が平板に形成され、半導
体素子3を搭載し使用されている。
発明が解決しようとする課題
従来の光半導体において、素子載置部7及びリード部2
は同一平板に形成され、これに対し封止用樹脂1の表面
が平行になっている。このため、半導体レーザなどの光
源からの光を入射させると、樹脂内面の光反射成分が素
子部に再入射し、ノイズが多(なるという問題があった
。特に、素子部として、光電変換部を多分割とした微小
寸法タイプの場合に隣接のエレメントに不要な光が入射
するという欠点があった。
は同一平板に形成され、これに対し封止用樹脂1の表面
が平行になっている。このため、半導体レーザなどの光
源からの光を入射させると、樹脂内面の光反射成分が素
子部に再入射し、ノイズが多(なるという問題があった
。特に、素子部として、光電変換部を多分割とした微小
寸法タイプの場合に隣接のエレメントに不要な光が入射
するという欠点があった。
本発明はこのような問題を解決しようとするもので、簡
便な構造の半導体素子において、封止樹脂の構造を変え
ることにより容易にノイズを低減することを目的とする
。
便な構造の半導体素子において、封止樹脂の構造を変え
ることにより容易にノイズを低減することを目的とする
。
課題を解決するための手段
上記問題を解決するために、本発明は半導体素子の封止
樹脂表面に一定の角度をもった陥没部を形成したもので
ある。
樹脂表面に一定の角度をもった陥没部を形成したもので
ある。
作用
本発明によると、半導体素子の封止樹脂表面に陥没部を
設けかつ半導体素子載置部に対し、1〜10°の角度を
設けたことにより封止用樹脂の内面反射によるノイズを
大幅に低減できる。
設けかつ半導体素子載置部に対し、1〜10°の角度を
設けたことにより封止用樹脂の内面反射によるノイズを
大幅に低減できる。
実施例
第1図(a)、 (b)は本発明の半導体樹脂パッケー
ジの平面図、断面図を示した一実施例である。半導体装
置部7.リードフレーム2.封止用樹脂1゜半導体素子
3.樹脂表面陥没部4で構成されている。樹脂表面陥没
部4は、たとえば、インジェクタービンによって、半導
体素子表面に対して4゜の角度をもたしである。経験に
よると、この角度は1°〜10”が適当であった。半導
体素子3として、4分割のフォトダイオードを用いてお
り、受光部サイズは80μm口のエレメントが4個、田
の字状に形成されており、それぞれ分離幅が15μmと
なっている。封止用の樹脂にはエポキシ系の透光性樹脂
を用いている。
ジの平面図、断面図を示した一実施例である。半導体装
置部7.リードフレーム2.封止用樹脂1゜半導体素子
3.樹脂表面陥没部4で構成されている。樹脂表面陥没
部4は、たとえば、インジェクタービンによって、半導
体素子表面に対して4゜の角度をもたしである。経験に
よると、この角度は1°〜10”が適当であった。半導
体素子3として、4分割のフォトダイオードを用いてお
り、受光部サイズは80μm口のエレメントが4個、田
の字状に形成されており、それぞれ分離幅が15μmと
なっている。封止用の樹脂にはエポキシ系の透光性樹脂
を用いている。
レーザ光5が入射すると、陥没の面4が半導体素子3の
表面に対して角度をもっているために、屈折しフォトダ
イオードのそれぞれのエレメントに入射する。入射光の
一部は受光部3゛で反射し、反射光6は樹脂の内面で再
入射をするが、受光部には戻ってこない。
表面に対して角度をもっているために、屈折しフォトダ
イオードのそれぞれのエレメントに入射する。入射光の
一部は受光部3゛で反射し、反射光6は樹脂の内面で再
入射をするが、受光部には戻ってこない。
このように本実施例によると、光路となる樹脂表面に陥
没部の面を半導体素子表面に対して1゜〜10”の角度
をもたすことにより、樹脂内面反射光によるノイズを容
易に低減できる。本実施例では4°の角度を設けたこと
により、1/3以下のノイズ低減を実現できた。
没部の面を半導体素子表面に対して1゜〜10”の角度
をもたすことにより、樹脂内面反射光によるノイズを容
易に低減できる。本実施例では4°の角度を設けたこと
により、1/3以下のノイズ低減を実現できた。
発明の効果
以上のように、本発明によれば、樹脂封止表面に陥没部
および所定の角度を設けたことで、容易に内面反射光に
よるノイズを大幅に低減できる。
および所定の角度を設けたことで、容易に内面反射光に
よるノイズを大幅に低減できる。
第1図は、本発明の一実施例による光半導体装置の平面
図、断面図、第2図は従来例の平面図、断面図である。 1・・・・・・半導体素子封止用樹脂、2・・・・・・
リード部、3・・・・・・半導体素子、3′・・・・・
・受光部、4・・・・・・インジェクタービンによる陥
没部、5・・・・・・レーザ光、6・・・・・・樹脂内
面の反射光、7・・・・・・半導体装置部。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか1名第1図 (α) 傅ン
図、断面図、第2図は従来例の平面図、断面図である。 1・・・・・・半導体素子封止用樹脂、2・・・・・・
リード部、3・・・・・・半導体素子、3′・・・・・
・受光部、4・・・・・・インジェクタービンによる陥
没部、5・・・・・・レーザ光、6・・・・・・樹脂内
面の反射光、7・・・・・・半導体装置部。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか1名第1図 (α) 傅ン
Claims (1)
- リードフレームの素子載置部に光半導体素子を載置し、
透光性樹脂で封止し、光路側の前記樹脂封止部表面に陥
没部を設けかつ陥没部の面として前記素子載置部に対し
1〜10゜の角度を設けたことを特徴とする光半導体装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179582A JP2618003B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 光半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179582A JP2618003B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 光半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0228974A true JPH0228974A (ja) | 1990-01-31 |
| JP2618003B2 JP2618003B2 (ja) | 1997-06-11 |
Family
ID=16068247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63179582A Expired - Fee Related JP2618003B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 光半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2618003B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6287459U (ja) * | 1985-11-19 | 1987-06-04 |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP63179582A patent/JP2618003B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6287459U (ja) * | 1985-11-19 | 1987-06-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2618003B2 (ja) | 1997-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |