JPH02307235A - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法

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Publication number
JPH02307235A
JPH02307235A JP1129317A JP12931789A JPH02307235A JP H02307235 A JPH02307235 A JP H02307235A JP 1129317 A JP1129317 A JP 1129317A JP 12931789 A JP12931789 A JP 12931789A JP H02307235 A JPH02307235 A JP H02307235A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire bonding
wire
electrode
bonding method
confirming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1129317A
Other languages
English (en)
Inventor
Seizo Omae
大前　誠蔵
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1129317A priority Critical patent/JPH02307235A/ja
Publication of JPH02307235A publication Critical patent/JPH02307235A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 ・本発明は、半導体製造プロセスで使用するワイヤボン
ディング方法に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、この種のワイヤボンディング方法としては種々色
々なものが知られており、この中には例えば次に示すよ
うなものがある。これを第４図および第５図を用いて説
明すると、予めリードフレーム（図示せず）上に接合さ
れた半導体チップ１の電極（ワイヤボンディング面）２
に例えばＡ１等の金属細線からなるワイヤ３の一端部（
ボール部）を接続すると共に、他端部をリードフレーム
（図示せず）のインナーリード（図示せず）に接続する
のもである。なお、図中符号４は前記ワイヤ３のボール
部である。
ところで、この種のワイヤボンディング方法における電
極の位置検出は、ＩＴＶカメ元画像処理回路および画像
処理ソフトウェア等によるパターン認識によって自動的
に行われる。そして、予めオペレータによって指示され
た電極２のワイヤボンディング点とインナーリード（図
示せず）上のワイヤボンディング点に順次ワイヤ３が接
続される。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで、従来のワイヤボンディング方法においては、
オペレータによってワイヤボンディング　　一点を指示
するものであるため、ワイヤボンディング時に最適なワ
イヤボンディング点からずれてワイヤ３が接続されてし
まうことがあった。この結果、ワイヤボンディング面に
対するワイヤ３の接合面積が狭くなり、その接続強度が
低下し、最悪の場合には半導体チップ（図示せず）上の
電極２間が短絡してしまい、ワイヤボンディング上の信
頼性が低下するという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ワイ
ヤボンディング強度を高めることができると共に、２電
極間の短絡発生を防止することができ、もってワイヤボ
ンディング上の信頼性を高めることができるワイヤボン
ディング方法を提供するものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に係るワイヤボンディング方法は、ワイヤボンデ
ィング面にワイヤを接続する方法であって、予めワイヤ
ボンディング面に導電部を除去することによりワイヤボ
ンディング位置確認用の微小パターンを形成するもので
ある。
〔作　用〕 本発明においては、ワイヤボンディング時にパターン周
囲の最適ワイヤボンディング面にワイヤを確実に接続す
ることができる。
〔実施例〕
以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。
第１図は本発明に係るワイヤボンディング方法を説明す
るための平面図で、同図以下において第４図および第５
図と同一の部材について同一の符号を付す。
本発明は、ワイヤボンディング面にワイヤ３を接続する
ワイヤボンディング方法であって、予めインナーリード
（図示せず）および電極２のワイヤボンディング面に円
形状の導電部を除去することによりワイヤボンディング
位置確認用の微小パターン１１を形成する。
したがって、本実施例においては、ワイヤボンディング
時に微小パターン１１の周囲の最適ワイヤボンディング
面にワイヤ３を確実に接続することができるから、ワイ
ヤボンディング面に対するワイヤ３の接続面積を広くす
ることができ、その接続強度を高めることができると共
に、２つの電極２間の短絡発生を防止することができる
。
なお、本実施例においては、最適なワイヤボンディング
位置にワイヤ３を接続するための微小パターン１１を形
成したが、この細筆２図および第３図に示すように電極
２の材料と同一の材料からなる２つのパターン１２．１
３を各々パターン１１のＸ。
Ｙ方向（Ｘ方向とＹ方向は互いに直角な方向）に形成し
てワイヤボンディング後にワイヤ３のワイヤボンディン
グ位置を確認することができる。すなわち、パターン１
２．１３を通過するＸ軸とＹ軸の交点にワイヤボンディ
ング位置があることを確認することができるのである。
また、本実施例においては、電極２の個数が二個である
場合を示したが、本発明は例えば三個。
四個、・・・とじてもよく、その個数は適宜変更するこ
とができる。
さらに、本発明における電極２の形状は、前述した実施
例に限定されるものでないことは勿論である。
因に、本発明におけるワイヤボンディング方法における
電極の位置検出は、従来と同様にして実施される。すな
わち、ＩＴシカメラ１画像処理回路および画像処理ソフ
トウェア等によるパターン認識によって自動的に行われ
るのである。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、ワイヤボンディン
グ面にワイヤを接続する方法であって、予めワイヤボン
ディング面に導電部を除去することによりワイヤボンデ
ィング位置確認用の微小パターンを形成するので、ワイ
ヤボンディング時にパターン周囲の最適ワイヤボンディ
ング面にワイヤを確実に接続することができる。したが
って、ワイヤボンディング面に対するワイヤ３の接続面
積を広くすることができるから、その接続強度を高める
ことができると共に、２つの電極２間の短絡発生を防止
することができ、ワイヤボンディング上の信頼性を高め
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係るワイヤボンディング方法を説明す
るための平面図、第２図および第３図は同じく本発明に
おけるワイヤボンディング方法の使用例を示す平面図、
第４図および第５図は従来のワイヤボンディング方法を
説明するための平面図である。 ２・・・・電極、３・・・・ワイヤ、１１・・・・微小
パターン。 代　理　人　大岩増雄 第１　因 ２、窒イＬ ３；ワイヤ １１−￥ＣＸ＋小ハ０７−ン 第２　囚

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ワイヤボンディング面にワイヤを接続するワイヤボンデ
    ィング方法であって、予め前記ワイヤボンディング面に
    導電部を除去することによりワイヤボンディング位置確
    認用の微小パターンを形成することを特徴とするワイヤ
    ボンディング方法。
JP1129317A 1989-05-23 1989-05-23 ワイヤボンデイング方法 Pending JPH02307235A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1129317A JPH02307235A (ja) 1989-05-23 1989-05-23 ワイヤボンデイング方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1129317A JPH02307235A (ja) 1989-05-23 1989-05-23 ワイヤボンデイング方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02307235A true JPH02307235A (ja) 1990-12-20

Family

ID=15006589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1129317A Pending JPH02307235A (ja) 1989-05-23 1989-05-23 ワイヤボンデイング方法

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JP (1) JPH02307235A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0436237U (ja) * 1990-07-23 1992-03-26

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0436237U (ja) * 1990-07-23 1992-03-26

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