JPH0240611Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案は、真空吸着テーブルに係り、特に、ビ
デオデイスク、コンパクトデイスク、磁気デイス
ク等の原盤を真空吸引力を介してテーブル上面に
吸着保持し、前記原盤の傷、ひび割れ等の表面欠
陥を検出するための検査機に用いられる真空吸着
テーブルに関する。

従来技術 周知のごとく、ビデオデイスク、コンパクトデ
イスク、磁気デイスク等の原盤は、その板厚、中
心孔の径、外径寸法が異なる場合があり、従つ
て、上記種類の真空吸着テーブルにおいては、こ
れら各条件の異なる全ての原盤に適用できるもの
であることが要請される。

かかる要請を満足するべく案出されたものとし
て、例えば実開昭57−162041号公報記載の技術が
ある。以下、第１図、第２図を用いてかかる技術
の概略構成と、かかる技術中の真空吸着テーブル
における構成上の問題点について説明する。

第１図は、ビデオデイスク等の原盤（以下デイ
スクと称する）１の表面欠陥を検出するための検
査機の概略縦断面図である。図中２で示すのは、
真空吸着テーブル３を回転駆動する駆動装置４を
支持するベースで、検査機筐体５に支承してあ
る。真空吸着テーブル３は、テーブル軸６を介し
て支持筒７に回転自在に支承されるとともに、ベ
ース２下部に固装したモータ８を介して回転駆動
自在の構成となつている。真空吸着テーブル３の
軸心上方位置には、レーザー光源９からのレーザ
ー光を収束する対物レンズ（図示省略）を装備し
た光ヘツド１０が配設してあり、レーザー光源９
からのレーザ光を複数のミラー１１，１２，１３
を介して光ヘツド１０の光軸に導き、光ヘツド１
０から真空吸着テーブル３上のデイスク１表面に
光スポツトを照射しうるように設定構成してあ
る。そして、デイスク１表面からの反射光を光−
電気変換して信号の変化を検出し、デイスク１表
面の傷、ひび割れ等の検査をしうるようになつて
いる。

真空吸着テーブル３には、第２図にて示すごと
く、径の異なる複数のデイスク１ａ，１ｂをそれ
ぞれ安定的に吸着保持するための吸引孔（吸引通
路）１４，１５が設けてある。吸引孔１４は、小
径（例えば直径８インチ）のデイスク１ａ及び大
径（例えば直径12インチ）のデイスク１ｂのいず
れも吸着保持（吸引保持）しうるように半径方向
の距離l₁が設定されており、他方の吸引孔１５
は、大径のデイスク１ｂのみを吸着保持しうるよ
うに半径方向の距離l₂が設定されている。各吸引
孔１４，１５は、図示を省略している電磁弁を介
して真空ポンプ１６（第１図参照）と連通接続し
てあり、吸引孔１４，１５の吸引作用を適宜制御
しうるように制御構成してある。なお、１７で示
すのは真空センサである。

真空吸着テーブル３の上面には、各吸引孔１
４，１５と連通した小面積のデイスク吸引室１
８，１９が形設されており、デイスク１ａ，１ｂ
を密着的に吸着保持しうるようになつている。
又、真空吸着テーブル３の上面には、デイスク１
ａ，１ｂをテーブル３面から僅かに浮かせた状態
で均一高さに支持するとともに、吸引室１８，１
９を形成する弾性部材２０，２１が配設してあ
り、この弾性部材２０，２１は、テーブル３面に
形設した環状の溝２２，２３内に嵌装してある。
弾性部材２０は、デイスク１ａ，１ｂを、弾性部
材２１はデイスク１ｂのみを支持しうるように配
設構成してある。

上記構成の真空吸着テーブル３によれば、中心
孔の径、外径寸法の異なる任意のデイスク１ａ，
１ｂを吸着保持することができ、デイスク１ａ，
１ｂの表面欠陥の検出検査が行なえるものである
が、上記構成においては次のような問題点があつ
た。

(1) 弾性部材２０，２１は各環状溝２２，２３に
単に嵌装するだけの構成であつたため、ガラス
原盤であるデイスク１ａ，１ｂを検査後に持ち
上げようとすると、弾性部材２０，２１も一緒
にデイスク１ａ，１ｂに付着して各溝２２，２
３から離脱してしまうという問題が生じてお
り、そのために原盤であるデイスク１ａ，１ａ
の着脱操作の操作性が著しく低下するととも
に、作業者の心労も大きなものであつた。特
に、デイスク１ａ，１ｂの検査後に各吸引孔１
４，１５の吸引操作を停止制御せしめても、各
吸引孔，１４，１５、デイスク吸引室１８，１
９内が直ちに大気の状態にはならず、いわゆる
残留負圧が存在するために、弾性部材２０，２
１がデイスク１ａ，１ｂと一体的に取り出され
てしまうという事態が多く生じ、上記問題は作
業性の向上に対して極めて大きな問題であつ
た。

(2) 弾性部材２０，２１は各環状溝２２，２３内
に単に嵌装しただけの構成であるので、デイス
ク１ａ，１ｂの吸着時に各弾性部材２０，２１
と各溝２２，２３との間でリーク（洩れ）が発
生し、十分な吸着力が得られないという問題が
生じていた。特に、小径で薄いデイスクの場合
には、デイスク自体も吸引力により変形するこ
とから、上記問題は大きな問題点となつてい
た。

考案の目的 本考案は、上記従来技術の問題点に鑑みなされ
たものであつて、その目的は、原盤であるデイス
クの交換の際に環状溝内の弾性部材がデイスクと
一緒に離脱しないようにするとともに、弾性部材
と環状溝との間のリークが生じないようにした真
空吸着テーブルを提供することにある。

考案の概要 本考案は、テーブル面に任意の大きさのビデオ
デイスク、コンパクトデイスク、磁気デイスク等
の原盤を吸引保持するための吸引部を設けるとと
もに、前記吸引部と協働して原盤を均一高さに支
持する弾性部材をテーブル面上に凹設した異径の
複数の環状溝内に嵌装してなる吸引テーブルにお
いて、前記弾性部材と環状溝との間にシリコン材
を介在せしめて構成することにより、上記本考案
の目的を達成しようとするものである。

実施例 以下、第３図以降の図面を用いて本考案の実施
例について詳細に説明する。なお、以下の説明に
おいて、第１図、第２図にて示した部材と同様の
機能を有する部材については同一の符号を付して
その説明を省略する。

第３図において示すのは、本考案に係る真空吸
着テーブル２４の縦断正面図であり、便宜上右半
分だけを図示してある。図に示すごとく真空吸着
テーブル（以下、単にテーブルと称する）２４
は、テーブル本体３と、Ｏリングのごとき弾性部
材２５，２６，２７，２８とより構成してある。

テーブル本体３は、複数の本体構成部３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄとより構成してあり、各本体構成
部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ間にはパツキンのごと
きシール部材２９，３０，３１が介装してある。
なお、３２で示すのはテーブル締付けボルト、３
３で示すのは高さ調節ボルト、３４で示すのはガ
イドコマである。各吸引孔１４，１５は孔加工を
施すことなく、各本体構成部３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄ間で形設されるようになつている。

前記弾性部材２５，２６，２７，２８は、テー
ブル本体３のテーブル面上に凹設した異径の複数
の環状溝３５，３６，３７，３８にそれぞれ固装
してある。各弾性部材２５，２６，２７，２８と
それぞれが対応する溝３５，３６，３７，３８と
の固装構成は同一であるので、弾性部材２５と溝
３５との固装構成について第４図を用いて説明
し、他の固装構成についてはその説明を省略す
る。第４図にて示すごとく、弾性部材（Ｏリン
グ）２５は、テーブル本体構成部３ａ上面に設け
た凹状の環状溝３５内にその上部が適宜量ｈだけ
突出するように収納されるとともに、弾性部材２
５と環状溝３５との間の空隙にはシリコン材
（KE−45）が介装（充填）してある。即ち、弾性
部材２５は金属よりなるテーブル本体構成部３ａ
の環状溝３５に対して、シリコン材３９を介して
固定構成されるようになつている。

上記構成よりなる真空吸着テーブル２４によれ
ば、各弾性部材２５，２６，２７，２８が各溝３
５，３６，３７，３８に固定保持されるので、ビ
デオデイスク等のガラス原盤１ａの検査後に原盤
１ａを取り外す際に各弾性部材２５，２６，２
７，２８が各溝３５，３６，３７，３８から離脱
することがない。従つて、原盤の着脱操作を何ら
心労負担をかけることなく迅速に行なうことがで
き、原盤交換作業における作業性の向上と作業者
の心労が著しく軽減されるものである。さらに、
シリコン材３９は、弾性部材２５，２６，２７，
２８の固定機能を有するだけではなく、各弾性部
材２５，２６，２７，２８と溝３５，３６，３
７，３８との間のリークを防止する機能も発揮す
るので、真空吸着テーブル２４における吸引力が
低減することがなく、常に原盤１ａを安定的に保
持しうるものである。従つて、小径で薄い原盤を
保持する場合にもリークが生じないことから真空
度が維持でき、真空吸着テーブル２４としての目
的を十分に達成することができるものである。

第５図以降に本考案の他の実施例を示す。な
お、各実施例は、第４図と同様に弾性部材２５と
溝３５との固定構成例を示すものとし、他の弾性
部材２６，２７，２８と溝３６，３７，３８との
固定構成は同一であるのでその説明を省略する。

第５図は本考案の第２の実施例を示すものであ
り、本実施例は、環状溝３５の下面３５ａに連通
路４０を介して下面３５ａと平行のアリ溝部４１
を形設して構成し、これらアリ溝部４１、連通路
４０内にもシリコン材３９を充填して構成したも
のである。

上記構成によれば、前記第１実施例の作用、効
果に加えて、弾性部材２５とシリコン材３９とが
一体となつて溝３５から離脱するのを防止できる
効果がある。

第６図は本考案の第３の実施例を示すものであ
り、本実施例は、環状溝３５の下面を鋸状下面３
５ｂに形設し、シリコン材３９との接触面積を増
大せしめて構成したものである。

上記構成によれば、前記第１実施例の作用、効
果に加えて、シリコン材３９と溝下面３５ｂとの
接合を強固にすることができる効果があり、弾性
部材２５の離脱防止機能が向上する。

第７図は本考案の第４の実施例を示すものであ
る。本実施例は、第６図にて示すものとは逆に、
弾性部材２５の下面を鋸状下面２５ａに形設し、
シリコン材３９との接触面積を増大せしめて構成
したものである。又、本実施例に第６図にて示す
構成を併用してもよい。

上記構成によれば、前記第１実施例の作用、効
果に加えて、シリコン材３９と弾性部材２５との
接合を強固にでき、弾性部材２５の離脱防止機能
を向上できる。

第８図は本考案の第５の実施例を示すものであ
る。本実施例は、環状溝３５内にゴム４２をコー
テイングし、このゴム４２内にシリコン３９を介
して鋸状下面２５ａを有する弾性部材２５を固定
構成したものである。

上記構成によれば、第１実施例の作用、効果に
加えてＯリング等の弾性部材２５とゴム４２との
接合性がよいので、より強固な弾性部材２５の固
定保持が可能となるものである。

なお、上記各実施例のものを適宜組合せて構成
しうることは勿論であり、その他、溝３５の形状
を固定保持可能に形成したり、弾性部材２５、シ
リコン材３９の種類を接合最適素材に設定するこ
とにより、さらに強固な弾性部材２５の保持を可
能としうるものである。

考案の効果 以上のように本考案は、ビデオデイスク等の原
盤を支持するとともに原盤吸引部を形成する弾性
部材を、真空吸着テーブルにおける環状溝内にシ
リコン材を介して固定保持せしめたので、原盤交
換の際に弾性部材が溝から抜け出したり、真空吸
引力が低下したりすることがなく、表面傷検査に
おける作業性の向上と検査機における性能向上が
図れるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は真空吸着テーブルを装備した検査機の
概略縦断側面図、第２図はその要部の一部拡大説
明図、第３図は本考案に係るテーブルの一部の正
断面図、第４図は本考案の要部の拡大断面図、第
５図、第６図、第７図及び第８図は本考案の第
２、第３、第４及び第５の実施例の断面説明図で
ある。 ２５，２６，２７，２８……弾性部材（Ｏリン
グ）、３５，３６，３７，３８……環状溝、３９
……シリコン材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) テーブル面に任意の大きさのデイスク状記録
   媒体の原盤を吸引保持するための吸引部を設け
   るとともに、前記吸引部と協働して前記原盤を
   均一高さに支持する弾性部材を前記テーブル面
   上に凹設した環状溝内に嵌装してなる真空吸着
   テーブルにおいて、前記弾性部材と前記環状溝
   との間にシリコン材を介在せしめて構成したこ
   とを特徴とする真空吸着テーブル。 (2) 前記環状溝は、その下面部にシリコン材装填
   自在のアリ溝部を有して形設されていることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
   の真空吸着テーブル。 (3) 前記環状溝は、その下面が鋸状下面に形設さ
   れていることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第１項記載の真空吸着テーブル。 (4) 前記弾性部材は、前記シリコン材との接合面
   が鋸状に形設されていることを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の真空吸着テー
   ブル。 (5) 前記シリコン材は、ゴムコーテイングした環
   状溝と前記弾性部材との間に介在せしめられて
   いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
   第１項記載の真空吸着テーブル。