JPH0173924U - - Google Patents

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JPH0173924U
JPH0173924U JP1987170188U JP17018887U JPH0173924U JP H0173924 U JPH0173924 U JP H0173924U JP 1987170188 U JP1987170188 U JP 1987170188U JP 17018887 U JP17018887 U JP 17018887U JP H0173924 U JPH0173924 U JP H0173924U
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係るウエーハ搬送機の一例を
示す構成説明図、第２図は本考案ウエーハ搬送機
の一実施例における信号系統を示すブロツク図、
第３図ａ，ｂはそれぞれ本考案におけるウエーハ
チヤツク部の平面図及び側面図、第４図は本考案
ウエーハ搬送機によりウエーハ支持具のウエーハ
をカセツトへ移し替える場合の動作順序を示すフ
ローチヤート、第５図は従来のウエーハ搬送機に
よりウエーハ支持具のウエーハをカセツトへ移し
替える場合の動作順序を示すフローチヤートであ
る。 １…ウエーハ支持具上下動機構、２…ウエーハ
支持具、３…ウエーハ搬送部上下動機構、４…ウ
エーハ取出機構、５…ウエーハチヤツク部、６…
ウエーハ方向変換部、７…ウエーハ収納カセツト
、８…ウエーハ、９…熱処理炉、１０…温度セン
サ、１１…温度設定器、１２…比較回路、１３…
ウエーハ搬送機コントローラ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウエーハ８を保持したウエーハ支持具２と、こ
    の支持具２を熱処理炉９内に搬入出するウエーハ
    支持具上下動機構１と、ウエーハ８の入出が行わ
    れるウエーハ収納カセツト７と、このウエーハ収
    納カセツト７とウエーハ支持具２との間に配置さ
    れ、両者間でウエーハ８の移し替えを行う、ウエ
    ーハチヤツク部５及びウエーハ方向変換部６より
    なるウエーハ取出機構４と、このウエーハ取出機
    構４を上下動させるウエーハ搬送部上下動機構３
    とで構成されたウエーハ搬送機において、ウエー
    ハ８を取り出すチヤツク部５に設けられた温度セ
    ンサ１０と、この温度センサ１０により検出され
    た温度と温度設定器１１により設定された温度と
    を比較し、検出温度が設定温度以下になつたとき
    出力信号を発してウエーハ取出機構４を作動させ
    る比較回路１２とよりなるウエーハ搬送機。
JP1987170188U 1987-11-06 1987-11-06 ウェーハ搬送機 Expired - Lifetime JPH0648830Y2 (ja)

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JP1987170188U JPH0648830Y2 (ja) 1987-11-06 1987-11-06 ウェーハ搬送機

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JPH0173924U true JPH0173924U (ja) 1989-05-18
JPH0648830Y2 JPH0648830Y2 (ja) 1994-12-12

Family

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57211729A (en) * 1981-06-23 1982-12-25 Fujitsu Ltd Furnace for semiconductor heat treatment
JPS619839U (ja) * 1984-06-22 1986-01-21 真空理工株式会社 半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57211729A (en) * 1981-06-23 1982-12-25 Fujitsu Ltd Furnace for semiconductor heat treatment
JPS619839U (ja) * 1984-06-22 1986-01-21 真空理工株式会社 半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置

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Publication number Publication date
JPH0648830Y2 (ja) 1994-12-12

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