JPH0260227U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0260227U JPH0260227U JP13870088U JP13870088U JPH0260227U JP H0260227 U JPH0260227 U JP H0260227U JP 13870088 U JP13870088 U JP 13870088U JP 13870088 U JP13870088 U JP 13870088U JP H0260227 U JPH0260227 U JP H0260227U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflected light
- shutter
- light intensity
- exposure apparatus
- projection exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
Description
第１図は本考案による縮小投影露光装置の一実
施例を示す概念図、第２図は本考案の他の実施例
における縮小レンズとホトレジストとの配置関係
を示す図、第３図は従来の縮小投影露光装置の一
例を示す概念図、第４図はホトレジストの膜厚に
よる反射率の変化態様を示す図である。 １……光源、２……シヤツター、３……レチク
ル、４……縮小レンズ、５……ウエハー、６……
ステージチヤツク、９……ホトダイオード（反射
光強度測定手段）、１０……反射光、１１……シ
ヤツター開閉時間制御手段。
施例を示す概念図、第２図は本考案の他の実施例
における縮小レンズとホトレジストとの配置関係
を示す図、第３図は従来の縮小投影露光装置の一
例を示す概念図、第４図はホトレジストの膜厚に
よる反射率の変化態様を示す図である。 １……光源、２……シヤツター、３……レチク
ル、４……縮小レンズ、５……ウエハー、６……
ステージチヤツク、９……ホトダイオード（反射
光強度測定手段）、１０……反射光、１１……シ
ヤツター開閉時間制御手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 光源の前方にシヤツターを設け、ステツプアン
ドリピート方式でウエハーを露光するように成さ
れた縮小投影露光装置において、 上記ウエハーからの反射光の強度を測定する反
射光強度測定手段と、該反射光強度測定手段に得
られる反射光強度測定信号に基づいて上記シヤツ
ターの開閉時間を制御するシヤツター開閉時間制
御手段とを設けたことを特徴とする縮小投影露光
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13870088U JPH0260227U (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13870088U JPH0260227U (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0260227U true JPH0260227U (ja) | 1990-05-02 |
Family
ID=31401283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13870088U Pending JPH0260227U (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0260227U (ja) |
-
1988
- 1988-10-25 JP JP13870088U patent/JPH0260227U/ja active Pending
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