JPS6384934U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6384934U JPS6384934U JP17924486U JP17924486U JPS6384934U JP S6384934 U JPS6384934 U JP S6384934U JP 17924486 U JP17924486 U JP 17924486U JP 17924486 U JP17924486 U JP 17924486U JP S6384934 U JPS6384934 U JP S6384934U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- reflected light
- exposure
- base substrate
- monitor section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
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Description
第１図は本考案の一実施例を示す概略図、第２
図及び第３図はそれぞれ他の実施例において反射
光強度をモニタする光学系の部分を示す概略図、
第４図はマスクの欠陥検査手段を備えた縮小投影
露光装置を示す概略図である。 ２……光源、４……マスク、６……半導体ウエ
ハ、８……ホトレジスト、１０，１２……レンズ
系、１４……シヤツタ、１６……シヤツタコント
ロール部、２０……ハーフミラー、２２……光セ
ンサ、２４……光フアイバ。
図及び第３図はそれぞれ他の実施例において反射
光強度をモニタする光学系の部分を示す概略図、
第４図はマスクの欠陥検査手段を備えた縮小投影
露光装置を示す概略図である。 ２……光源、４……マスク、６……半導体ウエ
ハ、８……ホトレジスト、１０，１２……レンズ
系、１４……シヤツタ、１６……シヤツタコント
ロール部、２０……ハーフミラー、２２……光セ
ンサ、２４……光フアイバ。
Claims (1)
- 光源からの光をマスクを通して下地基板上の感
光材料に照射して露光を行なう光学系に、シヤツ
タコントロール部により開閉動作が制御されて露
光時間を制御することのできるシヤツタを備えた
露光装置において、前記下地基板からの反射光強
度を検出する反射光モニタ部を設け、この反射光
モニタ部の検出信号を前記シヤツタコントロール
部に入力し、前記シヤツタの開時間を調整するこ
とを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17924486U JPS6384934U (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17924486U JPS6384934U (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6384934U true JPS6384934U (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=31122134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17924486U Pending JPS6384934U (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6384934U (ja) |
-
1986
- 1986-11-20 JP JP17924486U patent/JPS6384934U/ja active Pending
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