JPH0260241U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0260241U JPH0260241U JP1988139435U JP13943588U JPH0260241U JP H0260241 U JPH0260241 U JP H0260241U JP 1988139435 U JP1988139435 U JP 1988139435U JP 13943588 U JP13943588 U JP 13943588U JP H0260241 U JPH0260241 U JP H0260241U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- wire bonding
- pattern recognition
- terminals
- ball forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01551—Changing the shapes of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07511—Treating the bonding area before connecting, e.g. by applying flux or cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07521—Aligning
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/536—Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
第1図a〜eは本発明によるワイヤーボンデイ
ング装置の作動順序を示す断面図。第2図は従来
及び本発明のワイヤーボンデイングに共通な、電
気ヒーターを内蔵した支持治具の断面図。第3図
は本発明及び従来技術に共通な、スパークにより
形成された金球の温度の、スパーク終了後の経時
変化を、横軸18を時間軸、たて軸19を温度軸
として示す図。第4図は従来方式と本発明による
ワイヤーボンデイング装置を使用して圧着したチ
ツプ上の電極と金球の接着強度を、たて軸24を
接着強度にとつて比較した図。 1……第1のチツプ、2……電極、3,10,
11……端子、4……キヤピラリ、5……テイル
、6……第2のチツプ、7……パターン認識装置
、8,9……第2のチツプ上の電極、12……ト
ーチ電極、13……金線、14……スパーク。
ング装置の作動順序を示す断面図。第2図は従来
及び本発明のワイヤーボンデイングに共通な、電
気ヒーターを内蔵した支持治具の断面図。第3図
は本発明及び従来技術に共通な、スパークにより
形成された金球の温度の、スパーク終了後の経時
変化を、横軸18を時間軸、たて軸19を温度軸
として示す図。第4図は従来方式と本発明による
ワイヤーボンデイング装置を使用して圧着したチ
ツプ上の電極と金球の接着強度を、たて軸24を
接着強度にとつて比較した図。 1……第1のチツプ、2……電極、3,10,
11……端子、4……キヤピラリ、5……テイル
、6……第2のチツプ、7……パターン認識装置
、8,9……第2のチツプ上の電極、12……ト
ーチ電極、13……金線、14……スパーク。
Claims (1)
- 半導体集積装置の組立加工中に使用されるワイ
ヤーボンデイング装置において、該装置は少なく
ともワイヤー先端を溶融させて球状とする為のボ
ール形成機構と、光学的手段によりボンデイング
されるべき端子の座標を検出する為のパターン認
識機構と、半導体素子上の端子と容器内の端子と
をワイヤーで接続する為の接続機構とを有し、前
記ボール形成機構は、前記パターン認識機構の作
動完了後にして、前記接続機構の作動開始前に作
動するよう構成された事を特徴とするワイヤーボ
ンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988139435U JPH0260241U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988139435U JPH0260241U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0260241U true JPH0260241U (ja) | 1990-05-02 |
Family
ID=31402691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988139435U Pending JPH0260241U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0260241U (ja) |
-
1988
- 1988-10-26 JP JP1988139435U patent/JPH0260241U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0260241U (ja) | ||
| US6467677B1 (en) | Method and contact point for producing an electrical connection | |
| JPH0695519B2 (ja) | バンプ形成方法 | |
| JPS62152142A (ja) | バンプ形成方法 | |
| JPH0625958Y2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH01297834A (ja) | ワイヤボンデイング方法 | |
| JP2846095B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH02132949U (ja) | ||
| JP2001217274A (ja) | 金属バンプの形成方法 | |
| JPH039525A (ja) | バンプ形成方法及びその形成装置 | |
| JP2001116713A (ja) | ガスセンサ及びその製造方法 | |
| JPS5827329A (ja) | ワイヤ−ボンデイング方法 | |
| JPH0310670Y2 (ja) | ||
| JP3026303B2 (ja) | 半導体パッケージのワイヤボンディング方法及びそのワイヤボンディング装置 | |
| JPS61140534U (ja) | ||
| JPS6235593Y2 (ja) | ||
| JPH01104723U (ja) | ||
| JPH0286132A (ja) | バンプ電極の形成方法 | |
| JPH04256330A (ja) | ワイヤーボンディング方法及びワイヤーボンディング装置 | |
| JPS63111635A (ja) | 半導体装置用ワイヤボンデイング装置 | |
| JPS63252435A (ja) | 金属細線接続装置 | |
| JPH0689928A (ja) | ワイヤボンディングにおけるボール圧着方法 | |
| JPH0531230U (ja) | キヤピラリー | |
| JP2000058582A (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
| JPH03116662U (ja) |