JPH0270614A - コンベアオーブン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はコンベアオーブンに関し、特に電子機器に使用
する回路基板や液晶表示板、プリンタヘッドなどを製造
する際に用いられる液状材料塗布装置に付属するコンベ
アオーブンに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のコンベアオーブンは、回路基板や液晶表
示板などの製造工程において、薄膜配線の形成に使用す
るフォトレジスト材料や眉間絶縁膜の形成に使用する絶
縁材料を被加工基板に塗布した後の乾燥に用いられ、温
風循環オーブンとコンベアオーブンとがある。

しかしながら、温風循環オーブンは連続処理ができず、
大量生産にはコンベアオーブンが通常用いられている。

従来のコンベアオーブンは、被加工基板を乾燥するため
のオーブン部と、オーブン部内を搬送される搬送ベルト
とを備え、搬送ベルト上に所定の間隔で設けられた複数
のステージ上に被加工基板を載置して、乾燥を行ってい
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のコンベアオーブンは、ステージ上の被加
工基板が同一方向を向いたままでオーブン部内を搬送さ
れるので、熱せられた雰囲気による対流や、乱れた気流
の影響により、第３図に示すように、基板７上の液状材
料８ａが対流による気流１０で搬送ベルトの移動方向Ｂ
に対して反対側−に吹寄せられ乾燥後に均一な膜圧が得
られないという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のコンベアオーブンは、被加工物を乾燥させるオ
ーブン部と、該オーブン部内を搬送される搬送ベルトと
、該搬送ベルト上に所定間隔で設けられ上面に前記被加
工物を載置する複数のステージと、該ステージを回転さ
せる回転機構とを含んで構成される。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の一部切欠き平面図、第２図
は第１図のステージのＡ−Ａ’線断面図である。

第１図及び第２図に示すように、被加工基板７上の液状
材料８を乾燥させるオーブン部１と、オーブン部ｌ内を
移動方向Ｂへ搬送される搬送ベルト２と、搬送ベルト２
上に所定の間隔で設けられ上面に被加工基板７を載置す
る複数のステージ３と、ステージ３を回転させる回転軸
５とモータ６とから成る回転機＄１１４とを含む。

第１図において、液状材料８を塗布された被加工基板７
はステージ３に乗せられる。又、搬送ベルト２はベルト
駆動機構９により移動方向Ｂに搬送される。

ステージ３は、第２図に示すように、回転機構４のモー
タ６の回転により、第１図に示す回転方向Ｃへ回転しな
がらオーブン部ｌ内を移動する。

従って、被加工基板７上の液状材料８へのオーブン部ｌ
内の対流や気流の影響を分散できるため、液状材料８の
乾燥後に生成される膜厚が均一化される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、被加工基板に塗布された
液状材料の乾燥後の膜厚を均一にできるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の一部切欠き平面図、第２図
は第１図のステージのＡ−Ａ’線断面図、第３図は従来
のコンベアオーブンの一例を用いて生成された被加工基
板の断面図である。 １・・・オーブン部、２・・・搬送ベルト、３・・・ス
テージ、４・・・回転機構、５・・・回転軸、６・・・
モータ、７・・・被加工基板、８，８．・・・　液状材
料、９・・・ベルト駆動機構。 第　１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被加工物を乾燥させるオーブン部と、該オーブン部内を
   搬送される搬送ベルトと、該搬送ベルト上に所定間隔で
   設けられ上面に前記被加工物を載置する複数のステージ
   と、該ステージを回転させる回転機構とを含むことを特
   徴とするコンベアオーブン。