JPH0271415A - 薄膜ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜ヘッドの製造方法Info
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- JPH0271415A JPH0271415A JP22282688A JP22282688A JPH0271415A JP H0271415 A JPH0271415 A JP H0271415A JP 22282688 A JP22282688 A JP 22282688A JP 22282688 A JP22282688 A JP 22282688A JP H0271415 A JPH0271415 A JP H0271415A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薄膜ヘッドの製造方法に関し、特に精密にポー
ルハイドを制御する製造方法に関する。
ルハイドを制御する製造方法に関する。
一般的な薄膜ヘッドは第２図に示すように基板６の上に
下部磁性体ポール７、非磁性ギヤラフ８、コイル９．絶
縁層１０．１１及び上部磁性体ポール１２を積層して作
られる。図において磁性媒体との対向面２から絶縁層１
０または１１の端部までの距離りはポールハイドと呼ば
れ、薄膜ヘッドの効率を左右する重要なパラメータのひ
とつである。ポールハイドＬが大きすぎると下部磁性体
ポール７と上部磁性体ポール１２との間でもれる磁束が
増加し効率が低下する。このためポールハイドは極力小
さい方が好ましいがポールハイドが０よりも小さくなる
と実効的に非磁性ギャップ８が大きくなり分解能が低下
する。従ってポールハイドＬを限りなく０に近い値にす
ることが製造上の要点であり、最近の高密度化に伴いポ
ールハイドは０５±０．５μｍ程度が要求されている。
下部磁性体ポール７、非磁性ギヤラフ８、コイル９．絶
縁層１０．１１及び上部磁性体ポール１２を積層して作
られる。図において磁性媒体との対向面２から絶縁層１
０または１１の端部までの距離りはポールハイドと呼ば
れ、薄膜ヘッドの効率を左右する重要なパラメータのひ
とつである。ポールハイドＬが大きすぎると下部磁性体
ポール７と上部磁性体ポール１２との間でもれる磁束が
増加し効率が低下する。このためポールハイドは極力小
さい方が好ましいがポールハイドが０よりも小さくなる
と実効的に非磁性ギャップ８が大きくなり分解能が低下
する。従ってポールハイドＬを限りなく０に近い値にす
ることが製造上の要点であり、最近の高密度化に伴いポ
ールハイドは０５±０．５μｍ程度が要求されている。
このようなポールハイドを得るための従来の製遣方法は
複数個の薄膜ヘッド素子を有する薄膜ヘッドウェハーか
ら切断して得られたヘッド列１を単一材料（例えばステ
ンレス）で作られた研磨キャリア１３に熱溶融性接着剤
１４で仮固定した後媒体対向面２を研磨して製造してい
た。
複数個の薄膜ヘッド素子を有する薄膜ヘッドウェハーか
ら切断して得られたヘッド列１を単一材料（例えばステ
ンレス）で作られた研磨キャリア１３に熱溶融性接着剤
１４で仮固定した後媒体対向面２を研磨して製造してい
た。
上述した従来の製造方法ではヘッド列１を研磨キャリア
１３に熱溶融性接着剤４で仮固定する際加熱状態では第
３図（ａ）のようにヘッド列１には反りがないが常温ま
で冷却していくと、接着剤４が両端から硬化を始めるこ
とにより完全硬化後には第３図（ｂ）のようにヘッド列
１０両端が上方に持ち上げられて反りが生じる。この状
態にて研磨加工を行なうとヘッド列ｌの両端と中央のボ
ールハイドに大きな差（１〜１．５μ）が生じる欠点が
ある。
１３に熱溶融性接着剤４で仮固定する際加熱状態では第
３図（ａ）のようにヘッド列１には反りがないが常温ま
で冷却していくと、接着剤４が両端から硬化を始めるこ
とにより完全硬化後には第３図（ｂ）のようにヘッド列
１０両端が上方に持ち上げられて反りが生じる。この状
態にて研磨加工を行なうとヘッド列ｌの両端と中央のボ
ールハイドに大きな差（１〜１．５μ）が生じる欠点が
ある。
本発明の薄膜ヘッドの製造方法は、複数個の薄膜ヘッド
素子を有する薄膜ヘッドウェハーを短冊状に切断して得
られるヘッド列を研磨する為の仮接着工程において、前
記ヘッド列を仮接着するラップキャリアの上部と下部を
熱膨張率の異る材料で構成し、ヘッド列とラップキャリ
アを熱溶融性接着剤で仮接着する時ラップキャリアのヘ
ット列と接する面が加熱時には湾曲し、冷却時には平面
に戻るようにしたことを特徴とする。
素子を有する薄膜ヘッドウェハーを短冊状に切断して得
られるヘッド列を研磨する為の仮接着工程において、前
記ヘッド列を仮接着するラップキャリアの上部と下部を
熱膨張率の異る材料で構成し、ヘッド列とラップキャリ
アを熱溶融性接着剤で仮接着する時ラップキャリアのヘ
ット列と接する面が加熱時には湾曲し、冷却時には平面
に戻るようにしたことを特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）及び第１図（ｂ）は本発明の一実施例の正
面図である。ヘッド列１は媒体対向面２を上にしてラッ
プキャリア３に熱溶融性接着剤４によって固定する。こ
こでラップキャリア３の上部３ａを下部３ｂよりも熱膨
張率の小さい材料、例えば上部３ａが鉄て下部３ｂが黄
銅のような組み合わせで構成する。この接着作業はラッ
プキャリア３をホットプレート等に置いて加熱（概ね１
００〜１２０℃）して行なうが、この時ラップキャリア
３の上部３ａと下部３ｂの熱膨張率のちがいにより第１
図（ａ）のようにラップキャリア３の両端が上方に反る
。その後常温まで冷却していくと、熱溶融性接着剤４は
従来技術で説明したように両端から硬化が始まりこれに
伴ってヘッド列１は上方に反る力が働くが、同時にラッ
プキャリア３は反りが戻る方向（下方）に力が働き最終
的には第１図（ｂ）のようにラップキャリア３．ヘッド
列１ともに反りのない状態にて熱溶融性接着剤４の硬化
が完了する。
面図である。ヘッド列１は媒体対向面２を上にしてラッ
プキャリア３に熱溶融性接着剤４によって固定する。こ
こでラップキャリア３の上部３ａを下部３ｂよりも熱膨
張率の小さい材料、例えば上部３ａが鉄て下部３ｂが黄
銅のような組み合わせで構成する。この接着作業はラッ
プキャリア３をホットプレート等に置いて加熱（概ね１
００〜１２０℃）して行なうが、この時ラップキャリア
３の上部３ａと下部３ｂの熱膨張率のちがいにより第１
図（ａ）のようにラップキャリア３の両端が上方に反る
。その後常温まで冷却していくと、熱溶融性接着剤４は
従来技術で説明したように両端から硬化が始まりこれに
伴ってヘッド列１は上方に反る力が働くが、同時にラッ
プキャリア３は反りが戻る方向（下方）に力が働き最終
的には第１図（ｂ）のようにラップキャリア３．ヘッド
列１ともに反りのない状態にて熱溶融性接着剤４の硬化
が完了する。
この状態にてヘッド列１の媒体対向面１ａを研磨加工す
ればヘッド列１の両端、中央とも均一なボールハイドを
得ることが出来る。
ればヘッド列１の両端、中央とも均一なボールハイドを
得ることが出来る。
以上説明したように本発明はヘッド列を研磨加工する時
上部と下部を異種材料で構成したラップキャリアに熱溶
融性接着剤で仮固定して行なうことにより、へ、ド列の
接着後の反りを抑え、研磨後のボールハイドの差を極め
て小さくすることが可能であり、必要とされるボールハ
イド精度を歩留りよく安定に得られる効果がある。
上部と下部を異種材料で構成したラップキャリアに熱溶
融性接着剤で仮固定して行なうことにより、へ、ド列の
接着後の反りを抑え、研磨後のボールハイドの差を極め
て小さくすることが可能であり、必要とされるボールハ
イド精度を歩留りよく安定に得られる効果がある。
第１図（ａｌ （ｂ）は本発明の詳細な説明する正面図
、第２図は一般的な薄膜ヘッドの構成を説明する第１図
（ｂ）のＡ−Ａ′線拡大断面図、第３図は従来の製造方
法を説明する正面図である。 ■・・・・ヘッド列、２・・・媒体対向面、３ ・・・
ラップキャリア、４・・・・接着剤。 代理人 弁理士 内 原 晋 ｙ′１図 Δ−Δ′線断面
、第２図は一般的な薄膜ヘッドの構成を説明する第１図
（ｂ）のＡ−Ａ′線拡大断面図、第３図は従来の製造方
法を説明する正面図である。 ■・・・・ヘッド列、２・・・媒体対向面、３ ・・・
ラップキャリア、４・・・・接着剤。 代理人 弁理士 内 原 晋 ｙ′１図 Δ−Δ′線断面
Claims (1)
- 複数個の薄膜ヘッド素子を有する薄膜ヘッドウェハーを
短冊状に切断して得られる列状に薄膜ヘッド素子を有す
るブロック（以下ヘッド列と云う）を研磨する為の仮接
着工程において、前記ヘッド列を仮接着するラップキャ
リアの上部と下部を熱膨張率の異る材料で構成し、前記
ヘッド列と前記ラップキャリアを熱溶融性接着剤で仮接
着する時前記ラップキャリアの前記ヘッド列と接する面
が加熱時には湾曲し、冷却時には平面に戻るようにした
ことを特徴とする薄膜ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22282688A JPH0271415A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 薄膜ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22282688A JPH0271415A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 薄膜ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0271415A true JPH0271415A (ja) | 1990-03-12 |
Family
ID=16788515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22282688A Pending JPH0271415A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 薄膜ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0271415A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5624298A (en) * | 1994-02-17 | 1997-04-29 | Tdk Corporation | Jig for headpiece aggregate machining and method for manufacturing a thin film magnetic head |
-
1988
- 1988-09-05 JP JP22282688A patent/JPH0271415A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5624298A (en) * | 1994-02-17 | 1997-04-29 | Tdk Corporation | Jig for headpiece aggregate machining and method for manufacturing a thin film magnetic head |
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