JPH027208A - 磁気ヘッドチップの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＶＴＲ等に用いられる磁気ヘソ“トチツブの
製造方法に関する。

〔従来の技術〕

この種の磁気ヘッドチップは一般に次のような方法で製
造している。まず、−組のフェライト等の強磁性体より
なるコアブロックのトラック溝にガラスを充填し、盛り
上がっている過剰のガラスを粗削りして除去した後、双
方のコアブロックの接合予定面を鏡面研磨する。次いで
、いずれか−方又は双方のコアブロックの接合予定面に
ギャップスペーサ膜を形成し、双方のコアブロックの接
合予定面を突合わせた状態で加熱によりガラスを融着し
て双方のコアブロックを接合する。そして、このコアブ
ロック接合体のギャップを有するヘッド頂頭面を曲面研
磨し、各トラック溝のところでコアの板厚ピッチ間隔に
スライスして磁気ヘッドチップを製造している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記方法で磁気ヘッドチップを製造する
場合は、第２図（イ）に示すように、コアブロック１の
トラック溝２にガラス３を充填する場合どうしても過剰
ぎみに盛り上げるので、コアブロック１とガラス３の熱
膨張率の差によってコアブロック１に歪みが加わり、反
りが発生する。

そのため、過剰のガラス３を粗削りしてからコアブロッ
ク１を研磨装置の画盤に接着固定し、コアブロック１の
接合予定面４を一点鎖線Ａで示すように平滑に鏡面研磨
しても、コアブロック１を画盤から剥し取ると、同図（
ロ）のようにコアブロック１の反りが戻り、逆に接合予
定面４が彎曲することになる。従って、ギャップスペー
サ膜形成後、双方のコアブロックの接合予定面を互いに
突合わせて接合しても、接合予定面４が彎曲しているた
め均一な寸法のギャップを形成することができないとい
う問題があった。

それ故、上記の製造方法では、コアブロック１の反りを
小さくするため、薄（でも数ｍｍ以上の厚みＴを有する
コアブロック１を使用する必要があり、これが磁気ヘッ
ドチップの小型化を妨げる一つの原因となっている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は前記の問題を解決すべくなされたもので、双方
のコアブロックのトラック溝にガラスを充填する工程と
、上記コアブロックの接合予定面と反対側面に反り防止
板を接着する工程と、反り防止板が接着されガラスが充
填された双方のコアブロックの接合予定面を平滑に研磨
する工程と、研磨された少なくとも一方のコアブロック
の接合予定面にギャップスペーサ膜を形成する工程と、
双方のコアブロックの接合予定面を突合わせて加熱によ
り接合する工程と、得られたコアブロック接合体から反
り防止板を剥離する工程を含むことを特徴としている。

〔作　用〕

このようにコアブロックの接合予定面と反対側面に反り
防止板を接着してからコア接合面を研磨すると、コアブ
ロックのガラスとの熱膨張率差による反りの発生が反り
防止板で抑制され、実質的にコアブロックに反りを生じ
なくなる。すなわち、この反り防止板を接着したままコ
アプロ・ツクの接合予定面を平滑に研磨し、少なくとも
一方のコアブロックの接合予定面にギャップスペーサ膜
を形成し、双方のコアブロックの接合予定面を突合わせ
て加熱により接合すると、接合が完了するまで反り防止
板によってコアブロックが反りのない状態に維持され、
接合予定面が研磨終了時の平坦度に保たれることになる
。従って、コアブロック接合体に形成されるギャップは
均一な寸法となる。

また、コアブロックは厚みに関係なく反り防止板によっ
て反りのない状態に維持されるので、加工限界寸法に近
い薄いコアブロックの使用も可能となる。

〔実施例〕

以下、図面を参照しながら本発明の実施例を詳述する。

第１図（イ）〜（チ）は本発明の一実施例に係る磁気へ
ソドチソプの製造方法を工程順に示したものである。

まず、第１図（イ）に示すように、双方のコアブロック
ｌａ、ｌｂはフェライト等の強磁性体よりなるもので、
接合予定面４ａ、４ｂからヘッド面６ａ、６ｂにかげて
トラック溝２ａ、２ｂが所定間隔で形成されている。そ
して、一方のコアブロック１ａの接合予定面４ａには、
ガラスを充填するための■溝７ａが、他方のコアブロッ
ク１ｂの接合予定面４ｂには、磁気ヘッドチップの巻線
通し孔を設けるための凹溝８ｂが、それぞれ長手方向に
形成されている。

次に、第１図（ロ）に示すように、コアブロック１ａを
反り防止板５ａに接合予定面４ａと反対側面を接着する
。そしてコアブロック１ｂも同様に接着する。ここで、
反り防止板５ａ、５ｂ（後述の第１図（ホ）で示す）は
、耐熱性に優れ且つ剛性が極めて高い厚肉のセラミック
板等より成るもので、特にコアブロックｌａ、ｌｂと同
−又は近似の熱膨張係数を有するものが好適に使用され
る。

反り防止板５ａ、５ｂを接着する接着剤としては、後の
コアブロック接合工程における加熱温度（約７００℃）
で容易に熱劣化する無機質接着剤、使用される。

尚、第１図（ロ）に示すように、溶融したガラス３をコ
アブロック１ａのトラック溝２ａに盛上げた状態で充填
し、同時にＶ溝７ａにも充填する。

ガラス３の充填されたコアブロック１ａは、熱膨張率が
ガラス３と異なるためガラス３の冷却固化に伴って反り
を生じようとするが、このコアブロック１ａは剛性の高
い反り防止板５ａに接着固定されているので、従来のよ
うに反りを生じることはない。同様にして、他方のコア
ブロック１ｂのトラック溝２ｂにもガラス３を充填する
。

ガラス充填工程、及び反り防止板接着工程が終わると、
盛上がった余分なガラス３を粗削りし、更に第１図（ハ
）に示すように反り防止板、５　ａを研磨装置の画盤９
に固定して、コアブロック１ａの接合予定面４ａを平滑
に鏡面研磨する。この場合、反り防止板５ａの画盤９へ
の固定は、前記と同様の無機質接着剤を用いて接着する
方法、又は止具で機械的に止着する方法の何れを採用し
てもよい。研磨終了後、反り防止板５ａを画盤９から剥
離し、コアブロック１ａと反り防止板５ａを接着一体の
まま取出す。従って、コアブロック１ａに反りが発生し
ないので、接合予定面４ａは鏡面研磨された通りの平坦
度（平滑度）を維持する。

同様にして、他方のコアブロック１ｂの接合予定面４ｂ
も平滑に鏡面研磨する。

研磨工程が終わると、第１図（ニ）に示すように厚さ０
．３〜０．５μｍ程度のギャップスペーサ膜１０をコア
ブロック１ａの接合予定面４ａの上部に形成する。この
ギャップスペーサ膜１０の形成は、例えばアルミナ等の
非磁性材料をスパッタリングする等の方法で均一に行う
ことができる。

尚、第１図（ニ）ではギャップスペーサ膜１０を一方の
コアブロック１ａの接合予定面４ａに形成した場合を示
しているが、他方のコアブロック１ｂの接合予定面４ｂ
に形成してもよく、また双方のコアブロックｌａ、ｌｂ
の接合予定面４ａ、４ｂに形成してもよい。

ギャップスペーサ膜形成工程が終わると、第１図（ホ）
に示すように、双方のコアブロックｌａ。

１ｂの接合予定面４ａ、４ｂを突合わせた状態で挟圧治
具１１にセットして両側から挾圧し、加熱によりトラッ
ク溝２ａ、’ｌｂ内のガラス３及びＶ＠７ａ内のガラス
３を軟化溶融させて、双方のコアブロックｌａ、ｌｂを
一体に接合する。このように接合すると、双方のコアブ
ロックｌａ、ｌｂの接合予定面４ａ、４ｂが前述のごと
く鏡面研磨された通りの平坦度を有しているため、ギャ
ップスペーサ膜１０を介して均一な寸法のギャップ１２
を形成することができる。

コアブロック接合工程が終わると、第１図（へ）に示す
ようにコアブロック接合体１３から反り防止板５ａ、５
ｂを剥離する。この剥離は、無機質接着剤がコアブロッ
ク接合工程での加熱によって熱劣化しているので、容易
に行うことができる。

反り防止板剥離工程が終わると、第１図（ト）に示すよ
うに、コアブロック接合体１３のギャップ１２を有する
ヘッド面１４を曲面研磨し、更に第１図（チ）に示すよ
うに、コアブロック接合体１３を各トラック溝２ａ、２
ｂのところで各切断＆ｉＢに沿って所定のアジマス角を
もってスライスすることにより、磁気ヘッドチップを得
る。

かくして得られる磁気ヘッドチップは、いずれもギャッ
プの寸法がほぼ一定であり、従来の製造方法で得られる
磁気ヘッドチップのようにギャップの寸法に大きなバラ
ツキを生じることはない。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明の磁気ヘッドチ
ップの製造方法によれば、コアブロックとガラスとの熱
膨張率差に起因するコアブロックの反りが反り防止板で
抑制され、接合予定面が研磨された通りの平坦度を保っ
たまま接合されるので、均一なギャップを形成すること
が可能となり、また、コアブロックの反りがなくなると
、加工限界寸法に近い薄いコアブロックを使用して小型
の磁気ヘッドチップを製造する可能性も大きくなるとい
った効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図（イ）〜（チ）はそれぞれ本発明の−実施例に係
る磁気ヘンドチソブの製造方法を工程順に示した説明図
、第２図（イ）（ロ）はそれぞれ従来の製造方法の問題
点を説明するだめの説明図である。 ｌａ、ｌｂ・・・コアブロック、 ２ａ、　　２ｂ・・・トラック溝、 ３・・・ガラス、 ４ａ、４ｂ・・・接合予定面、 ５ａ、５ｂ・・・反り防止板、 １０・・・ギャップスペーサ膜、 １３・・・コアブロック接合体。 （イ） 手続補正書（方式） 補正の内容 明細書第１頁第２０行目の 野］」を、 「３、発明の詳細な説明 ［ ［産業上の利用分 （特許庁審査官 １、事件の表示 昭和６２年竹 箒２３８６８２号 と訂正する。 ２、発明の名称 磁気ヘッドチップの製造方法 補正をする者 事件との関係　特許出願人 〒５２０滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号関西日本電気
株式会社 出願明細書の「発明の詳細な説明」の欄。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）双方のコアブロックのトラック溝にガラスを充填
   する工程と、 上記コアブロックの接合予定面と反対側面に反り防止板
   を接着する工程と、 反り防止板が接着されガラスが充填された双方のコアブ
   ロックの接合予定面を平滑に研磨する工程と、 研磨された少なくとも一方のコアブロックの接合予定面
   にギャップスペーサ膜を形成する工程と、双方のコアブ
   ロックの接合予定面を突合わせて加熱により接合する工
   程と、 得られたコアブロック接合体から反り防止板を剥離する
   工程、 を含むことを特徴とする磁気ヘッドチップの製造方法。