JPH0273041U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0273041U JPH0273041U JP15385988U JP15385988U JPH0273041U JP H0273041 U JPH0273041 U JP H0273041U JP 15385988 U JP15385988 U JP 15385988U JP 15385988 U JP15385988 U JP 15385988U JP H0273041 U JPH0273041 U JP H0273041U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- source chamber
- plasma
- ion source
- ion
- coaxial line
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に係るイオン処理装置
の縦断面図。第２図は軸方向のモード数が１であ
るＴＥ１１１モードの場合のアンテナの位置を示
す斜視図。第３図は軸方向のモード数が２である
ＴＥ１１２モードの場合のアンテナの位置を示す
斜視図。第４図は軸方向のモード数が３であるＴ
Ｅ１１３モードの場合のアンテナの位置を示す斜
視図。第５図はＨ結合、Ｅ結合におけるＴＥ１１
モードの電気力線、磁力線の分布図。第６図は従
来例にかかるイオン処理装置の縦断面図。 １……真空チヤンバ、２……コイル、３……イ
オン源チヤンバ、４……導波管、５……マイクロ
波発振器、６……ガス導入系、７……ゲートバル
ブ、８……真空ポンプ、９……引出電極系、１０
……磁力線、１１……試料台、１２……試料、１
３……駆動装置、１４……同軸導波管変換器、１
５……同軸線、１６……アンテナ、２０……誘電
体窓。
の縦断面図。第２図は軸方向のモード数が１であ
るＴＥ１１１モードの場合のアンテナの位置を示
す斜視図。第３図は軸方向のモード数が２である
ＴＥ１１２モードの場合のアンテナの位置を示す
斜視図。第４図は軸方向のモード数が３であるＴ
Ｅ１１３モードの場合のアンテナの位置を示す斜
視図。第５図はＨ結合、Ｅ結合におけるＴＥ１１
モードの電気力線、磁力線の分布図。第６図は従
来例にかかるイオン処理装置の縦断面図。 １……真空チヤンバ、２……コイル、３……イ
オン源チヤンバ、４……導波管、５……マイクロ
波発振器、６……ガス導入系、７……ゲートバル
ブ、８……真空ポンプ、９……引出電極系、１０
……磁力線、１１……試料台、１２……試料、１
３……駆動装置、１４……同軸導波管変換器、１
５……同軸線、１６……アンテナ、２０……誘電
体窓。
Claims (1)
- マイクロ波および磁界を用いてプラズマを発生
させそのプラズマから引出されたイオンビーム又
はプラズマ流により試料を処理するイオン処理装
置であつて、真空に引くことができ両端の開いた
筒形の容器でありガスを導入してこれをプラズマ
にする空間を与えるイオン源チヤンバ３と、イオ
ン源チヤンバ３の閉じた壁面の周囲に設けられイ
オン源チヤンバ３の内部に軸方向の磁場を生ずる
コイル２と、イオン源チヤンバ３の両端の開口に
接続され真空に引くことのできる容器であるふた
つの真空チヤンバ１，１と、真空チヤンバ１の中
に設けられ試料１２を支持する試料台１１と、イ
オン源チヤンバ３の両端の開口近傍に設けられプ
ラズマからイオンビームを引出すための引出電極
系９と、真空チヤンバ１を真空に引く真空排気装
置と、マイクロ波発振器５と、マイクロ波発振器
５で生じたマイクロ波を伝搬させる導波管４と導
波管モードのマイクロ波を同軸線モードに変換す
る同軸導波管変換器１４と、同軸線モードのマイ
クロ波をイオン源チヤンバ３にまで伝搬させる同
軸線１５と、同軸線１５の終端にあつてイオン源
チヤンバ３内にマイクロ波を導入するためのアン
テナ１６とよりなる事を特徴とするイオン処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15385988U JPH0273041U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15385988U JPH0273041U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273041U true JPH0273041U (ja) | 1990-06-04 |
Family
ID=31430072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15385988U Pending JPH0273041U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0273041U (ja) |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP15385988U patent/JPH0273041U/ja active Pending
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