JPH0290663U - - Google Patents
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- JPH0290663U JPH0290663U JP16903488U JP16903488U JPH0290663U JP H0290663 U JPH0290663 U JP H0290663U JP 16903488 U JP16903488 U JP 16903488U JP 16903488 U JP16903488 U JP 16903488U JP H0290663 U JPH0290663 U JP H0290663U
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- JP
- Japan
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- ionization
- vacuum container
- heater
- gas
- gas introduction
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案のイオンプレーテイング装置の
一実施例を示す概略構成図である。第２図は本考
案のイオンプレーテイング装置の他の例を示す要
部概略構成図である。第３図および第４図はそれ
ぞれ従来のイオンプレーテイング装置の概略構成
図である。 １……真空容器、２……基板ホルダー、３……
基板、４……蒸発材料、５……ルツボ、６……電
子銃、７……電子ビーム、３０……放電電極（第
１のイオン化装置）、３２……シヤツタ、４０…
…ガス導入管、４０ａ……ガス導入口、４５……
加熱ヒータ、４５ａ……電源、４５ｂ……電源ケ
ーブル、４６……抵抗器（制御装置）、４７……
第２のイオン化装置。
一実施例を示す概略構成図である。第２図は本考
案のイオンプレーテイング装置の他の例を示す要
部概略構成図である。第３図および第４図はそれ
ぞれ従来のイオンプレーテイング装置の概略構成
図である。 １……真空容器、２……基板ホルダー、３……
基板、４……蒸発材料、５……ルツボ、６……電
子銃、７……電子ビーム、３０……放電電極（第
１のイオン化装置）、３２……シヤツタ、４０…
…ガス導入管、４０ａ……ガス導入口、４５……
加熱ヒータ、４５ａ……電源、４５ｂ……電源ケ
ーブル、４６……抵抗器（制御装置）、４７……
第２のイオン化装置。
Claims (1)
- 真空容器の内部に、ルツボから蒸発させた蒸発
材料をイオン化するための第１のイオン化装置と
、ガス導入管により真空容器内に導入される反応
ガスをイオン化するための第２のイオン化装置と
が設けられ、それらイオン化装置によつてそれぞ
れイオン化させた蒸発材料および反応ガスの反応
生成物を真空容器内に配置した基板の表面に蒸着
させて薄膜を形成するように構成されたイオンプ
レーテイング装置であつて、前記第２のイオン化
装置は、前記ガス導入管の先端部に形成されてい
るガス導入口の直前に位置して設けられた加熱ヒ
ータと、その加熱ヒータの出力を制御する制御装
置とからなり、ガス導入口から真空容器内に導入
される反応ガスを加熱ヒータに接触させて加熱す
ることでイオン化させるとともに、制御装置によ
つてそのイオン化率を制御するように構成されて
なることを特徴とするイオンプレーテイング装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16903488U JPH0290663U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16903488U JPH0290663U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290663U true JPH0290663U (ja) | 1990-07-18 |
Family
ID=31458739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16903488U Pending JPH0290663U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0290663U (ja) |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP16903488U patent/JPH0290663U/ja active Pending
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