JPH03125344U - - Google Patents

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JPH03125344U
JPH03125344U JP3535890U JP3535890U JPH03125344U JP H03125344 U JPH03125344 U JP H03125344U JP 3535890 U JP3535890 U JP 3535890U JP 3535890 U JP3535890 U JP 3535890U JP H03125344 U JPH03125344 U JP H03125344U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例に係る露光装置を示
す概略説明図、第２図イ及びロは本考案の露光装
置による光量の検出状態を示す説明図であり、同
図イは平面図を、同図ロは光量分布図である。第
３図イ及びロは本考案の露光装置による光量異常
の検出状態を示す説明図であり、同図イは平面図
を、同図ロは光量分布図である。第４図は従来の
露光装置の概略説明図、第５図は従来の露光装置
を構成するレチクル遮蔽機構の一例を示す一部破
断分解斜視図である。 １……光量検出手段、２……検出光量記憶部、
３……基準光量記憶部、４……光量比較手段、５
……インターロツク機構、１００……レチクル、
１０１……光源、１１０……レンズ系、１２３，
１２４……遮蔽板、Ｗ……半導体ウエハ、Ｐ……
パターン。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 光源から照射された光を半導体ウエハ上に収束
    させるレンズ系と、上記光源から照射される光路
    の途中に配置され、上記半導体ウエハ上に露光す
    るパターンを形成したレチクルと、上記レチクル
    に形成された所定のパターンの周囲を透過する余
    分な光を遮蔽する遮蔽板とを備えた露光装置にお
    いて、 上記遮蔽板によつて遮蔽され、レチクルのパタ
    ーンの周縁と遮蔽板とで遮蔽された部分との間に
    照射される光量を検出する光量検出手段と、上記
    光量検出手段で検出された光量を記憶する検出光
    量記憶部と、 上記光量検出手段によつて検出された検出光量
    を、予め検出されて基準光量記憶部に記憶された
    基準光量と比較する光量比較手段と、 上記光量比較手段によつて不一致と判断される
    と露光作業を停止させるインターロツク機構とを
    有することを特徴とする露光装置。
JP3535890U 1990-03-30 1990-03-30 Pending JPH03125344U (ja)

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JPH03125344U true JPH03125344U (ja) 1991-12-18

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011147202A (ja) * 2010-01-12 2011-07-28 Tdk-Lambda Corp スイッチング電源装置
WO2012099169A1 (ja) * 2011-01-19 2012-07-26 株式会社 テクノバ 非接触給電システム

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011147202A (ja) * 2010-01-12 2011-07-28 Tdk-Lambda Corp スイッチング電源装置
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