JPH0312840A - 光学式記録媒体の製造方法 - Google Patents
光学式記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0312840A JPH0312840A JP14779689A JP14779689A JPH0312840A JP H0312840 A JPH0312840 A JP H0312840A JP 14779689 A JP14779689 A JP 14779689A JP 14779689 A JP14779689 A JP 14779689A JP H0312840 A JPH0312840 A JP H0312840A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive film
- optical recording
- recording medium
- gold
- pits
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 20
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 17
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);disulfamate Chemical compound [Ni+2].NS([O-])(=O)=O.NS([O-])(=O)=O KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明はビデオディスク、コンパクトディスク等の光学
式記録媒体の製造方法に関するものである。
式記録媒体の製造方法に関するものである。
（ロ）従来の技術
ビデオディスク、コンパクトディスク等の光学式記録媒
体は次のように製造される。まずガラス基板上にフォト
レジストを塗布し、塗布したレジスト膜にレーザビーム
を照射してグループまたはピットの潜像を露光する。
体は次のように製造される。まずガラス基板上にフォト
レジストを塗布し、塗布したレジスト膜にレーザビーム
を照射してグループまたはピットの潜像を露光する。
その後、現像処理を行なってグループまたはピッ１〜を
形成し、グループまたはピットを形成した基板上に銀等
を蒸着またはスパッタリングにより導電膜を形成する。
形成し、グループまたはピットを形成した基板上に銀等
を蒸着またはスパッタリングにより導電膜を形成する。
そして、これにニッケルメッキを施してスタンパを製造
し、これを原盤として光学式記録媒体を複製する。
し、これを原盤として光学式記録媒体を複製する。
（ハ）発明が解決しようとする課題
ところで、前記導電膜として用いられる銀は導電度が高
く、電気鋳造工程を容易に行なうことができる等の利点
がある反面、酸化され易いという欠点がある。このため
前記導電膜の表面にニッケルメッキが形成されるまでの
時間にスルファミン酸ニッケル等のメツキ溶液によって
銀が酸化され、銀導電膜の表面が荒れ、メツキ後のスタ
ンパの表面に前記銀導電膜の表面の荒れが転写され、ス
タンパ表面に凹凸が形成される。このスタンパを用いて
製造された光学式記録媒体は、ノイズレベルが高く、Ｓ
／Ｎ比が低く、ドロップアウト等の欠陥が発生する等と
いう問題を有する。
く、電気鋳造工程を容易に行なうことができる等の利点
がある反面、酸化され易いという欠点がある。このため
前記導電膜の表面にニッケルメッキが形成されるまでの
時間にスルファミン酸ニッケル等のメツキ溶液によって
銀が酸化され、銀導電膜の表面が荒れ、メツキ後のスタ
ンパの表面に前記銀導電膜の表面の荒れが転写され、ス
タンパ表面に凹凸が形成される。このスタンパを用いて
製造された光学式記録媒体は、ノイズレベルが高く、Ｓ
／Ｎ比が低く、ドロップアウト等の欠陥が発生する等と
いう問題を有する。
本発明は斯かる問題点を解決し、表面状態の良好なスタ
ンパを製造し、高品質な光学式記録媒体を提供すること
をその課題とする。
ンパを製造し、高品質な光学式記録媒体を提供すること
をその課題とする。
（ニ）課題を解決するための手段
本発明の光学式記録媒体の製造方法は、グルブまたはピ
ットを形成した基板上に導電膜を形成し、該導電膜にニ
ッケルメッキを行なうことにより得られるニッケルメッ
キ体を原盤とする光学式記録媒体の製造方法において、
前記導電膜に、金または白金、若しくはこれらを主成分
とした貴金属合金を用いることを特徴とする。
ットを形成した基板上に導電膜を形成し、該導電膜にニ
ッケルメッキを行なうことにより得られるニッケルメッ
キ体を原盤とする光学式記録媒体の製造方法において、
前記導電膜に、金または白金、若しくはこれらを主成分
とした貴金属合金を用いることを特徴とする。
（ホ）作用
本発明の光学式記録媒体の製造方法はグループまたはピ
ットを形成した基板上に導電膜を形成させる際に、この
導電膜に、金または白金、若しくはこれらを主成分とし
た貴金属を用いる。これにニッケルメッキを行なうと、
メツキ液による導電膜の酸化は無く、表面に荒れのない
高品質なメツキ体が得られる。このメツキ体を原盤とし
て光学式記録媒体を複製すると、表面状態の良好な光学
式記録媒体が製造できる。
ットを形成した基板上に導電膜を形成させる際に、この
導電膜に、金または白金、若しくはこれらを主成分とし
た貴金属を用いる。これにニッケルメッキを行なうと、
メツキ液による導電膜の酸化は無く、表面に荒れのない
高品質なメツキ体が得られる。このメツキ体を原盤とし
て光学式記録媒体を複製すると、表面状態の良好な光学
式記録媒体が製造できる。
（ト）実施例
以下、本発明をその実施例を示す図面に従い具体的に説
明する。
明する。
第１図は本発明による光学式記録媒体の製造方法の一実
施例を説明するための断面図である。
施例を説明するための断面図である。
ガラス基板（１）にフォトレジスト（２）を塗布し、こ
れにレーザビームを照射してグループまたはピットの潜
像を露光した後、現像処理を行なってグループまたはピ
ットを形成する。グループまたはピットを形成した基板
上に金による導電膜層（３）をスパック法または真空蒸
着法により形成させる。導電膜層の厚さは３００〜１０
００人とする。
れにレーザビームを照射してグループまたはピットの潜
像を露光した後、現像処理を行なってグループまたはピ
ットを形成する。グループまたはピットを形成した基板
上に金による導電膜層（３）をスパック法または真空蒸
着法により形成させる。導電膜層の厚さは３００〜１０
００人とする。
上記導電膜を用いてニッケルメッキを行ないスタンパを
製造した場合、金は化学的に安定であり耐酸性に優れる
ため、スルファミン酸ニッケル等ニッケルメッキ溶液に
よって酸化されることがない。また、スパック法や蒸着
法で形成された金膜の粒子径は銀よりも小さいため、レ
ジスト層に形成されたピットや表面状態を忠実に転写す
ることが可能である。
製造した場合、金は化学的に安定であり耐酸性に優れる
ため、スルファミン酸ニッケル等ニッケルメッキ溶液に
よって酸化されることがない。また、スパック法や蒸着
法で形成された金膜の粒子径は銀よりも小さいため、レ
ジスト層に形成されたピットや表面状態を忠実に転写す
ることが可能である。
導電膜が銀である場合と同様に、金を導電膜に用いた場
合も膜硬度が低いためスタンパとして複製に用いる前に
、導電膜の除去が必要となる。金は化学的に安定であり
、酸による除去が不可能であるため物理的な除去方法と
して逆スパックエツチングを用いる。逆スパツタエツチ
ングにより導電膜層を除去し、表面状態の良好なニッケ
ルスタンパが得られる。
合も膜硬度が低いためスタンパとして複製に用いる前に
、導電膜の除去が必要となる。金は化学的に安定であり
、酸による除去が不可能であるため物理的な除去方法と
して逆スパックエツチングを用いる。逆スパツタエツチ
ングにより導電膜層を除去し、表面状態の良好なニッケ
ルスタンパが得られる。
第１図に示した実施例においては、導電膜として１層の
金を用いたが、導電膜を２層構造とし、第１層に金を用
い、第２層にニッケルを用いて金にかかるコストを低減
させることもできる。
金を用いたが、導電膜を２層構造とし、第１層に金を用
い、第２層にニッケルを用いて金にかかるコストを低減
させることもできる。
第２図に２層構造の断面図を示す。グループまたはピッ
トを形成した基板（１）上に、金による第１導電膜（３
）をその上にニッケルによる第２導電膜（４）をスパッ
タ法または真空蒸着法により形成する。この２層構造に
おいても、１層構造のものと同等の効果が得られる。
トを形成した基板（１）上に、金による第１導電膜（３
）をその上にニッケルによる第２導電膜（４）をスパッ
タ法または真空蒸着法により形成する。この２層構造に
おいても、１層構造のものと同等の効果が得られる。
第３図は本発明方法と従来方法により夫々製造した光学
式記録媒体のＳ／Ｎ比を示す特性図である。本発明方法
は第１図で示した方法によりスタンパを形成し、従来方
法は銀導電膜上に二・ンケルメッキを施してスタンパを
形成したものである。
式記録媒体のＳ／Ｎ比を示す特性図である。本発明方法
は第１図で示した方法によりスタンパを形成し、従来方
法は銀導電膜上に二・ンケルメッキを施してスタンパを
形成したものである。
そして、夫々のスタンパを用いて製造した光学式記録媒
体を線速１０．５ｍ／ｓ 、 トラックピ・ソチ１．
６７μｍにおいて再生した。
体を線速１０．５ｍ／ｓ 、 トラックピ・ソチ１．
６７μｍにおいて再生した。
第３図に示すように、従来方法のものではＳ／Ｎ比が３
９〜４５ｄＢであるのに対し、本発明方法のものではＳ
／Ｎ比が４５〜４８ｄＢであり、本発明による光学式記
録媒体のＳ／Ｎ比は安定して高い値が得られることがわ
かる。
９〜４５ｄＢであるのに対し、本発明方法のものではＳ
／Ｎ比が４５〜４８ｄＢであり、本発明による光学式記
録媒体のＳ／Ｎ比は安定して高い値が得られることがわ
かる。
なお、本実施例においては導電膜として金を用いたが、
導電膜は金に限らず、白金、または白金パラジウム等の
白金を主成分とした白金合金、若しくは金を主成分とし
だ金合金などを用いても同様の効果を得ることが出来る
。
導電膜は金に限らず、白金、または白金パラジウム等の
白金を主成分とした白金合金、若しくは金を主成分とし
だ金合金などを用いても同様の効果を得ることが出来る
。
また、本発明方法は、グループまたはビ・ソトにより情
報が予め記録されている再生専用の光学式記録媒体に限
らず、使用者による記録が可能なように案内溝またはト
ラックアドレスを有した光学式記録媒体を製造する場合
に用いても同様の効果が得られる。
報が予め記録されている再生専用の光学式記録媒体に限
らず、使用者による記録が可能なように案内溝またはト
ラックアドレスを有した光学式記録媒体を製造する場合
に用いても同様の効果が得られる。
（ト）発明の効果
本発明方法による光学式記録媒体は表面の荒れが少なく
、表面状態が良好な状態で製造される。
、表面状態が良好な状態で製造される。
このため、これに記録された情報を再生させた場合、Ｓ
／Ｎ比は安定して高く、ドロップアウト等の欠陥も少な
い高品質な光学式記録媒体が得られるという優れた効果
を有する。
／Ｎ比は安定して高く、ドロップアウト等の欠陥も少な
い高品質な光学式記録媒体が得られるという優れた効果
を有する。
第１図および第２図は本発明による光学式記録媒体の製
造方法を説明するための断面図、第３図は本発明方法に
より製造した光学式記録媒体と従来方法により製造した
光学式記録媒体のＳ／Ｎ比を示す特性図である。 （１）・・・ガラス基板 （２）・・・フォトレシスク
（３）・・・全導電膜 （４）・・・ニッケル導電膜＼
１
造方法を説明するための断面図、第３図は本発明方法に
より製造した光学式記録媒体と従来方法により製造した
光学式記録媒体のＳ／Ｎ比を示す特性図である。 （１）・・・ガラス基板 （２）・・・フォトレシスク
（３）・・・全導電膜 （４）・・・ニッケル導電膜＼
１
Claims (1)
- （１）グループまたはピットを形成した基板上に導電膜
を形成し、該導電膜上にニッケルメッキを行なうことに
より得られるニッケルメッキ体を原盤とする光学式記録
媒体の製造方法において、前記導電膜に、金または白金
、若しくはこれらを主成分とした貴金属合金を用いるこ
とを特徴とする光学式記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14779689A JPH0312840A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 光学式記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14779689A JPH0312840A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 光学式記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312840A true JPH0312840A (ja) | 1991-01-21 |
Family
ID=15438403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14779689A Pending JPH0312840A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 光学式記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312840A (ja) |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP14779689A patent/JPH0312840A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4057831A (en) | Video record disc manufactured by a process involving chemical or sputter etching | |
| JPS59107434A (ja) | 親マトリクスの製造方法 | |
| JPH0285375A (ja) | スタンパー製造方法 | |
| JPH0312840A (ja) | 光学式記録媒体の製造方法 | |
| JPH01246391A (ja) | スタンパの製造方法 | |
| JPH0277594A (ja) | 光学式記録媒体の製造方法 | |
| US4402798A (en) | Method for the manufacture of a metallic recording substrate for a capacitance electronic disc and the recording substrate obtained thereby | |
| JPS606018B2 (ja) | 情報記録媒体の製造方法 | |
| JP2693585B2 (ja) | スタンパ製造方法 | |
| JPH0336021A (ja) | 高硬度スタンパ及びその製造方法 | |
| JPS59193560A (ja) | 回転記録体用スタンパ−及びその製造法 | |
| JPS6262450A (ja) | スタンパの製法 | |
| JPS61236049A (ja) | デイスク成形方法 | |
| US4814047A (en) | Method for producing a prerecorded disk-shaped die | |
| JP2663912B2 (ja) | ディスクの製造方法 | |
| JPS61284844A (ja) | 光デイスク用原盤の製造方法 | |
| JPS60197959A (ja) | 光デイスクの製造方法 | |
| JPS6177152A (ja) | 光デイスク用スタンパの製作法 | |
| JPS62214532A (ja) | スタンパの製造方法 | |
| JPH03291392A (ja) | 電鋳原版電鋳方法及び電鋳原版 | |
| JPH0552573B2 (ja) | ||
| JP2770597B2 (ja) | マスタースタンパーの製造方法及び光ディスク原盤容器 | |
| JPS63302439A (ja) | スタンパ作製方法 | |
| JPS62130291A (ja) | 光ディスク基板成形用アルミニウム原盤の製造方法 | |
| JPH0630170B2 (ja) | 光デイスク用原盤およびその製造方法 |