JPH03135052A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPH03135052A
JPH03135052A JP27318889A JP27318889A JPH03135052A JP H03135052 A JPH03135052 A JP H03135052A JP 27318889 A JP27318889 A JP 27318889A JP 27318889 A JP27318889 A JP 27318889A JP H03135052 A JPH03135052 A JP H03135052A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
characteristic impedance
package
semiconductor device
resistance
semiconductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27318889A
Other languages
English (en)
Inventor
Ichiro Akiba
秋葉 一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、パッケージ内に半導体素子を収納した半導体
装置に関し、特に、パッケージ内、外の特性インピーダ
ンスの整合がとれるようになされた半導体装置に関する
[従来の技術] 第3図は、従来の半導体装置を示す断面図である。同図
において、10は半導体素子であって、これは、半導体
基板1工の表面領域内に所定の機能を有する回路素子部
12が設けられ、半導体基板の表面周辺部には回路素子
部12と外部との接続をとるための電極13が、またそ
の裏面には基板に一定電位を与えるための裏面電極14
が形成されたものである。
パッケージ30には、第1、第2の段部50.51を有
する凹部30aが設けられており、凹部30aの底面に
はグイパッド43が、また、第1の段部50には電路4
1が形成されている。電路41の内側先端部は内部端子
42となされ半導体素子10との接続のために用いられ
る。パッケージ裏面30bには複数のビン44が植設さ
れておリ、これらのピンは、パッケージ内部に形成され
た電路40を介して段部に形成された電路41および凹
部底面に形成されたダイパッド43と接続されている。
半導体素子10は、その裏面電極14によりダイパッド
43上にダイボンディングされており、そして半導体素
子の電極13は、アルミニウム線または金線などからな
る金属線20により内部端子42と接続されている。パ
ッケージ30の第2の段部51上に蓋体31が載置され
ており、この蓋体31によって半導体素子10は凹部3
0aに気密に収納されている。
[発明が解決しようとする課題] 上述した従来の半導体装置では、金属線20、電路40
.41、ピン44の形状、材質等によりきまる特性イン
ピーダンスは、半導体装置外部の伝送路のそれとの間に
整合がとられていない。このため高周波域で動作する半
導体素子においては入力信号の反射が起り信号波形に歪
が生じる。従って、従来の半導体装置では半導体素子の
能力限界に達する高周波域で動作させることができなか
った。
[課題を解決するための手段] 本発明の半導体装置は、外部端子、内部端子およびこれ
らの端子間を接続する電路が形成されたパッケージ内に
、半導体基板の表面に電極が形成されその表面領域内に
回路素子が形成された半導体素子を収納したものであっ
て、前記外部端子と前記内部端子との間には内部回路の
特性インピーダンスと外部回路の特性インピーダンスの
整合をとるための終端抵抗が接続されたものである。
[実施例] 次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
第1図(a)は、本発明の一実施例を示す断面図てあり
、第1図(b)は、その蓋体を除去した状態の平面図で
ある。第1図において、第3図の従来例の部分と同等の
部分には同一の参照番号が付せられているので重複した
説明は省略するが、本実施例では、パッケージ30の内
部において電路40が途中で枝分れしており、その枝分
れした一方の電路40に終端用抵抗46の一端が接続さ
れ、そして終端用抵抗46の他端は電路40を介して終
端用電源ピン45に接続されている。終端用抵抗46の
抵抗値はピン44からみてパッケージ内、外の特性イン
ピーダンスが等しくなるように選定される。
上述したように構成された半導体装置においては、半導
体装置外部の伝送線路の特性インピーダンスと半導体装
置内の特性インピーダンスとは整合されているので、高
周波帯においても入力信号の反射は起らず入力信号の波
形歪は発生しない。
したがって、本発明による半導体装置は半導体素子の能
力限界の周波数帯域まで歪なく使用することができる。
第2図(a)、(b)は、本発明の他の実施例を示す断
面図と平面図である。先の実施例では電路41から延び
る電路40が途中で枝分れしていたが、この実施例では
、一つの電極13に対して2つの電路41が設けられて
おり、それぞれの電路41は、各電路41に設けられた
内部端子42を介して別個の金属線20によって電極1
3と接続されており、そして、一方の電路41から延び
る電路40内には終端用抵抗46が接続されている。こ
の実施例によれば、終端用抵抗を接続するか否かを金属
線20の使用によって決定することができる。
なお、以上の実施例では、終端用抵抗を1個だけ設ける
ものについて説明したが、複数の入力信号を受ける場合
などにおいて、必要に応じて複数の終端用抵抗を設ける
ことができる。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明は、半導体装置内に特性イ
ンピーダンスを整合させるための終端用抵抗を設けたも
のであるので、本発明によれば、半導体装置内の特性イ
ンピーダンスを半導体装置外部の特性インピーダンスと
整合させることができ、高周波で動作する半導体素子に
おいて入力信号の反射を防止し信号波形の歪を抑止する
ことができる。したがって、本発明によれば、半導体装
置を半導体素子の動作限界の周波数帯まで歪なく動作さ
せることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)は、本発明の一実施例を示す断面
図と平面図、第2図(a)、(b)は、本発明の他の実
施例を示す断面図と平面図、第3図は、従来例の断面図
である。 10・・・半導体素子、  11・・・半導体基板、1
2・・・回路素子部、   13・・・電極、   1
4・・・裏面電極、  20・・・金属線、  30・
・・パッケージ、  30a・・・凹部、  30b・
・・パッケージ裏面、  31・・・蓋体、 40.4
1・・・電路、42・・・内部端子、    43・・
・グイパッド、44・・・ピン、    45・・・終
端用電源ビン、46・・・終端用抵抗、   50・・
・第1の段部、51・・・第2の段部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  半導体基板の表面領域内に回路素子が形成されその表
    面に電極が形成されている半導体素子と、外部端子、内
    部端子およびこれらの端子間を接続する電路を有し前記
    半導体素子を収納するパッケージとからなり、前記半導
    体素子の電極と前記パッケージの内部端子とが接続され
    ている半導体装置において、前記外部端子と前記内部端
    子との間には、内部回路の特性インピーダンスと外部回
    路の特性インピーダンスとの整合をとるための終端抵抗
    が接続されていることを特徴とする半導体装置。
JP27318889A 1989-10-20 1989-10-20 半導体装置 Pending JPH03135052A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27318889A JPH03135052A (ja) 1989-10-20 1989-10-20 半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27318889A JPH03135052A (ja) 1989-10-20 1989-10-20 半導体装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03135052A true JPH03135052A (ja) 1991-06-10

Family

ID=17524327

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27318889A Pending JPH03135052A (ja) 1989-10-20 1989-10-20 半導体装置

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JP (1) JPH03135052A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011143617A (ja) * 2010-01-15 2011-07-28 Fuji Xerox Co Ltd プリントヘッドおよび画像形成装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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