JPH03183626A - 合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法 - Google Patents
合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法Info
- Publication number
- JPH03183626A JPH03183626A JP32225289A JP32225289A JPH03183626A JP H03183626 A JPH03183626 A JP H03183626A JP 32225289 A JP32225289 A JP 32225289A JP 32225289 A JP32225289 A JP 32225289A JP H03183626 A JPH03183626 A JP H03183626A
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- Japan
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- quartz glass
- ingot
- synthetic quartz
- particle size
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法、特に
はゾル−ゲル法で作られた石英ガラスインゴット粉砕品
を精製してＯ）１基含有量が低く、高温粘性が高いこと
からシリコーン単結晶引上げ用ルツボ材として有用とさ
れる合成石英ガラス原料を製造する方法に関するもので
ある。
はゾル−ゲル法で作られた石英ガラスインゴット粉砕品
を精製してＯ）１基含有量が低く、高温粘性が高いこと
からシリコーン単結晶引上げ用ルツボ材として有用とさ
れる合成石英ガラス原料を製造する方法に関するもので
ある。
（従来の技術）
半遵体物質、特にシリコーン単結晶の引上げ用ルツボは
高温での耐熱性にすぐれていることが必要とされること
から天然の石英ガラス製のものが汎用されているが、こ
の天然の石英ガラスには不純物が多く含まれていること
から、このものは粉砕、篩別後に精製して使用されてお
り、この精製は通常磁力選鉱か浮遊選鉱で行なわれてい
る。
高温での耐熱性にすぐれていることが必要とされること
から天然の石英ガラス製のものが汎用されているが、こ
の天然の石英ガラスには不純物が多く含まれていること
から、このものは粉砕、篩別後に精製して使用されてお
り、この精製は通常磁力選鉱か浮遊選鉱で行なわれてい
る。
しかし最近における半導体メモリの高集積化のためにこ
の歩留りの低下が問題となり、この高純度化が要望され
てきる。
の歩留りの低下が問題となり、この高純度化が要望され
てきる。
（発明が解決しようとする課題）
そのため、このルツボを純度の高い合成石英ガラスで作
ることも検討されているが、■四塩化けい素などを酸水
素火炎中で加水分解させてシリカ微粒子とし、これを溶
融して石英ガラスとする方法にはガラス中に０）１基が
１．（１００ｐｐｍも残留し、高温粘性が低く、真空中
高温では発泡するという問題点があり、■この酸水素火
炎をプラズマ炎とする方法にはコストが高く、量産化も
難しいという不利があるため、これについてはアルコキ
シシランをアルコール溶媒中で加水分解してシリカを作
り、これを溶融して合成石英を得るという、いわゆるゾ
ル−ゲル法によることも検討されており、これには高純
度品を安価に得ることができるという利益があるものの
ＯＨ基が残り易く、製造に長時間が必要とされ、高温粘
性の高いものが得られ難いという不利があり、これには
またアルコキシシランの分解で発生した炭素分が混入さ
れるためにこれから作られるルツボには泡や黒点不純物
が数多く発生するという欠点がある。
ることも検討されているが、■四塩化けい素などを酸水
素火炎中で加水分解させてシリカ微粒子とし、これを溶
融して石英ガラスとする方法にはガラス中に０）１基が
１．（１００ｐｐｍも残留し、高温粘性が低く、真空中
高温では発泡するという問題点があり、■この酸水素火
炎をプラズマ炎とする方法にはコストが高く、量産化も
難しいという不利があるため、これについてはアルコキ
シシランをアルコール溶媒中で加水分解してシリカを作
り、これを溶融して合成石英を得るという、いわゆるゾ
ル−ゲル法によることも検討されており、これには高純
度品を安価に得ることができるという利益があるものの
ＯＨ基が残り易く、製造に長時間が必要とされ、高温粘
性の高いものが得られ難いという不利があり、これには
またアルコキシシランの分解で発生した炭素分が混入さ
れるためにこれから作られるルツボには泡や黒点不純物
が数多く発生するという欠点がある。
（課題を解決するための手段）
本発明はこのような不利を解決した合成石英ガラスルツ
ボ用原料の製造方法に関するものであり、これはゾル−
ゲル法により製造した石英ガラスインゴットを機械的に
粉砕し、篩別してから、ａ）磁力選鉱工程、ｂ）浮遊選
鉱工程、Ｃ）熱処理工程、ｄ）酸処理工程のいずれか、
またはこれらの２工程あるいは２工程以上を組合せて処
理し精製することを特徴とするものである。
ボ用原料の製造方法に関するものであり、これはゾル−
ゲル法により製造した石英ガラスインゴットを機械的に
粉砕し、篩別してから、ａ）磁力選鉱工程、ｂ）浮遊選
鉱工程、Ｃ）熱処理工程、ｄ）酸処理工程のいずれか、
またはこれらの２工程あるいは２工程以上を組合せて処
理し精製することを特徴とするものである。
すなわち、本発明者らはシリコン！ｌ−結晶の引上げ用
ルツボ材として使用し得る合成石英ガラスの製造方法に
ついて種々検討した結果、メチルシリケートをメタノー
ル溶媒中でアンモニアを触媒として加水分解すると粒径
が２００〜３，０００ ｒ＋ｍのシリカが得られること
、このシリカを固液分離後、濃縮し、乾燥してから加熱
酸化するとＯＨ基の少ない石英ガラスインゴットの得ら
れること、このインゴットを粉砕したのち、磁力選鉱な
どで精製し、ついで高温に加熱して透明ガラス化すると
黒点不純物がなく、高温粘性も高いことがらルツボ用原
料として有用とされる石英ガラスの得られることを見出
して本発明を完成させた。
ルツボ材として使用し得る合成石英ガラスの製造方法に
ついて種々検討した結果、メチルシリケートをメタノー
ル溶媒中でアンモニアを触媒として加水分解すると粒径
が２００〜３，０００ ｒ＋ｍのシリカが得られること
、このシリカを固液分離後、濃縮し、乾燥してから加熱
酸化するとＯＨ基の少ない石英ガラスインゴットの得ら
れること、このインゴットを粉砕したのち、磁力選鉱な
どで精製し、ついで高温に加熱して透明ガラス化すると
黒点不純物がなく、高温粘性も高いことがらルツボ用原
料として有用とされる石英ガラスの得られることを見出
して本発明を完成させた。
［作用］
以下にこれをさらに詳述する。
本発明はゾル−ゲル法で製造したシリカを加熱酸化して
石英ガラスインゴットとし、粉砕後に精製するものであ
る。
石英ガラスインゴットとし、粉砕後に精製するものであ
る。
本発明の方法はゾル−ゲル法によるものであるが、本発
明の方法では始発材としてメチルシリケートが使用れる
。すなわち、従来公知のゾル−ゲル法では通常エチルシ
リケートを始発材とし、これをエタノール溶媒中でアン
モニアまたは塩酸を触媒として加水分解させており、こ
の場合も５００ｎｍ程度の粒径をもつシリカが得られ、
これを乾燥後１，０５０℃で焼結し、さらに１．５００
℃で溶融ガラス化すれば透明な石英ガラスを得ることが
できるけれども、この石英ガラスはＯＨ基含有量が多く
、高温粘性も低いという不利があることが判った。
明の方法では始発材としてメチルシリケートが使用れる
。すなわち、従来公知のゾル−ゲル法では通常エチルシ
リケートを始発材とし、これをエタノール溶媒中でアン
モニアまたは塩酸を触媒として加水分解させており、こ
の場合も５００ｎｍ程度の粒径をもつシリカが得られ、
これを乾燥後１，０５０℃で焼結し、さらに１．５００
℃で溶融ガラス化すれば透明な石英ガラスを得ることが
できるけれども、この石英ガラスはＯＨ基含有量が多く
、高温粘性も低いという不利があることが判った。
しかし、このエチルシリケートをメチルシリケートとす
るとコスト的に有利であることのほか、これをメタノー
ル溶媒中でアンモニアを触媒として加水分解させるとこ
の加水分解反応はメチルシリケート注加直後に始まって
瞬時にシリカの生成が行われるという有利性が与えられ
る。この加水分解で得られたシリカの粒径はここに使用
するメタノール、アンモニア、メチルシリケートの重量
比、反応温度、攪拌速度によって制御可能とされるが、
ＯＨ基含有量の少ないシリカ粉を製造するためには平均
粒径が２０Ｏｎ１１１以上のものとする必要が・あるし
、乾燥して塊状とするためにはある程度の微粉であるこ
とが必要とされるので本発明の方法ではここに得られる
シリカは平均粒径が２００〜３．０００ｎｍのものとす
ることがよい。
るとコスト的に有利であることのほか、これをメタノー
ル溶媒中でアンモニアを触媒として加水分解させるとこ
の加水分解反応はメチルシリケート注加直後に始まって
瞬時にシリカの生成が行われるという有利性が与えられ
る。この加水分解で得られたシリカの粒径はここに使用
するメタノール、アンモニア、メチルシリケートの重量
比、反応温度、攪拌速度によって制御可能とされるが、
ＯＨ基含有量の少ないシリカ粉を製造するためには平均
粒径が２０Ｏｎ１１１以上のものとする必要が・あるし
、乾燥して塊状とするためにはある程度の微粉であるこ
とが必要とされるので本発明の方法ではここに得られる
シリカは平均粒径が２００〜３．０００ｎｍのものとす
ることがよい。
このようにして得られたシリカは遠心分離器またはフィ
ルタープレスで固液分離したのち、真空中あるいは窒素
ガス雰囲気中で濃縮、乾燥し、ついで空気中あるいは酸
素雰囲気で５００℃程度に加熱すると有機物が除去され
たものとなるので、つぎにこれを真空中、ヘリウムガス
中または水素ガス中において１，５００℃程度に加熱す
るとこのものはシリカが閉孔化されガラス化されて、透
明で通常の石英ガラスと同等の比重を有する塊状体とな
るが、このシリカが粒径３，００Ｏｒ＋ｍ以下のものと
されているので上記における閉孔化は容易に進行し、泡
を含まないガラス塊が容易に得られる。このようにして
得られたガラス塊はついでボールミル、ロールミル、ロ
ッドセルなとで粉砕して平均粒径が５０から２００メツ
シユのものに粒度を調整するのであるが、この粉砕は粉
砕時の摩耗によって目的とする石英ガラス粉中に混入さ
れるものが鉄であると爾後における磁力選鉱法で除去し
易いということから、鉄系の媒体を用いて行なうことが
よく、したがってこれは例えばライニングボールが鉄系
のものであるボールミルや、歯が鉄系のもので作られて
いるインペラーブレーカ−やディスクミルを用いて行な
うことがよいし、篩別網も鉄系のものとすることがよい
。
ルタープレスで固液分離したのち、真空中あるいは窒素
ガス雰囲気中で濃縮、乾燥し、ついで空気中あるいは酸
素雰囲気で５００℃程度に加熱すると有機物が除去され
たものとなるので、つぎにこれを真空中、ヘリウムガス
中または水素ガス中において１，５００℃程度に加熱す
るとこのものはシリカが閉孔化されガラス化されて、透
明で通常の石英ガラスと同等の比重を有する塊状体とな
るが、このシリカが粒径３，００Ｏｒ＋ｍ以下のものと
されているので上記における閉孔化は容易に進行し、泡
を含まないガラス塊が容易に得られる。このようにして
得られたガラス塊はついでボールミル、ロールミル、ロ
ッドセルなとで粉砕して平均粒径が５０から２００メツ
シユのものに粒度を調整するのであるが、この粉砕は粉
砕時の摩耗によって目的とする石英ガラス粉中に混入さ
れるものが鉄であると爾後における磁力選鉱法で除去し
易いということから、鉄系の媒体を用いて行なうことが
よく、したがってこれは例えばライニングボールが鉄系
のものであるボールミルや、歯が鉄系のもので作られて
いるインペラーブレーカ−やディスクミルを用いて行な
うことがよいし、篩別網も鉄系のものとすることがよい
。
このように粉砕された石英ガラスインゴットはついで精
製されるが、この精製はａ）磁力選鉱工程、ｂ）浮遊選
鉱工程、Ｃ）熱処理工程、ｄ）酸処理工程のいずれか、
またはこれらの組合せによって行えばよく、これによれ
ば泡や黒点不純物が除去されるので外観上もすぐれた超
高純度の石英ガラスインゴット粉を得ることができる。
製されるが、この精製はａ）磁力選鉱工程、ｂ）浮遊選
鉱工程、Ｃ）熱処理工程、ｄ）酸処理工程のいずれか、
またはこれらの組合せによって行えばよく、これによれ
ば泡や黒点不純物が除去されるので外観上もすぐれた超
高純度の石英ガラスインゴット粉を得ることができる。
この精製は上記したａ）〜ｄ）の工程のいずれか１つで
行えばよいが、工業的に充分精製された石英ガラスイン
ゴットを得るためにはこれらをすべて組合せたものとす
ることがよく、したがってこれについては例えば上記で
得た石英ガラスインゴットをまず磁力選鉱機に通して大
粒の鉄分を除去したのち、インゴット粉に付着している
微粉状の鉄分を除去するためにこれを濃度が１５〜２５
重量％の塩酸水溶液で酸処理し、ついで酸性のまま浮遊
選鉱槽に移してパイン油を入れ、泡沫浮遊選鉱を行なっ
てルツボ成形時の泡の発生原因となるゴムと他の有機物
を除去したのちに脱水し、８００〜１，０００℃の温度
で仮焼してパイン油を分解、酸化除去してから、濃度が
２〜５重量％のフッ酸水溶液で洗浄して粒子表面の汚れ
を除去すると共にその純度を上げ、乾燥してから、最後
に再度磁力選鉱機を通すという方法で行なえばよい。
行えばよいが、工業的に充分精製された石英ガラスイン
ゴットを得るためにはこれらをすべて組合せたものとす
ることがよく、したがってこれについては例えば上記で
得た石英ガラスインゴットをまず磁力選鉱機に通して大
粒の鉄分を除去したのち、インゴット粉に付着している
微粉状の鉄分を除去するためにこれを濃度が１５〜２５
重量％の塩酸水溶液で酸処理し、ついで酸性のまま浮遊
選鉱槽に移してパイン油を入れ、泡沫浮遊選鉱を行なっ
てルツボ成形時の泡の発生原因となるゴムと他の有機物
を除去したのちに脱水し、８００〜１，０００℃の温度
で仮焼してパイン油を分解、酸化除去してから、濃度が
２〜５重量％のフッ酸水溶液で洗浄して粒子表面の汚れ
を除去すると共にその純度を上げ、乾燥してから、最後
に再度磁力選鉱機を通すという方法で行なえばよい。
この精製工程を経た石英粉は真空中あるいは不活性ガス
存在下で１，７００℃以上に加熱し、溶融すれば合成石
英ガラスとすることができるが、ここに得られた合成石
英ガラス粉はＯＨ基含有量が例えば１ ｐｐＩ１１以下
というように低いし、これはまた上記方法で作られたシ
リカが極めて規則正しい構造をもつものであり、上記し
た加熱溶融時にもこの構造が不規則になることもないの
で高温粘性が例えば１，４００℃において１〜４ Ｘ
１０”ボイズと高い値を示すという特性をもっているの
で、このものは特にシリコン単結晶引上げ用ルツボ材と
して有用とされるという工業的な有利性をもつものにな
る。
存在下で１，７００℃以上に加熱し、溶融すれば合成石
英ガラスとすることができるが、ここに得られた合成石
英ガラス粉はＯＨ基含有量が例えば１ ｐｐＩ１１以下
というように低いし、これはまた上記方法で作られたシ
リカが極めて規則正しい構造をもつものであり、上記し
た加熱溶融時にもこの構造が不規則になることもないの
で高温粘性が例えば１，４００℃において１〜４ Ｘ
１０”ボイズと高い値を示すという特性をもっているの
で、このものは特にシリコン単結晶引上げ用ルツボ材と
して有用とされるという工業的な有利性をもつものにな
る。
（実施例）
つぎに本発明方法による実施例をあげる。
実施例
反応容器にメタノール１５０モル、純水１２０モル、ア
ンモニア５０モルを入れて２０℃に保ち、ここにメチル
シリケート１０モルを１２０分で滴下して加水分解反応
させ、反応終了後生成したシリカを自然沈降させてから
沈降物を取り出し、真空中で１５０℃に加熱して乾燥し
たところ、平均粒径が７００ｎｍであるシリカ粉が得ら
れた。
ンモニア５０モルを入れて２０℃に保ち、ここにメチル
シリケート１０モルを１２０分で滴下して加水分解反応
させ、反応終了後生成したシリカを自然沈降させてから
沈降物を取り出し、真空中で１５０℃に加熱して乾燥し
たところ、平均粒径が７００ｎｍであるシリカ粉が得ら
れた。
ついで、このシリカ粉を空気中において５ｏｏ℃に加熱
して有機物を酸化除去したのち、真空中で１．５００℃
に加熱してこのシリカを閉孔化し、ガラス化したところ
、粒径が１〜５ｍｍである透明な合成石英ガラスインゴ
ット３０ｋｇを収率９８％で得ることができたので、こ
のインゴットをハンマーで砕き、粉砕歯が５Ｓ−４１で
作られているディスクよルで粉砕してから、円型振動篩
で粒度を５ＯＮ１５０メツシユに揃えたところ、合成石
英ガラス粉２５ｋｇが得られた。
して有機物を酸化除去したのち、真空中で１．５００℃
に加熱してこのシリカを閉孔化し、ガラス化したところ
、粒径が１〜５ｍｍである透明な合成石英ガラスインゴ
ット３０ｋｇを収率９８％で得ることができたので、こ
のインゴットをハンマーで砕き、粉砕歯が５Ｓ−４１で
作られているディスクよルで粉砕してから、円型振動篩
で粒度を５ＯＮ１５０メツシユに揃えたところ、合成石
英ガラス粉２５ｋｇが得られた。
ついでこの合成石英ガラス粉を磁力選鉱機・ＣＧ−５０
型（ダルトン社製商品名）に通して脱鉄したのち、濃度
２０重量％の塩酸水溶液中に入れ、１時間ローラーで攪
拌して酸処理を行ない、浮遊選鉱槽に入れ、パイン油５
０ｃ、ｃ、を添加しエアでバブリングさせながらオーバ
ーフローさせ、脱水してから酸素雰囲気中において１，
０００℃に１時間保持し、冷却後濃度３重量％のフッ酸
水溶液中で３０分間攪拌し、脱水後６００℃で乾燥し、
再度前記した磁力選鉱機に通したところ、精製された合
成石英ガラス粉２０ｋｇが得られた。
型（ダルトン社製商品名）に通して脱鉄したのち、濃度
２０重量％の塩酸水溶液中に入れ、１時間ローラーで攪
拌して酸処理を行ない、浮遊選鉱槽に入れ、パイン油５
０ｃ、ｃ、を添加しエアでバブリングさせながらオーバ
ーフローさせ、脱水してから酸素雰囲気中において１，
０００℃に１時間保持し、冷却後濃度３重量％のフッ酸
水溶液中で３０分間攪拌し、脱水後６００℃で乾燥し、
再度前記した磁力選鉱機に通したところ、精製された合
成石英ガラス粉２０ｋｇが得られた。
つぎにこの合成石英ガラス粉について化学分かを行なっ
てその不純物を測定したところ、これ１ｉＡｕ３５ｐｐ
ｂ、 Ｆｅ ５２ｐｐｂ、 Ｎａ１８ ｐｐｂ、 ８２
０ ｐｐｂ、Ｃ５５ｐｐｂという純度の高いもので、こ
のもののＯＨＪは＜ １ ｐｐｍで、これをアーク溶融
して成形した）Ｌツボは泡、黒色不純物のない良好なも
のであり、このものをファイバーエロンゲーション法で
測方した１、４０［） ｔにおける粘性は７．５ Ｘｌ
０１０ボイズてあった。
てその不純物を測定したところ、これ１ｉＡｕ３５ｐｐ
ｂ、 Ｆｅ ５２ｐｐｂ、 Ｎａ１８ ｐｐｂ、 ８２
０ ｐｐｂ、Ｃ５５ｐｐｂという純度の高いもので、こ
のもののＯＨＪは＜ １ ｐｐｍで、これをアーク溶融
して成形した）Ｌツボは泡、黒色不純物のない良好なも
のであり、このものをファイバーエロンゲーション法で
測方した１、４０［） ｔにおける粘性は７．５ Ｘｌ
０１０ボイズてあった。
（発明の効果）
本発明は合成石英ガラスルツボ用原料の製造方７去に関
するもので、これは前記したようにメチルシリケートか
らソ゛ルーゲル 加熱酸化して石英ガラスインゴットとし、ついでこれを
＄１械的に粉砕し、篩別してから、ａ）６７３力選鉱工
程、ｂ）浮遊選鉱工程、Ｃ）熱処理工程、 ｄ）酸処理
工程のいずれか、またはこれらの組合せで精製するもの
であるが、これによればＯＨ基が少なく、高温粘性が高
く、ざらには黒点不純物も含有されていない合成石英ガ
ラス粉末が容易に得られるし、この合成石英ガラス粉末
は」二足したような物性をもっているのでこれを溶融し
てルツボを成形すれば得られたルツボは外観的にも、物
性上からもすぐれたものになるという有利性が与えられ
る。
するもので、これは前記したようにメチルシリケートか
らソ゛ルーゲル 加熱酸化して石英ガラスインゴットとし、ついでこれを
＄１械的に粉砕し、篩別してから、ａ）６７３力選鉱工
程、ｂ）浮遊選鉱工程、Ｃ）熱処理工程、 ｄ）酸処理
工程のいずれか、またはこれらの組合せで精製するもの
であるが、これによればＯＨ基が少なく、高温粘性が高
く、ざらには黒点不純物も含有されていない合成石英ガ
ラス粉末が容易に得られるし、この合成石英ガラス粉末
は」二足したような物性をもっているのでこれを溶融し
てルツボを成形すれば得られたルツボは外観的にも、物
性上からもすぐれたものになるという有利性が与えられ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ゾル−ゲル法により製造した石英ガラスインゴット
を機械的に粉砕し、篩別してから、ａ）磁力選鉱工程、
ｂ）浮遊選鉱工程、ｃ）熱処理工程、ｄ）酸処理工程の
いずれか、またはこれらの２工程あるいは２工程以上を
組合わせて処理して精製することを特徴とする合成石英
ガラスルツボ用原料の製造方法。 ２、精製工程がａ）磁力選鉱工程、ｄ）酸処理工程、ｂ
）浮遊選鉱工程、ｃ）熱処理工程、ｄ）酸処理工程、ａ
）磁力選鉱工程の順に行なわれる請求項１に記載の合成
石英ガラスルツボ用原料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32225289A JPH03183626A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32225289A JPH03183626A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03183626A true JPH03183626A (ja) | 1991-08-09 |
| JPH0563416B2 JPH0563416B2 (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=18141590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32225289A Granted JPH03183626A (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 合成石英ガラスルツボ用原料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03183626A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0803469A4 (ja) * | 1995-01-12 | 1997-11-19 | ||
| JP2002080230A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-03-19 | Mitsubishi Material Quartz Kk | 合成石英粉とその製造方法および合成石英ルツボ |
| JP2017061413A (ja) * | 2016-12-28 | 2017-03-30 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ用のシリカガラスルツボの製造方法、シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶 |
-
1989
- 1989-12-12 JP JP32225289A patent/JPH03183626A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0803469A4 (ja) * | 1995-01-12 | 1997-11-19 | ||
| US6071838A (en) * | 1995-01-12 | 2000-06-06 | Mitsubishi Chemical Corporation | Silica gel, synthetic quartz glass powder, quartz glass shaped product molding, and processes for producing these |
| JP2002080230A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-03-19 | Mitsubishi Material Quartz Kk | 合成石英粉とその製造方法および合成石英ルツボ |
| JP2017061413A (ja) * | 2016-12-28 | 2017-03-30 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ用のシリカガラスルツボの製造方法、シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0563416B2 (ja) | 1993-09-10 |
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