JPH0320433U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0320433U JPH0320433U JP1989079028U JP7902889U JPH0320433U JP H0320433 U JPH0320433 U JP H0320433U JP 1989079028 U JP1989079028 U JP 1989079028U JP 7902889 U JP7902889 U JP 7902889U JP H0320433 U JPH0320433 U JP H0320433U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- installation area
- gas phase
- revolve
- rotate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案装置の模式的縦断面図、第２図
は一般的な気相反応装置の模式図である。 １……反応炉、２……大サセプタ、３……小サ
セプタ、４……ベースプレート、４ａ……通液路
、５……公転軸、６……滞留部分、Ａ……サセプ
タ設置域、Ｂ……駆動伝動機構設置域、Ｗ……ウ
エハ。
は一般的な気相反応装置の模式図である。 １……反応炉、２……大サセプタ、３……小サ
セプタ、４……ベースプレート、４ａ……通液路
、５……公転軸、６……滞留部分、Ａ……サセプ
タ設置域、Ｂ……駆動伝動機構設置域、Ｗ……ウ
エハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 資料を載置すべきサセプタを反応室内で公転さ
せつつ自転するよう配設した気相反応装置におい
て、 前記反応室内のサセプタの設置域とサセプタを
公転及び自転させるための駆動伝動機構の設置域
とが液体にて仕切られていることを特徴とする気
相反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989079028U JPH0320433U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989079028U JPH0320433U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320433U true JPH0320433U (ja) | 1991-02-28 |
Family
ID=31622825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989079028U Pending JPH0320433U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320433U (ja) |
-
1989
- 1989-07-04 JP JP1989079028U patent/JPH0320433U/ja active Pending