JPH0350331U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0350331U JPH0350331U JP11013089U JP11013089U JPH0350331U JP H0350331 U JPH0350331 U JP H0350331U JP 11013089 U JP11013089 U JP 11013089U JP 11013089 U JP11013089 U JP 11013089U JP H0350331 U JPH0350331 U JP H0350331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- reaction tube
- loaded
- heater
- raw material
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例を示す断面概略図、
第２図は従来例の断面概略図、第３図は第２図に
おけるＡ矢視図である。 １……反応管、８……ボート、９……ボートカ
バー、１３……ウエーハ、１６ａ，１６ｂ，１７
ａ，１７ｂ……原料ガス供給管、２１……ヒータ
、２２……支軸、２４……ボート回転モータを示
す。
第２図は従来例の断面概略図、第３図は第２図に
おけるＡ矢視図である。 １……反応管、８……ボート、９……ボートカ
バー、１３……ウエーハ、１６ａ，１６ｂ，１７
ａ，１７ｂ……原料ガス供給管、２１……ヒータ
、２２……支軸、２４……ボート回転モータを示
す。
Claims (1)
- 周囲をヒータで囲まれた反応管内に原料ガスを
注入、排気可能とし、該反応管にウエーハが装填
されたボートを装入、抜出可能とすると共にボー
ト装入状態でボートを回転可能としたことを特徴
とする化学気相生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11013089U JPH0350331U (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11013089U JPH0350331U (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0350331U true JPH0350331U (ja) | 1991-05-16 |
Family
ID=31658682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11013089U Pending JPH0350331U (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0350331U (ja) |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP11013089U patent/JPH0350331U/ja active Pending