JPH03206979A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野） この発明は半導体製造装置、特に半導体記憶素子を測定
するテスターに関するものである。

〔従来の技術〕

ｒｃは集積度の増加と共にその測定時間も大幅に増大し
てきた。

第３図は従来の半導体製造装置に使用されるテスターの
測定順序を示すフローチャートを示す。ステップ１はテ
ストＡ、ステップ２はテストＢ、ステップ３はテストＣ
・・・・・ステップｎはテストｘで、テストＡ，Ｂ，Ｃ
・・・・Ｘはそれぞれの測定項目である。

従来、測定項目Ａ，Ｂ，Ｃ・・・・Ｘおよびその測定順
序は予め決められており、特に測定順序は各測定項目の
不良率に拘らず不変である。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の測定項目、測定順序は以上のように構成されてい
たので、不良率の高い測定項目が、測定順序の最後すな
わちフローチャートのテストＸであったとしたら、無駄
な測定時間を費やすという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、不良品に対する測定時間を短縮することを目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る半導体製造装置は、測定項目の不良数を
カウントするカウンターと、このカウンターが一定数に
達したか否かを判定する判定手段と、この判定手段が一
定数に達したと判定すると測定順序を変更する変更手段
とを設けたものである。

〔作用〕

この発明における判定手段は、カウンターの値かある一
定数に達したら測定順序を変更する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示す半導体製造装置のブ
ロック図である。図において、（ｌ１）〜（１４）はカ
ウンターＡ−Ｄ、（２）はカウンター（１１）〜（ｌ４
）の数を入力とする制御回路で、カウンター（１１）〜
（１４）が一定数に達したか否かを判定する判定手段（
２ｌ）及びこの判定手段（２１）が一定数に達したと判
定すると、測定手段（３）を変更する変更手段（２２）
により構成され、測定手段の制御を行うものである。

次に動作について説明する。

測定手段（３）は制御回路（２）により第２図のフロー
チャートに示す如く制御がなされる。図において、スタ
ートするとステップ２ＡでカウンターＡが一定数に達し
たかどうかを判断する。一定数に達したならステップ２
Ｂへ進む。

ステップ２Ｂではテスト項目Ａを測定順序の最初にする
ようにし、引き続きステップ（２Ｃ）でカウンターＡを
クリアする。以下、順に各テスト項目で、カウンターを
判断する。

（発明の効果） 以上のようにこの発明によれば、不良率の高し）測定項
目を測定順序の最初に持っていくことにより測定時間を
短縮できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す半導体製造装置のブ
ロック図、第２図は第１図の制御回路の動作を示すフロ
ーチャート、第３図は従来の半導体製造装置の測定方法
を示すフローチャートである。図において（１１）〜（
１４）はカウンター　（２）は制御回路、（２１）は判
定手段、（２２）は変更手段、（３）は測定手段を示す
。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体素子を測定するテスター、このテスターによって
   測定する測定手段、この測定手段によって測定される各
   測定項目の不良数を数えるカウンター、このカウンター
   が一定数に達したか否かを判定する判定手段、この判定
   手段が一定数に達したと判定すると測定順序を変更する
   変更手段を備えたことを特徴とする半導体製造装置。