JPH03212949A - バーンイン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体デバイスの初期不良の発生を加速す
るためのバーンイン装置に関するものである。

〔従来の技術］ 第２図は従来のバーンイン装置の構成を示すブロック図
である。図において、（１）は被測定ＩＣ１（２）は被
測定ＩＣ（１）から送られてくる出力信号を判定する判
定部、（３）は判定結果を記憶する記憶部、（４）は判
定結果を表示する表示部である。

次に＠作について説明する。各被測定ＩＣ（１）の出力
信号を判定部（２）Ｋより判定し、判定結果を記憶部（
３）に記憶する。次いで、バーンイン終了後判定結果を
、表示部（４）に表示する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のバーンイン装置は以上のように構成されていたの
で、バーンイン終了後に、判定結果によりオペレーター
が追加バーンイン時間を判断しなければならず、追加バ
ーンイン開始迄に無駄時間が発生する。追加バーンイン
時間設定のミスを起しやすいなどの問題があった。

この発明は１紀のような問題点を解消するためＫなされ
たもので、自動的に追加バーンインできるととも忙無駄
時間、オペレータのミスをなくすことができる。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るバーンイン装置は、被測定ＩＣの不良率
を自動的に算出するとともに、自動的に追加バーンイン
時間を選択し、タイマーを設定するようにしたものであ
る。

〔作用〕

この発明における、追加ノ（−ンイン時間選択部は、被
測定ＩＣの不良率の大きさにより、予め設定された不良
率と追加バーンイン時間との対応表より、適切な追加バ
ーンイン時間を選択する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明するう第１
図はバーンイン装置の構成を示すブロック図である。図
におバて、（１）〜（４）は第２図の従来例に示したも
のと同等であるので説明を省略する。

（５）は不良率を算出し追加バーンイン時間を選択する
追加バーンイン時間選択部、（６）はバーンイン時間を
設定するタイマ一部である。

次に動作について説明する。各被測定ＩＣ（１）から出
力される信号を判定部Ｑ）により判定し、判定結果を記
憶部（３）に記憶する。次いで、追加バーンイン時間選
択部（５）において被測定ＩＣ（１）の不良率を算出し
、追加バーンイン時間を指示する信号をタイマ一部（６
）に送ることによりバーンイン時間を被測定ＩＣ（１）
の不良率に応じて自動的に変更する。

なお、上記実施例では、追加バーンイン時間を自動的に
設定する機能を設けたものを示したが、時間の代りに、
被測定ＩＣ（１）への印加電圧や入力タイミングを自動
的に設定する機能を設けてもよい。

〔発明の効果ｊ 以上のように、この発明によれば、追加バーンイン時間
を被測定ＩＣの不良率により自動的に設定する構成にし
たので、所定の品質レベルのｒｃを得るための確実なバ
ーンインを容易に速〈実施できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるバーンイン装置を示
すブロック図、第２図は従来のバーンイン装置を示すブ
ロック図である。 図において、（１）は被測定Ｉ　Ｃ、（２）は判定部、
（３）は記憶部、（４）は表示部、（５）は追加バーン
イン時間選択部、（６）はタイマ一部である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. デバイスの出力を判定する機能を備えたバーンイン装置
   において、判定結果によりバーンイン条件を自動的に変
   更する機能を備えたことを特徴とするバーンイン装置。