JPH03217039A - ワイヤボンディングの検査方法並びにワイヤボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体集積回路（ＩＣ）等の組立工程における
ワイヤボンディングの検査方法並びにワイヤボンディン
グ装置に関するものである。

［背景技術］ 半導体集積回路（ＩＣ）や大規模集積回路（ＬＳＩ）を
製造する場合には、半導体ペレットが配設されたリード
フレームを搬送装置により位置決めした後、ワイヤを保
持する工具をリードフレーム及び半導体ペレットに対し
て相対的に変位させることにより、ワイヤをリードフレ
ームに設けたリードポストと半導体ペレットのパッドと
に夫々導いてボンディングする。このような工程によリ
ボンディングされたリードフレームのリードポストと半
導体ペレットのパッドとに接続されたワイヤのループ形
状、ワイヤが確実に接続されているかどうか等の検査は
、従来ワイヤボンディング直後の抜取りによりなされて
いる。この検査はマガジン内に収納されたリードフレー
ムを検査員がワイヤボンディング装置を止めて、マガジ
ンより注意深く取出して顕微鏡を使用し目視によりワイ
ヤのループ形状やワイヤが正確にボンディング接続され
ているかどうかを確認検査するという方法が取られてい
る。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来のようなワイヤボンディングの検査
方法では検査員がリードフレームを検査のためにワイヤ
ボンディング装置を停止させてからリードフレームをマ
ガジンから取出して検査した後再びマガジン内に戻して
収納するためリードフレーム輸送時にリードフレームに
衝撃を与えたり他のものに接触させてワイヤ形状を壊す
等の欠点がある。また、従来の検査方法では検査のため
にワイヤボンディング装置を停止させなければならない
ため作業効率も低下するという欠点がある。

本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、検
査のためにリードフレームをマガジンから取出す必要が
なく、ワイヤボンデイング装置が稼動中であっても検査
員が検査しようとするときボンディング済リードフレー
ムの画像を映像装置に映し出して検査を行うことのでき
るワイヤボンディングの検査方法並びにそのワイヤボン
デイング装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、リードフレームをボンデイングステージに搬
送する搬送手段と、該搬送手段により搬送されたリード
フレームを位置決めしてワイヤを保持する工具を前記リ
ードフレーム及び半導体ペレットに対して相対的に変位
させることにより前記ワイヤを前記リードフレームに設
けたリードポストと前記半導体ペレット上のパッドとに
夫々導いてボンディングを行うボンデイング手段と、こ
のボンディング手段によりボンデイングされたリードフ
レームを収納するマガジンと、前記ボンディング手段と
前記収納マガジンとの間に設けられた少なくとも１以上
の撮像手段と、該撮像手段により盪像された画像を書込
み読出し可能な画像メモリを有する画像記憶再生手段と
を備え、前記画像記憶再生手段への画像記憶開始指令に
より前記撮像装置により撮像されたボンデイング済リー
ドフレームの任意の画像を画像メモリに記憶し、この記
憶された画像を画像メモリから読出して再生することが
できるように構成したものである。

本発明は、リードフレームをボンデイングステージに搬
送する搬送手段と、該搬送手段により搬送されたリード
フレームを位置決めしてワイヤを保持する工具を前記リ
ードフレーム及び半導体ペレットに対して相対的に変位
させることにより前記ワイヤを前記リードフレームに設
けたリードポストと前記半導体ペレット上のパッドとに
夫々導いてボンディングを行うボンディング手段と、該
ボンディング手段と近接配置され移動可能な撮像手段と
、前記ボンディング手段によリボンディングされたリー
ドフレームを収納するマガジンと、前記撮像手段により
撮像された画像を書込み読出し可能な画像メモリを有す
る画像記憶再生手段とを備え、前記画像記憶再生手段へ
の画像記憶開始指令により予め設定された位置にボンデ
ィング手段を移動させ前記撮像装置によリボンディング
済リードフレームの画像を画像メモリに記憶し、この記
憶された画像を画像メモリから読出して再生することが
できるように構成したものである。

本発明は、リードフレームを搬送手段によリボンディン
グステージに搬送し、この搬送されたリードフレームを
位置決めしてワイヤを保持する工具を前記リードフレー
ム及び半導体ペレットに対して相対的に変位させて前記
ワイヤを前記リードフレームに設けたリードポストと前
記半導体ペレット上のパッドとに夫々導いてボンディン
グを行い、このボンディングされたリードフレームの番
号とリードフレームに配設されている半導体ペレットの
位置と予め設定されているリードフレームの番号とリー
ドフレームに配設されている半導体ペレットの位置とが
一致しているかどうかを制御手段により判定し、この判
定により一致している場合には制御手段によリボンディ
ングされたリードフレームを撮像して画像を記憶させ再
生できるようにしたものである。

［実施例］ 次に本発明の実施例について図面を用いて詳細に説明す
る。

第１図は本実施例に用いられるワイヤボンディング装置
である。

第１図において、ボンディングヘッド１はＸ方向及びＹ
方向に移動可能なＸＹテーブル（図示せず）に搭載され
ており、Ｘ方向及びＹ方向に相対ｑ 的に移動させて位置決めすることによりリードフレーム
のリードポストと半導体ペレット上のパッドとの間にワ
イヤによるボンディング接続を行うものである。複数の
半導体ペレットが配設されたリードフレーム４は供給側
マガジン５内に収納されており、このマガジン５内に収
納されたリードフレーム４が搬送装置３上に送り出され
る。このマガジン５は図示せぬ昇降手段により上下に間
欠的に移動可能に構成されており、搬送装置３上に順次
リードフレーム４を送り出しできるように構成されてい
る。この搬送装置３上に送り出されたリードフレーム４
はセンサー（図示せず）により検出されて図示せぬガイ
ド手段により幅方向を規制されながらボンディングヘッ
ド１のボンディングアーム下方に１コマづつ間欠的に送
られる。

リードフレーム４がボンディング作業を行うボンディン
グステージに到達すると図示せぬセンサーによりリード
フレーム４の有無が検出され、リードフレームのリード
ポストと半導体ペレット上のパッドとが相対的に位置決
めされてボンディング１　０ ヘッド１によりワイヤによるボンディング接続がなされ
る。このボンディング接続されたリードフレーム４は１
コマづつ間欠送りされて順次ワイヤボンディングされた
後、収納マガジン２内に収納される。この収納マガジン
２も図示せぬ昇降手段により上下に間欠的に移動可能に
構成されており、ボンディング接続されたリードフレー
ム４を順次収納できるように構成されている。このリー
ドフレーム４には通常複数の半導体ペレットが配設され
ている。この第１図の装置ではボンディングヘッド１と
収納マガジン２との間にボンディングヘッド１に搭載さ
れている画像処理等を行うＴＶカメラ等よりなる撮像装
置（図示せず）とは別のＴＶカメラ６、光学レンズ７、
照明灯８等よりなる撮像装置が設けられている。この揃
像装置の光学レンズ７の下方にはリードフレーム４の有
無を検出する公知の光学的センサー等よりなるセンサー
（図示せず）が搬送装置３に設けられている。このＴＶ
カメラ６は通常のテレビ信号の処理の他２値化信号によ
る処理等ができるように構成ｌ １ されている。このＴＶカメラ６の映像信号は画像メモリ
が内蔵された画像記憶再生装置９に入力されている。こ
の画像記憶再生装置９の回路の構成を示すブロック図が
第２図に示されている。

図において、ＴＶカメラ６等よりなる操像装置で撮像さ
れた画像はＡ／Ｄ変換器１２によりアナログ信号からデ
ジタル信号に変換された後、画像メモリ１４に記憶され
る。この画像メモリ１４への画像の書込み及び読出しの
タイミング制御は制御回路１５によりなされている。画
像メモリ１４は随時書き込み読み出しできるメモリであ
って１フレーム分記憶することができる。この画像メモ
リ１４にはこのフレームメモリを複数搭載しているので
、本実施例では複数コマ（半導体チップ）の画像を記憶
することができる。この画像記憶再生装置９には各種の
制御命令を出すＣＰＵ１６とフロッピーディスクコント
ロール１７、通信コントロール１８、キーコントロール
１９、入出力コントロール２０が備えられている。フロ
ッピーディスクコントロール１７は画像１ ２ メモリ１４に記憶された画像をフロッピーディスク等の
外部磁気記憶媒体に記録するための制御回路であり、通
信コントロール１８は電話回線等の通信回線と接続する
ことにより外部の画像処理装置に画像記憶再生装置９内
に記憶された画像を通信回線を介して送出するための制
御回路である。

また、キーコントロール１９は操作者が画像記憶再生装
置９により記憶させようとする画像を画像メモリ１４に
取り込むための操作手段であり、入出力コントロール２
０は第１図に示すワイヤボンディング制御装置１１と接
続され、ワイヤボンディング制御装置１１側からの指令
により画像記憶開始指令等の命令を人出力するためのも
のである。このワイヤボンディング制御装置１１にはワ
イヤボンディング装置の各種操作を行うためのキーコン
トロール（図示せず）は別に設けられており、画像記憶
再生装置９内の画像メモリ１４にリードフレームの予め
記憶させようとする必要なコマ数等を設定することがで
きる。この記憶された画像はフロッピーディスク等の外
部記憶媒体にｌ３ 記録することもでき、また通信回線と接続することによ
り外部の画像処理装置にこの記憶された画像を通信回線
を介して送出することもできるように構成されている。

また、検査員がワイヤボンディングの結果を検査する必
要のあるときには画像紀憶再生装置９内に記憶されてい
るボンディング済リードフレームの画像をテレビモニタ
１０に映し出して検査を行う。

次に、上記構成よりなる本実施例の作用について説明す
る。

供給側マガジン５より搬送装置３上に送出されたリード
フレーム４はボンディングヘッド１によリボンディング
された後１コマづつ間欠送りされる。このボンディング
ヘッド１によリボンディングされたリードフレーム４は
ＴＶカメラ６等よりなる撮像装置の下に位置している。

例えば、リードフレーム５コマの画像を記憶するには、
前以てワイヤボンディング制御装置１１に必要なコマ数
を設定しておく。ワイヤボンディング制御装置１１は、
リードフレーム搬送後、画像記憶再生装１　４ 置９に記憶開始信号を送り、撮像装置の信号をＡ／Ｄ変
換器１２で変換して画像メモリ１４に記憶する。これに
よって、リードフレームのリードポストと半導体ペレッ
ト上のパッドとがワイヤによリボンディング接続された
後順次間欠的に送られてくるので画像メモリにより予め
設定されている５コマ分の画像が自動的に記憶される。

検査員がワイヤボンディング装置上でワイヤボンディン
グの検査を行うには、画像記憶再生装置９のキーコント
ロール１９に備えられている再生スイッチ（図示せず）
を押して必要なコマの画像を画像メモリ１４より呼び出
す。このとき、Ｄ／Ａ変換器１３により画像メモリｌ４
に記憶されている画像はデジタル信号よりアナログ信号
に変換されて瞬時にテレビモニタ１０に画像が映し出さ
れる。このテレビモニタ１０の画像は再び再生スイッチ
が押されるまでは、同一の画像が映し出されているので
、検査員による必要な検査が完了する迄モニタで確認す
ることができる。この画像を直ちに検査する必要がなけ
ればフロッピディスク１ ５ コントロール１７を介してフロッピディスク等の外部の
記憶媒体に記録することもでき、また、通信コントロー
ルｌ８を介して通信回線を用いて外部の画像処理装置に
画像を送出して、必要時に画像を再生して検査を行うこ
とができる。こうすることによって、既に書き込まれて
いる画像ゝを消去してメモリに新たな画像を書き込むこ
とができる。また、検査内容により光学レンズの倍率を
変えるなどして光学レンズの視野を変えたり、少なくと
も１以上の複数の撮像装置を設置しておくことにより第
３図に示すようにリードフレームの全体画像及び一部分
の画像を記憶しておくこともできる。このように光学レ
ンズの視野を変えることによってワイヤボンディングの
接続が確実に行われているかどうかの確認が容易にでき
る。例えば、全体画像を撮像した後にその全体画像に対
応する一部を拡大して画像表示するようにすればワイヤ
の接続状況を直ちに判別することができる。

次に、上記実施例の構成よりなる装置を用いてリードフ
レームの番号並びにコマ数をカウントず１　６ る方法を説明する。なお、搬送装置３上の供給側マガジ
ン５の近傍にはリードフレームを検出するセンサー〔図
示せず〕が設けられ、該センサーにより検出されたリー
ドフレームの枚数を計数するカウンタ（図示せず）がワ
イヤボンディング制御装置１１に設けられている。また
、搬送装置３上のボンディングステージ位置並びに撮像
装置の光学レンズ７の下方にもリードフレーム４を検出
するセンサーが夫々設けられている。

先ず、リードフレームのコマ数をＡとする。ここで第５
図に示すようにＡ＝６とする。

次に、第４図に示すフローチャートを用いて説明すると
、第１図のワイヤボンディング装置の供給側にリードフ
レーム４が収納されているマガジン５をセットする（ス
テップＳ，）。このマガジン５から搬送装置３上に送り
出されるリードフレーム４は搬送装置３に設けられたセ
ンサ（図示せず）によりリードフレーム４の１枚目が検
出される（ステップＳ２）と、ワイヤボンディング制御
装置１１内のカウンタがリードフレーム４の枚１　７ 数Ｆを１に設定し、リードフレーム４のコマ数Ｋを０に
設定する（ステップＳ３）。次に、リードフレーム４が
１コマづつ搬送装置３上を搬送され（ステップＳ４）だ
後、ボンディングステージにリードフレーム４があるか
どうかが判定される（ステップＳＳ）。このボンディン
グステージ上にリードフレーム４がない場合、つまり、
リードフレームとリードフレームとの間で１コマ分あく
場合等があっても既にボンディングされたリードフレー
ム４は撮像位置上に位置している場合がある。したがっ
て、この場合にはリードフレーム４のコマ数等をカウン
トする必要があるのでステップＳ９でリードフレーム４
が撮像位置にあるか否かの判定を行う。もし、この撮像
位置にもリードフレーム４がない場合にはステップＳ４
に戻りリードフレーム４の搬送を行い次の工程に移行す
る。

次に、ボンディングステージ上にリードフレーム４があ
る場合には、通常のワイヤボンディングと同じようにペ
レットの位置検出（ステップＳ６）１　８ ？行いワイヤボンディングを行い（ステップＳ７）、ス
テップＳ８で全ワイヤボンディングが終了したかどうか
の判定を行う。終了していない場合はステップＳ７を継
続して行い、終了している場合には撮像位置にリードフ
レーム４があるかどうかの判定を行う（ステップＳ．）
。ここでリードフレーム４がない場合にはステップＳ４
に戻り上記工程を繰り返し、リードフレーム４がある場
合にはステップＳｈｏに移行してＫ−Ｋ＋１を設定する
。ここでＡ＝６であるからステップＳ１、でＫ＞Ａであ
るならば次のリードフレーム４が撮像位置上にセットさ
れていることになるのでＦ←Ｆ＋１、Ｋ−１を設定する
（ステップＳ１■）。ところが、ステップＳ　ＩＩでＫ
＞Ａでないならば、新たなリードフレーム４が撮像位置
上にセットされていないことになるので、ステップＳ１
■の設定を行わずにステップＳｌ３に移行してリードフ
レーム４の番号及びコマ位置が一致しているかどうかの
判定を行う。一致していない場合にはステップＳ４に移
行してリードフレームの搬送を行い、１ ９ ？している場合には画像記憶再生装置９への記憶開始信
号をワイヤボンディング制御装置１１より出力（ステッ
プＳ，４）Ｌ画像を記憶（ステップＳ＋６）Ｌステップ
Ｓ４のリードフレーム搬送工程に移行する。

また、ステップＳ１■の設定がなされた場合にも上記ス
テップ３　１８乃至ステップＳ１８の工程に移行する。

上記工程によりリードフレームの番号及びコマ数をカウ
ントして画像記憶することができるので、ワイヤボンデ
ィング制御装置１１により画像記憶しようとするリード
フレーム４の番号Ｍ及びコマ数Ｎを予め設定しておくこ
とにより、第１図に示す装置を用いて所定のリードフレ
ーム４の番号Ｍ及びコマ数Ｎを自動的に記憶させること
ができる。

次に、第１図に示す装置ではＴＶカメラ６、光学レンズ
７、照明灯８よりなる撮像装置を用いているが、このよ
うな別の撮像装置を用いずにボンディングヘッド１に搭
載されているＴＶカメラ２　０ ６、光学レンズ７等よりなる撮像装置と同じ機能を有す
る撮像装置を用いてリードフレーム４の画像を記憶する
ことができる。これを第６図のフローチャートを用いて
説明する。なお、その他の構成は第１図のものと同一で
ある。

先ず、前以て、ワイヤボンディング制御装置１ｌに画像
を記憶すべきリードフレームの番号Ｍ及びコマ位置Ｎを
設定する。この設定は複数行うことができる。次に、ボ
ンディングヘッド１が搭載されているＸＹステージに記
憶すべき画像の位置をワイヤボンディング制御装置１１
に記憶させる。これは、ＸＹステージが移動してボンデ
ィング作業がなされた後にボンディング接続された状態
を撮像するので、撮像しようとする位置をＸＹステージ
の座標上の位置として記憶させておく必要があるからで
ある。

第６図に示すようにワイヤボンディング制御装置１１よ
り開始指令が出されると、ステップＳＡ，でペレットの
位置が検出される。ステップＳＡ．でワイヤボンディン
グがなされ、ステップ２１ ＳＡ．でワイヤボンディングが終了したかどうかが判定
される。このワイヤボンディングが終了していなければ
前のステップに戻り、ボンディングが終了しているなら
ばステップＳＡ４において予め設定されているリードフ
レームの番号Ｍ及びコマＮの位置が一致しているかどう
かが判定される。一致していない場合にはステップＳＡ
．に移行してリードフレームを搬送する。ここではリー
ドフレーム４の枚数Ｆはカウンタによりカウントされて
おり、またリードフレーム４のコマ数Ｋもカウントされ
ているので、このＦ．＝Ｍ及びＫ＝Ｎか否かが判定され
ることになる。このステップＳＡ４でリードフレーム４
の番号及びコマ数が一致している場合にはＸＹステージ
を画像記憶位置に移動させる。この画像記憶位置はＸＹ
テーブルの座標点として記憶されているので、この移動
がなされた後に画像記憶再生装置９に画像記憶開始指令
信号が出され（ＳＡ６）．画像を記憶する（ＳＡ．）。

この画像の記憶が完了した後はリードフレームを搬送す
る（ＳＡ．）。この搬送がな２２ された後はステップＳＡ．に戻り上記と同様の工程が繰
り返される。

以上により、ワイヤボンディング制御装置１１からの指
令により予め設定されたリードフレーム４の番号及びコ
マ位置の画像が画像記憶再生装置９の画像メモリ１４に
取込まれているので、ワイヤボンディングの接続状況を
検査員が検査しようとするときはキーコントロール１９
の操作手段に備えられている再生スイッチを操作するこ
とにより所望の画像をメモリから呼出しテレビモニタ１
０上に映し出す事ができる。この映し出された画像を見
て検査することによってワイヤボンディングの良否を判
定することができる。

なお、本実施例では画像記憶再生装置９とワイヤボンデ
ィング制御装置１１を別の構成としているが一体に構成
するようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、検査員がリードフ
レームを検査のためにワイヤボンディング装置を停止さ
せる必要がなくワイヤボンディン２　３ グ装置が稼動中であってもボンディング済リードフレー
ムの画像を映像装置に映し出して検査を行うことのでき
るので、リードフレームに衝撃を与えたり他のものに接
触させてワイヤ形状を壊すことがないという効果がある
。また、本発明によれば検査のためにワイヤボンディン
グ装置を停止させる必要がないので作業効率が向上する
効果がある。しかも、複数の画像を記憶させておくこと
ができるので、ワイヤボンディングの接続状況を映像に
映し出して比較検査等を行うこともできるので、品質管
理も向上させることができるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であり、本発明に用いられる
ワイヤボンディング装置を示す図、第２図は第１図に示
す画像記憶再生装置のブロック図、第３図は第２図に示
す画像メモリに記憶された全体画像及び一部画像を示す
図、第４図は本発明に係るリードフレームの番号及びコ
マ数をカウントし画像記憶する方法を説明するフローチ
ャ２　４ ト、第５図は本発明に用いるリードフレームの慨略図、
第６図は本発明に係るワイヤボンディング制御装置を用
いてリードフレームの番号及びコマ位置を自動的に検出
して画像メモリに記憶する方法を示すフローチャートで
ある。 １・・・ボンディングヘッド、２・・・収納マガジン、
３・・・搬送装置、４・・・リードフレム、５・・・供
給側マガジン、６・・・ＴＶカメラ、７・・・光学レン
ズ、８・・・照明灯、９・・・画像記憶再生装置、１０
・・・テ１／ビモニタ、ｌ１・・・ワイヤボンディング
制御装置、１２・・・Ａ／Ｄ変換器、ｌ３・・・Ｄ／Ａ
変換器、ｌ４・・・画像メモリ、１５・・・制御回路．
１６・・・ＣＰＵ．１７・・・フロッピーディスクコン
トロール、１８・・・通信コント０−Ｊｌｚ，１９・・
・キーコントロール、２０・・・入出力コントロール。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）リードフレームをボンディングステージに搬送す
   る搬送手段と、該搬送手段により搬送されたリードフレ
   ームを位置決めしてワイヤを保持する工具を前記リード
   フレーム及び半導体ペレットに対して相対的に変位させ
   ることにより前記ワイヤを前記リードフレームに設けた
   リードポストと前記半導体ペレット上のパッドとに夫々
   導いてボンディングを行うボンディング手段と、このボ
   ンディング手段によリボンディングされたリードフレー
   ムを収納するマガジンと、前記ボンディング手段と前記
   収納マガジンとの間に設けられた少なくとも１以上の撮
   像手段と、該撮像手段により撮像された画像を書込み読
   出し可能な画像メモリを有する画像記憶再生手段とを備
   え、前記画像記憶再生手段への画像記憶開始指令により
   前記撮像装置により撮像されたボンディング済リードフ
   レームの任意の画像を画像メモリに記憶し、この記憶さ
   れた画像を画像メモリから読出して再生することができ
   るようにしたことを特徴とするワイヤボンディング装置
   。
2. （２）リードフレームをボンディングステージに搬送す
   る搬送手段と、該搬送手段により搬送されたリードフレ
   ームを位置決めしてワイヤを保持する工具を前記リード
   フレーム及び半導体ペレットに対して相対的に変位させ
   ることにより前記ワイヤを前記リードフレームに設けた
   リードポストと前記半導体ペレット上のパッドとに夫々
   導いてボンディングを行うボンディング手段と、該ボン
   ディング手段と近接配置され移動可能な撮像手段と、前
   記ボンディング手段によりボンディングされたリードフ
   レームを収納するマガジンと、前記撮像手段により撮像
   された画像を書込み読出し可能な画像メモリを有する画
   像記憶再生手段とを備え、前記画像記憶再生手段への画
   像記憶開始指令により予め設定された位置にボンディン
   グ手段を移動させ前記撮像装置によりボンディング済リ
   ードフレームの画像を画像メモリに記憶し、この記憶さ
   れた画像を画像メモリから読出して再生することができ
   るようにしたことを特徴とするワイヤボンディング装置
   。
3. （３）画像メモリに記憶された画像を読出して他の記憶
   媒体に書込みできるようにしたことを特徴とする請求項
   １又は請求項２記載のワイヤボンディング装置。
4. （４）画像メモリに記憶された画像を読出して通信手段
   を介して他の画像記憶再生装置で読出して再生すること
   ができるようにしたことを特徴とする請求項１又は請求
   項２記載のワイヤボンディング装置。
5. （５）リードフレームを搬送手段によりボンディングス
   テージに搬送し、この搬送されたリードフレームを位置
   決めしてワイヤを保持する工具を前記リードフレーム及
   び半導体ペレットに対して相対的に変位させて前記ワイ
   ヤを前記リードフレームに設けたリードポストと前記半
   導体ペレット上のパッドとに夫々導いてボンディングを
   行い、このボンディングされたリードフレームの番号と
   リードフレームに配設されている半導体ペレットの位置
   と予め設定されているリードフレームの番号とリードフ
   レームに配設されている半導体ペレットの位置とが一致
   しているかどうかを制御手段により判定し、この判定に
   より一致している場合には制御手段によりボンディング
   されたリードフレームを撮像して画像を記憶させ再生で
   きるようにしたことを特徴とするワイヤボンディングの
   検査方法。