JPH03227046A - 高周波集積回路 - Google Patents
高周波集積回路Info
- Publication number
- JPH03227046A JPH03227046A JP2291590A JP2291590A JPH03227046A JP H03227046 A JPH03227046 A JP H03227046A JP 2291590 A JP2291590 A JP 2291590A JP 2291590 A JP2291590 A JP 2291590A JP H03227046 A JPH03227046 A JP H03227046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- capacitor
- inductor
- pattern
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明に、小型化をはかった高周波帯の果噴回路に関
するものである。
するものである。
以下、高周波集積回路として、モノリゾツタマイクロ波
果横回路増@器(以下、MM工C増鶴器という)を例V
Cとって説明する。
果横回路増@器(以下、MM工C増鶴器という)を例V
Cとって説明する。
第3図ri従来のMM工C増幅4のチップパターンの一
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
図において、111は高周波トランジスタ1.2)はイ
ンダクタ、131はコンデンサ、(41は入力信号端子
、15)は出力信号端子、(61に高周波トランジスタ
+11の直流バイアス印加端子である。
ンダクタ、131はコンデンサ、(41は入力信号端子
、15)は出力信号端子、(61に高周波トランジスタ
+11の直流バイアス印加端子である。
次に、動作について説明する。
入力信号端子14)に目」ぷされた信号/I′i高周波
トランジスタ(1)により増幅され、出力信号端子16
)から収り出される。ここで、旨周波トランジスタ11
1を動作させるための直流バイアスは、直流バイアス印
加端子+61より供給される。コンデンサク31および
インダクタ121ニ高周波トランジスタ11の人9人出
インピーダンスを所定の特性インピーダンスに歪合させ
るために用いられる。
トランジスタ(1)により増幅され、出力信号端子16
)から収り出される。ここで、旨周波トランジスタ11
1を動作させるための直流バイアスは、直流バイアス印
加端子+61より供給される。コンデンサク31および
インダクタ121ニ高周波トランジスタ11の人9人出
インピーダンスを所定の特性インピーダンスに歪合させ
るために用いられる。
従来のMM工C増嵯器は以上のように構成されているの
で、増@器に9求される特性や使用同仮数によって大容
量のコンデサおよびインダクタか必要となる。その耐果
、コンデンサおよびインダクタの面積が増大し、MM工
04M器パターンの大部分がコンデンサおよびインダク
タそれぞれのパターンとなり、MM工Cfツブの犬面槓
化によるコストアップの問題と広面積のコンデンサ2よ
びそれぞれのバター7配直によるMM工CM路設計が困
難になる等の問題点かあつ之。
で、増@器に9求される特性や使用同仮数によって大容
量のコンデサおよびインダクタか必要となる。その耐果
、コンデンサおよびインダクタの面積が増大し、MM工
04M器パターンの大部分がコンデンサおよびインダク
タそれぞれのパターンとなり、MM工Cfツブの犬面槓
化によるコストアップの問題と広面積のコンデンサ2よ
びそれぞれのバター7配直によるMM工CM路設計が困
難になる等の問題点かあつ之。
この発明は、上記のような問題点?解消するためになさ
れたもので、コンデンサ、インダクタの占有面構f!:
減らした小型の高周波集積回路?得ることを目的とする
。
れたもので、コンデンサ、インダクタの占有面構f!:
減らした小型の高周波集積回路?得ることを目的とする
。
この発明に係る高周波集積回路は、集積回路4板の裏面
に一部を設け、この凹部内にコンデ7’!j/’:fi
−7に形成し、さらにコンデンサパターン上に絶縁膜と
形成し、この絶縁膜にインダクタパターンを横i所形成
し、このコンデンサおよびインダクタと過積(ロ)路請
板表面力南周波トランジスタや回路パターンと央償回路
4板金べ通導に体で汝続したものである。
に一部を設け、この凹部内にコンデ7’!j/’:fi
−7に形成し、さらにコンデンサパターン上に絶縁膜と
形成し、この絶縁膜にインダクタパターンを横i所形成
し、このコンデンサおよびインダクタと過積(ロ)路請
板表面力南周波トランジスタや回路パターンと央償回路
4板金べ通導に体で汝続したものである。
この発明においては、コンチン・すお↓びインメクタ部
分を集積回路基板表面から破り除き、4横回路基板裏面
の凹部に形成したことから、業績回路基板表面に右利し
ていたコンデンサお:びインダクタそれぞれのパターン
の面積が減少する。
分を集積回路基板表面から破り除き、4横回路基板裏面
の凹部に形成したことから、業績回路基板表面に右利し
ていたコンデンサお:びインダクタそれぞれのパターン
の面積が減少する。
以下、この発明の一夾FM例を図について説明する、
第1図にMMICM幅器のチップパターンを示す平面図
、$;2図ri第1図に示すA−Aにおける蘭面図でめ
る。
、$;2図ri第1図に示すA−Aにおける蘭面図でめ
る。
図において%)1)〜+61は第8図の従来例に示し部
+81内にコンデンサ41とインダクタ(!1それぞれ
のパターンが積層されている。コンチン+j31とイ/
λクタ12)の惰−構造d第2図にボアようにコンデン
サ(3)用の絶縁体、嗜をaさん次4億ov% bdで
コンチン?c31が形成さrL、その上に杷嫌績囚を杉
改し、この杷−膜j上にインダクタ(2)のバター/を
形状し、高周波集積回路が横我さ扛ている◎凹部(81
内のコンデンサ13)とインダクタ4+に、集積回路基
板(γ1をス通する貞通導電体1aにより集積Lg1路
基板+71上の高周波トランジスタ111や池の回路バ
ター/と1気司に接続されている。
+81内にコンデンサ41とインダクタ(!1それぞれ
のパターンが積層されている。コンチン+j31とイ/
λクタ12)の惰−構造d第2図にボアようにコンデン
サ(3)用の絶縁体、嗜をaさん次4億ov% bdで
コンチン?c31が形成さrL、その上に杷嫌績囚を杉
改し、この杷−膜j上にインダクタ(2)のバター/を
形状し、高周波集積回路が横我さ扛ている◎凹部(81
内のコンデンサ13)とインダクタ4+に、集積回路基
板(γ1をス通する貞通導電体1aにより集積Lg1路
基板+71上の高周波トランジスタ111や池の回路バ
ター/と1気司に接続されている。
以上のように構成することにより、匠来は高周彼巣償回
路上に構成され、広い面積を占有してい次コンデンサ+
l!およびインダクタ+1+それぞれのパターンを表面
より襄Ifiに移設力にgT雇となり、・u渭な特注に
従来例と同等になる。さらに、表面の回路パターン配置
でコンデンサ31おx□インダクタ21それぞれのパタ
ーンの制約カ褥消もしくに少々〈な9、集積回路パター
ン紋針に2ける自由度が向上する。
路上に構成され、広い面積を占有してい次コンデンサ+
l!およびインダクタ+1+それぞれのパターンを表面
より襄Ifiに移設力にgT雇となり、・u渭な特注に
従来例と同等になる。さらに、表面の回路パターン配置
でコンデンサ31おx□インダクタ21それぞれのパタ
ーンの制約カ褥消もしくに少々〈な9、集積回路パター
ン紋針に2ける自由度が向上する。
4゜
lお、上記実i例ではMMIC壇幅器について説明した
が、こaVC限定するものでなく、他の尚周波果檎回路
νて通用しても同様の幼果1r:奥することはいうまで
もない。
が、こaVC限定するものでなく、他の尚周波果檎回路
νて通用しても同様の幼果1r:奥することはいうまで
もない。
以上説明したようVにの発明a、4横回路蕪板上1c形
成される回路パターンで、コンデンサおよびインダクタ
それぞれのパターンを集積回路基板の裏面に設けた凹部
に形成したので、集積回路パターンの縮小化が可能とな
り、小型化した安価な高周波集積回路が得られる効果が
ある。
成される回路パターンで、コンデンサおよびインダクタ
それぞれのパターンを集積回路基板の裏面に設けた凹部
に形成したので、集積回路パターンの縮小化が可能とな
り、小型化した安価な高周波集積回路が得られる効果が
ある。
第1図にこの発明に係る高周波集積回路の一害苑gAJ
VCよるMM工増@器のチップパターンを示す平面図、
第2図は第1図に示すA−Aにおける断面図、第8図は
従来のMM工工場増幅器チップパターンを示す平面図で
ある。 図において、)!)は高出力トランジスタ1,21にイ
ンダクタ、31ハコンデンサ、141i人力信号端子、
+51は出力信号端子、16)は直流バイアス印加端子
、171は集積回路基板、(8)は凹部、bは絶縁膜、
311mにコンデンサ用絶縁体、3υ、(至)に電億。 +71は貫通導電体である。 なお、谷図中、同一符号に同一 または当相部分會示す
。
VCよるMM工増@器のチップパターンを示す平面図、
第2図は第1図に示すA−Aにおける断面図、第8図は
従来のMM工工場増幅器チップパターンを示す平面図で
ある。 図において、)!)は高出力トランジスタ1,21にイ
ンダクタ、31ハコンデンサ、141i人力信号端子、
+51は出力信号端子、16)は直流バイアス印加端子
、171は集積回路基板、(8)は凹部、bは絶縁膜、
311mにコンデンサ用絶縁体、3υ、(至)に電億。 +71は貫通導電体である。 なお、谷図中、同一符号に同一 または当相部分會示す
。
Claims (1)
- 高周波トランジスタ、コンデサ、インダクタなどの回路
パターンを同一の集積回路基板に備えた高周波集積回路
において、上記集積回路基板の裏面に凹部を設け、この
凹部内に上記コンデンサパターンを形成し、さらにコン
デンサパターン上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上にイ
ンダクタのパターンを積層形成し、上記集積回路基板上
面の回路パターンと上記コンデンサおよびインダクタと
を上記集積回路基板を貫通導電体で接続したことを特徴
とする高周波集積回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2291590A JPH03227046A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 高周波集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2291590A JPH03227046A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 高周波集積回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03227046A true JPH03227046A (ja) | 1991-10-08 |
Family
ID=12095942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2291590A Pending JPH03227046A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 高周波集積回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03227046A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06151709A (ja) * | 1992-11-16 | 1994-05-31 | Matsushita Electric Works Ltd | コンデンサ |
| WO1996027905A1 (en) * | 1995-03-06 | 1996-09-12 | Hitachi, Ltd. | High-frequency amplifier circuit |
| JP2007049115A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-22 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
| JP2008270573A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
| WO2009017923A1 (en) * | 2007-07-27 | 2009-02-05 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device having backside redistribution layers and method for fabricating the same |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2291590A patent/JPH03227046A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06151709A (ja) * | 1992-11-16 | 1994-05-31 | Matsushita Electric Works Ltd | コンデンサ |
| WO1996027905A1 (en) * | 1995-03-06 | 1996-09-12 | Hitachi, Ltd. | High-frequency amplifier circuit |
| JP2007049115A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-22 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
| JP2008270573A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
| US8410577B2 (en) | 2007-04-20 | 2013-04-02 | Sanyo Semiconductor Co., Ltd. | Semiconductor device |
| WO2009017923A1 (en) * | 2007-07-27 | 2009-02-05 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device having backside redistribution layers and method for fabricating the same |
| US7932179B2 (en) | 2007-07-27 | 2011-04-26 | Micron Technology, Inc. | Method for fabricating semiconductor device having backside redistribution layers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0365016B2 (ja) | ||
| JPS5890810A (ja) | マイクロ波回路装置 | |
| JPH03227046A (ja) | 高周波集積回路 | |
| JPS61123302A (ja) | フイルタ装置 | |
| JPS63224249A (ja) | 高周波集積回路 | |
| JPH02140969A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPS6010081Y2 (ja) | マイクロ波集積回路 | |
| JPS62191202U (ja) | ||
| JPH04116966A (ja) | 高周波集積回路 | |
| JPS6364081B2 (ja) | ||
| JPS6035247Y2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0321857U (ja) | ||
| JPH03276745A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2658376B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0582936A (ja) | リードレス部品搭載基板の電気回路 | |
| JPS5838613Y2 (ja) | ハイブリツド集積化高周波トランジスタ増幅器 | |
| JPS622774Y2 (ja) | ||
| JPH05218102A (ja) | 内部整合回路を有する電界効果トランジスタ | |
| JPS61107238U (ja) | ||
| JPH04271161A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH04109701A (ja) | マイクロ波半導体装置 | |
| JPH04322502A (ja) | 分布定数型整合回路 | |
| JPH0230843Y2 (ja) | ||
| JPH0441616Y2 (ja) | ||
| JP2604138Y2 (ja) | カップリングコンデンサを用いたハイブリッドic |