JPH03227046A - 高周波集積回路 - Google Patents

高周波集積回路

Info

Publication number
JPH03227046A
JPH03227046A JP2291590A JP2291590A JPH03227046A JP H03227046 A JPH03227046 A JP H03227046A JP 2291590 A JP2291590 A JP 2291590A JP 2291590 A JP2291590 A JP 2291590A JP H03227046 A JPH03227046 A JP H03227046A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
capacitor
inductor
pattern
circuit board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2291590A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshinobu Kadowaki
門脇 好伸
Koji Fujioka
藤岡 孝司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2291590A priority Critical patent/JPH03227046A/ja
Publication of JPH03227046A publication Critical patent/JPH03227046A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明に、小型化をはかった高周波帯の果噴回路に関
するものである。
〔従来の技術〕
以下、高周波集積回路として、モノリゾツタマイクロ波
果横回路増@器(以下、MM工C増鶴器という)を例V
Cとって説明する。
第3図ri従来のMM工C増幅4のチップパターンの一
例を示す平面図である。
図において、111は高周波トランジスタ1.2)はイ
ンダクタ、131はコンデンサ、(41は入力信号端子
、15)は出力信号端子、(61に高周波トランジスタ
+11の直流バイアス印加端子である。
次に、動作について説明する。
入力信号端子14)に目」ぷされた信号/I′i高周波
トランジスタ(1)により増幅され、出力信号端子16
)から収り出される。ここで、旨周波トランジスタ11
1を動作させるための直流バイアスは、直流バイアス印
加端子+61より供給される。コンデンサク31および
インダクタ121ニ高周波トランジスタ11の人9人出
インピーダンスを所定の特性インピーダンスに歪合させ
るために用いられる。
〔発明が解決しようとする昧題〕
従来のMM工C増嵯器は以上のように構成されているの
で、増@器に9求される特性や使用同仮数によって大容
量のコンデサおよびインダクタか必要となる。その耐果
、コンデンサおよびインダクタの面積が増大し、MM工
04M器パターンの大部分がコンデンサおよびインダク
タそれぞれのパターンとなり、MM工Cfツブの犬面槓
化によるコストアップの問題と広面積のコンデンサ2よ
びそれぞれのバター7配直によるMM工CM路設計が困
難になる等の問題点かあつ之。
この発明は、上記のような問題点?解消するためになさ
れたもので、コンデンサ、インダクタの占有面構f!:
減らした小型の高周波集積回路?得ることを目的とする
〔課題?解決するための手段〕
この発明に係る高周波集積回路は、集積回路4板の裏面
に一部を設け、この凹部内にコンデ7’!j/’:fi
−7に形成し、さらにコンデンサパターン上に絶縁膜と
形成し、この絶縁膜にインダクタパターンを横i所形成
し、このコンデンサおよびインダクタと過積(ロ)路請
板表面力南周波トランジスタや回路パターンと央償回路
4板金べ通導に体で汝続したものである。
〔作用〕
この発明においては、コンチン・すお↓びインメクタ部
分を集積回路基板表面から破り除き、4横回路基板裏面
の凹部に形成したことから、業績回路基板表面に右利し
ていたコンデンサお:びインダクタそれぞれのパターン
の面積が減少する。
〔医厖−」〕
以下、この発明の一夾FM例を図について説明する、 第1図にMMICM幅器のチップパターンを示す平面図
、$;2図ri第1図に示すA−Aにおける蘭面図でめ
る。
図において%)1)〜+61は第8図の従来例に示し部
+81内にコンデンサ41とインダクタ(!1それぞれ
のパターンが積層されている。コンチン+j31とイ/
λクタ12)の惰−構造d第2図にボアようにコンデン
サ(3)用の絶縁体、嗜をaさん次4億ov% bdで
コンチン?c31が形成さrL、その上に杷嫌績囚を杉
改し、この杷−膜j上にインダクタ(2)のバター/を
形状し、高周波集積回路が横我さ扛ている◎凹部(81
内のコンデンサ13)とインダクタ4+に、集積回路基
板(γ1をス通する貞通導電体1aにより集積Lg1路
基板+71上の高周波トランジスタ111や池の回路バ
ター/と1気司に接続されている。
以上のように構成することにより、匠来は高周彼巣償回
路上に構成され、広い面積を占有してい次コンデンサ+
l!およびインダクタ+1+それぞれのパターンを表面
より襄Ifiに移設力にgT雇となり、・u渭な特注に
従来例と同等になる。さらに、表面の回路パターン配置
でコンデンサ31おx□インダクタ21それぞれのパタ
ーンの制約カ褥消もしくに少々〈な9、集積回路パター
ン紋針に2ける自由度が向上する。
4゜ lお、上記実i例ではMMIC壇幅器について説明した
が、こaVC限定するものでなく、他の尚周波果檎回路
νて通用しても同様の幼果1r:奥することはいうまで
もない。
〔発明の効果〕
以上説明したようVにの発明a、4横回路蕪板上1c形
成される回路パターンで、コンデンサおよびインダクタ
それぞれのパターンを集積回路基板の裏面に設けた凹部
に形成したので、集積回路パターンの縮小化が可能とな
り、小型化した安価な高周波集積回路が得られる効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図にこの発明に係る高周波集積回路の一害苑gAJ
VCよるMM工増@器のチップパターンを示す平面図、
第2図は第1図に示すA−Aにおける断面図、第8図は
従来のMM工工場増幅器チップパターンを示す平面図で
ある。 図において、)!)は高出力トランジスタ1,21にイ
ンダクタ、31ハコンデンサ、141i人力信号端子、
+51は出力信号端子、16)は直流バイアス印加端子
、171は集積回路基板、(8)は凹部、bは絶縁膜、
311mにコンデンサ用絶縁体、3υ、(至)に電億。 +71は貫通導電体である。 なお、谷図中、同一符号に同一 または当相部分會示す

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 高周波トランジスタ、コンデサ、インダクタなどの回路
    パターンを同一の集積回路基板に備えた高周波集積回路
    において、上記集積回路基板の裏面に凹部を設け、この
    凹部内に上記コンデンサパターンを形成し、さらにコン
    デンサパターン上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上にイ
    ンダクタのパターンを積層形成し、上記集積回路基板上
    面の回路パターンと上記コンデンサおよびインダクタと
    を上記集積回路基板を貫通導電体で接続したことを特徴
    とする高周波集積回路。
JP2291590A 1990-01-31 1990-01-31 高周波集積回路 Pending JPH03227046A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2291590A JPH03227046A (ja) 1990-01-31 1990-01-31 高周波集積回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2291590A JPH03227046A (ja) 1990-01-31 1990-01-31 高周波集積回路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03227046A true JPH03227046A (ja) 1991-10-08

Family

ID=12095942

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2291590A Pending JPH03227046A (ja) 1990-01-31 1990-01-31 高周波集積回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03227046A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06151709A (ja) * 1992-11-16 1994-05-31 Matsushita Electric Works Ltd コンデンサ
WO1996027905A1 (en) * 1995-03-06 1996-09-12 Hitachi, Ltd. High-frequency amplifier circuit
JP2007049115A (ja) * 2005-07-13 2007-02-22 Seiko Epson Corp 半導体装置
JP2008270573A (ja) * 2007-04-20 2008-11-06 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置
WO2009017923A1 (en) * 2007-07-27 2009-02-05 Micron Technology, Inc. Semiconductor device having backside redistribution layers and method for fabricating the same

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06151709A (ja) * 1992-11-16 1994-05-31 Matsushita Electric Works Ltd コンデンサ
WO1996027905A1 (en) * 1995-03-06 1996-09-12 Hitachi, Ltd. High-frequency amplifier circuit
JP2007049115A (ja) * 2005-07-13 2007-02-22 Seiko Epson Corp 半導体装置
JP2008270573A (ja) * 2007-04-20 2008-11-06 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置
US8410577B2 (en) 2007-04-20 2013-04-02 Sanyo Semiconductor Co., Ltd. Semiconductor device
WO2009017923A1 (en) * 2007-07-27 2009-02-05 Micron Technology, Inc. Semiconductor device having backside redistribution layers and method for fabricating the same
US7932179B2 (en) 2007-07-27 2011-04-26 Micron Technology, Inc. Method for fabricating semiconductor device having backside redistribution layers

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0365016B2 (ja)
JPS5890810A (ja) マイクロ波回路装置
JPH03227046A (ja) 高周波集積回路
JPS61123302A (ja) フイルタ装置
JPS63224249A (ja) 高周波集積回路
JPH02140969A (ja) 半導体集積回路装置
JPS6010081Y2 (ja) マイクロ波集積回路
JPS62191202U (ja)
JPH04116966A (ja) 高周波集積回路
JPS6364081B2 (ja)
JPS6035247Y2 (ja) 半導体装置
JPH0321857U (ja)
JPH03276745A (ja) 半導体装置
JP2658376B2 (ja) 半導体装置
JPH0582936A (ja) リードレス部品搭載基板の電気回路
JPS5838613Y2 (ja) ハイブリツド集積化高周波トランジスタ増幅器
JPS622774Y2 (ja)
JPH05218102A (ja) 内部整合回路を有する電界効果トランジスタ
JPS61107238U (ja)
JPH04271161A (ja) 半導体装置
JPH04109701A (ja) マイクロ波半導体装置
JPH04322502A (ja) 分布定数型整合回路
JPH0230843Y2 (ja)
JPH0441616Y2 (ja)
JP2604138Y2 (ja) カップリングコンデンサを用いたハイブリッドic