JPH03250407A - 積層型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
積層型磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH03250407A JPH03250407A JP4740590A JP4740590A JPH03250407A JP H03250407 A JPH03250407 A JP H03250407A JP 4740590 A JP4740590 A JP 4740590A JP 4740590 A JP4740590 A JP 4740590A JP H03250407 A JPH03250407 A JP H03250407A
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- Japan
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- glass
- magnetic
- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業ユ１１旧また肚
この発明は、磁性体コアを非磁性基板で挟んだコア構造
を有する積層型磁気ヘッドの製造に関する技術である。
を有する積層型磁気ヘッドの製造に関する技術である。
従来旦伎１
従来より高密度記録媒体対応ヘッドとして、パーマロイ
、センダスト等の磁性体合金を約５０μｍ以下の薄板で
形成し、耐摩耗性の良好な非磁性基板で両側から挟持し
たいわゆるサンドイッチコア構造の積層型ヘッドが実用
化されている。
、センダスト等の磁性体合金を約５０μｍ以下の薄板で
形成し、耐摩耗性の良好な非磁性基板で両側から挟持し
たいわゆるサンドイッチコア構造の積層型ヘッドが実用
化されている。
この積層型ヘッドを製造する場合問題となるのは、磁性
体と非磁性基板の接着である。有機接着剤は取り扱いが
簡単で硬化するための加熱を比較的簡単であるが実用的
な強度を得るには数１０μｍの接着層が必要であるし、
接着後の温度・湿度の変化に対する信頼性は乏しい。
体と非磁性基板の接着である。有機接着剤は取り扱いが
簡単で硬化するための加熱を比較的簡単であるが実用的
な強度を得るには数１０μｍの接着層が必要であるし、
接着後の温度・湿度の変化に対する信頼性は乏しい。
従って、現在のところ、無機接着剤であるガラスを用い
て接着することが信頼性が高い接着として用いられてい
る。
て接着することが信頼性が高い接着として用いられてい
る。
また、ハードディスクヘッド等には耐摩耗性が要求され
磁性体を挟持する非磁性基板にＡｌ２Ｏ２−ＴＩＣセラ
ミックス等の優れた耐摩耗性をもつ複合セラミックスの
適用が望まれている。
磁性体を挟持する非磁性基板にＡｌ２Ｏ２−ＴＩＣセラ
ミックス等の優れた耐摩耗性をもつ複合セラミックスの
適用が望まれている。
従来、積層型磁気ヘッドの製造方法としては、第１図に
示すように非磁性基板上にスパッタリング等により、磁
性膜、拡散防止膜、および接着剤となるガラス膜を形成
させ、その基板を数枚重ね合わせガラス作業点“まで加
熱し積層体にして磁気ヘッドを製造していた。
示すように非磁性基板上にスパッタリング等により、磁
性膜、拡散防止膜、および接着剤となるガラス膜を形成
させ、その基板を数枚重ね合わせガラス作業点“まで加
熱し積層体にして磁気ヘッドを製造していた。
しかしながら、複合セラミックスを非磁性基板に用いる
とき、その複合セラミックスに非酸化物が含有されてい
ると、その非酸化物は接着剤となるガラスとのぬれ性が
悪いので、その部分に気泡を生ずる場合がある。
とき、その複合セラミックスに非酸化物が含有されてい
ると、その非酸化物は接着剤となるガラスとのぬれ性が
悪いので、その部分に気泡を生ずる場合がある。
また、Ａｌ２０３−ＴＩＣセラミックスのように含有さ
れている非酸化物が炭化物の場合、炭化物とガラスとの
反応が生じ、その結果気泡を生じるほか、ガラスは本来
の性質を失ってしまう。複合セラミックスを非磁性基板
に用いる場合は、基板とガラスとの間に単に拡散防止を
図るだけでな（炭化物の反応を阻止するため、数μｍの
酸化物膜あるいはＣｒ、 Ｐｔ等の金属膜を挟んでやる
必要があった。
れている非酸化物が炭化物の場合、炭化物とガラスとの
反応が生じ、その結果気泡を生じるほか、ガラスは本来
の性質を失ってしまう。複合セラミックスを非磁性基板
に用いる場合は、基板とガラスとの間に単に拡散防止を
図るだけでな（炭化物の反応を阻止するため、数μｍの
酸化物膜あるいはＣｒ、 Ｐｔ等の金属膜を挟んでやる
必要があった。
−、の
本発明は、上記の気泡発生の問題を解消するために、磁
性膜を形成する前の非磁性基板を予め酸化雰囲気中で熱
処理した後、磁性膜を形成する技術手段を採用するもの
である。
性膜を形成する前の非磁性基板を予め酸化雰囲気中で熱
処理した後、磁性膜を形成する技術手段を採用するもの
である。
１且
本発明は、非磁性基板を予め酸化雰囲気中で熱処理する
上記の手段によって、非磁性基板中の表面の非酸化物が
酸化されて、非酸化物と接着剤であるガラスのぬれ性の
悪さが解消される。また炭化物も表面のみ酸化されガラ
スとの反応を防止することができ、非磁性基板とガラス
の間に酸化物膜あるいはＯｒ、 Ｐｔなどの金属膜を挟
まなくても、無気泡かつ高接合強度のコア積層体を得る
ことができる。
上記の手段によって、非磁性基板中の表面の非酸化物が
酸化されて、非酸化物と接着剤であるガラスのぬれ性の
悪さが解消される。また炭化物も表面のみ酸化されガラ
スとの反応を防止することができ、非磁性基板とガラス
の間に酸化物膜あるいはＯｒ、 Ｐｔなどの金属膜を挟
まなくても、無気泡かつ高接合強度のコア積層体を得る
ことができる。
爽五医
本発明の実施例として非磁性基板にＡｌ２０３−Ｔｉｃ
セラミックスを用いたコア積層体とする磁気ヘッドの場
合について説明する。
セラミックスを用いたコア積層体とする磁気ヘッドの場
合について説明する。
Ａｊ２０ｚ−ＴＩＣセラミックス基板は、Ａｌ２０３（
〜７゜ｗｔ％）にＴＩＧ（〜３０ｗｔ％）を分散させた
場合（分散強化型）セラミックスである。
〜７゜ｗｔ％）にＴＩＧ（〜３０ｗｔ％）を分散させた
場合（分散強化型）セラミックスである。
そのためにＡｌ２０３とＴＩＣのガラスに対するぬれ性
の差、またはＴＩＣは炭化物であるが故にガラスと反応
し気泡等を生じる性質をもつ。
の差、またはＴＩＣは炭化物であるが故にガラスと反応
し気泡等を生じる性質をもつ。
従って、Ａｌ２０３−Ｔｉｃセラミックス基板を非磁性
基板に用いて積層型ヘッドを製造するには、ガラスと基
板との間にガラスとぬれ性のよい酸化物等の膜を挟んで
やる必要があった。
基板に用いて積層型ヘッドを製造するには、ガラスと基
板との間にガラスとぬれ性のよい酸化物等の膜を挟んで
やる必要があった。
Ａ１□０３−ＴＩＧセラミックス等の性質を調べるうち
に、大気中で基板を７００°Ｃ以上まで加熱すると、表
面のＴＬＣのみ酸化されてＴｉＯ□になることが判明し
た。各温度でのＡ１゜０３（１１３）、 Ｔｉｃ（２０
０）およびＴｉ０９（１１０）のＸ線回折強度を曲線Ｉ
、ＩＩおよび■とした特性曲線図を第１図に示す。
に、大気中で基板を７００°Ｃ以上まで加熱すると、表
面のＴＬＣのみ酸化されてＴｉＯ□になることが判明し
た。各温度でのＡ１゜０３（１１３）、 Ｔｉｃ（２０
０）およびＴｉ０９（１１０）のＸ線回折強度を曲線Ｉ
、ＩＩおよび■とした特性曲線図を第１図に示す。
このことを利用して磁性膜を形成させる前のＡ／２０Ｇ
−Ｔｉｃセラミックス基板を予め大気中で７００°Ｃ以
上で熱処理する。その後洗浄工程を経てスパッタリング
等で磁性膜、拡散防止膜、ガラス膜を形成し、その基板
を数枚重ね合わせガラス作業点まで加熱し積層体とし積
層型磁気ヘッドを製造する。
−Ｔｉｃセラミックス基板を予め大気中で７００°Ｃ以
上で熱処理する。その後洗浄工程を経てスパッタリング
等で磁性膜、拡散防止膜、ガラス膜を形成し、その基板
を数枚重ね合わせガラス作業点まで加熱し積層体とし積
層型磁気ヘッドを製造する。
予め大気中で７００°Ｃ以上に加熱しであることにより
、Ａｌ２０３−ＴｉＧセラミックス基板表面のＴｊＣは
ＴｊＯ□に酸化され、ガラスとＴＩＣの反応を抑制する
ことができ、気泡の発生の防止で無気泡、高強度の積層
型ヘッドが歩留りよく製造することができる。
、Ａｌ２０３−ＴｉＧセラミックス基板表面のＴｊＣは
ＴｊＯ□に酸化され、ガラスとＴＩＣの反応を抑制する
ことができ、気泡の発生の防止で無気泡、高強度の積層
型ヘッドが歩留りよく製造することができる。
なお、加熱温度の上限は、必ずしも明確に規定はできな
いが、セラミックス基板本来の性質を損なわない（セラ
ミックス基板の表面のみの酸化でおさえる）という理由
でｌ０００℃程度までが適用である。
いが、セラミックス基板本来の性質を損なわない（セラ
ミックス基板の表面のみの酸化でおさえる）という理由
でｌ０００℃程度までが適用である。
上述した実施例では、大気中で熱処理を行ったが、本発
明はこの実施例に限定されるものではなく、セラミック
ス基板表面が酸化される酸素含有雰囲気であればよい。
明はこの実施例に限定されるものではなく、セラミック
ス基板表面が酸化される酸素含有雰囲気であればよい。
生肌二対果
以上の説明から明らかなように、本発明によれば非磁性
基板に非酸化物を含有する複合セラミックスを用いた場
合、予め非磁性基板を熱処理することにより、基板とガ
ラスの反応を抑えることができ、酸化物膜、金属膜を挟
むことなしでコア構造は簡単化し、しかも接合強度が大
かつ信頼性大となる積層型磁気ヘッドを製造することが
できる。
基板に非酸化物を含有する複合セラミックスを用いた場
合、予め非磁性基板を熱処理することにより、基板とガ
ラスの反応を抑えることができ、酸化物膜、金属膜を挟
むことなしでコア構造は簡単化し、しかも接合強度が大
かつ信頼性大となる積層型磁気ヘッドを製造することが
できる。
第１図は本発明の一実施例を説明するためのＡｒ２０３
−Ｔｉｃセラミックス基板の各温度におけるＡ！。０３
． Ｔｉｃ、 ＴｉＯ３のＸ線回折強度特性曲線図、第
２図は積層型磁気ヘッドの製造工程図である。 １・・・・・・非磁性基板、 ４・・・・・・ガラス膜、 ■・・・・・・Ａ！２０Ｇ（１１３）のＸ線回折強度、
■・・・・・・ＴｉＣ（２００）のＸ線回折強度、■・
・・・・・ＴｉＣ２（１１０）のＸ線回折強度。
−Ｔｉｃセラミックス基板の各温度におけるＡ！。０３
． Ｔｉｃ、 ＴｉＯ３のＸ線回折強度特性曲線図、第
２図は積層型磁気ヘッドの製造工程図である。 １・・・・・・非磁性基板、 ４・・・・・・ガラス膜、 ■・・・・・・Ａ！２０Ｇ（１１３）のＸ線回折強度、
■・・・・・・ＴｉＣ（２００）のＸ線回折強度、■・
・・・・・ＴｉＣ２（１１０）のＸ線回折強度。
Claims (1)
- 磁性体コアの両側を非磁性基板で挟んだコア構造を有す
る積層型磁気ヘッドの製造において、上記非磁性基板を
非酸化物を含有する複合セラミックス材料とするととも
に、大気中もしくは酸素含有雰囲気中で、７００〜１０
００℃で予め熱処理することを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4740590A JPH03250407A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 積層型磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4740590A JPH03250407A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 積層型磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03250407A true JPH03250407A (ja) | 1991-11-08 |
Family
ID=12774213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4740590A Pending JPH03250407A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 積層型磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03250407A (ja) |
-
1990
- 1990-02-27 JP JP4740590A patent/JPH03250407A/ja active Pending
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