JPH03266205A

JPH03266205A - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH03266205A
Application number: JP6624990A
Authority: JP
Inventors: Naomi Mitani; 三谷　直美
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1990-03-15
Filing date: 1990-03-15
Publication date: 1991-11-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は磁気ヘッドに関し、特に、一対のコアを融着す
るガラスの選択の自由度を向上させるようにした磁気ヘ
ッドに関する。

（従来の技術）近時、磁気記録再生装置においては、高密度記録の要求
から、メタルテープ及びＢａ−フェライト媒体等のよう
に、高抗磁力の磁気記録媒体が開発されている。これら
の高抗磁力の磁気記録媒体に対して従来のフェライトヘ
ッドで記録しようとすると、飽和磁束密度が比較的小さ
いことから、ヘッドギャップ近傍において磁気飽和が発
生し、十分な書込磁界強度を得ることができない。そこ
で、ギャップ部を飽和磁束密度が高い金属強磁性体で構
成するメタルヘッドが採用される。金属磁性体は、Ｍｎ
−Ｚｎフェライトに比して比抵抗が極めて小さく、ＭＨ
ｚオーダーの周波数帯域では、表皮効果による渦電流損
によって実行的な透磁率が低下することから、磁気コア
を金属強磁性体で構成する場合、通常、薄板化及び薄膜
化する。

しかし、金属強磁性体はフェライトに比して摩耗しやす
い。したがって、例えばビデオヘッドのように、ヘッド
と記録媒体との相対速度が比較的速い場合には、薄板化
及び薄膜化によって耐久性が劣化してしまう。そこで、
記録媒体と摺接する摺動面の大部分をフェライトで構成
し、ギャップ近傍のみに金属磁性体を配置するメタルイ
ンギャップ（以下、ＭＩＧという）ヘッドが商品化され
ている。

第４図はＭＩＧヘッドと呼ばれる従来の磁気ヘッドを示
す斜視図である。

ＭＩＧヘッド１は一対のコア２．３がギャップ４を介し
て接合されたものである。コア２．３にはトラック幅規
制溝５が形成されおり、コア３にはトラック幅規制溝５
の外にトラック幅方向に巻線溝６が形成されている。ト
ラック幅規制溝５によってギャップ４の幅がトラック幅
に規制されるようになっている。コア２．３はいずれも
接合面に金属磁性体膜７が形成されており、巻線溝６及
びトラック幅規制御５内の接合ガラス８のガラス融着に
よってコア２．３が接合されることにより、酸化物のギ
ャップ４の近傍に金属磁性膜７が配設される。

第５図は第４図のＭＩＧヘッド１の製造方法を工程順に
示す斜視図である。

第５図（ａ＞はコアブロックの基となるフェライトウェ
ハ基板１０を示している。先ず、フェライトウェハ基板
１０の表面を鏡面加工する。次いで、第５図（ｂ）に示
すように、一方のフェライトウェハ基板１０の表面に所
定間隔で数条の平行なトラック幅規制溝５を形成してコ
アブロック１２を得る。

また、第５図（Ｃ）に示すように、他方のフェライトウ
ェハ基板１０の表面には所定間隔で数条の平行なトラッ
ク幅規制御１５を形成すると共に、このトラック幅規制
溝５と垂直な方向に巻線溝６を形成してコアブロック１
３を得る。

次に、第５図（ｄ）、（ｅ）に示すように、スパッタリ
ング等の方法によって、コアブロック１２゜１３の表面
に金属磁性体膜７を所定の厚さで形成する。次に、第５
図（ｆ）に示すように、酸化物１４を介してコアブロッ
ク１２．１３を対向させる。次いで、巻線溝６及びトラ
ック幅規制溝５に接合ガラス（図示せず）を適性量配置
し、コアブロック１２゜１３を両側から加圧すると共に
加熱して、コアブロック１２．１３をガラス融着する。

次に、テープとの接触を良好にするために、摺動面１６
をＲ状に加工し、アジマス角を考慮した所定の切断面で
切断する。こうして、第４図に示すＭＩＧヘッド１を得
ている。

ところで、金属磁性体１０７と接合ガラスとはトラック
幅規制溝５及び巻線溝６において直接接合されることか
ら、加熱温疾が比較的高い場合には、接合ガラス及び金
属磁性体７の拡散によって磁気特性が劣化してしまう。

この理由から、接合ガラスとしては低融点ガラスが用い
られている。ところが、低融点ガラスはガラス耐久性が
悪く、磨耗による経時変化が著しいという問題点があっ
た。

また、低融点ガラスとコア２．３を構成づるフェライト
との熱膨張係数差は比較的大きい。このため、ガラス融
着工程において応力が発生し、フェライトのコア２．３
と金属磁性体７との間で躾はがれが発生することがある
。この膜はがれによって疑似ギャップが生じ、周波数特
性が劣化してしまうことがあるという問題があった。

（発明が解決しようとする課題）このように、上述した従来の磁気ヘッドにおいては、拡
散による磁気特性の劣化を考慮して、低融点ガラスを使
用する必要があり、耐久性が悪いという問題点があった
。また、ガラスとフェライトとの熱膨張係数の相違によ
ってコアに応力が発生して、金属磁性体の躾はがれが発
生し、周波数特性が劣化してしまうことがあるという問
題点もあった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
接合ガラスの選択の自由度を向上させることにより、耐
久性を向上させると共に金属磁性体の膜はがれ防止する
ことができる磁気ヘッドを提供することを目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明に係る磁気ヘッドは、酸化物磁性体の一対の基板
と、この一対の基板の接合面に形成する巻線溝及びトラ
ック幅規制溝と、前記一対の基板の接合面の全面に金属
磁性体の膜を形成した後前記巻線溝及びトラック幅規制
溝と接合面の他の部分とのいずれかにレジストを塗布し
エツチングすることにより、前記巻線溝及びトラック幅
規制溝を除く接合面に形成する金属磁性膜と、前記基板
及び金属磁性膜によって構成される一対のコアを接合面
を当接させて接合した後に前記巻線溝及びトラック幅屑
制溝に挿入され加熱されることにより溶融して前記一対
のコアを融着するガラスとを具備したものである。

（作用）本発明において、金属磁性膜は、基板の巻線溝及びトラ
ック幅規制溝を除く接合面に形成される。このため、ガ
ラス融着時に、溶融したガラスと金属磁性膜との拡散が
発生することが防止される。したがって、ガラス選択の
自由数が増加し、また、ガラスと酸化物ｌｌｌ１性体と
は直接接合されていることから、両者の熱膨張係数の差
に基づく応力を所定の値に設定することが容易となり、
良好な周波数特性を得ることができる。

（実施例）以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する
。第１図は本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示す斜
視図である。

磁気ヘッド２０は、酸化物によるギャップ２３を介して
、コア２１．２２をその接合面を対向させて接合したも
のである。コア２１．２２はいずれもフェライト等の酸
化物磁性体２４の表面（接合面）側にセンダスト等の金
属磁性体膜２５が形成されている。コア２１．２２は、
接合面の両端にトラック＠規制溝２６が鉛直方向に形成
され、このトラック幅規制溝２６に垂直なトラック幅方
向には摺動面２７から所定位置に巻線溝２８が形成され
ている。この巻線溝２８によって磁路が形成されると共
に、図示しない巻線が巻回されるようになっている。前
述した金属磁性体Ｗ！Ａ２５は、トラック幅規制溝２６
及び巻線溝２７以外の接合面に形成されている。なお、
コア２１．２２は、トラック幅規制溝２６及び巻線溝２
８のエツジ部２９に充填されたガラス３０によってガラ
ス＠着されている。

このように構成された実施例においては、ギャップ２３
近傍に金属磁性体！！１１２５が形成されていることか
ら、ギャップ２３近傍において磁気飽和が発生すること
はなく、強い磁界強度を得ることができる。また、摺動
面２７の大部分はフェライトで構成されているので、耐
久性に優れている。

更に、本実施例においては、巻線溝２８及びトラック幅
規制溝２６の表面には金属磁性体膜２５が形成されてい
ない。すなわち、接合用のガラス３０と金属磁性体膜２
５とは直接接合されないので、ガラス融着工程において
ガラスと金属磁性体との拡散が生じることはない。した
がって、接合用のガラス３０として低融点ガラスを用い
る必要はなく、良好な磁気特性が得ると共に、耐久性を
向上させることができる。また、ガラス３０と金属磁性
体膜２５とが０接反応することがないので、接合に使用
するガラスの選択の自由度が増加する。したがって、コ
ア２１．２２を構成する酸化物磁性体２４（フェライト
）とガラス３０との熱膨張係数差を変更可能であり、ま
た、酸化物磁性体２４とガラス３０とが巻線溝２８及び
トラック幅規制溝２６において直接接合されていること
から、酸化物磁性体２４の応力を所定の値にすることが
容易となり、酸化物磁性体２４と金属磁性体１Ｉ２５と
の間の膜はがれを防止することができる。このため、良
好な周波数特性を得ることができる。

次に、第１図に示す磁気ヘッド２０の製造方法を第２図
及び第３図を参照して説明する。第２図（ａ）乃至（ｅ
）は磁気ヘッド２０の製造方法を工程順に示す斜視図で
あり、第３図（ａ）、（ｂ）は夫々第２図（ｄ）、（ｅ
）の一部を拡大して示す斜視図である。

第２図（ａ）乃至（Ｃ）は、従来例の第５図（ａ＞、（
ｂ）、（ｄ）と同様の工程である。すなわち、第２図（
ａ）はコアブロックの基となる酸化物磁性体基板３１を
示している。先ず、酸化物磁性体基板３１の表面を鏡面
加工する。次に、第２図（ｂ）に示すように、酸化物磁
性体基板３１の表面（接合面）に所定間隔で数条の平行
なトラック幅規制溝２６を形成してコアブロック３２を
得る。次に、酸化物磁性体基板３１の表面（接合面）に
所定間隔で数条の平行なトラック幅規制御Ｉ２６を形成
すると共に、このトラック幅規制溝２６に垂直な巻線溝
２８を形成してコアブロック３３（第２図（ｅ）参照）
を得る。次に、第２図（Ｃ）に示すように、これらのコ
アブロック３２．３３の接合面にスパッタリング等の方
法によってセンダスト等の金属磁性体膜２５を形成する
。次いで、ギャップ形成面に５ｉ０２等の酸化物膜３４
（第２図（ｅ）参照）を形成する。

次に、第２図（ｄ）及び第３図（ａ）に示すように、コ
アブロック３２の接合面において、トラック幅規制溝２
６を形成していない部分に半導体プロセス等で採用され
ているフォトレジスト３５をはけやローラ等によって塗
布し、ブリベーキングして固化する。また、コアブロッ
ク３３の接合面において、トラック幅規制溝２６及び巻
線ｌ！２８を形成していない部分にフォトレジスト３５
を塗布し、ブリベーキングして固化する。

次に、第３図（ｂ）にて示すように、イオンビームエツ
チング等の手段により、トラック溝２６及び巻線溝２８
に形成された金属磁性体膜２５を除去する。次いで、レ
ジスト剥離液によってフォトレジスト３５を除去する。

これにより、コアブロック３２゜３３の接合面において
は、フォトレジスト３５を塗布した部分、すなわち、溝
加工された部分以外の接合面のみに金属磁性体１１２５
が形成される。

次に、第２図（ｅ）に示すように、コアブロック３２．
３３同士を接合面を対向させて接合させ、巻線溝２８及
びトラック幅規υノ満２６に適性器の接合ガラス（図示
せず）を配置し、コアブロック３２．３３を加圧しなが
ら加熱する。接合ガラスは溶融しコアブロック３２．３
３はガラス融着される。次に、摺動面をＲ状に加工し、
アジマス角を考慮した所定の切断面で切断して第１図の
磁気ヘッド２０を得ている。

このように、本実施例においては、金属磁性体膜２５は
コア２１．２２の巻線？ｌＩ２８及びトラック幅規制溝
２６以外の接合面に形成されており、ガラスｇ＆着時に
、溶融したガラス３０と金属磁性体１１２５とが直接接
合してしまうことを防止している。したがって、ガラス
３０と金属磁性体１１２５との拡散による磁気特性の悪
化を考慮する必要はなく、ガラス３０を適宜選択するこ
とにより、耐久性を向上させることができる。また、ガ
ラス３０と酸化物磁性体２４との熱膨張係数の設定によ
って、酸化物磁性体２４に与える応力を制御し、膜はが
れの発生を防止することもできる。

［発明の効果］以上説明したように本発明によれば、接合ガラスの選択
の自由度が増加するので、耐久性を向上させると共に金
属磁性体の躾はがれ防止することができるという効果を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示す斜視
図、第２図及び第３図は第１図の磁気ヘッドの製造方法
を説明するための斜視図、第４図は従来の磁気ヘッドを
示す斜視図、第５図は第４図の磁気ヘッドの製造方法を
工程順に示す斜視図である。２０・・・磁気ヘッド、２１．２２・・・コア、２４・
・・酸化物磁性体、２５・・・金属磁性体膜、２６・・
・トラック幅規制溝、２８・・・巻Ｉ溝、３０・・・ガ
ラス。（０）（ｂ）２（Ｃ）（ｄ）スス第２図

Claims

【特許請求の範囲】酸化物磁性体の一対の基板と、この一対の基板の接合面に形成する巻線溝及びトラック
幅規制溝と、前記一対の基板の接合面の全面に金属磁性体の膜を形成
した後前記巻線溝及びトラック幅規制溝と接合面の他の
部分とのいずれかにレジストを塗布しエッチングするこ
とにより、前記巻線溝及びトラック幅規制溝を除く接合
面に形成する金属磁性膜と、前記基板及び金属磁性膜によって構成される一対のコア
を接合面を当接させて接合した後に前記巻線溝及びトラ
ック幅規制溝に挿入され加熱されることにより溶融して
前記一対のコアを融着するガラスとを具備したことを特
徴とする磁気ヘッド。