JPH03272017A - 磁気記録媒体とその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体とその製造方法Info
- Publication number
- JPH03272017A JPH03272017A JP7078590A JP7078590A JPH03272017A JP H03272017 A JPH03272017 A JP H03272017A JP 7078590 A JP7078590 A JP 7078590A JP 7078590 A JP7078590 A JP 7078590A JP H03272017 A JPH03272017 A JP H03272017A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- diamond
- magnetic recording
- film
- zone
- Prior art date
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［概要コ
基板上にデータか書き込まれる磁性膜と、この磁性膜を
保護するカーボンの保護膜とを有する磁気記録媒体に関
し、 ＣＳＳゾーンの膜質のみか強く、耐久性が向上する磁気
記録媒体を提供することを目的とし、保護膜はグラファ
イト及びダイアモンドが混在するデータゾーンと、主に
ダイアモンドからなるＣＳＳゾーンとを有するように構
成する。
保護するカーボンの保護膜とを有する磁気記録媒体に関
し、 ＣＳＳゾーンの膜質のみか強く、耐久性が向上する磁気
記録媒体を提供することを目的とし、保護膜はグラファ
イト及びダイアモンドが混在するデータゾーンと、主に
ダイアモンドからなるＣＳＳゾーンとを有するように構
成する。
［産業上の利用分野コ
本発明は、基板上にデータが書き込まれる磁性膜と、こ
の磁性膜を保護するカーボンの保護膜とを有する磁気記
録媒体とその製造方法に関する。
の磁性膜を保護するカーボンの保護膜とを有する磁気記
録媒体とその製造方法に関する。
近年、磁気記録密度の高密度化により、ヘッドの浮上量
は極低浮上となる傾向かある。よって、磁気記録媒体に
おいては、特に、保護膜の強度をアップする必要かある
。
は極低浮上となる傾向かある。よって、磁気記録媒体に
おいては、特に、保護膜の強度をアップする必要かある
。
［従来の技術］
次に図面を用いて従来例を説明する。第９図は従来の磁
気記録媒体の製造方法の概略を示すフロー図である。
気記録媒体の製造方法の概略を示すフロー図である。
図において、先ず、アルミニウム合金やガラスの基板の
成形を行う（ステップ１）。
成形を行う（ステップ１）。
次に、基板上にテクスチャー処理と呼ばれるテープ研磨
加工がなされる（ステップ２）。この加工は基板の表面
粗さの調整のために行われる。
加工がなされる（ステップ２）。この加工は基板の表面
粗さの調整のために行われる。
次に、スパッタリングにより基板上に磁性膜を形成する
（ステップ３）。
（ステップ３）。
続いて、スパッタリングにより磁性膜上にカーボンの保
護膜を形成する（ステップ４）。
護膜を形成する（ステップ４）。
なお、これら２つのステップのスパッタリング時には、
磁気特性及び膜質のコントールのために、予め基板を加
熱（３００℃以下）してから行われる。
磁気特性及び膜質のコントールのために、予め基板を加
熱（３００℃以下）してから行われる。
そして、実際に設定した磁気ヘッドの浮上量よりも低く
浮上量を設定した磁気ヘッドを用いて、微小突起をとる
ヘッドバニッシュがなされる（ステップ５）。
浮上量を設定した磁気ヘッドを用いて、微小突起をとる
ヘッドバニッシュがなされる（ステップ５）。
最後に、摩擦を低減するために潤滑剤を塗布する（ステ
ップ６）。
ップ６）。
［発明が解決しようとする課題］
上述の製造方法においては、スパッタリング時の予備加
熱が比較的高めて、しかも基板全体を加熱するので、下
記のような問題点があった。
熱が比較的高めて、しかも基板全体を加熱するので、下
記のような問題点があった。
（１）予備加熱温度か高いため、カーボンの保護膜がダ
イアモンドとグラファイトとの混在した状態となり、保
護膜の膜質が十分強いものではない。よって、ヘッドが
当接するＣＳＳゾーンでは、膜が削り取られなと耐久性
に問題点がある。
イアモンドとグラファイトとの混在した状態となり、保
護膜の膜質が十分強いものではない。よって、ヘッドが
当接するＣＳＳゾーンでは、膜が削り取られなと耐久性
に問題点がある。
（２）予備加熱を低くすると、保護膜はダイアモンドに
近い状態となり、膜質は強くなるが、ヘッドバニッシュ
が行えない。
近い状態となり、膜質は強くなるが、ヘッドバニッシュ
が行えない。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的
は、ＣＳＳゾーンの膜質のみが強く、ＣＳＳゾーンの耐
久性か向上する磁気記録媒体及びその製造方法を提供す
ることにある。
は、ＣＳＳゾーンの膜質のみが強く、ＣＳＳゾーンの耐
久性か向上する磁気記録媒体及びその製造方法を提供す
ることにある。
［課題を解決するための手段］
第１図は請求項１の発明の原理図である。図において、
１は基板上にデータが書き込まれる磁性膜と、この磁性
膜を保護するカーボンの保護膜とを有する磁気記録媒体
である。
１は基板上にデータが書き込まれる磁性膜と、この磁性
膜を保護するカーボンの保護膜とを有する磁気記録媒体
である。
そして、保護膜はグラファイト及びダイアモンドが混在
するデータゾーン２と、主にダイアモンドからなるＣＳ
Ｓゾーン３とを有している。
するデータゾーン２と、主にダイアモンドからなるＣＳ
Ｓゾーン３とを有している。
第２図は請求項２の発明の原理図である。
本原理図は、基板上に磁性層を形成した後に、加熱温度
を１００℃以下でスパッタリングにより磁性膜を形成し
くステップ１１）、 データゾーンのみを１５０℃〜３００℃で部分加熱する
（ステップ１２）ことからなっている。
を１００℃以下でスパッタリングにより磁性膜を形成し
くステップ１１）、 データゾーンのみを１５０℃〜３００℃で部分加熱する
（ステップ１２）ことからなっている。
［作用］
第１図に示す請求項１記載の磁気記録媒体において、デ
ータゾーンはグラファイト及びダイアモンドか混在し、
ＣＳＳゾーンは主にダイアモンドからなっているので、
ＣＳＳゾーンの膜質のみが強い。
ータゾーンはグラファイト及びダイアモンドか混在し、
ＣＳＳゾーンは主にダイアモンドからなっているので、
ＣＳＳゾーンの膜質のみが強い。
第２図に示す請求項２記載の磁気記録媒体の製造方法に
おいて、ステップ１１て保護膜全体は主にダイアモンド
からなっている。そして、ステップ１２、データゾーン
のみが１５０℃〜３００℃で部分加熱されるので、デー
タゾーンはグラファイトとダイアモンドとか混在する状
態となり、ＣＳＳゾーンの膜質のみか強くなる。
おいて、ステップ１１て保護膜全体は主にダイアモンド
からなっている。そして、ステップ１２、データゾーン
のみが１５０℃〜３００℃で部分加熱されるので、デー
タゾーンはグラファイトとダイアモンドとか混在する状
態となり、ＣＳＳゾーンの膜質のみか強くなる。
［実施例］
次に、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明の磁気記録媒体の製造方法−例を説明す
る概略フロー図、第４図は第３図における部分加熱の一
方性を説明する構成図、第５図は第３図に示す製造方広
で製造された磁気記録媒体の構成図、第６図は第３図に
示す製造方法で製造された磁気記録媒体の耐久性評（ｄ
Ｔｉ桔里金量す図、第７図は第６図に示す耐久性評価結
果において用いられるラマン分光光度計におけるＩ）１
．Ｃの一例を示す図、第８図は第６図に示す耐久性評価
結果において用いられるラマン分光光度＝Ｉにおけるポ
リエチレンの一例を示す図である。
る概略フロー図、第４図は第３図における部分加熱の一
方性を説明する構成図、第５図は第３図に示す製造方広
で製造された磁気記録媒体の構成図、第６図は第３図に
示す製造方法で製造された磁気記録媒体の耐久性評（ｄ
Ｔｉ桔里金量す図、第７図は第６図に示す耐久性評価結
果において用いられるラマン分光光度計におけるＩ）１
．Ｃの一例を示す図、第８図は第６図に示す耐久性評価
結果において用いられるラマン分光光度＝Ｉにおけるポ
リエチレンの一例を示す図である。
先ず、第３図及び第４図を用いて本実施例の製造方法に
ついて説明を行う。
ついて説明を行う。
先ず、アルミニウム合金やガラスの基板の成形を行う（
ステップ２１）。
ステップ２１）。
次に、基板上にテクスチャー処理と呼ばれるテプ研磨加
工かなされる（ステップ２２）。
工かなされる（ステップ２２）。
次に、スパッタリングにより基板上に磁性膜を形成する
（ステップ２３）。
（ステップ２３）。
続いて、スパッタリングにより磁性膜上にカーボンの保
護膜を形成する（ステップ２４）。
護膜を形成する（ステップ２４）。
なお、これら２つのステップのスパッタリング時におけ
る予備加熱温度は、１００℃以下である。
る予備加熱温度は、１００℃以下である。
次に、データゾーンのみを１５０℃〜３００℃で部分加
熱を行う。本実施例においては、第４図に示すような磁
気記録媒体２２のデータゾーンのみを加熱できるような
形状に成形されたリング状のヒタ２１を用い゛て、部分
加熱を行う（ステップ２５）。
熱を行う。本実施例においては、第４図に示すような磁
気記録媒体２２のデータゾーンのみを加熱できるような
形状に成形されたリング状のヒタ２１を用い゛て、部分
加熱を行う（ステップ２５）。
そして、実際に設定した磁気ヘッドの浮上量よりも低く
浮上量を設定した磁気ヘッドを用いて、微小突起をとる
ヘッドバニッシュがなされる（ステップ２６）。
浮上量を設定した磁気ヘッドを用いて、微小突起をとる
ヘッドバニッシュがなされる（ステップ２６）。
最後に、摩擦を低減するために潤滑剤を塗布する（ステ
ップ２７）。
ップ２７）。
このような製造方法で製造された磁気記録媒体２２を第
５図を用いて説明する。
５図を用いて説明する。
図において、ステップ２４での予備加熱温度は１００℃
以下であるので、この時点での保護膜は主にダイアモン
ド状となっている。しかし、ステップ２５てデータゾー
ン２３のみを１５０℃〜３００℃で部分加熱したので、
ＣＳＳゾーン２４はダイアモンド状のままであるが、デ
ータゾーン２３の膜質は変化し、グラファイト状になる
。
以下であるので、この時点での保護膜は主にダイアモン
ド状となっている。しかし、ステップ２５てデータゾー
ン２３のみを１５０℃〜３００℃で部分加熱したので、
ＣＳＳゾーン２４はダイアモンド状のままであるが、デ
ータゾーン２３の膜質は変化し、グラファイト状になる
。
次に、このような製造方法で製造された磁気記録媒体の
耐久評価結果を第６図を用いて説明する。
耐久評価結果を第６図を用いて説明する。
本耐久評価結果は真空チャンバー内で、磁気記録媒体２
２とヘッドを摺動させることで行った。つまり、真空中
なので、ヘッドには揚力が発生せず、ヘッドは磁気記録
媒体２２に摺動するようになる。
２とヘッドを摺動させることで行った。つまり、真空中
なので、ヘッドには揚力が発生せず、ヘッドは磁気記録
媒体２２に摺動するようになる。
この時の条件を以下に記す。
ヘッド： ＡＮ ２０ｓ ＴｉＣ
周速 ：２５…／Ｓ
真空度： １００Ｔｏｒｒ
このような条件で、ステップ２３及び２４の時の予備加
熱温度を変化させて行った。このときの結晶構造は、ラ
マン分光光度計を用いて測定した。
熱温度を変化させて行った。このときの結晶構造は、ラ
マン分光光度計を用いて測定した。
このラマン分光光度計におけるＤＬＣ（Ｄ４ａｍｏｎｄ
−ＬｉｋｅＣａｒｂｏｎ）と、ポリエチレンの測定結果
を第７図及び第８図に示す。尚、図中ａはアモルファス
、ＤはＤＬＣを示す。
−ＬｉｋｅＣａｒｂｏｎ）と、ポリエチレンの測定結果
を第７図及び第８図に示す。尚、図中ａはアモルファス
、ＤはＤＬＣを示す。
そして、判定は図に示すように、ベイク無しか一番よい
結果を示し、温度を上げるにしたがって、摺動跡やクラ
ッシュか発生するようになった。
結果を示し、温度を上げるにしたがって、摺動跡やクラ
ッシュか発生するようになった。
よって、上記製造方法及び上記ｔＭ戊の磁気記録媒体に
よれば、ＣＳＳゾーンのみがダイアモンド状になり、膜
質か十分強いものが得られ、耐久性が向上する。一方、
データゾーンは従来と同様に、カーボンの保護膜がダイ
アモンドとグラファイトとの混在した状態となり、ヘッ
ドバニッシュを行うことができる。
よれば、ＣＳＳゾーンのみがダイアモンド状になり、膜
質か十分強いものが得られ、耐久性が向上する。一方、
データゾーンは従来と同様に、カーボンの保護膜がダイ
アモンドとグラファイトとの混在した状態となり、ヘッ
ドバニッシュを行うことができる。
尚、本発明は上記実施例に限るものではない。
例えば、上記実施例では、部分加熱をヒータ２１を用い
て行ったが、レーザを用いてもよい。
て行ったが、レーザを用いてもよい。
又、基板はアルミニウム合金で説明を行ったか、ガラス
基板でもよいことはいうまでもない。
基板でもよいことはいうまでもない。
［発明の効果］
以上説明したように、ｃ ｓ ５−１−ンの膜質のみが
強く、耐久性が向上する磁気記録媒体及びその製造方法
を実現できる。
強く、耐久性が向上する磁気記録媒体及びその製造方法
を実現できる。
第１図は請求項１の発明の原理図、
第２図は請求項２の発明の原理図、
第３図は本発明の磁気記録媒体の製造方法−例を説明す
る概略フロー図、 第４図は第３図における部分加熱の一方法を説明する構
成図、 第５図は第３図に示す製造方法で製造された磁気記録媒
体の構成図、 第６図は第３図に示す製造方法で製造された磁気記録媒
体の耐久性評価結果を示す図、第７図は第６図に示す耐
久性評価結果において用いられるラマン分光光度計にお
けるＤＬＣの一例を示す図、 第８図は第６図に示す耐久性評価結果において用いられ
るラマン分光光度計におけるポリエチレンの一例を示す
図、 第９図は従来の磁気記録媒体の製造方性の概略を示すフ
ロー図である。 第１図乃至第８図において １．２２は磁気記録媒体、 ２．２３はデータゾーン、 ３．２４はＣＳＳゾーンである。 ＃１−Ｊ１項１■発明ａ）原理図 第１ 図
る概略フロー図、 第４図は第３図における部分加熱の一方法を説明する構
成図、 第５図は第３図に示す製造方法で製造された磁気記録媒
体の構成図、 第６図は第３図に示す製造方法で製造された磁気記録媒
体の耐久性評価結果を示す図、第７図は第６図に示す耐
久性評価結果において用いられるラマン分光光度計にお
けるＤＬＣの一例を示す図、 第８図は第６図に示す耐久性評価結果において用いられ
るラマン分光光度計におけるポリエチレンの一例を示す
図、 第９図は従来の磁気記録媒体の製造方性の概略を示すフ
ロー図である。 第１図乃至第８図において １．２２は磁気記録媒体、 ２．２３はデータゾーン、 ３．２４はＣＳＳゾーンである。 ＃１−Ｊ１項１■発明ａ）原理図 第１ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）基板上にデータが書き込まれる磁性膜と、この磁
性膜を保護するカーボンの保護膜とを有する磁気記録媒
体（１）において、 前記保護膜はグラファイト及びダイアモン ドが混在するデータゾーン（２）と、 主にダイアモンドからなるＣＳＳゾーン （３）とを有することを特徴とする磁気記録媒体。 （２）基板上に磁性層を形成した後に、 加熱温度を１００℃以下でスパッタリングにより磁性膜
を形成し（ステップ１１）、 データゾーンのみを１５０℃〜３００℃で部分加熱する
（ステップ１２）ことを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7078590A JPH03272017A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 磁気記録媒体とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7078590A JPH03272017A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 磁気記録媒体とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03272017A true JPH03272017A (ja) | 1991-12-03 |
Family
ID=13441529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7078590A Pending JPH03272017A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 磁気記録媒体とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03272017A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6403194B1 (en) | 1998-09-03 | 2002-06-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium, process for producing same and magnetic disc apparatus |
-
1990
- 1990-03-20 JP JP7078590A patent/JPH03272017A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6403194B1 (en) | 1998-09-03 | 2002-06-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium, process for producing same and magnetic disc apparatus |
| US7037607B2 (en) | 1998-09-03 | 2006-05-02 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic recording medium, process for producing same and magnetic disc apparatus |
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