JPH03272912A - 半導体装置の位置決め搬送装置 - Google Patents
半導体装置の位置決め搬送装置Info
- Publication number
- JPH03272912A JPH03272912A JP2074018A JP7401890A JPH03272912A JP H03272912 A JPH03272912 A JP H03272912A JP 2074018 A JP2074018 A JP 2074018A JP 7401890 A JP7401890 A JP 7401890A JP H03272912 A JPH03272912 A JP H03272912A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- guide rail
- fixture
- rail
- positioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Automatic Assembly (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体装置の位置決め搬送装置に関するも
のである。 〔従来の妖術〕 第８図は従来の半導体装置の位置決め機構を示す平面図
であるの図において、ｌは半導体装置、２は上記半導体
装置１を搬送するための搬送レール、３は上記搬送レー
ル２の後に位置するガイドレール、４はこのカイトレー
ル３に固定されタストソバピン、５は上記ガイドレール
３を装着し、直線方向の連動をガイドする直線ベアリン
グ、６ハ上記カイトレール３に固定され、ガイドレール
３を直線連動させる第１のシリンダ、７（２移動復のガ
イドレール３の位Ｈにある第２のシリンダである。 次に動作について説明する。所望の形状に加工された半
導体装置１は、前工程より搬送レール２に案内されなか
らエアープローにより搬痣される。 搬送レール２を通り抜けた半導体装置１は、ガイドレー
ル３上まで移動するが、ガイドレール３上ニ設ケラれた
ストンバビン４により停止する。 次に、カイトレール３上に位置する牛Ｓ体装置１は、直
線ベアリング５に真繰朴初Ｊ５１５３をカイトされなが
ら、カイトレール３と共に第１のシリ／す６により移動
する。所定の位置まで移動した半導体装置１は、吊型の
位置に取付けらｔ”した第２のシリンダ７の動作により
、ストッパビン４力同に押付
のである。 〔従来の妖術〕 第８図は従来の半導体装置の位置決め機構を示す平面図
であるの図において、ｌは半導体装置、２は上記半導体
装置１を搬送するための搬送レール、３は上記搬送レー
ル２の後に位置するガイドレール、４はこのカイトレー
ル３に固定されタストソバピン、５は上記ガイドレール
３を装着し、直線方向の連動をガイドする直線ベアリン
グ、６ハ上記カイトレール３に固定され、ガイドレール
３を直線連動させる第１のシリンダ、７（２移動復のガ
イドレール３の位Ｈにある第２のシリンダである。 次に動作について説明する。所望の形状に加工された半
導体装置１は、前工程より搬送レール２に案内されなか
らエアープローにより搬痣される。 搬送レール２を通り抜けた半導体装置１は、ガイドレー
ル３上まで移動するが、ガイドレール３上ニ設ケラれた
ストンバビン４により停止する。 次に、カイトレール３上に位置する牛Ｓ体装置１は、直
線ベアリング５に真繰朴初Ｊ５１５３をカイトされなが
ら、カイトレール３と共に第１のシリ／す６により移動
する。所定の位置まで移動した半導体装置１は、吊型の
位置に取付けらｔ”した第２のシリンダ７の動作により
、ストッパビン４力同に押付
【Ｊられ、一方向紮ストソ
バビン４及び第２のシリンダγにより、他方向をガイド
レール３により位置決めされ、ガイドレール３移動後の
位置決めを完了する。 位置決めされた半導体装ｔｘは吸着搬送（図示省略）に
より、次ユ４桿へと送り込まれる。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の半導体装置の位置決め機構Ｇ、Ｘ以上のように構
成されているので、位置決めのためのアクチュエーター
が必要となり、かつ、半導体装置の搬送後の位置決め動
作のための詩間が必要となるため、コスト了ンブとなり
、また、装置の稼動率の低下の原因となつでいる等の問
題点があった。 この発明（ユ上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、位置決めのための専用のアクチーＬ：Ｌ−
ターを必安巳禁ず、なおか−′）、半導体装置の搬送中
に位置決めを完了するようにして低コストで稼動率の高
い装置ｆ得ることを目的とする。 （課題を解決するための手段〕 この発明に係る半導体装置の位置決め機構４ユ、半導体
装置を移動搬送中に、カム面を利用して、半導体装置を
載荷している案内レールを上下に移動させ、案内レール
下降時に相対的に上昇するストッパにより半導体装置の
位置決めを行うものである。 〔作用〕 この発明にお１する半導体装置の位置決め機構は、半導
体装置を移動、搬送中にカム面３利用して位置決めを行
うものであるから、移動、搬送が完了した時点で、半導
体装置の位置決めも完ｒする。 このとき、位置決め用の特別なアクチュエータを必要と
しない。 （実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、第２図は
第１図の機構、構成を説明するための断面図である。 第１図においで、８は基台、９はこの基台８に取付けら
れたモーター １０はこのモーター９に連結している駆
動プーリ、】１は従動ブーりである。 １２（ま駆動プーリー１０と従動プ・−リ−１１をつな
ぎ、モーター９の動力をつたえるナシジョンベルト、１
．３ ｉ；！ コのテンションベルｌ−１Ｌ２屹固定さ
れ、直線方向の連動をガイドする第１のｗｍべ−ｒリン
グ、１４ｊ′：＠案内レール、ｈ５はこの案内し・−ル
１４前方に設けられた前ストッパ、１６は上記案内レー
ル１４の後方に位置する後ストッパ、］７は案内レール
１４及び前夫ト・ツバ迅を閤定する取付具、迅はこの取
付具１７を上下方向にガイドする直線ガイド、１９は上
記直線ベアリング１３Ｇこ固定され、なおかつ、直線ガ
イド塩も固定しでいる取付具、３〕は上記後ストッパ１
６を固定する取付具、２１は上記取付具１７に取付けら
れでいるころがりベアリング、ηはこのころがりベアリ
ング列を介して案内レール１４を上下させる板カム、“
りは上記取付具〕７と取付具１９とをたがいに引張り、
ころがりベアリング２１を抜カム皐に押付ける作用をす
る引張りばね、２４は散付具加を取付（づるための取付
具である０ 第２図において、１は半導体装置、２は前玉（９の搬送
レールである。 次に動作について第１図、第２図により説明する。所望
の形状に加工された半導体装置１は５，１：１工程より
搬送レール２に案内されながらエアーブローにより搬送
される。搬送レール２を通り抜けた半導体装置１は、案
内レール１４上まで移動するが、案内レール１４前方に
設けられた前ストッパ１５により停電する。 次に案内１ノール１４上に位置する半導体装置１ ｆ′
：Ｊ、駆動系にｔ＃１移動するの駆動系（ユ、基台８に
尚だされたモーター９によって、駆動ブーＩＪ −１０
及び従動プーリー１．１により、テンションベルト技を
介して、直線ベアリング１３へとったえられる、モータ
ー９のｉ：ｉ、ｌｉＪ転により直線ベアリング１３が移
動を始めると、坂カム部の曲線にそって、案内レール１
４が上下方向の下方向ヘストロークを始める。これ（＝
案内レール１４が取付具１７に固定され、取付具１７に
固定されたころがりベアリング■が板カムｎに接し、か
つ、直線ベアリング１３に固定された取付具１９と取付
具１７が引張りはね幻により常に引張られているためで
ある。この時、取付具１７は取付具１９ニ対し直線ベア
リング追により上下方向は進退自在となっている。 板カム４の曲線にそって下方向に移動してきた案内レー
ル１４に載荷された半導体装置１は、取付板１９に固定
され、取付具Ａ、取付冥加を介して取付けられた後スト
ッパ１６により、搬送レール２の流れ方向に位置決めさ
れる。すなわち、半導体装置１は、搬送レール２の流れ
方向を前ストッパｂ及び後ストンノ＜′】６により、直
線ベアリング肪の移動方向の位置決めは、案内レール１
４の形状により位置決めされる。 モーター９による所望の半導体装置１の移動、搬送が完
了した時点で半導体装置工は位置決めは完了し、吸着搬
送（図示省略）により次工程へと送り込まれる。 〔発明の効果〕 以上のようにこの発明によれば、半導体装置の位置決め
を半導体装置の移動、搬送中に進退自在に設けられた位
置決め具により位置決めを行うようにしたので、装置の
構造が簡単になり、また稼動率の高い装置が得られる効
果がある。
バビン４及び第２のシリンダγにより、他方向をガイド
レール３により位置決めされ、ガイドレール３移動後の
位置決めを完了する。 位置決めされた半導体装ｔｘは吸着搬送（図示省略）に
より、次ユ４桿へと送り込まれる。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の半導体装置の位置決め機構Ｇ、Ｘ以上のように構
成されているので、位置決めのためのアクチュエーター
が必要となり、かつ、半導体装置の搬送後の位置決め動
作のための詩間が必要となるため、コスト了ンブとなり
、また、装置の稼動率の低下の原因となつでいる等の問
題点があった。 この発明（ユ上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、位置決めのための専用のアクチーＬ：Ｌ−
ターを必安巳禁ず、なおか−′）、半導体装置の搬送中
に位置決めを完了するようにして低コストで稼動率の高
い装置ｆ得ることを目的とする。 （課題を解決するための手段〕 この発明に係る半導体装置の位置決め機構４ユ、半導体
装置を移動搬送中に、カム面を利用して、半導体装置を
載荷している案内レールを上下に移動させ、案内レール
下降時に相対的に上昇するストッパにより半導体装置の
位置決めを行うものである。 〔作用〕 この発明にお１する半導体装置の位置決め機構は、半導
体装置を移動、搬送中にカム面３利用して位置決めを行
うものであるから、移動、搬送が完了した時点で、半導
体装置の位置決めも完ｒする。 このとき、位置決め用の特別なアクチュエータを必要と
しない。 （実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、第２図は
第１図の機構、構成を説明するための断面図である。 第１図においで、８は基台、９はこの基台８に取付けら
れたモーター １０はこのモーター９に連結している駆
動プーリ、】１は従動ブーりである。 １２（ま駆動プーリー１０と従動プ・−リ−１１をつな
ぎ、モーター９の動力をつたえるナシジョンベルト、１
．３ ｉ；！ コのテンションベルｌ−１Ｌ２屹固定さ
れ、直線方向の連動をガイドする第１のｗｍべ−ｒリン
グ、１４ｊ′：＠案内レール、ｈ５はこの案内し・−ル
１４前方に設けられた前ストッパ、１６は上記案内レー
ル１４の後方に位置する後ストッパ、］７は案内レール
１４及び前夫ト・ツバ迅を閤定する取付具、迅はこの取
付具１７を上下方向にガイドする直線ガイド、１９は上
記直線ベアリング１３Ｇこ固定され、なおかつ、直線ガ
イド塩も固定しでいる取付具、３〕は上記後ストッパ１
６を固定する取付具、２１は上記取付具１７に取付けら
れでいるころがりベアリング、ηはこのころがりベアリ
ング列を介して案内レール１４を上下させる板カム、“
りは上記取付具〕７と取付具１９とをたがいに引張り、
ころがりベアリング２１を抜カム皐に押付ける作用をす
る引張りばね、２４は散付具加を取付（づるための取付
具である０ 第２図において、１は半導体装置、２は前玉（９の搬送
レールである。 次に動作について第１図、第２図により説明する。所望
の形状に加工された半導体装置１は５，１：１工程より
搬送レール２に案内されながらエアーブローにより搬送
される。搬送レール２を通り抜けた半導体装置１は、案
内レール１４上まで移動するが、案内レール１４前方に
設けられた前ストッパ１５により停電する。 次に案内１ノール１４上に位置する半導体装置１ ｆ′
：Ｊ、駆動系にｔ＃１移動するの駆動系（ユ、基台８に
尚だされたモーター９によって、駆動ブーＩＪ −１０
及び従動プーリー１．１により、テンションベルト技を
介して、直線ベアリング１３へとったえられる、モータ
ー９のｉ：ｉ、ｌｉＪ転により直線ベアリング１３が移
動を始めると、坂カム部の曲線にそって、案内レール１
４が上下方向の下方向ヘストロークを始める。これ（＝
案内レール１４が取付具１７に固定され、取付具１７に
固定されたころがりベアリング■が板カムｎに接し、か
つ、直線ベアリング１３に固定された取付具１９と取付
具１７が引張りはね幻により常に引張られているためで
ある。この時、取付具１７は取付具１９ニ対し直線ベア
リング追により上下方向は進退自在となっている。 板カム４の曲線にそって下方向に移動してきた案内レー
ル１４に載荷された半導体装置１は、取付板１９に固定
され、取付具Ａ、取付冥加を介して取付けられた後スト
ッパ１６により、搬送レール２の流れ方向に位置決めさ
れる。すなわち、半導体装置１は、搬送レール２の流れ
方向を前ストッパｂ及び後ストンノ＜′】６により、直
線ベアリング肪の移動方向の位置決めは、案内レール１
４の形状により位置決めされる。 モーター９による所望の半導体装置１の移動、搬送が完
了した時点で半導体装置工は位置決めは完了し、吸着搬
送（図示省略）により次工程へと送り込まれる。 〔発明の効果〕 以上のようにこの発明によれば、半導体装置の位置決め
を半導体装置の移動、搬送中に進退自在に設けられた位
置決め具により位置決めを行うようにしたので、装置の
構造が簡単になり、また稼動率の高い装置が得られる効
果がある。
第１図はこの発明の一実施例による半導体装置の位置決
め機構を示す斜視図、第２図は第１図の側断面図、第８
図は従来の半導体装置の位置決め機構を示す平面図であ
る。 図中・ １は半導体装置・２は搬送レール、９はモータ
ー、ｌＯは駆動プーリー Ｕは従動プーリー肚はテンシ
ョンベルト、詔は直線ベアリングＳ１４は案内レール、
１５は前ストッパ、１６は後ストッパ、１７は取付具、
詔は′ｒｆＬ１１１ベアリング、姐はころがりベアリン
グ、ｎは板カムである。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。
め機構を示す斜視図、第２図は第１図の側断面図、第８
図は従来の半導体装置の位置決め機構を示す平面図であ
る。 図中・ １は半導体装置・２は搬送レール、９はモータ
ー、ｌＯは駆動プーリー Ｕは従動プーリー肚はテンシ
ョンベルト、詔は直線ベアリングＳ１４は案内レール、
１５は前ストッパ、１６は後ストッパ、１７は取付具、
詔は′ｒｆＬ１１１ベアリング、姐はころがりベアリン
グ、ｎは板カムである。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 前方に前ストッパを有する、半導体装置の案内レール
、この案内レールを支持する取付具、この取付具を上記
案内レールの長手方同と直交する方向に直線移動させる
駆動装置、上記案内レールの長手方向及び直線移動方向
のいずれとも直交する方向即ち上下方向にカム面を有し
、このカム面が上記取付具と係合する板カム、上記取付
具の直線移動により上記カム面の作用で上記案内レール
が下降したとき、相対的に上記案内レールのレール面よ
り突出し、上記前ストッパと共同して上記半導体装置の
レール上での前後移動を阻止する後ストッパを備えたこ
とを特徴とする半導体の位置決め搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2074018A JPH03272912A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | 半導体装置の位置決め搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2074018A JPH03272912A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | 半導体装置の位置決め搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03272912A true JPH03272912A (ja) | 1991-12-04 |
Family
ID=13534952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2074018A Pending JPH03272912A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | 半導体装置の位置決め搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03272912A (ja) |
-
1990
- 1990-03-22 JP JP2074018A patent/JPH03272912A/ja active Pending
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