JPH03278413A - 磁器コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
磁器コンデンサ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH03278413A JPH03278413A JP2076763A JP7676390A JPH03278413A JP H03278413 A JPH03278413 A JP H03278413A JP 2076763 A JP2076763 A JP 2076763A JP 7676390 A JP7676390 A JP 7676390A JP H03278413 A JPH03278413 A JP H03278413A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mol
- composition
- sio
- point
- range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 88
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims abstract description 37
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims abstract description 10
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 32
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 claims description 22
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N Li2O Inorganic materials [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- XUCJHNOBJLKZNU-UHFFFAOYSA-M dilithium;hydroxide Chemical compound [Li+].[Li+].[OH-] XUCJHNOBJLKZNU-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 16
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 13
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102000005717 Myeloma Proteins Human genes 0.000 description 2
- 108010045503 Myeloma Proteins Proteins 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[産業上の利用分野]
本発明は、誘電体磁器層を少なくとも2以上の内部電極
で挟持してなる単層または積層構造の磁器コンデンサ及
びその製造方法に関するものである。 [従来の技術] 従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、誘電体磁
器原料粉末から成る未焼結磁器シート(グリーンシート
)に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペーストを
所望パターンで印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、酸化性雰囲気中において1300℃〜1600℃で焼
成させた。 この焼成により、誘電体磁器原料粉末から成る未焼結磁
器シートは誘電体磁器層となり、白金又はパラジウム等
の貴金属の導電性ペーストは内部電極となる。 上述の如(、導電性ペーストとして白金又はパラジウム
等の貴金属を主成分とするものを使用すれば、酸化性雰
囲気中において1300℃〜1600℃という高温で焼
成させても、目的とする内部電極を得ることができる。 しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高価であるため
、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になっていた
。 上述の問題を解決することができるものとして、本件出
願人に係わる特公昭61−14607号公報には、(B
a k−M X+011 T 102(但し、MはM
g及び/又はZn)から成る基本成分と、L i x
O及びSiO2から成る添加成分とを含む誘電体磁器組
成物が開示されている。 また、特公昭61−14608号公報には、上記の特公
昭61−14607号公報記載の誘電体磁器組成物のL
i2O及びS i O*の代りに、L i a O、S
L Oz及びMO(但し、MOはBaO,CaO及び
SrOから選択された1種または2種以上の金属酸化物
)から成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開示され
ている。 また、特公昭61−14609号公報には、(Ba、−
、−、Mx L、)Oi+ Ti0z (但し、Mは
Mg及び/又はZn、LはSr及び/又はCa)から成
る基本成分と、L i * O及びSiO□から成る添
加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14610号公報には、上記の特公
昭61−14609号公報記載の誘電体磁器組成物にお
けるL i t O及びS i Ozの代りに、L i
z O,S i Ox及びMO(但し、MOはB a
O? Ca O及びSrOから選択された1種または
2種以上の金属酸化物)から成る添加成分を含む誘電体
磁器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14611号公報には、(B a、
−、MzlOi+ T i 02 (但し、MはMg
。 Zn、Sr及びCaから選択された1種または2種以上
の金属元素)から成る基本成分と、B2O3及びSiO
□から成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示さ
れている。 また、特公昭62−1595号公報には、(B all
−4Mffilok T i Ox (但し、MはM
g。 Zn、Sr及びCaから選択された1種または2種以上
の金属元素)から成る基本成分と、B201及びMO(
但し、MOはBao。 MgO,ZnO,SrO及びCaOから選択された1種
または2種以上の金属酸化物)から成る添加成分とを含
む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭62−1596号公報には、上記の特公昭
62−1595号公報記載の誘電体磁器組成物のB20
.及びMOの代りに、B、03゜S L O*及びMO
(但し、MOはB ao。 M g O、Z n O、S r O及びCaOから選
択された1種または2種以上の金属酸化物)から成る添
加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。 これらに開示されている誘電体磁器組成物を誘電体層と
して使用すれば、還元性雰囲気中において、1200℃
以下の温度の焼成で磁器コンデンサを得ることができ、
しかも、その誘電体磁器組成物の比誘電率を2000以
上、比誘電率の温度変化率を一25℃〜+85℃で一1
0%〜+10%の範囲にすることができるものである。 [発明が解決しようとする課題] ところで、近年における電子回路の高密度化に伴ない、
磁器コンデンサの小型化の要求は非常に強く、上記各公
報に開示されている誘電体磁器組成物よりも更に比誘電
率の大きな誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサの
開発が望まれていた。 また、磁器コンデンサは各種の環境下において使用され
るため、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物
よりも更に広い温度範囲にわたって比誘電率の変化率が
小さい誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサの開発
が望まれていた。 そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気中における1
200℃以下の焼成で得られるものであるにもかかわら
ず、比誘電率が3000以上、誘電体損失tanδが2
.5%以下、抵抗率ρがlX10’MΩ・cm以上であ
り、かつ比誘電率の温度変化率が一55℃〜125℃で
一15%〜+15%(25℃を基#)、−25℃〜85
℃で一1O%〜+10%(20℃を基準)の範囲に収ま
る誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサ及びその製
造方法を提供することにある。 [課題を解決するための手段] 本発明に係る磁器コンデンサは、誘電体磁器組成物から
なる誘電体磁器層と、この誘電体磁器層を挟持している
少な(とも2以上の内部電極とを備え、 前記誘電体磁器組成物が100重量部の基本成分と、0
.2〜5重量部の添加成分とからなり、前記基本成分が (B am−m Mx)Oi+(T 1 +−t Rz
)Ox−z/2(但し、MはMg及び/又はZn、Rは
Sc。 Y、Gd、Dy、Ho、Er及びYbから選択された1
種または2種以上の金属元素、k、x、zは 1 、 OO≦に≦ 1 、05 0、01 ≦X≦0.10 0、 002 ≦z≦0.06 を満足する数値)で表わされる物質からなり、前記添加
成分がL i * OとSiO□とMO(但し、MOは
BaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択さ
れた1種または2種以上の金属酸化物)とからなり、 前記L i * 0と前記S i Owと前記MOとの
組成範囲が、これらの組成をモル%で示す三角図におけ
る、 前記L i z Oが1モル%、前記5i02が80モ
ル%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと
、 前記L i t Oが1モル%、前記S i O*が3
9モル%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点
Bと、 前記Li2Oが30モル%、前記S i O2が30モ
ル%、前記MOが40モル%の組成を示す第3の点Cと
、 前記L i w Oが50モル%、前記S i Oxが
50モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第4の点
りと、 前記L i x Oが20モル%、前記S iO*が8
0モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点E
と をこの順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内のものであ
る。 ここで、kの値は1.00≦に≦1.05の範囲が好ま
しい。kの値が1.00未満では、抵抗率ρが1xlO
’MΩ・C11より小さくなり、静電容量の温度変化率
へC−5it ΔC1□5が一15%〜+15%から外
れ、へC−2g、へCasが一10%〜+10%から外
れ、またkの値が1.05を越えると緻密な焼結体が得
られな(なってしまうが、kの値が1.00≦に≦1.
05の範囲では所望の電気的特性を有する緻密な焼結体
が得られるからである。 また、Xの値は0.01≦X≦0.10の範囲が好まし
い。Xの値が0.01未満では静電容量の温度変化率Δ
C−5sが一15%〜+15%から外れ、Xの値が0.
10を越えると、静電容量の温度変化率ΔC,l、が一
10%〜+10%から外れてしまうが、Xの値が0.0
1≦X≦0.10の範囲では所望の電気的特性を有する
ものが得られるからである。 なお、M成分であるMgとZnははf同様に働き、0.
01≦X≦0.10を満足する範囲でMgとZnのうち
の一方または両方を使用することによって所望の電気的
特性を得ることができる。 また、2の値は、0.002≦2≦0.06の範囲が好
ましい。Zの値が0.002未満では静電容量の温度変
化率ΔC−55が一15%〜+15%から外れ、Δc−
211が一10%〜+10%から外れてしまい、Zの値
が0.06を越えると緻密な焼結体が得られなくなって
しまうが、o、oo2≦z≦0.06の範囲では、所望
の電気的特性を有する緻密な焼結体が得られるからであ
る。 また、前記基本成分の組成式中におけるR成分は、静電
容量の温度特性の改善に寄与するものである。 すなわち、R成分の添加によって一55℃〜125℃の
範囲の静電容量の温度変化率ΔC−@。 〜ΔC12%を一15%〜+15%の範囲に容易に収め
ることが可能になると共に一25℃〜85℃の範囲での
静電容量の温度変化率ΔC−36〜ΔCasを一1O%
〜+10%の範囲に容易に収めることが可能になり、か
つ各温度範囲における静電容量の温度変化率の変動幅を
小さくすることができるものである。 そして、R成分は抵抗率ρを太き(する作用及び焼結性
を高める作用を有するものである。 なお、R成分のSc、Y、Gd、Dy、Ho。 Er及びYbははf同様に働き、これらから選択された
1つを使用しても、または複数を組み合わせて使用して
も同様な効果が得られるものである。 ただし、Zの値は、R成分が1種または複数種のいずれ
の場合においても0.002≦z≦0.06の範囲にす
ることが望ましい。 なお、前記基本成分を示す組成式中において、x、z、
にはもちろんそれぞれの元素の原子数を示している。 また、基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない範囲
で微量のMn0x(好ましくは0.05〜0.1重量%
)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させてもよい。ま
た、その他の物質を必要に応じて添加してもよい。 また、基本成分を得るための出発原料を、実施例で示し
たもの以外の例えばBaO,SrO。 CaO等の酸化物または水酸化物またはその他の化合物
としてもよい。 次に、添加成分の添加量は、100重量部の基本成分に
対し、0.2〜5重量部の範囲が好ましい。 添加成分の添加量が0.2重量部未満の場合には、焼成
温度が1250℃であっても緻密な焼結体が得られず、
また、添加成分の添加量が5重量部を越えると、比誘電
率ε、が3000未満となり、しかも静電容量の温度変
化率へC,ssが一15%〜+15%から外れるが、添
加成分が0.2〜5重量部の範囲にある場合は、所望の
電気的特性のものが得られるからである。 添加成分の組成は、L i z OS i Ot M
Oの組成比をモル%で示す三角図の第1〜5の点A−
Eを順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内が好ましい。 添加成分の組成をこの領域外とすれば、緻密な焼結体を
得ることができないが、この領域内の組成とすれば、所
望の電気的特性の焼結体を得ることができるからである
。 なお、添加成分の出発原料は酸化物、水酸化物等の他の
化合物としてもよい。 次に、本発明に係る磁器コンデンサの製造方法は、上記
の基本成分と添加成分とからなる未焼結の磁器粉末の混
合物を調製する工程と、前記混合物からなる未焼結磁器
シートを形成する工程と、前記未焼結磁器シートを少な
くとも2以上の導電性ペースト膜で挟持させた積層物を
形成する工程と、前記積層物を非酸化性雰囲気中におい
て焼成する工程と、前記焼成を受けた積層物を酸化性雰
囲気中において熱処理する工程とを備えたものである。 ここで、非酸化性雰囲気中の焼成温度は、電極材料を考
慮して種々変えることができる。 ニッケルを内部電極とする場合には、1050℃〜12
00℃の範囲でニッケル粒子の凝集がほとんど生じない
。 また、非酸化性雰囲気はN2やCOなとの還元性雰囲気
のみならず、N2やArなどの中性雰囲気であってもよ
い。 また、酸化性雰囲気中における熱処理の温度は、ニッケ
ル等の電極材料と磁器の酸化とを考慮して種々変更する
ことが可能である。 この熱処理の温度は実施例では600℃としたが、これ
に限定されるものではなく、焼結温度よりも低い温度で
あればよく、好ましくは500℃〜1000℃の範囲が
よい。 なお、本発明は積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層
の磁器コンデンサにも勿論適用可能である。 [実施例] まず、第1表のNo、1の試料の調製方法とその電気的
特性について説明する。 1木履立且】l 配合1の化合物を各々秤量し、これらを15時時間式混
合して原料混合物を得た。 配合l ここで、配合1の化合物の重量(g)とモル部は、基本
成分の一般式 %式% となるように計算して求めた値である。 次に、この原料混合物を150’Cで4時間乾燥後、粉
砕し、大気中において約1200”Cの温度で2時間仮
焼し、基本成分の粉末を得た。 L皿基豆且11 また、配合2の化合物を各々秤量して混合し、この混合
物にアルコールを300cc加え、ポリエチレンポット
にてアルミナボールを用いて10時間撹拌した後、大気
中において1000℃の温度で2時間仮焼成した。 ここで、配合2の化合物の重量(g)とモル部は、Li
z Oが1モル%、S i Oxが80モル%、MOが
19モル%(BaO(3,8モル%)+CaO(3,8
モル%)+SrO(3,8モル%)+MgO(3,8モ
ル%)+ZnO(3,8モル%))の組成になるように
計算して求めた値である。 次に、この仮焼によって得られたものを300ccの水
とともにアルミナポットに入れ、アルミナボールで15
時間粉砕し、しかる後に150℃で4時間乾燥させて、
添加成分の粉末を得た。 尚、MOの内容であるBaO,Cab。 SrO,MgO及びZnOの割合は、第1表に示すよう
に、いずれも20モル%となる。 Lに二辺11 ″ 次に、100重量部(1000g)の前記基本成分に対
し、2重量部(20g)の前記添加成分を添加し、更に
、アクリル酸エステルポリマーグリセリン、縮合リン酸
塩の水溶液からなる有機バインダーを、基本成分と添加
成分との合計重量に対して15重量%添加し、更に、5
0重量%の水を加え、これらをボールミルに入れて、粉
砕及び混合して磁器原料のスラリーを調製した。 M1″シートの形 次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し、二の
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受は取ると共に、同フィルム上でこれを100℃に
加熱して乾燥させ、厚さ約25μmの未焼結磁器シート
を得た。 このシートは長尺なものであるが、これを10cm角の
正方形に裁断して使用する。 導電性ペーストの調製及び印刷 方、内部電極用の導電性ペーストは、粒径平均1.5L
Lmのニッケル粉末10gと、エチルセルロース0.9
gをブチルカルピトール9.1gに溶解させたものとを
撹拌機に入れ、10時間撹拌することにより得た。そし
て、この導電性ペーストを長さ14mm、幅7mmのパ
ターンを50個有するスクリーンを介して上記未焼結磁
器シートの片側に印刷した後、これを乾燥させた。 未焼 磁°シートの層 次に、上記印刷面を上にして未焼結磁器シートを2枚積
層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長平方向に約半分程ずれるように配
置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞれ4枚ず
つ厚さ60LLmの未焼結磁器シートを積層した。 履物の圧 と裁断 次いで、この積層物を約50℃の温度で厚さ方向に約4
0トンの荷重を加えて圧着させた。しかる後、この積層
物を格子状に裁断し、50個の積層体チップを得た。 層 チップの焼成 次に、この積層体チップを雰囲気焼成が可能な炉に入れ
、大気雰囲気中においてlOO℃/hの速度で600℃
まで昇温しで、有機バインダを燃焼させた。 しかる後、炉の雰囲気を大気からH2(2体積%)+N
、(98体積%)の還元性雰囲気に変えた。そして、炉
をこの還元性雰囲気とした状態を保って、積層体チップ
の加熱温度を600℃から焼結温度の1150℃まで、
100℃/hの速度で昇温しで1150℃(最高温度)
を3時間保持した後、100℃/hの速度で600℃ま
で降温し、雰囲気を大気雰囲気(酸化性雰囲気)におき
かえて、600℃を30分間保持して酸化処理を行い、
その後、室温まで冷却して積層焼結体チップを得た。 外1U
で挟持してなる単層または積層構造の磁器コンデンサ及
びその製造方法に関するものである。 [従来の技術] 従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、誘電体磁
器原料粉末から成る未焼結磁器シート(グリーンシート
)に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペーストを
所望パターンで印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、酸化性雰囲気中において1300℃〜1600℃で焼
成させた。 この焼成により、誘電体磁器原料粉末から成る未焼結磁
器シートは誘電体磁器層となり、白金又はパラジウム等
の貴金属の導電性ペーストは内部電極となる。 上述の如(、導電性ペーストとして白金又はパラジウム
等の貴金属を主成分とするものを使用すれば、酸化性雰
囲気中において1300℃〜1600℃という高温で焼
成させても、目的とする内部電極を得ることができる。 しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高価であるため
、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になっていた
。 上述の問題を解決することができるものとして、本件出
願人に係わる特公昭61−14607号公報には、(B
a k−M X+011 T 102(但し、MはM
g及び/又はZn)から成る基本成分と、L i x
O及びSiO2から成る添加成分とを含む誘電体磁器組
成物が開示されている。 また、特公昭61−14608号公報には、上記の特公
昭61−14607号公報記載の誘電体磁器組成物のL
i2O及びS i O*の代りに、L i a O、S
L Oz及びMO(但し、MOはBaO,CaO及び
SrOから選択された1種または2種以上の金属酸化物
)から成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開示され
ている。 また、特公昭61−14609号公報には、(Ba、−
、−、Mx L、)Oi+ Ti0z (但し、Mは
Mg及び/又はZn、LはSr及び/又はCa)から成
る基本成分と、L i * O及びSiO□から成る添
加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14610号公報には、上記の特公
昭61−14609号公報記載の誘電体磁器組成物にお
けるL i t O及びS i Ozの代りに、L i
z O,S i Ox及びMO(但し、MOはB a
O? Ca O及びSrOから選択された1種または
2種以上の金属酸化物)から成る添加成分を含む誘電体
磁器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14611号公報には、(B a、
−、MzlOi+ T i 02 (但し、MはMg
。 Zn、Sr及びCaから選択された1種または2種以上
の金属元素)から成る基本成分と、B2O3及びSiO
□から成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示さ
れている。 また、特公昭62−1595号公報には、(B all
−4Mffilok T i Ox (但し、MはM
g。 Zn、Sr及びCaから選択された1種または2種以上
の金属元素)から成る基本成分と、B201及びMO(
但し、MOはBao。 MgO,ZnO,SrO及びCaOから選択された1種
または2種以上の金属酸化物)から成る添加成分とを含
む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭62−1596号公報には、上記の特公昭
62−1595号公報記載の誘電体磁器組成物のB20
.及びMOの代りに、B、03゜S L O*及びMO
(但し、MOはB ao。 M g O、Z n O、S r O及びCaOから選
択された1種または2種以上の金属酸化物)から成る添
加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。 これらに開示されている誘電体磁器組成物を誘電体層と
して使用すれば、還元性雰囲気中において、1200℃
以下の温度の焼成で磁器コンデンサを得ることができ、
しかも、その誘電体磁器組成物の比誘電率を2000以
上、比誘電率の温度変化率を一25℃〜+85℃で一1
0%〜+10%の範囲にすることができるものである。 [発明が解決しようとする課題] ところで、近年における電子回路の高密度化に伴ない、
磁器コンデンサの小型化の要求は非常に強く、上記各公
報に開示されている誘電体磁器組成物よりも更に比誘電
率の大きな誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサの
開発が望まれていた。 また、磁器コンデンサは各種の環境下において使用され
るため、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物
よりも更に広い温度範囲にわたって比誘電率の変化率が
小さい誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサの開発
が望まれていた。 そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気中における1
200℃以下の焼成で得られるものであるにもかかわら
ず、比誘電率が3000以上、誘電体損失tanδが2
.5%以下、抵抗率ρがlX10’MΩ・cm以上であ
り、かつ比誘電率の温度変化率が一55℃〜125℃で
一15%〜+15%(25℃を基#)、−25℃〜85
℃で一1O%〜+10%(20℃を基準)の範囲に収ま
る誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサ及びその製
造方法を提供することにある。 [課題を解決するための手段] 本発明に係る磁器コンデンサは、誘電体磁器組成物から
なる誘電体磁器層と、この誘電体磁器層を挟持している
少な(とも2以上の内部電極とを備え、 前記誘電体磁器組成物が100重量部の基本成分と、0
.2〜5重量部の添加成分とからなり、前記基本成分が (B am−m Mx)Oi+(T 1 +−t Rz
)Ox−z/2(但し、MはMg及び/又はZn、Rは
Sc。 Y、Gd、Dy、Ho、Er及びYbから選択された1
種または2種以上の金属元素、k、x、zは 1 、 OO≦に≦ 1 、05 0、01 ≦X≦0.10 0、 002 ≦z≦0.06 を満足する数値)で表わされる物質からなり、前記添加
成分がL i * OとSiO□とMO(但し、MOは
BaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択さ
れた1種または2種以上の金属酸化物)とからなり、 前記L i * 0と前記S i Owと前記MOとの
組成範囲が、これらの組成をモル%で示す三角図におけ
る、 前記L i z Oが1モル%、前記5i02が80モ
ル%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと
、 前記L i t Oが1モル%、前記S i O*が3
9モル%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点
Bと、 前記Li2Oが30モル%、前記S i O2が30モ
ル%、前記MOが40モル%の組成を示す第3の点Cと
、 前記L i w Oが50モル%、前記S i Oxが
50モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第4の点
りと、 前記L i x Oが20モル%、前記S iO*が8
0モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点E
と をこの順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内のものであ
る。 ここで、kの値は1.00≦に≦1.05の範囲が好ま
しい。kの値が1.00未満では、抵抗率ρが1xlO
’MΩ・C11より小さくなり、静電容量の温度変化率
へC−5it ΔC1□5が一15%〜+15%から外
れ、へC−2g、へCasが一10%〜+10%から外
れ、またkの値が1.05を越えると緻密な焼結体が得
られな(なってしまうが、kの値が1.00≦に≦1.
05の範囲では所望の電気的特性を有する緻密な焼結体
が得られるからである。 また、Xの値は0.01≦X≦0.10の範囲が好まし
い。Xの値が0.01未満では静電容量の温度変化率Δ
C−5sが一15%〜+15%から外れ、Xの値が0.
10を越えると、静電容量の温度変化率ΔC,l、が一
10%〜+10%から外れてしまうが、Xの値が0.0
1≦X≦0.10の範囲では所望の電気的特性を有する
ものが得られるからである。 なお、M成分であるMgとZnははf同様に働き、0.
01≦X≦0.10を満足する範囲でMgとZnのうち
の一方または両方を使用することによって所望の電気的
特性を得ることができる。 また、2の値は、0.002≦2≦0.06の範囲が好
ましい。Zの値が0.002未満では静電容量の温度変
化率ΔC−55が一15%〜+15%から外れ、Δc−
211が一10%〜+10%から外れてしまい、Zの値
が0.06を越えると緻密な焼結体が得られなくなって
しまうが、o、oo2≦z≦0.06の範囲では、所望
の電気的特性を有する緻密な焼結体が得られるからであ
る。 また、前記基本成分の組成式中におけるR成分は、静電
容量の温度特性の改善に寄与するものである。 すなわち、R成分の添加によって一55℃〜125℃の
範囲の静電容量の温度変化率ΔC−@。 〜ΔC12%を一15%〜+15%の範囲に容易に収め
ることが可能になると共に一25℃〜85℃の範囲での
静電容量の温度変化率ΔC−36〜ΔCasを一1O%
〜+10%の範囲に容易に収めることが可能になり、か
つ各温度範囲における静電容量の温度変化率の変動幅を
小さくすることができるものである。 そして、R成分は抵抗率ρを太き(する作用及び焼結性
を高める作用を有するものである。 なお、R成分のSc、Y、Gd、Dy、Ho。 Er及びYbははf同様に働き、これらから選択された
1つを使用しても、または複数を組み合わせて使用して
も同様な効果が得られるものである。 ただし、Zの値は、R成分が1種または複数種のいずれ
の場合においても0.002≦z≦0.06の範囲にす
ることが望ましい。 なお、前記基本成分を示す組成式中において、x、z、
にはもちろんそれぞれの元素の原子数を示している。 また、基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない範囲
で微量のMn0x(好ましくは0.05〜0.1重量%
)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させてもよい。ま
た、その他の物質を必要に応じて添加してもよい。 また、基本成分を得るための出発原料を、実施例で示し
たもの以外の例えばBaO,SrO。 CaO等の酸化物または水酸化物またはその他の化合物
としてもよい。 次に、添加成分の添加量は、100重量部の基本成分に
対し、0.2〜5重量部の範囲が好ましい。 添加成分の添加量が0.2重量部未満の場合には、焼成
温度が1250℃であっても緻密な焼結体が得られず、
また、添加成分の添加量が5重量部を越えると、比誘電
率ε、が3000未満となり、しかも静電容量の温度変
化率へC,ssが一15%〜+15%から外れるが、添
加成分が0.2〜5重量部の範囲にある場合は、所望の
電気的特性のものが得られるからである。 添加成分の組成は、L i z OS i Ot M
Oの組成比をモル%で示す三角図の第1〜5の点A−
Eを順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内が好ましい。 添加成分の組成をこの領域外とすれば、緻密な焼結体を
得ることができないが、この領域内の組成とすれば、所
望の電気的特性の焼結体を得ることができるからである
。 なお、添加成分の出発原料は酸化物、水酸化物等の他の
化合物としてもよい。 次に、本発明に係る磁器コンデンサの製造方法は、上記
の基本成分と添加成分とからなる未焼結の磁器粉末の混
合物を調製する工程と、前記混合物からなる未焼結磁器
シートを形成する工程と、前記未焼結磁器シートを少な
くとも2以上の導電性ペースト膜で挟持させた積層物を
形成する工程と、前記積層物を非酸化性雰囲気中におい
て焼成する工程と、前記焼成を受けた積層物を酸化性雰
囲気中において熱処理する工程とを備えたものである。 ここで、非酸化性雰囲気中の焼成温度は、電極材料を考
慮して種々変えることができる。 ニッケルを内部電極とする場合には、1050℃〜12
00℃の範囲でニッケル粒子の凝集がほとんど生じない
。 また、非酸化性雰囲気はN2やCOなとの還元性雰囲気
のみならず、N2やArなどの中性雰囲気であってもよ
い。 また、酸化性雰囲気中における熱処理の温度は、ニッケ
ル等の電極材料と磁器の酸化とを考慮して種々変更する
ことが可能である。 この熱処理の温度は実施例では600℃としたが、これ
に限定されるものではなく、焼結温度よりも低い温度で
あればよく、好ましくは500℃〜1000℃の範囲が
よい。 なお、本発明は積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層
の磁器コンデンサにも勿論適用可能である。 [実施例] まず、第1表のNo、1の試料の調製方法とその電気的
特性について説明する。 1木履立且】l 配合1の化合物を各々秤量し、これらを15時時間式混
合して原料混合物を得た。 配合l ここで、配合1の化合物の重量(g)とモル部は、基本
成分の一般式 %式% となるように計算して求めた値である。 次に、この原料混合物を150’Cで4時間乾燥後、粉
砕し、大気中において約1200”Cの温度で2時間仮
焼し、基本成分の粉末を得た。 L皿基豆且11 また、配合2の化合物を各々秤量して混合し、この混合
物にアルコールを300cc加え、ポリエチレンポット
にてアルミナボールを用いて10時間撹拌した後、大気
中において1000℃の温度で2時間仮焼成した。 ここで、配合2の化合物の重量(g)とモル部は、Li
z Oが1モル%、S i Oxが80モル%、MOが
19モル%(BaO(3,8モル%)+CaO(3,8
モル%)+SrO(3,8モル%)+MgO(3,8モ
ル%)+ZnO(3,8モル%))の組成になるように
計算して求めた値である。 次に、この仮焼によって得られたものを300ccの水
とともにアルミナポットに入れ、アルミナボールで15
時間粉砕し、しかる後に150℃で4時間乾燥させて、
添加成分の粉末を得た。 尚、MOの内容であるBaO,Cab。 SrO,MgO及びZnOの割合は、第1表に示すよう
に、いずれも20モル%となる。 Lに二辺11 ″ 次に、100重量部(1000g)の前記基本成分に対
し、2重量部(20g)の前記添加成分を添加し、更に
、アクリル酸エステルポリマーグリセリン、縮合リン酸
塩の水溶液からなる有機バインダーを、基本成分と添加
成分との合計重量に対して15重量%添加し、更に、5
0重量%の水を加え、これらをボールミルに入れて、粉
砕及び混合して磁器原料のスラリーを調製した。 M1″シートの形 次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し、二の
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受は取ると共に、同フィルム上でこれを100℃に
加熱して乾燥させ、厚さ約25μmの未焼結磁器シート
を得た。 このシートは長尺なものであるが、これを10cm角の
正方形に裁断して使用する。 導電性ペーストの調製及び印刷 方、内部電極用の導電性ペーストは、粒径平均1.5L
Lmのニッケル粉末10gと、エチルセルロース0.9
gをブチルカルピトール9.1gに溶解させたものとを
撹拌機に入れ、10時間撹拌することにより得た。そし
て、この導電性ペーストを長さ14mm、幅7mmのパ
ターンを50個有するスクリーンを介して上記未焼結磁
器シートの片側に印刷した後、これを乾燥させた。 未焼 磁°シートの層 次に、上記印刷面を上にして未焼結磁器シートを2枚積
層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長平方向に約半分程ずれるように配
置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞれ4枚ず
つ厚さ60LLmの未焼結磁器シートを積層した。 履物の圧 と裁断 次いで、この積層物を約50℃の温度で厚さ方向に約4
0トンの荷重を加えて圧着させた。しかる後、この積層
物を格子状に裁断し、50個の積層体チップを得た。 層 チップの焼成 次に、この積層体チップを雰囲気焼成が可能な炉に入れ
、大気雰囲気中においてlOO℃/hの速度で600℃
まで昇温しで、有機バインダを燃焼させた。 しかる後、炉の雰囲気を大気からH2(2体積%)+N
、(98体積%)の還元性雰囲気に変えた。そして、炉
をこの還元性雰囲気とした状態を保って、積層体チップ
の加熱温度を600℃から焼結温度の1150℃まで、
100℃/hの速度で昇温しで1150℃(最高温度)
を3時間保持した後、100℃/hの速度で600℃ま
で降温し、雰囲気を大気雰囲気(酸化性雰囲気)におき
かえて、600℃を30分間保持して酸化処理を行い、
その後、室温まで冷却して積層焼結体チップを得た。 外1U
【極!巧隘成
次に、電極が露出する積層焼結体チップの側面に亜鉛と
ガラスフリット(glass frit)とビヒクル(
vehicle )とからなる導電性ペーストを塗布し
て乾燥し、これを大気中で550℃の温度で15分間焼
付け、亜鉛電極層を形成し、更にこの上に無電解メツキ
法で銅層を形成し、更にこの上に電気メツキ法でPb−
5n半田層を設けて、一対の外部電極を形成した。 これにより、第1図に示す如く、3層の誘電体磁器層1
2と2層の内部電極14とから成る積層焼結体チップ1
5に一対の外部電極16を形成した積層磁器コンデンサ
10が得られた。 ここで、外部電極16は、亜鉛電極層18と、この亜鉛
電極層18の上に形成された銅層20と、この銅層20
の上に形成されたPb−5n半田層22とからなる。 なお、この積層磁器コンデンサ10の誘電体磁器層12
の厚さは0.02mm、一対の内部電極14の対向面積
は5mmX5mm=25mm2である。また、焼結後の
誘電体磁器層12の組成は、焼結前の基本成分及び添加
成分の混合組成と実質的に同じである。 電気・ の浬= 次に、積層磁器コンデンサ10の電気的特性を測定し、
その平均値を求めたところ、第2表に示すように、比誘
電率ε8が3510.tanδが1.2%、抵抗率ρが
4.4X10’MΩ’cm、25℃の静電容量を基準に
した一55℃及び+125℃の静電容量の変化率ΔC−
58△CI□5が−11,3%、+6.2%、20℃の
静電容量を基準にした一25℃、+85℃の静電容量の
変化率ΔC−28+ ΔC+tsが−6,6%。 −5,3%であった。 なお、電気的特性は次の要領で測定した。 fAl比誘電率ε、は、温度20℃、周波数1 kHz
、電圧(実効値)1.OVの条件で静電容量を測定し、
この測定値と、一対の内部電極14の対向面積25mm
”と、一対の内部電極14間の誘電体磁器層12の厚さ
0.02mmから計算で求めた。 tB)誘電体損失t a nδ(%)は上記比誘電率の
測定と同一条件で測定した。 tc+抵抗率p (MΩ・Cm)は、温度20℃におい
てDClooVを1分間印加した後に一対の外部電極1
6間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基づいて
計算で求めた。 D)静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を入れ、
−55℃、−25℃、0℃、+20℃。 +25℃、+40℃、+60℃、+85℃。 +105℃、+125℃の各温度において、周波数1
k、 Hz 、電圧(実効値)1.OVの条件で静電容
量を測定し、20℃及び25℃の時の静電容量に対する
各温度における変化率を求めることによって得た。 以上、No、1の試料の作成方法及びその特性について
述べたが、試料NO12〜81についても、基本成分及
び添加成分の組成、これ等の割合、及び還元性雰囲気中
における焼成温度な第1表及び第2表に示すように変化
させた他は、No、1の試料と全く同一の方法で積層磁
器コンデンサを作成し、同一の方法で電気的特性を測定
した。 第1表は、各々の試料の基本成分と添加成分の組成を示
し、第2表は各々の試料の焼成温度及び電気的特性を示
す。 なお、第1表の基本成分の欄のx、z、には。 前述した基本成分の組成式(1)の各元素の原子数、す
なわち(Ti+R)の原子数を1とした場合の各元素の
原子数の割合を示す。 また、Xの欄のMg、Znは、前述した基本成分の組成
式(1)のMの内容を示し、2の欄のS c r Y
* G d + D y −Ho r E r及びYb
は、前述した基本成分の組成式(1)のRの内容を示し
ている。 これらの欄にはこれらの原子数が示され、また合計の欄
にはMg、Znの合計値が示されている。 添加成分の添加量は基本成分100重量部に対する重量
部で示されている。添加成分のMOの内容の欄にはBa
O,MgO,ZnO,SrO及びCaOの割合がモル%
で示されている。 第2表において、静電容量の温度特性は、25℃の静電
容量を基準にした一55℃及び+125℃の静電容量変
化率をΔC−55(%)及び八01□g(%)で、20
℃の静電容量を基準にした一25℃及び+85℃の静電
容量変化率をΔC15(%)及びΔC□(%)で示され
ている。 第2表(1) X印が付された試料は比較例 第2表(2) X印が付された試料は比較例 第2表(3) ※印が付された試料は比較例 第2表(4) X印が付された試料は封]舊列 第1表及び第2表から明らかなように、本発明に従う試
料では、非酸化性雰囲気中において、1200℃以下の
焼成で、比誘電率ε、が3000以上、tanδが2.
5%以下、抵抗率ρが1xlO’MΩ・crn以上、静
電容量の温度変化率ΔC−5s及びΔC12,が一15
%〜+15%、ΔC−25及びΔCa5が一10%〜+
10%の範囲となり、所望特性の磁器コンデンサを得る
ことが出来るものである。 一方、試料No、11〜16,26,31゜32.40
〜45,49,50,55,56゜62.63.69,
80.81では本発明の目的を達成することができない
。従って、これ等は本発明の範囲外のものである。 第2表には静電容量の温度変化率ΔC−5s+ΔC+*
s+ ΔC46,ΔC118のみが示されているが、本
発明の範囲に属する試料の一25℃〜+85℃の範囲の
種々の静電容量の温度変化率ΔCは、−10%〜+lO
%の範囲に収まり、また、−55℃〜+125℃の範囲
の種々の静電容量の変化率△Cは、−15%〜+15%
の範囲に収まっている。 次に、本発明の誘電体磁器組成物の組成範囲の限定理由
について述べる。 まず、Xの値が、試料No、32に示すように、零の場
合には、静電容量の温度変化率ΔC〜55が一15%〜
+15%の範囲外となるが、試料No、33.34に示
すように、Xの値が0.01の場合には、所望の電気的
特性が得られる。従って、Xの下限は0.01である。 一方、試料No、40〜44に示すように、Xの値が0
.12の場合には、静電容量の温度変化率へC8%が一
10%〜+10%の範囲外となるが、試料No、38.
39に示すように、Xの値が0.10の場合には、所望
の電気的特性を得ることができる。従って、Xの上限は
0.10である。 なお、M成分であるMgとZnははズ同様に働き、0.
O1≦X≦0.lOを満足する範囲でMgとZnのうち
の一方または両方を使用することによって所望の電気特
性を得ることができる。 kの値が、試料No、45に示すように、0.98の場
合には、ρがlX10’MΩ’cm未満と大幅に低くな
り、静電容量の温度変化率ΔC−55ΔC−2S+ Δ
C6,,もそれぞれ一15%、−10%より大幅に悪化
してしまうが、試料No、46に示すように、kの値が
1.00の場合には、所望の電気的特性が得られる。従
って、kの値の下限は1.00である。 一方、kの値が、試料No−49に示すように、1.0
7の場合には緻密な焼結体が得られないが、試料No、
48に示すように、kの値が1.05の場合には、所望
の電気的特性が得られる。従ってkの値の上限は1.0
5である。 Zの値が、試料No、50.56.63に示すように、
0の場合には静電容量の温度変化率ΔC−6,八〇2O
がそれぞれ一15%。 −10%以内を満たしていないが、試料No。 51.57.64に示すように、Zの値がCl 002
の場合には、所望の電気的特性が得られる。従ってZの
下限は0.002である。 一方、2の値が試料No、55.62,69゜80.8
1に示すように、0.07の場合には1250℃で焼成
しても緻密な焼結体が得られないが、試料No、54.
61.68.78.79に示すように0.06の場合に
は所望の電気的特性を得ることができる。従って、Zの
値の上限は0.06である。 尚、R成分のSc、Y、Gd、Dy、Ho。 Er及びYbははf同様に働き、これらから選択された
1つを使用しても、または複数を組み合わせて使用して
も同様な結果が得られる。 そして、R成分が1種または複数種のいずれの場合にお
いてもZの値を0.002〜0.06の範囲にすること
が望ましい。 尚、組成式でRで示される成分は、静電容量の温度特性
の改善に寄与するものである。すなわち、R成分の添加
によって一り5℃〜】25℃の範囲での静電容量の温度
変化率ΔC−65〜ΔC1□を一15%〜+15%の範
囲に容易に収めることか可能になると共に一25℃〜8
5℃の範囲での静電容量の温度変化率△C−2,〜△C
1+5を一10%〜+10%の範囲に容易に収めること
が可能になり、かつ各温度範囲における静電容量の温度
変化率の変動幅を小さくすることができる。 また、R成分は抵抗率ρを大きくする作用及び焼結性を
高める作用を有するものである。 また、添加成分の添加量が零の場合には、試料No、2
6から明らかなように、焼成温度が1250℃であって
も緻密な焼結体が得られないが、試料No、27に示す
ように、添加量が100重量部の基本成分に対して0.
2重量部の場合には、1190℃の焼成で所望の電気的
特性が得られる。従って、添加成分の下限は0.2重量
部である。 一方、試料No、31に示すように、添加成分の添加量
が7.0重量部の場合には、比誘電率c1が3000未
満となり、更に、静電容量の温度変化率ΔC−asが一
15%〜+15%の範囲外となるが、試料No、30に
示すように、添加量が5.0重量部の場合には、所望の
電気的特性を得ることができる。従って、添加量の上限
は5.0重量部である。 添加成分の好ましい組成は、第2図のLia O−5i
02−Moの組成比を示す三角図に基づいて決定する
ことができる。 三角図の第1の点Aは、試料N021のLi2Oが1モ
ル%、5i02が80モル%、MOが19モル%の組成
を示し、第2の点Bは、試料No、2のLit Oが1
モル%、S i Oaが39モル%、MOが60モル%
の組成を示し、第3の点Cは、試料No、3のL i
z Oが30モル%、SiO□が30モル%、MOが4
0モル%の組成を示し、第4の点りは試料N004のL
i z Oが50モル%、SiO□が50モル%、M
Oが0モル%の組成を示し、第5の点Eは、試料No、
5のL i 20が20モル%、S i O2が80モ
ル%、MOが0モル%の組成を示す。 本発明の範囲に属する試料の添加成分の組成は三角図の
第1〜6の点A−Eを順に結ぶ5本の直線で囲まれた領
域内の組成になっている。この領域内の組成とすれば、
所望の電気的特性を得ることができる。 一方、試料No、11〜16のように、添加成分の組成
が本発明で特定した範囲外となれば、緻密な焼結体を得
ることができない。 なお、MO酸成分例えば試料No、21〜25に示すよ
うに、BaO,MgO,ZnO。 SrO,CaOのいずれか1つであってもよいし、また
は他の試料に示すように適当な比率としてもよい。 [発明の効果] 本発明によれば、誘電体磁器組成物の組成を前述したよ
うにしたので、比誘電率が3000以上、誘電体損失t
anδが2.5%以下、抵抗率ρがlX10’MΩ・a
m以上であり、且つ比誘電率の温度変化率が、−55℃
〜125℃で一15%〜+15%(25℃を基準)、−
25℃〜85℃で一10%〜+10%(20℃を基準)
の範囲に収まる誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデン
サを提供することができる。 また、本発明によれば、非酸化性雰囲気中において12
00℃以下の温度で焼成して得ることができるので、ニ
ッケル等の卑金属の導電性ペーストをグリーンシートに
塗布し、グリーンシートと導電性ペーストとを同時に焼
成する方法によって磁器コンデンサを製造することがで
きる。
ガラスフリット(glass frit)とビヒクル(
vehicle )とからなる導電性ペーストを塗布し
て乾燥し、これを大気中で550℃の温度で15分間焼
付け、亜鉛電極層を形成し、更にこの上に無電解メツキ
法で銅層を形成し、更にこの上に電気メツキ法でPb−
5n半田層を設けて、一対の外部電極を形成した。 これにより、第1図に示す如く、3層の誘電体磁器層1
2と2層の内部電極14とから成る積層焼結体チップ1
5に一対の外部電極16を形成した積層磁器コンデンサ
10が得られた。 ここで、外部電極16は、亜鉛電極層18と、この亜鉛
電極層18の上に形成された銅層20と、この銅層20
の上に形成されたPb−5n半田層22とからなる。 なお、この積層磁器コンデンサ10の誘電体磁器層12
の厚さは0.02mm、一対の内部電極14の対向面積
は5mmX5mm=25mm2である。また、焼結後の
誘電体磁器層12の組成は、焼結前の基本成分及び添加
成分の混合組成と実質的に同じである。 電気・ の浬= 次に、積層磁器コンデンサ10の電気的特性を測定し、
その平均値を求めたところ、第2表に示すように、比誘
電率ε8が3510.tanδが1.2%、抵抗率ρが
4.4X10’MΩ’cm、25℃の静電容量を基準に
した一55℃及び+125℃の静電容量の変化率ΔC−
58△CI□5が−11,3%、+6.2%、20℃の
静電容量を基準にした一25℃、+85℃の静電容量の
変化率ΔC−28+ ΔC+tsが−6,6%。 −5,3%であった。 なお、電気的特性は次の要領で測定した。 fAl比誘電率ε、は、温度20℃、周波数1 kHz
、電圧(実効値)1.OVの条件で静電容量を測定し、
この測定値と、一対の内部電極14の対向面積25mm
”と、一対の内部電極14間の誘電体磁器層12の厚さ
0.02mmから計算で求めた。 tB)誘電体損失t a nδ(%)は上記比誘電率の
測定と同一条件で測定した。 tc+抵抗率p (MΩ・Cm)は、温度20℃におい
てDClooVを1分間印加した後に一対の外部電極1
6間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基づいて
計算で求めた。 D)静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を入れ、
−55℃、−25℃、0℃、+20℃。 +25℃、+40℃、+60℃、+85℃。 +105℃、+125℃の各温度において、周波数1
k、 Hz 、電圧(実効値)1.OVの条件で静電容
量を測定し、20℃及び25℃の時の静電容量に対する
各温度における変化率を求めることによって得た。 以上、No、1の試料の作成方法及びその特性について
述べたが、試料NO12〜81についても、基本成分及
び添加成分の組成、これ等の割合、及び還元性雰囲気中
における焼成温度な第1表及び第2表に示すように変化
させた他は、No、1の試料と全く同一の方法で積層磁
器コンデンサを作成し、同一の方法で電気的特性を測定
した。 第1表は、各々の試料の基本成分と添加成分の組成を示
し、第2表は各々の試料の焼成温度及び電気的特性を示
す。 なお、第1表の基本成分の欄のx、z、には。 前述した基本成分の組成式(1)の各元素の原子数、す
なわち(Ti+R)の原子数を1とした場合の各元素の
原子数の割合を示す。 また、Xの欄のMg、Znは、前述した基本成分の組成
式(1)のMの内容を示し、2の欄のS c r Y
* G d + D y −Ho r E r及びYb
は、前述した基本成分の組成式(1)のRの内容を示し
ている。 これらの欄にはこれらの原子数が示され、また合計の欄
にはMg、Znの合計値が示されている。 添加成分の添加量は基本成分100重量部に対する重量
部で示されている。添加成分のMOの内容の欄にはBa
O,MgO,ZnO,SrO及びCaOの割合がモル%
で示されている。 第2表において、静電容量の温度特性は、25℃の静電
容量を基準にした一55℃及び+125℃の静電容量変
化率をΔC−55(%)及び八01□g(%)で、20
℃の静電容量を基準にした一25℃及び+85℃の静電
容量変化率をΔC15(%)及びΔC□(%)で示され
ている。 第2表(1) X印が付された試料は比較例 第2表(2) X印が付された試料は比較例 第2表(3) ※印が付された試料は比較例 第2表(4) X印が付された試料は封]舊列 第1表及び第2表から明らかなように、本発明に従う試
料では、非酸化性雰囲気中において、1200℃以下の
焼成で、比誘電率ε、が3000以上、tanδが2.
5%以下、抵抗率ρが1xlO’MΩ・crn以上、静
電容量の温度変化率ΔC−5s及びΔC12,が一15
%〜+15%、ΔC−25及びΔCa5が一10%〜+
10%の範囲となり、所望特性の磁器コンデンサを得る
ことが出来るものである。 一方、試料No、11〜16,26,31゜32.40
〜45,49,50,55,56゜62.63.69,
80.81では本発明の目的を達成することができない
。従って、これ等は本発明の範囲外のものである。 第2表には静電容量の温度変化率ΔC−5s+ΔC+*
s+ ΔC46,ΔC118のみが示されているが、本
発明の範囲に属する試料の一25℃〜+85℃の範囲の
種々の静電容量の温度変化率ΔCは、−10%〜+lO
%の範囲に収まり、また、−55℃〜+125℃の範囲
の種々の静電容量の変化率△Cは、−15%〜+15%
の範囲に収まっている。 次に、本発明の誘電体磁器組成物の組成範囲の限定理由
について述べる。 まず、Xの値が、試料No、32に示すように、零の場
合には、静電容量の温度変化率ΔC〜55が一15%〜
+15%の範囲外となるが、試料No、33.34に示
すように、Xの値が0.01の場合には、所望の電気的
特性が得られる。従って、Xの下限は0.01である。 一方、試料No、40〜44に示すように、Xの値が0
.12の場合には、静電容量の温度変化率へC8%が一
10%〜+10%の範囲外となるが、試料No、38.
39に示すように、Xの値が0.10の場合には、所望
の電気的特性を得ることができる。従って、Xの上限は
0.10である。 なお、M成分であるMgとZnははズ同様に働き、0.
O1≦X≦0.lOを満足する範囲でMgとZnのうち
の一方または両方を使用することによって所望の電気特
性を得ることができる。 kの値が、試料No、45に示すように、0.98の場
合には、ρがlX10’MΩ’cm未満と大幅に低くな
り、静電容量の温度変化率ΔC−55ΔC−2S+ Δ
C6,,もそれぞれ一15%、−10%より大幅に悪化
してしまうが、試料No、46に示すように、kの値が
1.00の場合には、所望の電気的特性が得られる。従
って、kの値の下限は1.00である。 一方、kの値が、試料No−49に示すように、1.0
7の場合には緻密な焼結体が得られないが、試料No、
48に示すように、kの値が1.05の場合には、所望
の電気的特性が得られる。従ってkの値の上限は1.0
5である。 Zの値が、試料No、50.56.63に示すように、
0の場合には静電容量の温度変化率ΔC−6,八〇2O
がそれぞれ一15%。 −10%以内を満たしていないが、試料No。 51.57.64に示すように、Zの値がCl 002
の場合には、所望の電気的特性が得られる。従ってZの
下限は0.002である。 一方、2の値が試料No、55.62,69゜80.8
1に示すように、0.07の場合には1250℃で焼成
しても緻密な焼結体が得られないが、試料No、54.
61.68.78.79に示すように0.06の場合に
は所望の電気的特性を得ることができる。従って、Zの
値の上限は0.06である。 尚、R成分のSc、Y、Gd、Dy、Ho。 Er及びYbははf同様に働き、これらから選択された
1つを使用しても、または複数を組み合わせて使用して
も同様な結果が得られる。 そして、R成分が1種または複数種のいずれの場合にお
いてもZの値を0.002〜0.06の範囲にすること
が望ましい。 尚、組成式でRで示される成分は、静電容量の温度特性
の改善に寄与するものである。すなわち、R成分の添加
によって一り5℃〜】25℃の範囲での静電容量の温度
変化率ΔC−65〜ΔC1□を一15%〜+15%の範
囲に容易に収めることか可能になると共に一25℃〜8
5℃の範囲での静電容量の温度変化率△C−2,〜△C
1+5を一10%〜+10%の範囲に容易に収めること
が可能になり、かつ各温度範囲における静電容量の温度
変化率の変動幅を小さくすることができる。 また、R成分は抵抗率ρを大きくする作用及び焼結性を
高める作用を有するものである。 また、添加成分の添加量が零の場合には、試料No、2
6から明らかなように、焼成温度が1250℃であって
も緻密な焼結体が得られないが、試料No、27に示す
ように、添加量が100重量部の基本成分に対して0.
2重量部の場合には、1190℃の焼成で所望の電気的
特性が得られる。従って、添加成分の下限は0.2重量
部である。 一方、試料No、31に示すように、添加成分の添加量
が7.0重量部の場合には、比誘電率c1が3000未
満となり、更に、静電容量の温度変化率ΔC−asが一
15%〜+15%の範囲外となるが、試料No、30に
示すように、添加量が5.0重量部の場合には、所望の
電気的特性を得ることができる。従って、添加量の上限
は5.0重量部である。 添加成分の好ましい組成は、第2図のLia O−5i
02−Moの組成比を示す三角図に基づいて決定する
ことができる。 三角図の第1の点Aは、試料N021のLi2Oが1モ
ル%、5i02が80モル%、MOが19モル%の組成
を示し、第2の点Bは、試料No、2のLit Oが1
モル%、S i Oaが39モル%、MOが60モル%
の組成を示し、第3の点Cは、試料No、3のL i
z Oが30モル%、SiO□が30モル%、MOが4
0モル%の組成を示し、第4の点りは試料N004のL
i z Oが50モル%、SiO□が50モル%、M
Oが0モル%の組成を示し、第5の点Eは、試料No、
5のL i 20が20モル%、S i O2が80モ
ル%、MOが0モル%の組成を示す。 本発明の範囲に属する試料の添加成分の組成は三角図の
第1〜6の点A−Eを順に結ぶ5本の直線で囲まれた領
域内の組成になっている。この領域内の組成とすれば、
所望の電気的特性を得ることができる。 一方、試料No、11〜16のように、添加成分の組成
が本発明で特定した範囲外となれば、緻密な焼結体を得
ることができない。 なお、MO酸成分例えば試料No、21〜25に示すよ
うに、BaO,MgO,ZnO。 SrO,CaOのいずれか1つであってもよいし、また
は他の試料に示すように適当な比率としてもよい。 [発明の効果] 本発明によれば、誘電体磁器組成物の組成を前述したよ
うにしたので、比誘電率が3000以上、誘電体損失t
anδが2.5%以下、抵抗率ρがlX10’MΩ・a
m以上であり、且つ比誘電率の温度変化率が、−55℃
〜125℃で一15%〜+15%(25℃を基準)、−
25℃〜85℃で一10%〜+10%(20℃を基準)
の範囲に収まる誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデン
サを提供することができる。 また、本発明によれば、非酸化性雰囲気中において12
00℃以下の温度で焼成して得ることができるので、ニ
ッケル等の卑金属の導電性ペーストをグリーンシートに
塗布し、グリーンシートと導電性ペーストとを同時に焼
成する方法によって磁器コンデンサを製造することがで
きる。
第1図は本発明の実施例に係わる積層型磁器コンデンサ
を示す断面図、第2図は添加成分の組成範囲を示す三角
図である。 12・・−磁器層、14−・・内部電極、16・・−外
部電極。
を示す断面図、第2図は添加成分の組成範囲を示す三角
図である。 12・・−磁器層、14−・・内部電極、16・・−外
部電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.誘電体磁器組成物からなる誘電体磁器層と、この誘
電体磁器層を挟持している少なくとも2以上の内部電極
とを備えた磁器コンデンサにおいて、 前記誘電体磁器組成物が、100重量部の基本成分と、
0.2〜5重量部の添加成分との混合物を焼成したもの
からなり、 前記基本成分が (BA_k_−_xM_x)O_k(Ti_1_−_z
R_z)O_2_−_z_/_2(但し、MはMg及び
/又はZn、RはSc,Y,Gd,Dy,Ho,Er及
びYbから選択された1種または2種以上の金属元素、
k,x,zは 1.00≦k≦1.05 0.01≦X≦0.10 0.002≦z≦0.06 を満足する数値)で表わされる物質からなり、前記添加
成分がLi_2OとSiO_2とMO(但し、MOはB
aO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択され
た1種または2種以上の金属酸化物)とからなり、 前記Li_2Oと前記SiO_2と前記MOとの組成範
囲が、これらの組成をモル%で示す三角図における、 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が80モル
%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと、 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が39モル
%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと、 前記Li_2Oが30モル%、前記SiO_2が30モ
ル%、前記MOが40モル%の組成を示す第3の点Cと
、 前記Li_2Oが50モル%、前記SiO_2が50モ
ル%、前記MOが0モル%の組成を示す第4の点Dと、 前記Li_2Oが20モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと をこの順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内にあること
を特徴とする磁器コンデンサ。 2.未焼結の磁器粉末からなる混合物を調製する工程と
、前記混合物からなる未焼結磁器シートを形成する工程
と、前記未焼結磁器シートを少なくとも2以上の導電性
ペースト膜で挟持させた積層物を形成する工程と、前記
積層物を非酸化性雰囲気中において焼成する工程と、前
記焼成を受けた積層物を酸化性雰囲気中において熱処理
する工程とを備え、 前記未焼結の磁器粉末からなる混合物が、 100重量部の基本成分と、0.2〜5重量部の添加成
分とからなり、 前記基本成分が (Ba_k_−_xM_x)O_k(Ti_1_−_z
R_z)O_2_−_z_/_2(但し、MはMg及び
/又はZn、RはSc,Y,Gd,Dy,Ho,Er及
びYbから選択された1種または2種以上の金属元素、
k,x,zは 1.00≦k≦1.05 0.01≦x≦0.10 0.002≦z≦0.06 を満足する数値)で表わされる物質からなり、前記添加
成分がLi_2OとSiO_2とMO(但し、MOはB
aO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択され
た1種または2種以上の金属酸化物)とからなり、 前記Li_2Oと前記SiO_2と前記MOとの組成範
囲が、これらの組成をモル%で示す三角図における、 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が80モル
%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと、 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が39モル
%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと、 前記Li_2Oが30モル%、前記SiO_2が30モ
ル%、前記MOが40モル%の組成を示す第3の点Cと
、 前記Li_2Oが50モル%、前記SiO_2が50モ
ル%、前記MOが0モル%の組成を示す第4の点Dと、 前記Li_2Oが20モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと をこの順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内にあること
を特徴とする磁器コンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076763A JPH03278413A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076763A JPH03278413A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03278413A true JPH03278413A (ja) | 1991-12-10 |
| JPH0532895B2 JPH0532895B2 (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=13614634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2076763A Granted JPH03278413A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03278413A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1391441A3 (en) * | 1994-10-19 | 2004-03-03 | TDK Corporation | Multi layer ceramic chip capacitor |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP2076763A patent/JPH03278413A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1391441A3 (en) * | 1994-10-19 | 2004-03-03 | TDK Corporation | Multi layer ceramic chip capacitor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0532895B2 (ja) | 1993-05-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0552604B2 (ja) | ||
| JPH0552602B2 (ja) | ||
| JPH0544764B2 (ja) | ||
| JPS621596B2 (ja) | ||
| JPH03278413A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH0552603B2 (ja) | ||
| JPH0234552A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH0551127B2 (ja) | ||
| JPH03278415A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH03278414A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH03278424A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH03278416A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH0234551A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH03278411A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH03278412A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH03278418A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH0532892B2 (ja) | ||
| JPH03278423A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH0234550A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH0525376B2 (ja) | ||
| JPH03278420A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPH0551124B2 (ja) | ||
| JPH0234553A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH0551125B2 (ja) | ||
| JPH03278417A (ja) | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090518 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100518 Year of fee payment: 17 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |