JPH03280219A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH03280219A JPH03280219A JP8170590A JP8170590A JPH03280219A JP H03280219 A JPH03280219 A JP H03280219A JP 8170590 A JP8170590 A JP 8170590A JP 8170590 A JP8170590 A JP 8170590A JP H03280219 A JPH03280219 A JP H03280219A
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- film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体の製造方法、特に基体（ベース）
上に２層以上の蒸着膜が設けられてなるいわゆる金属薄
膜蒸着テープ等の多層膜構造による磁気記録媒体の製−
遣方法に係わる。
上に２層以上の蒸着膜が設けられてなるいわゆる金属薄
膜蒸着テープ等の多層膜構造による磁気記録媒体の製−
遣方法に係わる。
本発明は磁気記録媒体の製造方法に係わり、基体上に複
数の層が積層されてなる多層膜構造を有する磁気記録媒
体の製造方法において、各上層膜の蒸着の直前で、その
下層膜を加熱して各上層膜の蒸着を行う。
数の層が積層されてなる多層膜構造を有する磁気記録媒
体の製造方法において、各上層膜の蒸着の直前で、その
下層膜を加熱して各上層膜の蒸着を行う。
また本発明においては、上述した多層膜構造を有する磁
気記録媒体の製造方法において、その各上層膜の蒸着に
あたって基体を冷却しながらその上層膜の蒸着の直前で
その下層膜を加熱して各上層膜の蒸着を行う。
気記録媒体の製造方法において、その各上層膜の蒸着に
あたって基体を冷却しながらその上層膜の蒸着の直前で
その下層膜を加熱して各上層膜の蒸着を行う。
上述の各本発明製造方法によれば安定して特性に優れた
磁気記録媒体を得ることができる。
磁気記録媒体を得ることができる。
従来第１図にその路線的拡大断面図を示すように基体（
１）上に磁性層あるいは非磁性層の例えば下地膜として
のＣｏ、 Ａｌ１等の下層膜（２）を蒸着し、これの
上にＧｏ −Ｃｒ系の磁性層の上層膜（３）を形成して
なる多層膜構造の磁気記録媒体（４）が広く用いられる
に至っている。
１）上に磁性層あるいは非磁性層の例えば下地膜として
のＣｏ、 Ａｌ１等の下層膜（２）を蒸着し、これの
上にＧｏ −Ｃｒ系の磁性層の上層膜（３）を形成して
なる多層膜構造の磁気記録媒体（４）が広く用いられる
に至っている。
この種の多層膜構造の薄膜蒸着テープを製造する方法と
しては、各層の蒸着は、例えば第２図にその蒸着装置の
路線的構成図を示すように蒸着室（１１）内に、磁気記
録媒体（４）を構成する基体（１）を例えばフィルム状
ないしはテープ状の供給ロール（１２）から巻取りロー
ル（１３）へと回転円筒案内体いわゆるキャン（工４）
の周面の一部に繞らせて移行させるようになされ、その
移行途上において蒸着源（１５）から所要の蒸着材を飛
翔させて円筒案内体（１４）上の基体（１）に蒸着させ
る。この蒸着材（１６）の飛翔は、例えば電子銃（１７
）からの電子ビーム衝撃によって行わしめる。図におい
て（１９）は蒸着源（１５）の蒸着材（１６）を基体（
１）の所定位置において蒸着させるためのマスクすなわ
ち遮蔽体を示す。
しては、各層の蒸着は、例えば第２図にその蒸着装置の
路線的構成図を示すように蒸着室（１１）内に、磁気記
録媒体（４）を構成する基体（１）を例えばフィルム状
ないしはテープ状の供給ロール（１２）から巻取りロー
ル（１３）へと回転円筒案内体いわゆるキャン（工４）
の周面の一部に繞らせて移行させるようになされ、その
移行途上において蒸着源（１５）から所要の蒸着材を飛
翔させて円筒案内体（１４）上の基体（１）に蒸着させ
る。この蒸着材（１６）の飛翔は、例えば電子銃（１７
）からの電子ビーム衝撃によって行わしめる。図におい
て（１９）は蒸着源（１５）の蒸着材（１６）を基体（
１）の所定位置において蒸着させるためのマスクすなわ
ち遮蔽体を示す。
この場合、各下層膜（２）及び上層膜（３）の各蒸着に
当っては、円筒案内体（１４）を加熱しておいてこれと
の接触によって基体（１）を２００”Ｃ〜２５０°Ｃに
加熱しこの状態で基体（１）上に先ず下層膜（２）を蒸
着し、次にこれの上に磁性層等の上層膜（３）を蒸着す
ることが下層ＩＩ！ （２１及び上層膜（３）の各被着
強度さらに磁気的特性を高める上で望ましいことが知ら
れている。しかしながらこのようにその円筒案内体（］
４）に２００℃〜２５０°Ｃに加熱する機能を持たせる
ことは装置の製作に莫大な費用が掛るのみならず、基体
（１）としてガラス転移点Ｔｇが低い廉価なポリエチレ
ンテレフタレー） （ＰＥＴ）等を用いることができな
くなり、このためＰＥＴに比しＴｇが高い例えばＴｇ〜
３５０℃程度のポリイミド（ＰＩ）等を用いることにな
るが、このＰＩはＰＥＴに比しその価格が数１０〜１０
０倍にも及ぶことから特に普及型の磁気記録媒体として
好ましくない。因みにＰＥＴ（７）Ｔｇは６９°Ｃ，Ｐ
ＩのＴｇは３５０°Ｃ程度である。
当っては、円筒案内体（１４）を加熱しておいてこれと
の接触によって基体（１）を２００”Ｃ〜２５０°Ｃに
加熱しこの状態で基体（１）上に先ず下層膜（２）を蒸
着し、次にこれの上に磁性層等の上層膜（３）を蒸着す
ることが下層ＩＩ！ （２１及び上層膜（３）の各被着
強度さらに磁気的特性を高める上で望ましいことが知ら
れている。しかしながらこのようにその円筒案内体（］
４）に２００℃〜２５０°Ｃに加熱する機能を持たせる
ことは装置の製作に莫大な費用が掛るのみならず、基体
（１）としてガラス転移点Ｔｇが低い廉価なポリエチレ
ンテレフタレー） （ＰＥＴ）等を用いることができな
くなり、このためＰＥＴに比しＴｇが高い例えばＴｇ〜
３５０℃程度のポリイミド（ＰＩ）等を用いることにな
るが、このＰＩはＰＥＴに比しその価格が数１０〜１０
０倍にも及ぶことから特に普及型の磁気記録媒体として
好ましくない。因みにＰＥＴ（７）Ｔｇは６９°Ｃ，Ｐ
ＩのＴｇは３５０°Ｃ程度である。
Ｃ発明が解決しようとする課題〕
本発明は上述した多層膜構造による薄膜蒸着テープ等の
磁気記録媒体の製造において、その基体としてガラス転
移点Ｔｇが低いが廉価なＰＥＴ等を用いて簡単にかつ確
実に多層膜特に各上層膜のこれより相対的に下層の膜に
対する被着性、更に最下層膜の基体に対する被着性を向
上し機械的及び磁気的特性の向上を図ることができる磁
気記録媒体の製造方法を提供する。
磁気記録媒体の製造において、その基体としてガラス転
移点Ｔｇが低いが廉価なＰＥＴ等を用いて簡単にかつ確
実に多層膜特に各上層膜のこれより相対的に下層の膜に
対する被着性、更に最下層膜の基体に対する被着性を向
上し機械的及び磁気的特性の向上を図ることができる磁
気記録媒体の製造方法を提供する。
〔課題を解決するための手段］
本発明においては、第１図に示すように基体（１）上に
複数の層（図においては下層ＩＩ！ （２）及び上層膜
（３）の２層膜が示されている）が積層されてなる多層
膜構造を有する磁気記録媒体（４）の製造方法において
、その上層すなわちそれぞれ相対的に上層側の膜、図に
おいては上層膜（３）の蒸着の直前で、その下層膜すな
わち各上層膜の被着面となる膜、図においては下層膜（
２］を、この下層膜（２）の表面側がら加熱して各上層
膜、図においては上層膜（３）の蒸着を行う。
複数の層（図においては下層ＩＩ！ （２）及び上層膜
（３）の２層膜が示されている）が積層されてなる多層
膜構造を有する磁気記録媒体（４）の製造方法において
、その上層すなわちそれぞれ相対的に上層側の膜、図に
おいては上層膜（３）の蒸着の直前で、その下層膜すな
わち各上層膜の被着面となる膜、図においては下層膜（
２］を、この下層膜（２）の表面側がら加熱して各上層
膜、図においては上層膜（３）の蒸着を行う。
またあるいは本発明においては、基体（１）上に複数の
層が積層されてなる多層膜構造を有する磁気記録媒体（
４）の製造方法において、基体（１）を冷却しながらそ
の各上層側の膜、図において上層膜（３）の蒸着の直前
でその下層の膜、図において下層膜（２）の表面側から
加熱して各上層膜（３）の蒸着を行う。
層が積層されてなる多層膜構造を有する磁気記録媒体（
４）の製造方法において、基体（１）を冷却しながらそ
の各上層側の膜、図において上層膜（３）の蒸着の直前
でその下層の膜、図において下層膜（２）の表面側から
加熱して各上層膜（３）の蒸着を行う。
上述したように本発明方法においては、基体（１）を加
熱することなく上層膜（３）の直前で下層膜（２）の表
面側から加熱して上層膜（３）の蒸着を行うものである
ので、基体（１）としてはそのガラス転移点Ｔｇが低い
例えばＰＥＴを用いてもこれに変形等の不都合を生じる
ことなく確実に多層膜の蒸着を行うことができる。
熱することなく上層膜（３）の直前で下層膜（２）の表
面側から加熱して上層膜（３）の蒸着を行うものである
ので、基体（１）としてはそのガラス転移点Ｔｇが低い
例えばＰＥＴを用いてもこれに変形等の不都合を生じる
ことなく確実に多層膜の蒸着を行うことができる。
そして、この蒸着直前での下層膜（２）の加熱によって
上層膜（３）と下層膜（２）との界面における被着状態
を良好に、またさらにこれと同時に下層膜（２）と基体
（１）との被着状態をも改善することが確認できた。つ
まり、多層膜相互及び下層膜と基体（１）との被着状態
の改善がはかられるものであり、これによって機械的し
たがって磁気的特性に優れた多層膜構造の磁気記録媒体
（４）を得ることができた。
上層膜（３）と下層膜（２）との界面における被着状態
を良好に、またさらにこれと同時に下層膜（２）と基体
（１）との被着状態をも改善することが確認できた。つ
まり、多層膜相互及び下層膜と基体（１）との被着状態
の改善がはかられるものであり、これによって機械的し
たがって磁気的特性に優れた多層膜構造の磁気記録媒体
（４）を得ることができた。
本発明方法によって第１回に示した下層膜（２）と上層
膜（３）の２層構造の磁気記録媒体を得る場合について
説明する。第２図は本発明製造方法を実施する蒸着装置
の一例を示す構成図で、第２図において第３図と対応す
る部分には同一符号を付す。
膜（３）の２層構造の磁気記録媒体を得る場合について
説明する。第２図は本発明製造方法を実施する蒸着装置
の一例を示す構成図で、第２図において第３図と対応す
る部分には同一符号を付す。
この場合においても蒸着室（１１）内に、磁気記録媒体
（４）を構成する基体（１）を例えばフィルム状ないし
はテープ状の供給ロール（１２）から巻取りロール（１
３）へと回転円筒案内体（１４）いわゆるキャンの周面
の一部に繞らせて移行させるようになされ、その移行途
上において蒸着源（１５）から所要の蒸着材（１６）を
飛翔させて円筒案内体（１４）上の基体（１）に蒸着さ
せる。この蒸着材（１６）の飛翔は、例えば電子銃（１
７）からの電子ビーム衝撃によって行わしめる。
（４）を構成する基体（１）を例えばフィルム状ないし
はテープ状の供給ロール（１２）から巻取りロール（１
３）へと回転円筒案内体（１４）いわゆるキャンの周面
の一部に繞らせて移行させるようになされ、その移行途
上において蒸着源（１５）から所要の蒸着材（１６）を
飛翔させて円筒案内体（１４）上の基体（１）に蒸着さ
せる。この蒸着材（１６）の飛翔は、例えば電子銃（１
７）からの電子ビーム衝撃によって行わしめる。
図において（１９）は蒸着源（１５）の蒸着材（１６）
を基体（１）の所定位置において蒸着させるためのマス
クすなわち遮蔽体を示す。そしてこのような装置におい
て本発明においては、先ず基体（１）を例えば図におい
て右から左に円筒案内体（１４）すなわちキャンを繞っ
て供給ロール（１２）から巻取りロール（１３）に基体
（１）を移行させるが、このとき円筒案内体（１４）を
加熱することなく或いは水冷あるいは空冷等によって冷
却する。つまり基体（１）を加熱することなく或いは冷
却しながら下層膜（２）を例えばＣｏ、 Ｃｏ −Ｎｉ
Ｔｉ Ｇｅ、 Ｂｉ等の蒸着材（１６）の蒸着に
よって形成する。
を基体（１）の所定位置において蒸着させるためのマス
クすなわち遮蔽体を示す。そしてこのような装置におい
て本発明においては、先ず基体（１）を例えば図におい
て右から左に円筒案内体（１４）すなわちキャンを繞っ
て供給ロール（１２）から巻取りロール（１３）に基体
（１）を移行させるが、このとき円筒案内体（１４）を
加熱することなく或いは水冷あるいは空冷等によって冷
却する。つまり基体（１）を加熱することなく或いは冷
却しながら下層膜（２）を例えばＣｏ、 Ｃｏ −Ｎｉ
Ｔｉ Ｇｅ、 Ｂｉ等の蒸着材（１６）の蒸着に
よって形成する。
次にこのようにして下層膜（２）が蒸着された基体（１
）を再び第２図に示すように供給ロール（１２）側から
巻取りロール（１３）側に円筒案内体（１４）の周面を
繞って移行させる。このときも、円筒案内体（１４）は
、加熱しないか冷却させてこれに応じて基体（１）を加
熱させないか冷却させ、この状態で、Ｃｏ。
）を再び第２図に示すように供給ロール（１２）側から
巻取りロール（１３）側に円筒案内体（１４）の周面を
繞って移行させる。このときも、円筒案内体（１４）は
、加熱しないか冷却させてこれに応じて基体（１）を加
熱させないか冷却させ、この状態で、Ｃｏ。
ＣｏＮｉ、 Ｃｏ−Ｃｒ等の磁性金属による蒸着材（１
６）を蒸着して上層１！！（３）を形成する。このとき
特にこの上層膜（３）を形成するための蒸着位置の直前
において加熱手段（２０）によって基体（１）上の下層
膜（２）の表面側から加熱を行う。
６）を蒸着して上層１！！（３）を形成する。このとき
特にこの上層膜（３）を形成するための蒸着位置の直前
において加熱手段（２０）によって基体（１）上の下層
膜（２）の表面側から加熱を行う。
加熱手段（２０）は、例えばハロゲンランプによる遠赤
外線、あるいは図示のように、加熱効果の高い電子銃（
２１）による電子ビーム（２２）の照射による。
外線、あるいは図示のように、加熱効果の高い電子銃（
２１）による電子ビーム（２２）の照射による。
この電子ビーム（２２）による加熱は、電子ビームを絞
らずに例えばむしろ拡散させて下層膜（２）上のスポッ
ト径が５層以上となるようにし、フィルム状ないしはテ
ープ状の基体（１）の幅方向に基体（１）の移行速度が
３ｍ／分において１０）１層以上の往復走査周期をもっ
て走査する。
らずに例えばむしろ拡散させて下層膜（２）上のスポッ
ト径が５層以上となるようにし、フィルム状ないしはテ
ープ状の基体（１）の幅方向に基体（１）の移行速度が
３ｍ／分において１０）１層以上の往復走査周期をもっ
て走査する。
実施例１
基体（１）として幅１２７ｍのテープ状のＰＥＴを用い
、上述した方法によって、５００人の厚さのＴｉによる
下層膜（２）上に、基体（１）の走行速度を３ｍ／分と
して上述した方法でＣｏｏ。Ｎｉオ。を２０００人の厚
さに４５＠の入射角で酸素中蒸着して上層膜（３）を被
着して磁性膜を形成した。この例において、上層膜（３
）の形成において、その蒸着部の直前で下層膜（２）に
照射する電子銃（２１）からの電子ビーム（２２）のス
ポット径と、その往復走査周期を変更させて得た各磁気
記録媒体（試料１〜３）の磁性膜の保磁力Ｈｃとそのば
らつき、残留磁束密度Ｂｒの測定結果を表１に示す。
、上述した方法によって、５００人の厚さのＴｉによる
下層膜（２）上に、基体（１）の走行速度を３ｍ／分と
して上述した方法でＣｏｏ。Ｎｉオ。を２０００人の厚
さに４５＠の入射角で酸素中蒸着して上層膜（３）を被
着して磁性膜を形成した。この例において、上層膜（３
）の形成において、その蒸着部の直前で下層膜（２）に
照射する電子銃（２１）からの電子ビーム（２２）のス
ポット径と、その往復走査周期を変更させて得た各磁気
記録媒体（試料１〜３）の磁性膜の保磁力Ｈｃとそのば
らつき、残留磁束密度Ｂｒの測定結果を表１に示す。
これによれば、照射電子ビームのスポット径及び走査周
期が大の場合、ばらつきが小さいすなわち安定して優れ
た特性の磁気記録媒体が得られることが分る。そして、
そのスポット径とは上述したように５閣以上、走査周期
は１０Ｈｚ以上で良好な特性が得られるものであること
が確認された。
期が大の場合、ばらつきが小さいすなわち安定して優れ
た特性の磁気記録媒体が得られることが分る。そして、
そのスポット径とは上述したように５閣以上、走査周期
は１０Ｈｚ以上で良好な特性が得られるものであること
が確認された。
尚、上述した例においては第１図に示したように下層膜
（２）と上層膜（３）がそれぞれ１層の２層構造の多層
膜磁気記録媒体（４）を得る場合に付いて説明したもの
であるが、このような２層構造に限らず３層以上の多層
膜構造とすることもでき、この場合順次上層膜の蒸着に
際してその蒸着直前でその下層膜をその表面から加熱す
るという態様をとる。
（２）と上層膜（３）がそれぞれ１層の２層構造の多層
膜磁気記録媒体（４）を得る場合に付いて説明したもの
であるが、このような２層構造に限らず３層以上の多層
膜構造とすることもでき、この場合順次上層膜の蒸着に
際してその蒸着直前でその下層膜をその表面から加熱す
るという態様をとる。
〔発明の効果］
上述したように本発明方法においては、基体（１）を加
熱することなく上層膜（３）の直前で下層膜（２）の表
面側から加熱して上層膜（３）の蒸着を行うものである
ので基体（１）としてはそのガラス転移点Ｔｇが低い例
えばＰＥＴを用いてもこれに変形等の不都合を生じるこ
となく確実に多層膜の蒸着を行うことができる。
熱することなく上層膜（３）の直前で下層膜（２）の表
面側から加熱して上層膜（３）の蒸着を行うものである
ので基体（１）としてはそのガラス転移点Ｔｇが低い例
えばＰＥＴを用いてもこれに変形等の不都合を生じるこ
となく確実に多層膜の蒸着を行うことができる。
そして、この蒸着直前での下層膜（２）の加熱によって
上層膜（３）と下層膜（２）との界面における被着状態
を良好に、またさらにこれと同時に下層膜（２）と基体
（１）との被着状態をも改善することが確認できた。つ
まり、多層膜相互及び下層膜と基体（１）との被着状態
の改善がはかられるものであり、これによって機械的し
たがって磁気的特性に優れた多層膜構造の磁気記録媒体
（４）を得ることができた。
上層膜（３）と下層膜（２）との界面における被着状態
を良好に、またさらにこれと同時に下層膜（２）と基体
（１）との被着状態をも改善することが確認できた。つ
まり、多層膜相互及び下層膜と基体（１）との被着状態
の改善がはかられるものであり、これによって機械的し
たがって磁気的特性に優れた多層膜構造の磁気記録媒体
（４）を得ることができた。
また上述した本発明によれば、基体（１）についてはこ
れを加熱しない状態であるいは積極的に冷却しながら行
うようにしたので、基体（１）が蒸着時の加熱あるいは
蒸着に伴う加熱によって変形したり、走行に伴う張力に
よってしわ等が発生ずる不都合が回避される。さらにま
た蒸着装置自体の構造もその加熱手段としては下層膜を
表面から加熱する加熱手段を設けるのみでよいので、そ
の基体（１）の走行系を含んで装置の簡略化、作業の簡
略化が図られ量産性したがってコストの低減化を図るこ
とができる。
れを加熱しない状態であるいは積極的に冷却しながら行
うようにしたので、基体（１）が蒸着時の加熱あるいは
蒸着に伴う加熱によって変形したり、走行に伴う張力に
よってしわ等が発生ずる不都合が回避される。さらにま
た蒸着装置自体の構造もその加熱手段としては下層膜を
表面から加熱する加熱手段を設けるのみでよいので、そ
の基体（１）の走行系を含んで装置の簡略化、作業の簡
略化が図られ量産性したがってコストの低減化を図るこ
とができる。
第１図は本発明製造方法によって得る磁気記録媒の一例
の路線的拡大断面図、第２図は本発明製造方法を実施す
る蒸着装置の一例の路線的構成図、第３図は従来方法に
用いる蒸着装置の路線的構成図である。 （１）は基体、（２）は下層膜、（３）は上層膜、（１
４）は円筒案内体（キャン） 、（１５）は蒸着源、（
２０）は加熱手段である。
の路線的拡大断面図、第２図は本発明製造方法を実施す
る蒸着装置の一例の路線的構成図、第３図は従来方法に
用いる蒸着装置の路線的構成図である。 （１）は基体、（２）は下層膜、（３）は上層膜、（１
４）は円筒案内体（キャン） 、（１５）は蒸着源、（
２０）は加熱手段である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基体上に複数の層が積層されてなる多層膜構造を有
する磁気記録媒体の製造方法において、各上層膜の蒸着
の直前で、その下層膜を加熱して各上層膜の蒸着を行う
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 ２、基体上に複数の層が積層されてなる多層膜構造を有
する磁気記録媒体の製造方法において、上記基体を冷却
しながら各上層膜の蒸着の直前でその下層膜を加熱して
各上層膜の蒸着を行うことを特徴とする磁気記録媒体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8170590A JPH03280219A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8170590A JPH03280219A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03280219A true JPH03280219A (ja) | 1991-12-11 |
Family
ID=13753800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8170590A Pending JPH03280219A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03280219A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5298282A (en) * | 1992-07-24 | 1994-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Production of magnetic recording medium |
-
1990
- 1990-03-29 JP JP8170590A patent/JPH03280219A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5298282A (en) * | 1992-07-24 | 1994-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Production of magnetic recording medium |
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