JPH0330465U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0330465U JPH0330465U JP8919789U JP8919789U JPH0330465U JP H0330465 U JPH0330465 U JP H0330465U JP 8919789 U JP8919789 U JP 8919789U JP 8919789 U JP8919789 U JP 8919789U JP H0330465 U JPH0330465 U JP H0330465U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating layer
- conductor
- interlayer insulating
- edge
- hole
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Description
第１図〜第３図は本考案の一実施例を示すもの
で、その内第１図は平面図、第２図は第１図のＡ
−Ａ′断面図、第３図は各素子の形状を説明する
ための図面で、同図イ，ロは夫々導体１と下部層
間絶縁層３′についての第２図Ｂ−Ｂ′断面図、
同図ハ，ニは夫々上部導体２と上部層間絶縁層３
″についての第２図Ｃ−Ｃ′断面図である。また
、第４図、第５図は従来例を示すもので、その内
第４図は平面図、第５図は第４図のＡ−Ａ′断面
図である。 １……下部導体、２……上部導体、３′……下
部層間絶縁層、３″……上部層間絶縁層、４……
基板。
で、その内第１図は平面図、第２図は第１図のＡ
−Ａ′断面図、第３図は各素子の形状を説明する
ための図面で、同図イ，ロは夫々導体１と下部層
間絶縁層３′についての第２図Ｂ−Ｂ′断面図、
同図ハ，ニは夫々上部導体２と上部層間絶縁層３
″についての第２図Ｃ−Ｃ′断面図である。また
、第４図、第５図は従来例を示すもので、その内
第４図は平面図、第５図は第４図のＡ−Ａ′断面
図である。 １……下部導体、２……上部導体、３′……下
部層間絶縁層、３″……上部層間絶縁層、４……
基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 次の各素子により構成されることを特徴とする
ハイブリツドＩＣ。 イ 基板。 ロ の基板に対して成膜される下部導体であつて
、上部導体とのクロス相当部分に縁部を設け中心
部に孔を形成した下部導体。 ハ この下部導体のクロス部に上記縁部および孔
を含めて覆うように形成される下部層間絶縁層。 ニ この下部層間絶縁層の上に配置される下部導
体の縁部および孔とほぼ重なり合う縁部と孔とを
備えた上部導体。 ホ この上部導体を埋没するように上記下部層間
絶縁層の上に形成される上部層間絶縁層。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8919789U JPH0330465U (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8919789U JPH0330465U (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0330465U true JPH0330465U (ja) | 1991-03-26 |
Family
ID=31638786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8919789U Pending JPH0330465U (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0330465U (ja) |
-
1989
- 1989-07-31 JP JP8919789U patent/JPH0330465U/ja active Pending