JPH0337682B2

JPH0337682B2 -

Info

Publication number: JPH0337682B2
Application number: JP57134792A
Authority: JP
Inventors: Shiii Rangurei Denisu; Teii Buretsuka Toomasu
Original assignee: MAIKURO KONHOONENTO TEKUNOROJII Inc
Current assignee: MAIKURO KONHOONENTO TEKUNOROJII Inc
Priority date: 1981-08-03
Filing date: 1982-08-03
Publication date: 1991-06-06
Also published as: JPS5870110A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は物体上のリードの整列状態を検出する
装置、特に物体上のリード間隔を検出する電子光
学装置に関する。

製品の品質管理は製造者にとつても最終使用者
にとつても最も重要なことである。この品質管理
はその製品の製造又は組立の中間段階で行なわれ
ており、最終品質管理を完成製品について行なつ
ている。そしてこれら品質管理は生産される異な
る製品に応じて種々の管理技術が採られている。

あるタイプの製品の少なくとも一本の延びたリ
ードを持つた物体と一般に称し得る。斯様な製品
の一特殊例として半導体会社によつて作られる集
積回路パツケージとして知られているものがあ
る。典型例では、このパツケージの両側にはパツ
ケージ本体からのびた複数本のリードを有してい
る。完成されたパツケージの各側にあるリードは
ほぼ一直線にすなわち互いに整列して並んでいな
ければならない。そうでなければ、リードの整列
ミスのような欠陥があるとこのパツケージの末端
使用の際に早期に電気的或いは機械的故障が生じ
得る。

パツケージの組立の際に、品質管理を厳重に行
なつているのに、可成りの数の完成パツケージが
一本又は二本以上の、整列していない曲がつたリ
ードをもつている。例えば、一本以上のリードが
パツケージの長軸と平行なラインに沿つて互いの
方向に向かつて曲がつたり、この平行ラインと直
交するラインに沿つて互いに離間するように曲が
つたり、或いは平行ラインに沿つたものや直交す
るラインに沿つた曲がり成分の組合わさつた曲が
りを有するものもある。従つて、全ての完成パツ
ケージを試験し曲がつたリードを有するパツケー
ジを除外する必要がある。

その上さらに、パツケージの多くのタイプ本体
はベース及びベース用カバーを含み得、これらリ
ードをカバーとベースとの間で支持している。こ
の品質管理はまた、正確ではない場合でも、カバ
ーをベース上に端縁を合わせるようにしてほぼ整
列させた完成パツケージを生産することにも関連
する。しかしながら、多数の完成されたパツケー
ジにおいて、カバーの端縁はベースの端縁から実
質的にずれているという欠点がある。これがため
このずれすなわちオフセツトを有するパツケージ
を除外しなければならない。

本発明の目的は新規な品質管理装置を提供する
にある。

本発明の他の目的は製造された製品の欠陥を検
査する装置を提供するにある。

本発明のさらに他の目的は組立ラインの生産速
度が最大の場合でも製品が欠陥を有するかどうか
を正確に検査する品質管理装置を提供するにあ
る。

これらの目的の達成を図るため本発明の要旨に
よれば、「有軸物体から延びていて、該軸と平行
な第一ラインに沿う曲がり又は該第一ラインに直
交する第二ラインに沿う曲がり或いは前記第一ラ
インに沿う曲がり成分及第二ラインに沿う曲がり
成分の組合わせた曲がりを有する少なくとも一本
のリードの整列状態を検査する装置において、前
記第二ラインに沿う第一光路を通り前記リードと
交差するような第一光ビームを生ずるための第一
光ビーム発生手段、前記第一光ビームを検出する
ための第一検出手段、前記第一ライン及び第二ラ
インとある角度をなしている第二光路を通り前記
リードと交差するような第二光ビームを生ずるた
めの第二光ビーム発生手段、及び前記第二光ビー
ムを検出するための第二検出手段を具えることを
特徴とする」。

この本発明の第一要旨においては、第一光ビー
ム発生手段及び第一検出手段で得られた光学デー
タはリードの第一ラインに沿う曲がりを表わす第
一情報を有している。第二光ビーム発生手段及び
第二検出手段で得られた光学データはリードの第
一ライン及び第二ラインに沿う組合わさつた曲が
りを表わす第二情報を有している。平行ラインに
沿う曲がりの第一情報を組合わさつた曲がりの第
二情報から差引いて第二ラインに沿う曲がり成分
の情報を得ることが出来る。

本発明の他の要旨においては、物体上に互いに
離間配置されている複数本のリードの整列を検査
するための装置は前記リード間の間隔の情報を有
するデータを生ずる光学手段及び該データに基づ
いて前記リード間の間隔を決定するデータプロセ
ツサ手段を具える。この他の要旨によつて得られ
る結果はリードが曲がつているか又は一直線上に
あるかを表わす間隔であるかどうかを示す。

以下、図面により本発明を説明する。

第１図は所定の生産段階における物体である製
品１０の一例を示す図である。この製品１０は本
体１２を含み、この本体は前端部１４、後端部１
６、左側部１８及び右側部２０を有する。複数本
のリード２２を夫々２２−１，２２−２，……２
２−ｎで表わし、これらリードは本体１２の左側
部１８から延びている。それぞれ２４−１，２４
−２，……２４−ｎで表わした複数本のリード２
４は本体１２の右側部２０から延びている。本体
１２はベース２６及びカバー２８を有し、このベ
ース２６及びカバー２８間でリード２２及び２４
を支持する。尚、この製品１０には後述する説明
から明らかとなる座標基準用として仮想の縦軸Ｙ
とこれと直交する仮想の横軸Ｘとを考えることが
出来る。一例として、この製品１０を半導体産業
分野でｎ−リード、デユアル・イン・ライン集積
回路（IC）パツケージとして知られている完成
品とし得る。

第２図の良質の完成製品１０を実線で示したも
ので、そのリード２２−１〜２２−ｎ及び２４−
１〜２４−ｎは整列している。すなわちこれらリ
ードは図に示した側から見て互いに平行にのびて
いる。もしこれらリード２２−１〜２２−ｎ又は
リード２４−１〜２４−ｎの一本以上が仮想の縦
軸Ｙに平行な仮想なラインl₁に沿つて平行位置か
ら実質的に曲がつているような場合には、この製
品１０の品質は満足なものとは云い得ない。この
状態を一例としてリード２２−４について示して
あり、この場合には、このリードはラインl₁に沿
つて破線で示すように後側に曲がつたり、また一
点鎖線で示すように前側に曲がつたりしているか
も知れない。平行ラインl₁に沿うこのタイプの曲
がりを「平行曲がり」と称する。リード２２−
１，……２２−ｎが全て整列している場合にはこ
れらリードは互いに所定距離d₁だけ離れている
が、曲がつたリード２２−４のようなリードがあ
ると間隔は所定距離とならず、隣接するリードに
対し所定距離よりも接近したり離れたりする。隣
接リード間距離d₁が所定の許容範囲を越えたパツ
ケージ１０を除外する必要がある。

第３図はリード２２−１〜２２−ｎ及びリード
２４−１〜２４−ｎがこの端面図からもわかるよ
うに傾斜しかつ互いに平行となつていて整列され
ている良質の完成製品１０を実線で示した図であ
る。もし一本以上のリード２２−１〜２２〜ｎ又
はリード２４−１〜２４−ｎがラインl₁に直交し
かつ仮想の横軸Ｘと平行な任意の仮想ラインl₂に
沿う方向にこれらリードの傾斜平行位置から実質
的に曲がつている場合には、この製品１０の品質
は満足なものとは云えない。このような状態を一
例としてリード２２−２について示し、この場
合、このリード２２−２は破線で示すようにライ
ンl₂に沿う方向に外側に曲がつていたり、一点鎖
線で示すように内側に曲つていたりする。この直
交ラインl₂に沿う方向のタイプの曲がりを「上反
り曲がり」と称する。リード２２−２のような曲
がりリードが所定の許容度以上の距離d₂にまで曲
がつている場合には、このパツケージ１０は品質
管理仕様書に適合し得ない。

次に「組合わせ曲がり」と称する第３のタイプ
の曲がりについて詳述する。この「組合わせ曲が
り」を有するリードは「平行曲がり」と「上反り
曲がり」の両成分を有している。

第４図はこれら３つのタイプの曲がりを示した
図で、リード２２−４は所定の距離よりも短かい
距離d₁となつた「平行曲がり」のリードであり、
リード２２−２は所定の距離よりも大きな距離d₂
となつた「上反り曲がり」のリードであり、リー
ド２４−３は距離d₁の「平行曲がり」成分と距離
d₂の「上反り曲がり」成分とを有しているので、
「組合わせ曲がり」のリードである。

第５図は完成製品１０に伴ない得る別の欠陥を
示す図である。高品質の製品１０の場合には、正
確でない場合であつてもカバー２８はベース２６
上に端縁と端縁がほぼ整列されている。第５図に
示す欠陥製品１０はカバー２８がベース２６から
距離d₃だけオフセツトすなわちずれて重なつてい
る。

第６図及び第７図は一本以上のリード２２又は
リード２４の整列状態特に、「平行曲がり」の有
無を検出するための情報をもつたデータを発生さ
せるための光学系３０を示す線図である。この光
学系３０と製品１０との相対移動を矢印で示す。
この光学系３０は製品１０の右側２０に光源３２
を有し、この光源は第６図に示すようにラインl₂
に沿う方向の従つてラインl₁と直交する方向の光
路３４を通る光ビームを発生する。この光源３２
から光路３４を通つてきた光ビームを左側１８の
センサ３６で検出する。第７図に示すように、光
源３２の位置を製品１０に対しやや持ち上げた位
置とし、光路３４を僅かに傾斜させて光路がリー
ド２２とのみ交差しリード２４とは交差しないよ
うにする。この場合でも、光路３４は依然とし
て、僅かに持ち上げられているがラインl₁と尚も
直交しているラインl₂に沿つている。従つて、後
述するように、センサ３６はリード２２のみの
「平行曲がり」の情報をもつた出力データを生ず
る。前述したように、光源３２を僅かに持ち上げ
る一つの理由は光路３４がリード２４と交差して
防げられないようにすることにある。パツケージ
１０がリード２４を有していない場合には光源３
２従つて光路３４を第７図に示すように持ち上げ
る必要はない。いずれにしても、光路３４はライ
ンl₂に沿いラインl₁に直交して延在しているとみ
なすことが出来る。

製品１０がリード２２だけを有しリード２４を
有していない場合には、光学系３０は「平行曲が
り」の検査のため光源３２とセンサ３６だけを含
んでいればよい。リード２４をも有している場合
には、光学系３０に、第６図に示すように、ライ
ンl₂に沿う方向従つてラインl₁に直交する方向の
光路４０を通る光ビームを発生する光源３８を左
側１８に含ませる。右側２０にはセンサ４２を設
け光源３８から光路４０を経る光ビームを検出す
る。第７図から明らかなように、光源３２の場合
と同じ理由で光源３８を製品１０に対して位置レ
ベルを上げ光路４０を通る光ビームが右側２０か
らのびているリード２４に対してのみ交差するよ
うになす。従つて、センサ４２はこのリード２４
の「平行曲がり」の情報を有した出力データのみ
を生ずること明らかである。

製品１０のリード２２，２４が「平行曲がり」
だけを有する場合には、前述した光源３２，３８
及びセンサ３６，４２だけ品質制御すなわち品質
管理に必要となる。しかしながら、既に説明した
通り、これらリード２２，２４は「上反り曲が
り」や「組合わせ曲がり」を受けているので、こ
の光学系３０に、「組合わせ曲がり」の情報を有
するデータを提供する光学成分を追加して設け、
これより「上反り曲がり」の情報を導出するよう
にすることが出来る。

特に、第８図及び第９図に示すように、第６図
及び第７図に示す光学成分に追加して、光学系３
０に製品１０の右側２０に光路４６を通る光ビー
ムを生ずる光源４４と、右側１８にはこの光路４
６の光を検出するセンサ４８とを設ける。第８図
からわかるように、光路４６はラインl₁すなわち
「平行曲がり」に対しある角度をなしていると共
にラインl₂すなわち「上反り曲がり」に対しても
ある角度をもつている。一例としてそれぞれの角
度の最適値を45°とすることが出来る。第９図か
らわかるように、光源４４を製品１０に対し僅か
に持ち上げて光路４６が左側１８からのびている
リード２２のみに交差するようにする。このよう
にすると、後述するように、センサ４８はリード
２２の「組合わせ曲がり」の情報を有する出力デ
ータを提供することとなる。

製品１０はまたリード２４を有しているので、
左側１８には光路５２を通る光ビームを生ずる光
源５０を設け、右側２０にはこの光路５２の光ビ
ームを検出するセンサ５４を設ける。第８図から
明らかなように、光路５２は「平行曲がり」すな
わちラインl₁とある角度をなし、かつ「上反り曲
がり」すなわちラインl₂とある角度をなしてい
る。第９図からわかるように、光源５０の位置を
製品１０に対して僅かに持ち上げ、光路５２が右
側２０からのびているリード２４に対してのみ交
差するようになす。前と同じ理由で、光源４４と
５０の位置を僅かに持ち上げる。

本発明の原理によれば種々の光学技術を用いて
リード２２又は２４の整列状態を検査するため
の、特に、リード間のすきま距離を検出するため
のデータを求めることが出来る。光学系３０はそ
の一実施例であり、各リードの微小領域すなわち
点のみを光学的に検査してこれら目的のための十
分なデータを求める必要があるということを一部
分基づいて成されたものである。この実施例は第
６図から第９図までに示す例であつて、これら実
施例では光路３４，４０，４６，５２はリード２
２，２４とそれぞれの微小点P₁、P₂、P₃、P₄に
おいて交差している。好ましくは点P₁−P₄を並
べられたリード２２，２４の上端から下端までの
距離の約1/8〜1/4のところとするのがよい。この
ような点P₁−P₄だけを検査するので、各光源３
２，３８，４４，５０を、例えば赤外光を発生す
る点光源とし得、各センサ３６，４２，４８，５
４をこの赤外光を検出するフオトトランジスタの
ような単一の光検出器とすることが出来る。

図示せずも、光学系の他の実施例では、各点光
源３２，３８，４４，５０を用いる代わりに、例
えば、リード２２，２４全体と交差するように光
を制御出来る光源を用いることも出来るし、各単
一の光検出器の代わりに、直線状のフオトダイオ
ードアレイを用いることが出来る。このような光
源をレーザとすることが出来る。製品１０はこの
他方の光学系に対し動かすことが出来るので、直
線状フオトダイオードアレイは各リード全体に対
応するデータを出力することが出来る。

光学系の他の実施例では、製品１０を固定させ
ておき、リード２２のようなリードの列全体を照
射する光源を光学系に含ませてもよい。この光学
系ではセンサを全てのリードの「画像」を電子的
に走査するTVカメラとしてもよい。

注意すべきことは、上述した全ての光学系にお
いては、各リードの少なくともP₁−P₄の点の光
学データを求める。各リードに対しP₁−P₄の点
のみの光学データを得る１つの利点は後述するよ
うに電子処理されるデータ量を最小限に押えるこ
とが出来るということである。さらに、赤外点光
源及び単一フオトトランジスタはレーザとか、直
線状フオトダイオードアレイとかTVカメラとか
いつた検出器よりも安価である。

第１０図はこれまで説明した光学系３０の各光
学成分を組合わせた位置関係の一例を示す線図で
ある。リード整列状態の検出のため、光学系３０
にさらに追加して本体１２を横切つてのみかつこ
れと交差する光路５８を通る光ビームを生ずる光
源５６と、この光路５８を通る光ビームを検出す
るセンサ６０とを設ける。さらに、本体１２を横
切りこれと交差する光路６４を通る光ビームを発
生する別の光源６２と、この光ビームを検出する
センサ６６とを設ける。

第１０図からも明らかなように、この光路５８
は製品１０の移動方向に見て光路３４，４０，４
６，５２の前側すなわち前方にあり、他方光路６
４はこれら光路３４，４０，４６，５２の後側す
なわち後方にある。光源５６及び６２を所定距離
Ｄ例えば5.08cm（＝２インチ）で離間させ、セン
サ６０，６６によつて前端部１４が光路５８，６
４をそれぞれ横切る瞬時を検出する。後述するよ
うに、センサ６０，６６の出力データを用いて、
製品１０の平均速度を考慮することによつて、各
リード２２，２４の、基準点すなわち前端部１４
に対する間隔を検出する。

第１１図は光学系３０用の独立完備したモジユ
ール６８を示す。このモジユール６８はハウジン
グ７０とケーブルコネクタ７４とを有し、ハウジ
ングには矢印の方向に製品１０を移動可能とした
チヤンネルを有している。第１１図及び第１２図
に示すように、このハウジング７０のチヤンネル
７２の左側の側部７６には回路基板例えばプリン
ト配線基板７８を、その穴８０に固定用ピン８２
を通して上下のブラケツト８４にそれぞれ固定し
て、取り付ける。このプリント配線基板の上側に
はガラス板８６を延在させて設ける。ハウジング
７０のチヤンネル７２の右側の側部７６′にも同
様な構成成分を設ける（図示せず）。

第１３図はプリント配線基板７８に一体化した
光学系３０の一部分を示す。仮想線は矢印の方向
にチヤンネル７２に沿つて製品１０が移動する状
態を示す。この基板は、第１０図にも示すよう
に、センサ６０、センサ３６、光源３８、光源５
０、センサ４８及びセンサ６６を順次に有してい
る。この基板のチヤンネル７２の右側に図示せず
も第１０図に示すような光源５６、光源３２、セ
ンサ４２、光源４４、センサ５４及び光源６２を
順次に有している。

第１３図にはさらに他のセンサ８８が示され、
これををセンサ６０の下側に設ける。カバー２８
と整列したセンサ６０と、ベース２６と整列した
センサ８８とを組合わせて用いて第５図及び第１
３図に示すようなオフセツトに関するデータを取
り出すようにする。図示していないが、さらに他
の光源と光路とを第１０図に示す光源５６と光路
５８の直ぐ下側に設ける。第１３図に示すよう
に、カバー２８はベース２６からオフセツトすな
わちずれを生じているので、製品１０がモジユー
ル６８を通過する時、カバーが第１０図に示す光
路５８を横切る時刻はベースがこの光路５８の直
下にある図示されていない光路を横切る時刻とは
相違する。従つて、センサ６０，８８のうちの一
方からの出力データは他方の出力データに対し遅
延しており、この遅延時間がオフセツト量を表わ
すこととなる。

プリント配線基板をそれぞれ保持する側部７６
及び７６′間のスペースすなわち距離はモジユー
ル６８毎に異なるであろう。このスペースは所定
のパツケージ１０の幅に依存している。その理由
はどのような幅のパツケージに対しても各光路が
リードの同一点P₁−P₄と交差するようにするた
めである。パツケージの幅が広くなるに従つて、
スペース幅も広くなる。モジユールのこのスペー
ス幅を変えることにより、全てのモジユールに対
し同一のプリント配線基板を使用することが出来
る。

第１４図は製品１０のリード２２及びリード２
４の内側間隔従つてこれらリードの整列状態を検
出するための電子光学系９０を示す線図である。
この系９０につき光学系３０を用いて説明する
が、上述した他の光学系を用いてこの内側間隔を
検出するデータを得ることが出来る。

ブロツク図に示すように、電子光学系９０は光
源３２，３８，４４，５０，５６，６２及び図示
していないが光源５６の下側の光源にそれぞれ対
応する７個の光源９２と、光路３４，４０，４
６，５２，５８，６４及び光路５８の下側の図示
されていない光路にそれぞれ対応する７個の光路
９４と、センサ３６，４２，４８，５４，６０，
６６，８８にそれぞれ対応する７個のセンサ９６
とを含む。センサ９６の出力データを７個のそれ
ぞれの出力線９８にパルス波形信号として生じ、
これらパルス波形信号の限界値をそれぞれの限界
値検出器１００によつて検出する。出力線９８に
現われた各パルス波形信号が限界値検出器１００
に設定した限界値を越えると、第１５図に示すよ
うな７個の矩形パルス波形信号を生ずる。

第１５図に示すパルス波形信号W₆₀はセンサ６
０からの出力データに対応する。パルス波形信号
W₈₈はセンサ８８の出力データに対応し、W₃₆は
センサ３６からの出力データに対応し、W₄₂はセ
ンサ４２からの出力データに対応し、W₄₈はセン
サ４８からの出力データに対応し、W₅₄はセンサ
５４からの出力データに、W₆₆はセンサ６６から
の出力データにそれぞれ対応する。第１５図に実
線で示した全てのパルス波形はリード２２及び２
４が整列しかつカバー２８とベース２６とが正確
に整列している製品１０を表わしている。図中破
線はリード２２，２４の曲がりと、カバー２８及
びベース２６間のオフセツトを説明するための線
である。

信号W₆₀の前縁E₁はカバー２８の前端部１４が
光路５８を横切つて遮断する時に生ずる。また信
号W₈₈の前縁E₂はベース２６の前縁部１４が光路
５８の下側の光路を横切つて遮断する時生ずる。
前縁E₁に対し信号W₈₈の破線で示す前縁E′₂はカ
バー２８がベース２６に対しオフセツトしている
ことを表わす情報である。実線で示す整列した前
縁E₁及びE₂はカバー２８とベース２６とがオフ
セツトしていないことを表わす情報である。

信号W₆₆の前縁E₃は前端部１４が光路６４を横
切る時に生ずる。後述するように、前縁E₁及び
E₃の発生の間の時間間隔を用いて光学系３０を
通る製品１０の速度すなわち速さを検出する。特
に指示しなければ、この製品１０は一定速度で移
動しているとみなす。前縁E₁は前端部１４に対
応しているので、この前縁E₁を基準に用いリー
ド２２または２４のそれぞれの間の内側間隔を検
出する。

信号W₃₆はリード２２−１〜２２−ｎにそれぞ
れ対応する前縁e₁〜e_oを有している。これら前縁
e₁〜e_oはそれぞれのリード２２−１〜２２−ｎが
光路３４を横切つて遮断する時に生じ、これら前
縁e₁〜e_oの相互間時間距離が等しいと、そのこと
は１個以上のリード２２のいずれにも「平行曲が
り」が生じていないという情報を提供する。図に
破線で示すように、リード２２−４に対応する前
縁e₄′が前縁e₃が接近していると、リード２２−
４が前方に「平行曲がり」を生じている情報を与
える。

信号W₄₂はリード２４−１〜２４−ｎにそれぞ
れ対応する複数個の前縁e₁〜e_oを有している。こ
の信号W₄₂の各前縁e₁〜e_oはそれぞれのリード２
４−１〜２４−ｎが光路４０を横切つて遮断する
時に生ずる。これら前縁e₁〜e_oは互いに等間隔で
あるので、リード２４のいずれにも「平行曲が
り」が生じていないという情報を与える。

さらに、信号W₄₈はリード２２−１〜２２−ｎ
にそれぞれ対応する複数個の前縁e₁〜e_oを有して
いる。これら各前縁e₁〜e_oはそれぞれのリード２
２−１〜２２−ｎが光路４６を横切る時に生ず
る。これら前縁e₁〜e_oは互いに等間隔であるで、
「組合わせ曲がり」が生じていないという情報を
与える。この波形信号の破線で示す前縁e′₄は前
縁e₃に接近しているので、リード２２−４が「組
合わせ曲がり」を生じているかも知れないという
情報を与える。

光路４６は前にも述べたようにある角度をもつ
ているので、この「組合わせ曲がり」の情報だけ
では「平行曲がり」の量や成分及び「上反り曲が
り」の量や成分を表わせない。しかしながら、信
号W₃₆の前縁e′₄とe₃との間の距離から、「平行曲
がり」の成分についての情報が得られる。この信
号W₄₈の前縁e′₄とe₃との間の距離からこの「平行
曲がり」成分を差引いて、「上反り曲がり」の成
分を検出することが出来る。その差が０である場
合には、「平行曲がり」のみが存在する。その差
が０よりも大きな数である場合には、この数に対
応する「上反り曲がり」の成分が存在することと
なる。別の例として、信号W₃₆が実線で示す前縁
e₄に対応してリード２２−４に対し「平行曲が
り」がないこと示し、信号W₄₈の破線で示す前縁
e′₄が「組合わせ曲がり」があることを示す場合
には、前述の減算は「上反り曲がり」のみがある
ことを示す。

信号W₅₄はリード２４−１〜２４−ｎのそれぞ
れに対応する複数個の前縁e₁〜e_oを有している。
この信号W₅₄の各前縁e₁〜e_oはそれぞれのリード
２４−１〜２４−ｎが光路５２を横切つて遮断す
る時に生ずる。これら前縁e₁〜e_oは等間隔である
のでリード２４には「組合わせ曲がり」がないと
いう情報を与える。

電子光学系９０は全体的に１０２で示すデータ
プロセツサを含んでいる。デイジタル信号プリプ
ロセツサ１０４は７個の線路１０６を経て７個の
パルス波形信号W₆₀、W₈₈、W₃₆、W₄₂、W₄₈、
W₅₄及びW₆₆を受けこれらを組合わせ５個の線路
１０８上に第１６図に示すような５個の出力パル
ス波形信号W₁〜W₅を抜き出す。

信号W₁は信号W₆₀とW₈₈との組合わせ波形信号
であり、この波形信号W₁が実線で示すようにパ
ルスを全く有していない場合には、信号W₆₀の前
縁E₁と信号W₈₈の前縁E₂とが一致していること従
つてカバー２８及びベース２６が正確に整列され
ていることを示す。そうでない場合には、破線で
示すようにパルスＰが生じ、このパルスの一方の
縁が例えば前縁E₁に対応し他方の縁が例えば前
縁E₂′に対応し、カバー２８とベース２６との間
にオフセツトがあることを示している。

信号W₂は信号W₆₀とW₃₆との組合わせであるが
これらを反転させている。この信号W₂の参照符
号を信号W₆₀，W₃₆の前縁を表わす。他の信号
W₃，W₄，W₅及びW₆についても同様である。信
号W₃は信号W₆₀，W₄₂の組合わせたものである。
また、信号W₄は信号W₆₀，W₄₈の組合わせであ
り、W₅はW₆₀，W₅₄の組合わせ又W₆はW₆₀，W₆₆
の組合わせである。これら６個の信号W₁〜W₆は
プリプロセツサ１０４の図示されていない種々の
論理ゲートの論理演算を行なつて生ずる。

データプロセツサ１０２は６個の再トリガ可能
なタイマ１１０を有していてそれぞれ信号W₁〜
W₆の１つを受け取る。これらタイマ１１０を共
通クロツク１１２によつてクロツク制御する。一
例として信号W₂に関して説明すると、前縁E₁が
発生すると、タイマ１１０の１つによつてクロツ
ク１１２から来るクロツクパルスを０の計数値か
ら計数し始める。各前縁e₁〜e_oが発生するので、
１つのタイマ１１０が前縁E₁に対応する前縁e₁〜
e_oの発生時の累算的な時間に対応する16ビツトの
数を出力する。次いで、後述するように製品１０
の速度は既知とし、各16ビツトの数で与えられる
このタイミング情報を前縁e₁〜e_oと前縁E₁との間
の距離又は換言すれば対応するリード２２と基準
前端部１４との間の距離を表わすデータに変換す
る。これら16ビツトの数間の差はリード２２間の
内側間隔である。他のタイマ１１０も信号に応答
し同様な16ビツトの数を生ずる。信号W₁が実線
で示すようにパルスを有していない場合には、０
に等しい16ビツトの数がタイマ１１０の１つから
生じ、カバー２８とベース２６のこの間にオフセ
ツトが生じていないことを表わすが、信号W₁に
パルスＰがあると、このパルスＰの幅に対応する
16ビツトの数が生じてオフセツトがあることを表
わす。６個それぞれの線路１１４にタイマ１１０
から16ビツトの数が出力される。

マイクロプロセツサ１１６及び算術プロセツサ
１１８は後述するソフトウエアの制御の下で線路
１１４で受け取つた16ビツトデータを処理する。
このデータからリード２２及び２４間の内側距離
の計算を行ない、その結果一本以上のリードがメ
モリに記憶されている所定の許容範囲以上の「平
行曲がり」又は「上反り曲がり」を受けているこ
とが判つた場合には、この製品１０を除外する判
定をしてこれを表わす制御信号を出力線路に生じ
る。そうでない場合には製品１０の全てのリード
が整列していると判定してこれを表わす別の制御
信号を線路１２０に生ずる。許容範囲以上のオフ
セツトに基づいて製品１０を除外すべきかどうか
判定する際にも、信号W₁に応答して同様な判定
を行なうことが出来る。

第１７図は独立完備モジユール６８と一緒に使
用し得る自動パツケージ取扱装置を示す線図で、
この装置１２２を米国のカリフオルニア州のトリ
ゴン・インダストリーズ（Trigon Industries）
社によつて製造されたモデルＴ−2010〜2080のよ
うな数種のモデルのうちの一つとし得るがモジユ
ール６８を収容するため僅かに変更している。こ
のパツケージ取扱装置１２２は処理用樋状部１２
４、チヤンネル１２８を画制するレール１２６及
びアーム１３４を介してブラケツト１３２上に回
動自在に取付けられた中心保持部１３０を有して
いる。チヤンネル７２がチヤンネル１２８と整列
するように、モジユール６８を樋状部１２４に支
持する。自在出力装置１４２は３つの固定チヤン
ネル１４４，１４６，１４８を有し、これらは選
別機構１３６の回動位置に応じてチヤンネル１４
０と整列される。

パツケージ取扱装置１２２は重力付与装置であ
り、第１８図に示すように水平方向に対しθの角
度で傾斜している。パツケージ１０を、そのリー
ド２２，２４を上方に向け、中心保持部１３０を
カバー２８上になして、チヤンネル１２８に送
り、然る後パツケージは重力によつてモジユール
６８を通り選別機構１３６のチヤンネル１４０に
落ち込む。次いで、電子光学系９０によつて行な
われた判定に基づき、選別機構１３６を回動させ
てチヤンネル１４４，１４６，１４８のうちの１
つにパツケージ１０を送り出す。パツケージ取扱
装置１２２は「シングユレータ（singulator）」
と称する図示されていないシステムを有し、この
システムによつて複数個のパツケージ１０をチヤ
ンネルの上方部分に送給するか保持可能ならしめ
るが、一時に一個のパツケージ１０のみをモジユ
ール６８を通して処理可能とし得る。この処理に
ついては第２２図を参照して後述する。

第１９図はチヤンネル１２８内にあるパツケー
ジ１０を示す線図である。レール１２６の１５０
で示すところを成形していずれの特定のベース２
６の輪郭にも追従出来るようにする。この形状は
パツケージ１０がモジユール６８を通つて送られ
るときに矢印で示す方向にパツケージ１０が振動
するのを防止して光学データの雑音を低減するよ
うになす。第２０図はモジユール６８とレール１
２６との関係を詳細に示す図である。

リード２２又はリード２４間の内側間隔を計算
するため、タイマ１１０からの第１６図に示すタ
イミングデータをマイクロプロセツサ１１６によ
つて集める。次いで、後述する理由のため、タイ
ミングデータを、製品１０が光学系３０を通り自
由落下する際の加速効果に対し、直線化処理し、
次いで次式に従つて距離値に変換する。

Xn＝T_SUM〔V_R−Ａ（T_R−T_SUM）〕 (1) ここにおいて、V_R＝X_R／T_R；Ａ＝ｇ（sinθ）／２； T_SUM ＝t₁＋t₂＋…＋t_o θ＝製品１０が落下する方向が水平方向となす第
１８図に示す傾斜角ｇ＝重力加速度 X_R＝光路５８と６４との間の第１０図に示す所
定の基準距離 T_R＝製品１０例えば前端部１４が基準距離X_Rを
落下するための、波形信号W₆のパルスP₁によ
つて表わされる時間 V_R＝製品１０の平均速度 t_o＝第１６図に示す増分時間（経過時間） X_o＝経過時間t_oから求められる前端部１４からの
各リードの距離一般の重力による自由落下の場合には、第２１
図の流れ図に示すような手続に従つて第１６図に
よつて示される各時間事象に対し式(1)を解く。先
ずブロツク１５２に示す処理で定数Ａを計算す
る。続いて、ブロツク１５４で示す処理で平均速
度V_Rを計算し、続いてブロツク１５６で示す処
理でレジスタ保持時間T_SUMを０にセツトする。

次に、ブロツク１５８で示す処理によつて時間
t_oを時間T_SUMに加えてブロツク１６０で示す処理
によつて距離X_oを計算する。次いで、この距離
X_oを後使用用のリザルト・アレイに、ブロツク
１６２で示す処理によつて、記憶又は退避させ
る。ブロツク１６４で示す判断によつてデータが
無い場合には、すなわち、全てのリードが光学系
３０を通過し終つている場合には、プログラムは
流れ出て行く。さもなければ、ライン１６６を経
る処理ループが形成されて別のリードに対する
X_oの計算と記憶とが行なわれる。

各リードに対してのX_oの計算と記憶とを行な
うと、マイクロプロセツサ１１６はソフトウエア
の制御により他のサブルーチンを介して十分なデ
ータを送り「平行曲がり」や「上反り曲がり」等
が存在するかどうかを判定する。従つて、例え
ば、所定の許容範囲を越えたリード２２の「平行
曲がり」があるかどうかを検出するため、１本の
リード２２に対する距離X_oを隣接するリード２
２に対する距離X_oから減算出来る。その場合こ
れらX_oの距離を信号W₂から算出する。その場
合、前述したように、得られた差を蓄積されてい
る許容範囲を表わす所定のデータと比較すること
が出来る。

第１７図〜第２０図に示すように、光学系３０
特にモジユール６８を通り重力で落下する。従つ
て、この重力の作用により、製品１０は定加速を
受けるので、後端部１６近くのリードの速度は前
端部１４近くのリードの速度よりも速くなる。こ
の場合、リード間の間隔は同一間隔にあること勿
論である。従つて、好ましくはソフトウエアでこ
の加速を考慮してデータを直線化するのがよい。

さらに、本発明の原理は角度θを０とした場
合、例えば、製品１０がパツケージ取扱装置１２
２によつてよりはむしろ図示していないコンベヤ
ーベルトで既知の一定速度でモジユール６８を移
動する場合にも適用出来る。この場合、Ａ＝０で
式(1)は簡単となり、メモリには既知の一定速度の
データを予め記録させることが出来る。

また、デイジタル信号プリプロセツサ１０４及
び第１６図の信号W₁〜W₅並びに第２１図のアル
ゴリズムにつき説明したが、第１５図に示す波形
信号がリード２２，２４の内側間隔を検出するた
めに必要な全てのデータを含んでいる。従つて、
これら距離の決定に他のプリプロセツサ及び他の
アルゴリズムを使用してもよい。

再び第１７図〜第２０図、特に第２２図を参照
し、さらに前述したパツケージ取扱装置１２２の
「シングユレータ」を参照し、担当多数例えば
10000／時間程度の量の製品の処理しかつ記憶す
る手続きにつき説明する。一例として、出力装置
１４２の中心チヤンネル１４６で良質の製品を受
け取るようにし、サイドチヤンネル１４８によつ
て品質の悪い修理可能な製品を受け取るように
し、サイドチヤンネル１４４によつて修理できな
い悪い製品１０を受けるようにすることが出来
る。

普通は、複数個の製品をチヤンネル１２８に送
り、チヤンネル１２８の上部近くにある「シング
ユレータ」のソレノイド作動停止手段でこの製品
を保持する。尚、この停止手段を第１７図に１６
８で示す。また第１７図に１７０で示すように、
下側部分に別のソレノイド作動停止手段を設け
る。この停止手段１６８から次の製品１０を放す
直前に、前の製品１０はモジユール６８を通り重
力落下して停止手段１７０のところで停止する。
この前の製品１０が良質のものである時は、選別
機構１３６は第１７図に示す位置に留まつてお
り、この製品をチヤンネル１４６へ送る。これが
ため、この製品をチヤンネル１４６に向けて停止
手段１７０によつて解放するのは、次の製品１０
がモジユール６８で処理するために停止手段１６
８から解放されると同時とし得る。なぜならば、
選別機構を中心位置から動かすのに時間が掛らな
いからである。前の製品の品質が良くない場合に
は、停止手段１６８によつて次の製品を解放する
前には、選別機構１３６を左右いずれかに動かし
て前の製品を選別し続いて次の製品の受け取りを
予想して中心位置に戻すための時間が認められる
べきである。

第２２図に上述した手続きを詳細に示す。多数
の一列の製品１０をチヤンネル１２８に送り、ブ
ロツク１７２で示す処理によつて製品列のうちの
次の製品が停止手段１６８によつて保持され、そ
の前の製品がモジユール６８によつて処理済みで
あるとする。この次の製品はブロツク１７４で示
す処理によつて「シングユレート」される待期状
態にある。停止手段１７０にある前の製品がブロ
ツク１７６による判断によつて良質であるとされ
ると、次の製品が停止手段１７０によつて解放さ
れ（ブロツク１７８）及び前の製品が選別される
（ブロツク１８０）。ブロツク１７６の判断によつ
て、前の製品が良質でないと判定された場合及び
ブロツク１８２の判断によつて前の製品が修理可
能が不可能か判定される場合には、選別機構１３
６をブロツク１８４に示す処理によつて右のチヤ
ンネル１４８へ動かし或いはブロツク１８６に示
す処理によつて左のチヤンネル１４４へ動かし、
次いで、ブロツク１８８に示す処理によつて中心
位置に戻す。次いで、次の製品のブロツク１９０
に示す処理によつて停止手段１６８から解放して
モジユール６８に送り、よつてブロツク１９２に
示す処理によつてデータを求め、ブロツク１９４
に示す処理でリード間隔を計算し、続いてブロツ
ク１９６に示す処理でこれら求められた距離と記
憶されている許容範囲とを比較する。その後、プ
ログラムはライン１９８を経て繰返され、ブロツ
ク１７４に示す処理によつて別の製品を停止手段
１６８において「シングユレート」する。

本発明は上述した実施例にのみ限定されるもの
ではなく、本発明の範囲内での多くの変更又は変
形を行ない得ること明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は完成パツケージの一例を示す斜視図、
第２図は第１図の２−２線に沿つて示した側面
図、第３図は第２図の３−３線に沿つて示した端
面図、第４図は第１図の完成パツケージを示す上
面図、第５図は完成パツケージの他の例を示す第
２図と同様な側面図、第６図は第１図に示すパツ
ケージと共に本発明の光学系の一部分を示す回路
図的上面図、第７図は第６図の７−７線に沿う端
面図、第８図は第１図に示すパツケージと共に本
発明の光学系の他の部分を示す略図的上面図、第
９図は第８図の９−９線に沿う端面図、第１０図
は第１図に示すパツケージと共に本発明の光学系
全体を示す上面図、第１１図は本発明の完全独立
のモジユールを示す斜視図、第１２図は第１１図
の１２−１２線に沿つて取つて示した断面図、第
１３図は第１２図の１３−１３線に沿つて取つて
示した断面図、第１４図は本発明の電子光学系を
示すブロツク線図、第１５図は本発明の説明に使
用する７個のパルス波形を示す線図、第１６図は
本発明の説明に使用する５個のパルス波形を示す
線図、第１７図は本発明のパツケージ保持具を示
す上面図、第１８図は第１７図の１８−１８線に
沿う端面図、第１９図は第１７図の１９−１９線
に沿つて取つて示した断面図、第２０図は第１７
図の２０−２０線に囲まれた部分のパツケージ保
持具を示す正面図、第２１図は本発明のアルゴリ
ズムを説明するための流れ図、及び第２２図は本
発明の他のアルゴリズムを説明するための他の流
れ図である。１０……製品（又はパツケージ）、１２……物
体、１４……前端部、１６……後端部、１８……
左側部、２０……右側部、２２，２２−１〜２２
−ｎ，２４，２４−１〜２４−ｎ……リード、２
６……ベース、２８……カバー、３０……光学
系、３２，３８，４４，５０，５６，６２，９２
……光源（又は光ビーム発生手段又は光源手段）、
３４，４０，４６，５２，６４，９４……光路、
３６，４２，４８，５４，６０，６６，８８，９
６……センサ（又は検出手段）、６８……モジユ
ール、７０……ハウジング、７２，１２８，１４
４，１４６，１４８……チヤンネル、７４……ケ
ーブルコネクタ、７６……左側側部、７６′……
右側側部、７８……回路基板（又はプリント配線
基板）、８０……穴、８２……ピン、８４……ブ
ラケツト、８６……ガラス板、９０……電子光学
系、９８……出力線、１００……限界値検出器、
１０２……データプロセツサ、１０４……プリプ
ロセツサ、１０６，１０８，１１４……線路、１
１０……タイマ、１１２……クロツク、１１６…
…マイクロプロセツサ、１１８……算術プロセツ
サ、１２０……出力線路、１２２……自動パツケ
ージ取扱装置、１２４……樋状部、１２６，１３
８……レール、１３０……保持部、１３２……ブ
ラケツト、１３４……アーム、１３６……選別機
構、１４２……自在出力装置、１６８，１７０…
…停止手段。

Claims

【特許請求の範囲】１有軸物体から延びていて、該軸と平行な第一
ラインに沿う曲がり又は該第一ラインに直交する
第二ラインに沿う曲がり或いは前記第一ラインに
沿う曲がり成分と第二ラインに沿う曲がり成分と
の組合わせた曲がりを有し得る少なくとも一本の
特定のリードの整列状態を検査する装置におい
て： (a) 第一の方向を向いた第一光ビームを生ずるた
めの第一光ビーム発生手段； (b) 前記第一光ビームを検出するための第一検出
手段； (c) 前記第一の方向と所定の角度をなし、かつ、
前記第一の方向と直交する特定の方向と所定の
角度をなす第二光ビームを生ずるための第二光
ビーム発生手段； (d) 前記第二光ビームを検出するための第二検出
手段；及び (e) 前記特定のリードが前記第一の光ビーム及び
第二の光ビームの両者と交差し、かつ、前記特
定のリードが前記第一の光ビームと交差すると
き前記有軸物体の第二のラインが前記第一の方
向上に存在すると共に、前記特定のリードが前記第二の光ビームと交
差するとき前記有軸物体の第一のラインが前記
特定の方向上に存在するように、前記有軸物体
を移動径路に沿つて前記装置に対し相対的に移
動させる移動手段を具えることを特徴とするリ
ード整列状態検査装置。２前記第一光ビーム発生手段は第一光源を具え
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
リード整列状態検査装置。３前記第二光ビーム発生手段は第二光源を具え
ることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
リード整列状態検査装置。４前記第一及び第二検出手段は光検出器を夫々
具えていることを特徴とする特許請求の範囲第３
項記載のリード整列状態検査装置。５最適条件として前記所定の角度を前記第一の
方向及び前記特定方向に対し45°とすることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のリード整列
状態検査装置。６有軸対象物から複数本の第一及び第二部分が
延びており、前記対象物の第一側部に前記第一部
分が位置し及び第二側部に前記第二部分が位置し
ており、前記軸と平行な第一ラインに沿う曲が
り、又は該第一ラインに直交する第二ラインに沿
う曲がり或いは前記第一ラインに沿う曲がり成分
及び第二ラインに沿う曲がり成分を組合せた曲が
りを有する一以上の前記第一及び第二部分の整列
状態を検査する装置において： (a) 前記対象物を移動径路に沿つて移動させる移
動手段； (b) 前記対象物が前記移動径路に沿つて移動する
とき前記第一部分のみと交差するように第一の
方向に向けられた第一光ビームであつて、該第
一光ビームが前記第一部分と交差するとき前記
第一の方向は前記対象物の第二ラインと平行と
なる第一光ビームを生ずるための第一光ビーム
発生手段； (c) 前記第一光ビームを検出するための第一検出
手段； (d) 前記対象物が前記移動径路に沿つて移動する
とき前記第二部分のみと交差するように第二の
方向に向けられた第二光ビームであつて、該第
二光ビームが前記第二部分と交差するとき前記
第二の方向は前記対象物の第二ラインと平行と
なる第二光ビームを生ずるための第二光ビーム
発生手段； (e) 前記第二光ビームを検出するための第二検出
手段； (f) 前記第一の方向および第一の方向と直交する
特定方向とある角度をなした第三の方向に向け
られた第三光ビームであつて、前記対象物が前
記移動径路に沿つて移動するとき第三光ビーム
は前記第一部分のみと交差し、第一光ビームが
前記第一部分と交差するとき前記特定方向が前
記対象物の第一ラインに平行となる第三光ビー
ムを生ずるための第三光ビーム発生手段； (g) 前記第三光ビームを検出するための第三検出
手段； (h) 前記第二の方向及び前記特定方向とある角度
をなした第四の方向に向けられた第四光ビーム
であつて、前記対象物が前記移動径路に沿つて
移動するとき第四光ビームは前記第二部分のみ
と交差するような第四光ビームを生ずるための
第四光ビーム発生手段；及び (i) 前記第四光ビームを検出するための第四検出
手段を具えることを特徴とするリード整列状態検査装
置。７前記移動手段は、 (a) 前記物体が移動出来るチヤンネルを画成する
第一側部と該第一側部から離間した第二側部と
を有するハウジング； (b) リード整列データを発生し、前記第一光ビー
ムを生ずるための前記第一光ビーム発生手段
と、前記第一光ビームを検出するための前記第一
検出手段と、前記第二光ビームを生ずるための前記第二光
ビーム発生手段と、前記第二光ビームを検出するための前記第二
検出手段とを含む光学手段を有する第一回路基
板及び第二回路基板； (c) 前記ハウジングの前記第一側部上に前記第一
回路基板を支持するための第一支持手段；及び (d) 前記ハウジングの前記第二側部上に前記第二
回路基板を支持するための第二支持手段を具え
ることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載
のリード整列状態検査装置。８前記第一及び第二回路基板はそれぞれ複数個
の整列穴を含み、前記第一及び第二支持手段はそ
れぞれ前記整列穴を受ける複数個の整列ピンを含
むことを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の
リード整列状態検査装置。９前記ハウジングの第一側部上の前記第一支持
手段に支持された前記第一回路基板と、前記ハウ
ジングの第二側部上の前記第二支持手段に支持さ
れた前記第二回路基板との間隔を前記物体の大き
さに対して予め定めておくことを特徴とする特許
請求の範囲第７項記載のリード整列状態検査装
置。１０前端部を有する有軸物体から複数本の第一
及び第二リードが延びており、前記物体の第一側
部に前記第一リードが位置し及び第二側部に前記
第二リードが位置しており、前記軸と平行な第一
ラインに沿う曲がり又は該第一ラインに直交する
第二ラインに沿う曲がり或いは前記第一ラインに
沿う曲がり成分と第二ラインに沿う曲がり成分と
を組合わせた曲がりを有し得る一本以上の第一リ
ード及び前記軸と平行な第三ラインに沿う曲がり
又は第三ラインに直交する第四ラインに沿う曲が
り或いは前記第三ラインに沿う曲がり成分及び第
四ラインに沿う曲がり成分とを組合わせた曲がり
を有し得る一本以上の第二リードの整列状態を検
査する装置において： (a) 第一の方向を向いた第一光ビームを生ずるた
めの第一光ビーム発生手段； (b) 前記第一光ビームを検出するための第一検出
手段； (c) 前記第一の方向と所定の角度をなし、かつ、
前記第一の方向と直交する特定の方向と所定の
角度をなす第二光ビームを生ずるための第二光
ビーム発生手段； (d) 前記第二光ビームを検出するための第二検出
手段；及び (e) 第三の方向を向いた第三光ビームを生ずるた
めの第三光ビーム発生手段； (f) 前記第三光ビームを検出するための第三検出
手段； (g) 前記第一及び特定の方向と所定の角度をなす
第四の方向を向いた第四光ビームを生ずるため
の第四光ビーム発生手段； (h) 前記第四光ビームを検出するための第四検出
手段； (i) 前記第一のリードの前記第一の光ビーム及び
第二の光ビームの両者と交差し、かつ前記第一
のリードが前記第一の光ビームと交差するとき
前記有軸物体の第二のラインが前記第一の方向
上に存在すると共に、前記第一のリードが前記
第二の光ビームと交差するとき前記有軸物体の
第一のラインが前記特定方向上に存在し、さら
に、前記第二のリードが前記第三の光ビーム及
び第四の光ビームの両者と交差し、かつ前記第
二のリードが前記第三の光ビームと交差すると
き前記有軸物体の第四のラインが前記第三の方
向上に存在すると共に、前記第二のリードが前
記第四の光ビームと交差するとき前記有軸物体
の第三のラインが前記特定方向上に存在し、前
記第一のリードは前記第三の光ビーム或いは第
四の光ビームと交差せず、かつ前記第二のリー
ドは前記第一の光ビーム或いは第二の光ビーム
と交差しないように、前記有軸物体を移動径路
に沿つて前記装置に対し相対的に移動させる移
動手段； (j) 前記第一ないし第四の光ビームの前方にあつ
て有軸物体が前記移動径路に沿つて移動したと
き、その前端部と交差出来る第五光ビームを生
ずるための第五光ビーム発生手段； (k) 前記第五光ビームを検出するための第五検出
手段； (l) 前記第一ないし第四の光ビームの後方の前記
第五光ビームから所定距離のところにあつて前
記前端部と交差出来る第六光ビームを生ずるた
めの第六光ビーム発生手段；及び (m) 前記第六光ビームを検出するための第六検
出手段を具えることを特徴とするリード整列状態検査装
置。１１有軸物体から複数本の第一及び第二リード
が延びており、前記物体の第一側部に前記第一リ
ードが位置し及び第２側部に前記第二リードが位
置しており、前記第一リードは前記軸と平行な第
一ラインに沿う曲がり又は該第一ラインに直交す
る第二ラインに沿う曲がり或いは前記第一ライン
に沿う曲がり成分と第二ラインに沿う曲がり成分
とを組合わせた曲がりを有し得、及び前記第二リ
ードは前記軸と平行な第三ラインに沿う曲がり又
は第三ラインに直交する第四ラインに沿う曲がり
或いは前記第三ラインに沿う曲がり成分と第四ラ
インに沿う曲がり成分とを組み合わせた曲がりを
有し得、さらに、前記有軸物体は前記第一リード
と前記第二リードとを両者間で支持するカバーと
ベースとを有し、該カバーとベースとの相対的位
置ずれを検査すると共に、リードの整列状態を検
査する装置において： (a) 第一の方向を向いた第一光ビームを生ずるた
めの第一光ビーム発生手段； (b) 前記第一光ビームを検出するための第一検出
手段； (c) 前記第一の方向と所定の角度をなし、かつ、
前記第一の方向と直交する特定の方向と所定の
角度をなす第二光ビームを生ずるための第二光
ビーム発生手段； (d) 前記第二光ビームを検出するための第二検出
手段；及び (e) 第三の方向を向いた第三光ビームを生ずるた
めの第三光ビーム発生手段； (f) 前記第三光ビームを検出するための第三検出
手段； (g) 前記第一及び特定の方向と所定の角度をなす
第四の方向を向いた第四光ビームを生ずるため
の第四光ビーム発生手段； (h) 前記第四光ビームを検出するための第四検出
手段； (i) 前記第一のリードの前記第一の光ビーム及び
第二の光ビームの両者と交差し、かつ前記第一
のリードが前記第一の光ビームと交差するとき
前記有軸物体の第二のラインが前記第一の方向
上に存在すると共に、前記第一のリードが前記
第二の光ビームと交差するとき前記有軸物体の
第一のラインが前記特定方向上に存在し、さら
に、前記第二のリードが前記第三の光ビーム及
び第四の光ビームの両者と交差し、かつ前記第
二のリードが前記第三の光ビームと交差すると
き前記有軸物体の第四のラインが前記第三の方
向上に存在すると共に、前記第二のリードが前
記第四の光ビームと交差するとき前記有軸物体
の第三のラインが前記特定方向上に存在し、前
記第一のリードは前記第三の光ビーム或いは第
四の光ビームと交差せず、かつ前記第二のリー
ドは前記第一の光ビーム或いは第二の光ビーム
と交差しないように、前記有軸物体を移動径路
に沿つて前記装置に対し相対的に移動させる移
動手段； (j) 前記有軸物体が前記移動径路に沿つて移動し
たとき前記カバーと交差出来る第五光ビームを
生ずるための第五光ビーム発生手段； (k) 前記第五光ビームを検出するための第五検出
手段； (l) 前記有軸物体が前記移動径路に沿つて移動し
たとき前記ベースと交差出来る第六光ビームを
生ずるための第六光ビーム発生手段； (m) 前記第六光ビームを検出するための第六検
出手段を具えることを特徴とするリード整列状態検査装
置。１２有軸物体上に有り、互いに間隔を有し、前
記軸に並行な第一ラインに沿つた曲がり、前記第
一ラインに直交する第二ラインに沿つた曲がり、
又は前記第一ラインに沿う曲がり成分と第二ライ
ンに沿う曲がり成分とを組み合わせた曲がりを有
し得る複数のリードの整列状態を検査するための
リード整列状態検査装置において、 (a) 前記有軸物体を移動径路に沿つて移動させる
移動手段； (b)() 前記有軸物体が前記移動径路に沿つて移
動したとき前記リードと交差出来る第一光ビ
ームを生ずる第一光ビーム発生手段と、 () 該第一光ビームを検出し、前記第一ライ
ンに沿う方向の前記リード間の間隔の情報を
有する第一出力データを生ずるための第一検
出手段と、 () 前記有軸物体が前記移動径路に沿つて移
動したとき前記リードと交差出来る第二光ビ
ームを生ずるための第二光ビーム発生手段
と、 () 該第二光ビームを検出し、前記有軸物体
が前記移動径路に沿つて移動したとき前記第
一及び第二ラインに沿う方向の前記リード間
の間隔の組合わせ情報を有する第二出力デー
タを得るために向けられた前記第二光ビーム
を検出し、前記第二出力データを生ずるため
の第二検出手段と、を含み、前記リード間の間隔に関する情報を
有するデータを生ずるための光学手段と、 (c)() 前記第一出力データに応じて前記第一ラ
インに沿う方向のリード間の距離を決定する
第一の決定手段と、 () 前記第一出力データ及び前記第二出力デ
ータに応じて前記第二ラインに沿う方向のリ
ード間の距離を決定する第二の決定手段と、を含むデータ処理手段とを具えたことを特徴とするリード整列状態検査装
置。１３前記第二決定手段は前記第二出力データの
情報から前記第一出力データの情報を減算するた
めの減算手段を具えることを特徴とする請求の範
囲第１２項記載のリード整列状態検査装置。１４前記移動手段は前記物体を前記光学手段を
横切る方向に向ける重力付与手段を具えることを
特徴とする特許請求の範囲第１２項記載のリード
整列状態検査装置。１５前記移動手段は前記物体を案内するための
レールを具え、該レールは前記物体の形状に適合
した形状を有することを特徴とする特許請求の範
囲第１２項記載のリード整列状態検査装置。