JPS5870110A - リ−ド整列状態検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は物体上のリードの整列状態を検出する装置、特
に物体上のリード間隔を検出する電子光学装置に関する
。

製品の品質管理は製造者にとっても最終使用者にとって
も最も重要なことである。この品質管理はその製品の製
造又は組立の中間段階で行なわれており、最終品質管ｍ
ｔ完威製品について行なっている・そしてこれら品質管
理は生産される異なる製品に応じて種々の管理技術が採
られている◎あるタイプの調品韓少なくとも一本の延び
たリードを持った物体と一般に称し得る。斯様な製品の
一待瞭鍔として半導体会社によって作られる集稜回路パ
ッケージとして知られているものがある〇典ｓＩ例では
、このパッケージの両側にはパックージ本体からのびた
複数本のリードな有している〇完成されたパッケージの
各側にあるリードはほぼ一直線にすなわち互いに整列し
て並んでいなければならない＠そうでなければ、リード
の整列之スのような欠陥があるとこのパッケージの末端
使用の際に早期に電気的職いは機械的故障が生じ得る。

パッケージの組立の際に、品質管理を厳重に行辛 なっているのに、可成り数の完成パッケージカ一本又韓
二本以上の、整列していない申かったり−ドをもってい
る・例えば、一本以上のリードがパッケージの長軸と平
行なうインに沿って互いの方向に向かって曲がったり、
この平行ラインと直交するラインに沿って互いに離間す
るように曲がったり、或いは平行ラインに沿ったものや
直交するラインに沿った曲がり成分の組合わさった曲が
りを有するものもある。従って、全ての完成パッケージ
を試験し曲がったリードを有するパッケージを除外する
必要がある。

その上さらに、パッケージの多くのタイプ本体はペース
及びペース用カバーを含み得、これらリードをカバーと
ペースとの間で支持している。この品質管理はまた、正
確ではない場合でも、カバーをペース上に薄縁を合わせ
るようにしてほぼ整列させた完成パッケージを生産Ｔる
ことにも関連する。しかしながら、多数の完成されたパ
ッケージにおいて、カバーの端縁はペースの端縁から実
質的にずれているという欠点がある。これがためこのず
れすなわちオフセットを有するパッケージを除外しなけ
ればならない０ 本発明の目的は新規な品質管理装置を提供するにある。

本発明の他の目的は製造された製品の欠陥を検査する装
置を提供Ｔるにある。

本発明のさらに他の目的は組立ラインの生産速度が量大
の場命でも製品が欠陥な有するかどうか費正確に検査す
る品質管理装置を提供するにある。

これらの目的の達成を図るため本発明の要旨によれば、
「有軸物体から延びていて、該軸と平行な第一ラインに
沿う曲がり又は該第−ラインに直交する第ニラインに沿
う曲がり或いは前記第一ラインに沿う曲がり成分及第二
ツインに沿う曲がり成分の組合わせた曲がりを有する少
なくとも一本のリードの整列状態な検査する装置におい
て、前記第ニラインに沿う第一光路を通り前記リードと
交差するような第一光ビームを生ずるための第一光ビー
ム発生手段、前記第一光ビームな検出するための第一検
出手段、前記第一ライン及び第ニラインとある角度をな
している第二光路を通り前記リードと交差するような第
二光ビームを生ずるための第二光ビーム発生手段、及び
前記第二光ビームを検出するための第二検出手段な具え
ることを特徴とする」０ この本発明の第一要旨においては、第−光ビーム発生手
段及び第一検出手段で得られた光学データはリードの第
一ラインに沿う曲がりを表わＴ第一情報を有している。

第二光ビーム発生手段及び第二検出手段で得られた光学
データはリードの第一ライン及び第ニラインに沿う組合
わさった曲がりを表わす第二情報を有している。平行ラ
インに沿う曲がりの第一情報を組合わさった曲がりの第
二情報から差引いて第ニラインに沿う曲がり成分の情報
を得ることが出来る。

本発明の他の要旨においては、物体上に互いに離間配置
されている複数本のリードの整列を検査するための装置
は前記リード間の間隔の情報を有するデータを生ずる光
学手段及び該データに基づいて前記リード間の間隔を決
定Ｔるデータプロセッサ手段を具える。この他の要旨に
よって得られる結果はリードが曲がっているか又は−直
線上に以下、面間により本発明を説明する。

ｗｉｔｓは所定の生産段階における物体である製品１０
の一例管示す図である。この製品１０９虚本体ｌコ管含
み、この本体は前端部／ダ、後端部／４、左側部／Ｉ及
び右側部〃を有する。複数本のリードエを夫々ＪＪ−／
、ＪＪ−Ｊ、・・・・・・−一亀で表わし、これらリー
ドは本体ｌコの左側部／１から延びている。それヤれＪ
ａｇ−／、コダーー、・・・・・・Ｊ−亀で表わした複
数本のリードコ亭は本体ｌコの右側部３から延びている
。

本体／Ｊ　櫨ヘースム及びカバー３を有し、このづ−ス
謳及びカバー３間でリード−及びＪ参を支持する。

崗−この製品１０には後述する説明から明らかとなる座
標基準用として仮想の縦軸Ｙとこれと直交する仮想の横
軸Ｘと管考えることが出来る。−例として、この製品１
０を半導体産業分野でｎ−リード。

デュアル・イン・ライン集積回ＩＩ（ＩＣ）パッケージ
として知られている完成品とし得る。

第−Ｉｌ！ｌは良質の完成製品１０を実線で示し４たも
ので、そのリードｕ−／ｙＪ、ｌ−Ｂ及びＪｌ　−／’
　〜ｊ４ｔ−１亀は整列している。すなわちこれらリー
ドは図に示した側から見て互いに平行にのびている。も
しこれらリードＪ、２−　／　ＮＱ３−　ｆｉ又はリー
ド４９−／〜−−亀の一本以上が仮想の縦軸Ｙに平行な
仮想なライン１１に沿って平行位置から実質的に曲がっ
ているような場合には、この製品１０の品質は満足なも
のとは云い得ない。この状態を一例としてリード一−ゲ
について示してあり、この場合には、このリードはライ
ン！１に沿って破線で示すように後備゛に曲がったり、
また一点鎖線で示すように前側に曲がったりしているか
も知れない。平行ライン１１に沿うこのタイプの曲がり
を「平行曲がり」と称Ｔる。リード一−／、・・・・・
・−−ｎが全て整列している場合にはこれらリードは互
いに所定距１１１ｄｌだけ離れているが、曲がったリー
ド、Ｌ２−ダのようなリードがあるとＭＦＭは所定距離
とならず、ＩＩ接するリードに対し所定距離よりも接近
したり離れたりする。ＩＩＪＩＩリード間距ＪｌｉＪが
所定の許客範囲を越えたパッケージ１０を除外する必要
がある。

嬉Ｊ！Ｉ！はリードＪＪ−／〜ココー亀及びリードコダ
ーＩ〜−−ｌがこの端面図からもわかるように傾斜しか
つ互いに平行となっていて整列されている良質の完成製
品１０を実線で示した図である。もし一本以上のリード
一−ｔＮｕ−、又はリード誹−７〜−−亀がライン１１
に直交しかつ仮想の横軸Ｘと平行な任意の仮想ツインｊ
３に沿う方向にこれらリードの傾斜平行位置から実質的
に曲がっている場合には、この製品１００品質は満足な
ものとは云えない。このような状態を一例としてリード
ーーーについて示し、この場合、このリードーーーう方
向のタイプの曲がりを「上反り曲がりｊと称する・リー
ドーーーのような曲がりリードが所定の許容度以上の距
離ｄ２にまで曲がっている場合には、このパッケージ１
０は品質管理仕様書に適合し得ない。

次ｋｍ　ｒｌｌ１合ｂセ曲りり」と称す′る第一のタイ
プの曲がりについて胛述する。この「組合わせ曲がリ」
を有するリードは「平行−がり」と「上反り曲がり」の
両成分を有している。

第参図はこれら３つのタイプの曲がりを示した図で、リ
ードＪ、ｔ−１は所定の距離よりも短かい距離ａｍとな
った「平行−がり」のリードであり、リードエーコは所
定の距離よりも大きな距離ｄ２となった「上反り曲がり
」のリードであり、リード評−３は拒畷ｄ１の「平行−
がり」成分と距離ｄｆｉの「上反り曲がり」成分とを有
しているので、「組合′わせ曲がり」のリードである。

第５図は完成製品１０に伴ない得る別の欠陥を示す図で
ある。高昂質の製品ＩＯの場合には、正確でない場合で
あってもカバーコＳはペースム上に端縁と端縁がほぼ整
列されている。第３図に示す欠陥製品１０はカバーコが
ベースムから距離ｄ３だけオフセットすなわちずれて重
なっている。

第４図及び第７図は一本以上のリードｎ又はリードコダ
の整列状態特に、「平行−がり」の有無を検出するため
の情報をもったデータ【発生させるための光学系３０を
示す線図である。この光学系Ｊ０と製品１０との相対移
動を矢印で示す。この光学系、ｔｏＩｔｓｇ品１０の右
側〃に光源３コを有し、この光源は館４［に示すように
テインノ３に沿う方向の従ってラインｊ１と直交する方
向の光路評を通る光ビームを発生する。この光源ｊＪか
ら光路Ｊ１を通ってきた光ビームを左側１ｇのセン？３
４で検出する。第ツ閣に示すように、光源Ｊコの位置を
製品１０に対しやや持ち上げた位置とし、光路Ｊ４１を
儀かに傾斜させて光路がリード−とのみ交差しり−ド評
とは交差しないようにする。この場合でも、光路Ｓは依
然として、備かに持ち上げられているがライン１１と崗
も直交しているティンＩ！に沿っている◎従って、後述
するように、センサＪ６はリードエのみの「平行−がり
」の情報をもった出力データな生ずる・前述したように
、光ｉ［Ｊコを値かに持ち上げる一つの理由は光路評が
リード評と交差して防げられないようにすることにある
。パッケージ１０がリード薯を有していない場合には光
源Ｊコ従って光路評を第７図に示すように持ち上げる必
要はない。

いずれにしても、光路評はライン１ｇに沿いライン１．
に直交して延在しているとみなＴことが出嶌来る。

製品１０がリードｎだけを有しリード誹を有していない
場合には、光学系３０は「平行−がり」の検査のため光
源Ｊコとセンサ３６だけを含んでいれ！よい。

リードコダをも有している場合には、光学系ＪＯに、第
４図に示すように、ラインＩ怠に沿う方向従ってライン
ｊ１に直交する方向の光路りを通る光ビームを発生する
光源３ｔを左側ｌｆに含ませる。右側にには七ンサダコ
を設は光源３１から光路侵を経る光与ビームを検出する
。第７図−から明らかなように、光□源Ｊコの場合と同
じ理由で光源Ｊｆを製品１０に対して位置レベルを上げ
光路俊を通る光ビームが右側ＸからのびているリードＪ
４’に対してのみ交差するようになす。従って、センサ
４ｔコはこのリードーダの「平行−がり」の情報を有し
た出力データのみを生ずること明らかである。

製品１０のリードｎ、コダが「平行−がり」だけを有す
る場合には、前述した光源ＪＪ、ＪＫ及びセンサｊ６，
４！コだけ品質制御すなわち品質管理に必要となる。し
かしながら、既に説明した通り、これらリードＪＪ、Ｊ
ダは「上反り曲がり」や「組合わせ曲がり」費受けてい
るので、この光学系３０に、「組合わ曽曲がり」の情報
を有するデータを提供する光学成分を追加して設け、こ
れより「上及り曲がり」の情報をｌｌＩ出Ｔるようにす
ることが出来る。

時に、第を図及び第を図に示すように、第６図及び第？
図に示す光学成分に追加して、光学系ＪＯに製品１０の
右側にに光路抑を通る光ビームを生ずる光源件と、右−
／１にはこの光路ダ４の光を検出するセンナｑとを設け
る。第を図かられかるように、光路４はラインｊ１すな
わち「平行−がり」に対しある角度をなしていると共に
ラインｌ！Ｔなわち「上反り曲がり」に対してもある角
度なもっている・−例としてそれぞれの角度の最適値を
釘とするεとが出来る。第を図かられかるように、光Ｉ
！邦管製品１０に対し値かに持ち上げて光路ダ６が左側
１ｇからのびそいるリード−のみに交差するようにする
。このようにすると、後述するように、セン？４＃はリ
ード〃の「組合わせ曲がり」の情報を有する出力データ
を提供することとなる。

製品１０はまたリードコダを有しているので、左側／１
には光路３−を通る光ビームを生ずる光源３０を設け、
右側〃にはこの光路５コの光ビームを検出するセンサ評
を設ける。第１図から明らかなように、光路まコは「平
行−がり」すなわちラインｊ１とある角度をなし、かつ
「上反り曲がり」すなわちラインＩ２とある角度をなし
ている。第９図かられかるよう性１光源３０の位置を製
品１０に対して僅かに持ち上げ、光路３２が右側〃から
のびているり一ドＪに対してのみ交差するようになＴ０
前と同じ理由で、光源仰と！０の位置を僅かに持ち上げ
る。

本発明の原理によれば種々の光学技術を用いてリードー
コ又は評の整列状態を検査するための、特に、リード間
のすきま距離を検出するためのデータを求めることが出
来る。光学系ＪＯはその一実施例であり、各リードの微
小領域すなわち点のみを光学的に検査してこれら目的の
ための十分なデータを求める必要があるということに一
部分基づいて成されたものである。この実施例は第６図
から露ｔｇ亥でに示す例であって、これら実施例では光
１ＩＪＩ、　ｕ、　４！Ａ、　ｊＡはリードｕ、、２Ｆ
とそれぞれの微小点’　＊　ｅ　Ｐ　冨ｔ　ＰＳ　ｅ　
Ｐ　４において交差している。

好盲しくは点Ｐｉ−Ｐ４を並べられたリードＪ、２．Ｊ
ｌの上端から下端までの距離の約’／ｇ〜ｌ／ダのとこ
ろとするのがよい。このような点Ｐｌ−Ｐ４だけを検査
すルノテ、各党ｆｉ、７．２．　Ｊｔ、　４Ｌ４！、　
！Ｏヲ、Ｍ　ｉ　ｊｆ赤外光な発生する点光源とし得、
各センサ３４，４４コ。

付、評をこの赤外光を検出するフォトトランジスタのよ
うな単一の光検出器とすることが出来る。

図示せずも、光学系の他の実施例では、各点光ｉ［ＪＪ
、　Ｉｇ、　４Ｉ４Ｉ、旬を用いる代わりに、例えば、
リードＪＪ、コダ全体と交差するように光を制御出来る
光ｉＩ管用いるこ′とも出来るし、各章−の光検出器の
代わりに、直線状の７オトダイオードアレイを用いるこ
とが出来る。このような光源をレーザとすることが出来
る。製品ｉｏはこの他方の光学系に対し動かすことが出
来るので、直線状フォトダイオードアレイは各リード全
体ト対応するデータを出力することが出来る。

光学系の他の実施例では、製品１０を固定させておき１
リードエのようなリードの列全体を照射Ｔる光源を光学
系に含ませてもよい。この光学系ではセンナを全てのリ
ードの「画像」を電子的に走査するＴＶカメラとしても
よい。

注意すべきことは、上述した全ての光学系においては、
各リードの少なくともＰＩ−Ｐ４の点の光学データを求
める。各リードに対しｐｌ−ｐ４の点のみの光学データ
を得る１つの利点は後述するように電子処理されるデー
タ量を最小限に押えることが出来るということである。

さらに、赤外点光源及び単一フォトトランジスタはレー
ザとか１−Ｉ［線状フォトダイオードアレイとかＴＶカ
メラとかいった検出器よりも安価である。

第１０＠はこれまで説明した光学系Ｊ０の各光学成分を
組合わせた位置関係の一例を示ＴＩＩｍである。

リード整列状態の検出のため、光学系３０にさらに追加
して本体／Ｊを横切ってのみかつこれと交差する光路３
ｔを通る光ビームを生ずる光源！４と、この光路ｊｔを
通る光ビームを検出するセンサ６０と管設ける・さらに
、本体１２を横切りこれと交差する光１１＃費遣る光ビ
ームを発生する別の光ｍ４コと、この光ビームを検出す
る七ンｔ　Ａ＆とｅ設ける・ ｗｉｔａｍからも明らかなように、この光路ｓｉｔは製
品１０の移動方向に見て光１６Ｊダ、旬、軸、！−の前
側すなわち前方にあり、他方光路綽はこれら光＠ｓ、　
餐、Ｎ、を−の後側すなわち後方にある。

光ｉ１　ｊＡ及び−を所定距■Ｄ例えばｚ、ｔｙｔ　Ｃ
１ｌ　（＝ｊインチ）で離間させ、十ンｔｕ、＋４によ
って前ｊｌＩ−１−が光路Ｕ１杯をそれぞれ横切る瞬時
を検出する・後述するように、センサ４０，４４の出力
デー＃な用いて、製品１０の平均速度を考慮することに
よって、各リードエ、屏の、基準点すなわち前ＩＩＩ部
ｌ亭に対する間隔を検出する。

＠　ｔｉ　ｇは光学系Ｊｏ用の独立完備したモジュール
４ｔを示す。このモジュールＵはハウジングク０とケー
ブルコネクタクダとを有し、釡つジングには矢印の方向
に製品１０を移動可能としたチャンネルな亨しているｅ
ｌｌｌ／／ＩＩ及び第１Ｊ図に示すように、このハウジ
ングクＯのチャンネルグーの左側の側部７乙には回路基
板例えばプリント配線基板りｔを、その謹固定用ビンｊ
Ｊを通して上下のブラケットｔりにそれぞれ固定して、
取り付ける・このプリント配線基板の上側にはガラス板
Ｓ４を延在させて設ける。ハウジング７０のチャンネル
７コの右側の側部り６′にも同様な構成成分を設ける（
図示せず）。

第７３図はプリント配線基板りｔに一体化した光学系Ｊ
Ｏの一部分を示す。仮想線は矢印の方向にチャンネルグ
ーに沿って製品ＩＯが移動する状態を示す・この基板は
、第１０図にも示すように、センサＶ、センサＪ４、光
源ＪＫ、光源ｊＯ，センサ何及びセンナ６６を順次に有
している。この基板のチャンネルグーの右側に図示せず
も第１０図に示すような光源！６、光源Ｊコ、センサダ
コ、光源仰、センサ脚及び光源４コを順次に有している
。

第７３図にはさらに列のセンサ１１をセンサＶの下側に
設ける。カバーコと整列したセンサＵと、ベース潟と整
列したセンサｉｔとを組合わせて用いて第１図及び第１
Ｊ図に示すようなオフセッシに関するデータを取り出す
ようにする。図示していないが、さらに列の光源と光路
とを第１０図に示す光源ｊ番と光路３ｔの直ぐ下側に設
ける。第１３図に示すように、カパーコはベース４から
オフセットすなわちずれを生じているので、製品ＩＯが
モジュール６を管通過する時、カバーが第１０図に示す
光路２１を横切る時刻はペースがこの光路！Ｉの直下に
ある図示されていない光路を横切る時刻とは相違する・
従って１センｖｕ、ｉｔのうちの一方からの出力データ
は他方の出力データに対し遅延しており、この遅延時間
がオフセット量を表わすこととなる。

プリン）配線基板をそれぞれ保持する側部り６及びクシ
間のスペースすなわち距離はモジュール６を毎に異なる
であろう。このスペースは所定のパッケージｉｏの幅に
依存している。その理由はどノヨうな輻のパッケージに
対しても各光路がリードの同一点ｐｉ−ｐ４と交熱する
ようにするためである。パッケージの輻が広くなるに従
って、スペース幅も広くなる。モジュールのこのスペー
ス幅を変えることにより、全てのモジュールに対し同一
のプリント配線基板を使用することが出来る。

第７４１図は製品１０のリードｎ及びリードコダの内側
間隔従ってこれらリードの整列状態を検出するための電
子光学系９０を示す線図である。この系デＯにつき光学
系３０を用いて説明するが、上述した他の光学系を用い
てこの内側間隔を検出するデータを得ることが出来る。

プ田ツク図に示すように、電子光学系９０は光源３コ、
　Ｊｌ、　Ｑｌｌ、　１０．　！＆　、　Ａコ及び図示
していないが光源ｊ６の下側の光源にそれぞれ対応する
り個の光源デーと、光路３ＩＩ、卯、４１Ａ、ｊコ、ｓ
ａｔ、評及び光路！ｔの下側の図示されていない光路に
それぞれ対応するり個の光路９１Ｉと、センサ３４．ｌ
ＩＪ。

４１ｆ、　１４’、　ｕ、　４４　、　Ｉｔにそれぞれ
対応する７個のセンサ９６とを含む。センサデ６の出力
データを７個のそれぞれの出力線１ｇにパルス波形信号
として生じ、これらパルス波形信号の限界値をそれぞれ
の限界値検出器１０ｏによって検出する。出力線１１に
現われた各パルス波形信号が限界値検出器／＃に駿足し
た限界値を越えると、第１ｊ図に示すような７個の矩形
パルス波形信号を生ずる。

１１／ｊｌｌに示すパルス波形信号ｗ６ｏはセン−を−
からの出力データに対応する。パルス波形信号Ｗｌｌは
センｔＵの出力データに対応し、　Ｗ３・はセンサＪ４
からの出力データに対応し、ｗ４！はセンサダーからの
出力データに対応し、ｗ４＄はセンナ何からの出力デー
タに対応し、ＷＳ２はセンサ脚からの出方データに、Ｗ
６・はセンナ４６からの出力データにそれヤれ対応する
。第１ｊＷＩｌに奥義で示した全てのパルス波形はり−
ドｎ及び−ダが整列しかつカバーコとベース謳とが正確
に整列している製品１０を表わしている０図中破線はリ
ードエ、邸の曲がりと、カバーコ及びベース１間のオフ
セットを説明するための輪である。

信号Ｗ・０の前縁Ｅ１は・カパーコの前端部／４１が光
路ａｔを横切って遮断する時に生ずる。重た信号Ｗ軸の
前縁Ｅｌはベース潟の前端部７１＋が光路！ｔの下側の
光路を横切って遮断する時生ずる・。前線Ｅｌに対し信
号ＷａＳの破線で示す前縁Ｅ２はカバーＸがペース易に
対しオフセットしていることを表わす情報である。実線
で示す整列した前縁Ｅ１及び′Ｅ２はカバー３とベース
コロとがオフセットしていないことを表わす情報である
〇 信号Ｗ６６の前縁Ｅ３は前端部／＋が光路綽を横切る時
に生ずる。後述するように、前縁Ｅ１及びＥｌの発生の
間の時間間隔を用いて光学系３０を通る製品１０の速度
すなわち速さを検出する。特に指示しなければ、この製
品１０は一定速度で移動しているとみなす。前縁Ｅ１は
前端部／４（に対応しているので、この前縁に、を基準
に用いリード二またはコｌのそれぞれの間の内側間隔を
検出する。

信号Ｗｓ６はリード、２．１−　／　ＮＪＪ−、にそれ
ぞれ対応する前縁・１〜・１を有している・これら前縁
・１〜・、はそれぞれのリード一−／　Ｎｇ−ｎがム路
Ｊ亭を横切って遮断する時に生じ、これら前縁・１〜・
、の相互間時間距離が等しいと、そのことは１個以上の
リード−のいずれにも「平行面がり」が生じていないと
いう情報を提供する。図に破線で示すように、リード一
−ダに対応する前縁・４′が前縁＠３に接近していると
、リードニーダが前方に「平行面がり」を生じている情
報を与える。

１１１Ｗ４怠はり−ド評−７Ｎ評−カにそれツレ対応す
る複数個の前縁・１〜・、を有している◎この信号Ｗ４
！の各前縁・１〜・１はそれぞれのリードーダーｌ〜謳
−墓が光路侵を横切って遮断する時に生ずる。これら前
縁＠　ｌ　”’　＠ユは互いに等間隔であるので、リー
ド邸のいずれにも「平行面がり」が生じていないという
情報を与える。

さらに、信号Ｗ４１１はリード一−／〜−−亀にそれで
れ対応する複数個の前縁・１〜・アを有している。これ
ら各前縁・１〜・１はそれぞれのリードｎ−／〜ｎ−ｎ
が光路ダ６を横切る時に生ずる・これら前縁・ｌ−＠３
は互いに等間隔であるで、「組合わ１１ＩＮがり」が生
じていないという情報を与える。

この波形信号の破線で示す前縁ｅ４は前縁・３に接近し
ているので、リードｎ−亭が「組合わせ曲がり」、す生
じているかも知れないと、いう情報を与える・ 光路ダ６は前にも述べたようにある角度をもっているの
で、こシ「組合わせ曲がり」の情報だけでは「平行面が
り」の量や成分及び「上反り曲がり」の量や成分を表わ
せない。しかしながら、信号Ｗｓ＠の前縁・；と・３と
の間の距離から、「平、打曲がり」の成分についての情
報が得られる。この信号ｗ４Ｂの前縁・４と−３との間
の距離からこの「平行面がり」成分を差引いて、「上反
り曲がり」の成分を検出することが出来る。その差が０
である場合には、「平行面がり」のみが存在する。そめ
差が０よりも大きな数である場合には、この数に対応す
る「上反り曲がり」の成分が存在することとなる。

別の例として、信号Ｗ３＠が実線で゛示す前縁・４に対
応してリードニーダに対し「平行面がり」がないこと示
し、信号Ｗ４ｆｉの破線で示す前縁・；が「組合わせ曲
がり」があることを示す場合には、前述の減算は「上反
り曲がり」のみがあることを示Ｔ。

信号ｗ５４はリード２＄−／〜コｌ−ｎのそれぞれに対
応する複数個の前縁・１　ｘ　＠　、を有している。こ
の儒ｔＷｓａの各前縁・１〜・、はそれぞれのリードＪ
ｌｌｌ−１−Ｍ−輪が光路３コな横切って遮断する時に
生ずる。これら前縁・１〜・、は等間隔であるのでラー
ド非には「組合わせ曲がり」がないという情報な“与え
る。

電子光学系デ０は全体的に１０コで示すデータブ璽セツ
ヤを含んでいる。ディジタル信号プリプロ上９す／俤は
７個の線路１０４を経てり個のパルス波形信号Ｗｓｏ　
＊　Ｗａｓ　＃　Ｗｓｓ　ｅ　Ｗｕ　ｅ　Ｗ４ｓ　ｅ　
Ｗｓａ及びＷ＠４を受けこれらを組合わせ５個の線路ｌ
Ｏｒ上に＠　／４　ｇｌに示Ｔような５個の出力パルス
波形信号Ｗ１〜Ｗｉを抜き出Ｔ。

信号Ｗ１は信号Ｗ＠ｇ　ｋ　Ｗｂとの組合わせ波形信号
であり、この波形信号ＷＳが実線で示すようにパルスな
全く有していない場合には、信号Ｗ＠Ｏの前縁Ｅ１と信
号Ｗ・８の前縁１ｃ２とが一致していること従ってカバ
ーＸ及びペース易が正確に整列されていることを示す。

そうでない場合には、破線で示すようにパルスＰか生じ
、４このパ、ルスの一方の縁が例えば前縁Ｅ１に対応し
他方の縁、が例えば前線Ｅ！に対応し、カバーコとベー
ス易との間にオフセットがあることを示している・ 信号Ｗ、ｌは信号Ｗ６ｏとＷ３ｇとの組合わせであるが
これらを度板させている。この信号Ｗ２の参照符号は信
号Ｗ・Ｏｅ　Ｗ３ｇの前縁を表わす。他の信号ＷＢ　、
　Ｗ４　、　Ｗｓ及びＷｓについても同様である〇信号
Ｗ３は信号ＷｓＱ　、　ｗ４２の組合わせたものである
。また、信号Ｗ４は信号Ｗ＠Ｑ　、　ｗ４Ｂの組合わせ
であり、Ｗ！ＩはＷ＠０　、　Ｗｓ４の組合わせ又Ｗ＠
はＷｈｏ　。

Ｗ・６の組合わせである。これら６ＩＩの信号Ｗ１〜Ｗ
ｍ　ハブリブ璽セッサｌＣの図示されていない種々の論
理ゲートで論理演算を行なって生ずる。

データブ■セッサ１０−は６個の再トリガ可能なタイマ
／ＩＯを有していてそれぞれ信号ｗｌＮｗ＠の１つを受
は取る。これらタイ”ｑｒ　ｔｔｏを共通りリック／／
コによってクロック制御する。−例として信号Ｗ２に関
して説明すると、前縁Ｅ１が発生Ｔると１タイマ／１０
の１つによってり四ツク／／コから来るり四ツクパルス
を０の計数値から計数し始める。各前縁・ｌ〜・、が発
生するので、１つのタイマ／１０が前１１］ｃｘに対応
する前縁・１〜・、の発生時の累算的な時間に対応する
１４ビツシの数を出力する・次いで、後述Ｔるように製
品１０の速度は既知とし、各７６ビツトの数で与えられ
るこのタイミング情報を前縁・１〜・１と前縁Ｅ１との
間の距離又は換言すれば対応するり−ドエと基準前端部
／ダとの閏の距離を表わすデータに変換する。これら／
４ビットの数量の差はリードｎ間の内側間隔である・他
のタイマ／１０も信号に応答し同様な７６ビツトの数を
生ずる。信号ｗ１が実線で示すようにパルスな有してい
ない場合には、０に等しい７４ビツトの数がタイマ／１
０の１つから生じ、カパーコとベース謳のこの間にオフ
セットが生じていないこと管表わＴか、信号Ｗ！にパル
スＰがあると、このパルスＰの幅に対応する１６ビツ）
の数が生じてオフセットがあることを表わＴ６４個それ
ぞれの線路〃ヂにタイマ／１０から７６ビツトの数が出
力されるＯ マイク霞プ田セッ？／／６及び算術プ田七ツサ／／１は
後述するソフトウェアの制御１の下で線路／／４１で受
は取った１６ビツシデータを処理する０このデータから
リードｎ及び評間の内側距離の計算を行ない、その結果
一本以上のリードがメモリに記憶されている所定の許容
範囲以上の「平行−かり」又は「上反り曲がり」を受け
ていることが判った場合には、この製品１０を除外する
判定をしてこれを表わす制御信号を出力線路に生じる。

そうでなし１場合には製品１０の全てのリードが整列し
てしすると判定してこれを表わ丁別の制御信号を線路ｔ
Ｘに生ずる。許容範囲以上のオフセットに基づし）で製
品１０を除外すべきかどうか判定する際にも、信号Ｗ１
に応答して同様な判定を行なうことが出来る。

第１り図は独立完備モジエール４１と一緒に使用し得る
自動パッケージ取扱装置を示す線図で、この装置／ＪＪ
　を米国の力０７オルニア州のトリゴンインダス）リー
ズ（Ｔｒｌｇｏｎ　Ｉｎｄｗｓｔｒｌｅｓ　）社によっ
て製造されたモデル’１’　−ｘｔｏ〜ＸＸＯのような
数種のモデルのう−ちの一つとし得るがモジエールａｔ
　を収容するため僅かに変更して％Ｉ）る。このバラ苓
−ジ取扱装置１１は処理用樋状部／誹、チャンネル／Ｍ
　［−１ｉｉ制するレ−／ｌ／　／：ｕ及ヒフ−Ａ　／
３４１１ヲ介してプラケッ）ｌＪココ上回動自在に取付
けられた中心保持部ｉｓｏを有している。チャンネルク
コがチャンネルｔＸと整列するように、モジエール４１
１を樋状部／屏に支持する。自在出力装置ｌクコは３つ
の固定チャンネルｌ仰、７ダ４，１４１１を有し、これ
らは選別機構／３４の回動位置に応じてチャンネル／憎
と整列される。

パッケージ取扱装置ｌ−は重力付与装置であり、＠ｔｔ
ｙｔ１に示すように水平方向に対し０の角度で傾斜して
いる・パッケージ１０を、そのリード−０評を上方に向
け、中心保持部ｔＳＯをカパーコ上になして、チャンネ
ルｔＸに送り、然る後パッケージは重力によってモジュ
ールＵを通り選別機構／３６のチャンネル／卯に落ち込
む・次いで、電子光学系！０によって行なわれた判定に
基づき、選別機構／ＪＡを回動させてチャンネル１件、
　／４’４　、　／ダｔのうちの１つにパッケージ１０
を送り出す。パッケージ取扱装置／ＪＪは「シンダニレ
ータ（−量ｎｇｍｌａｔｏｒ　）Ｊと称する図示されて
いないシステムを有し、このシステムによって複数個の
パッケージ１０をチャンネルの上方部分に送給するか保
持可能ならしめるが、一時に一個のパッケージ１０のみ
をモジュール６１を通して処理可能とし得る。この処理
については第一図を参照して後述する。

第１１図はチャンネルｌＪｌ内にあるパッケージ／θを
示す線図である。レール／Ｊ４のｌｊｏで示すところを
成形していずれの特定のベース易の輪郭にも追従出来る
ようにする。この形状はパッケージＩＯがモジ゛ニール
６ｔを通って送られるときに矢印で示す方向にパッケー
ジＩＯが振動するのを防止して光学データの雑音を低減
するようになす。第Ｘ図はモジュール４ｔとレールｌコ
ロとの関係を詳細に示す図である。

リード」又はり−ドコダ間の内側間隔を計算するため１
タイマ／１０からの第１６図に示すタイミングデータを
マイク四プロセッサノ１６によって集める。

次いで、後述する理由のため、タイミングデータを、製
品１０が光学系３０を通り自由落下する際の加速効果に
対し、直線化処理し、次いで次式に従つて距離値に変換
する。

ｘｍｓＩＩ＋丁ｓｔｒｓｇ（Ｖｍ−Ａ（Ｔｍ−Ｔｅａｍ
））　　　　　　　　　　　　　　（１）ここにおいて
、 ＃■製品１０が落下する方向か水平方向となす第ｉｔ図
に示す傾斜角 ｇ”重力加速度 Ｘ、−光路ｎと杯との間の第１０図に示す所定の基準距
濡 ７　ｍ　ｗｍ−製品１０例えば前端部１４Ｉが基準距離
ｘｌを落下するための、波形信号Ｗ６のパルスＰ１によ
って表わされる時間 Ｖ！冨−品１０の平均速度 ｔｌｌｌ−第１１図に示Ｔ増分時間（経過時間）ｘ３Ｎ
経過時間ｔ３から求められる前端部／ｌからの各リード
の距離 一般の重力による自由落下の場合には、第一／図の流れ
図に示すような手続に従って第１４図によって示される
各時間事象に対し式（１）を解く。先ずプ冒ツタ／Ｉコ
に示す処理で定数ムを計算する。続いて、ブロックｌ評
で示す処理で平均速度−を計算し、続いてブロック／Ｓ
４で示す処理でレジスタ保持時間ＴＩＩＵＭを０にセッ
トする。

次に、ブロックｍで示す処理によって時間ｔ。

を時間〒８υＭに加えてブロック／４０で示す処理に示
す処理によって、記憶又は退避させる□。ブロック７杯
で示す判断によってデータが無い場合には、すなわち、
全てのリードが光学ｚ　ｓｏ　？ｉ−通過し終っている
場合には、プ豐グラムは流れ出て行く。さもなければ、
ライン／４＆を経る処理ループが形成されて別のリード
に対するＸ、の計算と記憶とが行なわれる。

各リードに対してのＸｎの可算と記憶とをワなうと一マ
イク胃プロセッサ／／４はソフトウェアの制御により他
のサブルー謔−介して十分なデータを送り「平行曲がり
」や「上反り曲がり」略が存在するかどうかを判定する
・従′下・例えＧ？・所定の許容範囲を越えたリードエ
の「平行曲がり」があるかどうかを検出するため、１本
のり−ドーに対する距離Ｘ１１を隣接するリード−に対
する距離ｘＩｌから減算出来る。その場合これらＸ、の
距離を信号Ｗ意から算出する。その場合、前述したよう
に、得られた差を蓄積されている許容範囲を表わす所定
のデータと比較することが出来る。

第１？図〜第３図に示すように、光学系３０特に七ジュ
ールＡｔを通り重力で落下する。従って、この重力の作
用により、製品１０は定加速を受けるので、後端部１４
近くのリードの速度は前端部ｌ＃近くのリードの速度よ
りも速くなる。この場合、リード間の間隔は同一間隔に
あること勿論である。従って、好重しくけソフトウェア
でこの加速を考慮してデータを直線化するのがよい。

さらに、本発明の原理は角度０を０とした場合、例えば
、製品１０がパッケージ取扱装置／ＪＪによってよりは
むしろ口承していない１コンベヤーベルトで既知の一定
速度でモジュール６ｔを移動する場合にも適用出来る。

このｈ谷、ム＝Ｏで式（１）′は簡単となり、゛メモリ
には既知の一定１速度め≠−タ゛を予め記憶させること
が出来る。

また、ディジタル信号プリプロセッサｍｌび第１ル図の
信号Ｗ１〜Ｗ５並びに第一１図のアルゴリズムにつき説
明したが、第７ｊ図に示す波形信号がリードｎ、コ亭の
内側間隔を検出するために必要な全てのデータを含んで
いる。従って、これら距離の決定に他のプリプ四セッサ
及び他のアルゴリズムを使用してもよい。

再び第１り図〜第〃図、特にｍｎ図を参照し、さらに前
−述したパッケージ取扱装置ノーの「シングエレータ」
を参照し、担当多数例えばｔｏ、ｏｏｏ　／時間積度の
量の製品を処理しかつ記憶Ｔる手続きにつき説明する。

−例として、出力装置ｌ亭コの中心チャンネル１４ｔ４
で良質の製品を受は取るようにし、サイドチャンネル／
Ｒによって品質の悪い修理可能な製品を受は取るように
し、サイドチャンネル７件によって修理できない悪い製
品１０を受けるようにすることが出来る。

普通は、複数個の製品をチャンネルｌコに送り、チャン
ネル／Ｍの上部近くにある［シングユレータ」のソレノ
イド作動停止手段でこの製品な保持する。崗、この停止
手段を第１？図に／４１で示す０重た第１？図に１７０
で示すように、下側部分に別のソレノイド作動停止手段
を設ける。この停止手段１４１かも次の製品１０ｆ放す
直前に、前の製品１０はモジ為−ル４１を通り重力落下
して停止手段／’１０のところで停止する。この前の製
品１０が良質のものである時は、゛選別機構／３４は第
ｉｔ８！！Ｉに示す位置に留重っでおり、この製品をチ
ャンネルｌダ６へ送る◎これがため、この製品をチャン
ネル／４Ｉ４に向けて停止手段ｉｔｏによって解放する
のは、次の製品１０がモジニー１ｔで処理するために停
止手段／Ａｔから解放されると同時とし得る。なぜなら
ば、選別機構を中心位置から動かすのに時間が掛らない
からである。前の製品の品質が良くない場合には、停止
手段／４１によって次の製品な解放する前には、選別機
構／３４　［’左右いずれかに動かして前の製品な遍Ｉ
ＩＬ続いて次の製品の受は取りを予想して中心位置に戻
すための時間が紹められるべきであるＳ−図に上述した
手続きを゛詳細に示す。多数の一列の製ｔｉｌｌ　１０
をチャンネル／Ｊｌに送り、ブロックｌ？−で示す処理
によって製品列のうちの次の、製品が停止手段／Ａｇに
よって保持され、その前の製品がモジュール４ｔによっ
て処理済みであるとする。

この次の製品はブロック／７１で示す処理によって「シ
ングユレート」される待期状態にある・停止手段１１０
にある前の製品がブロックノア６による判断によって良
質であるとされると、次の製品が停止手段／’１０によ
って解放され（ブロック１１ｇ　）及び前の製品が選別
される（ブロックｔｗｏ　）　ｏプロツク／９４の判断
によって、前の製品が良質でないと判定された場合及び
ブロック／ねの一判断によって前の製品が修理可能か不
可能か判定される場合には、選別機構／８をブロックｌ
ｔ＃に示す処理によって右のチャンネル１４＃八動かし
或いはブロック／１４に示す処理によって左のチャンネ
ル／４Ｉ４Ｉへ動かし、次いで、ブロックｌｔＩに示す
処理によって中心位置に戻す。次いで、次の製品をブロ
ック／ｌ。

に示す処理によって停止手段／Ａｔから解放してモジュ
ールＵに送り、よってブロック／９−に示す処理によっ
てデータを求め、ブロック１９ダに示す処理でリード間
隔を計算し、続いてブロック／９＆に示す処理でこれら
求められた距離と記憶されている許容範囲とを比較する
。その後、プログラムはライン／９１を経て繰返され、
ブロック／’／４４に示す蛤曹によって別の製品な停止
手段ｔ４ｔにおいて「シンダ為レート」する。

本発明は上述した実施例にのみ限定されるものではなく
、本発明の範囲内での多くの変更又は変ｗｅ行ない得る
こと明らかである。

【図面の簡単な説明】

嬉／ｗＪは完成パッケージの一例を示す斜視図、１１ａ
ｌｌｌｔｉ第１Ｗの一一一線に沿って示した側面図、第
ＪＷは第−ｌ！ｌのＪ−、？線に沿って示した端面図、
１ＩＩＩＩＩは第１ＩＩの完成パッケージを示す上面図
、＊ｚＷＪは完成パッケージの他の例を示す第一図と同
様な側面図、第ａＨは第１ｗＪに示すパッケージと共に
本発明の光学系の一部分を示す回路図的上ｍ５ｉｙ％第
り図はｓ４ｇの？−７線に沿う端間図、第Ｓ図は第１図
に示すパッケージと共に本発明の光学系の他の部分を示
す略図的上面図、第９図は第を図のデーｔｉＩに沿う端
面閾、第７θ図は第１図に示すパッケージと共に本発明
の光学系全体を示す上面図、第１／図は本発明の完全独
立のモジュールを示す斜視図、第１コ図は第１／図のｌ
−一７−線に沿って取って示した断面図、第１Ｊ図は第
７−図の／、７−ｔ３＠に沿って取って示した断面図、
第７４１図は本発明の電子光学系を示すブロック線図、
第１ｊ図は本発明の説明に使用する７個のパルス波形を
示す線図、第１４図は本発明の説明に使用Ｔる３個のパ
ルス波形を示す線図、第１り図は本発明のパッケージ保
持具を示す上面図、第１１図は第１？図の／１−　／１
線に沿う端面図、第７９図は第７７図の／９−　／９　
＠に沿って取って示した断面図、第３図は第１り図のＪ
−１線に囲まれた部分のパッケージ保持具を示す正面図
、第一／図は本発明のアルゴリズムを説明するための流
れ図、及び第一図は本発明の他のアルゴリズムを説明す
るための他の流れ図である。 １０・・・製品（又はパッケージ）、 １２・・・物体、 ｌダ・・・前端部、 ／４・・・後端部、 ｎ・・・左側部、 Ｘ・・・右側部、 ＪＪ、ＪＪ−／〜ｕ−ｎ　、７．ＪＦ−／　〜２０−ｎ
　・・・リード、謳・・・ベース、 １・・・カバー、 Ｘ・・・光学系、 １２、ＪＪ、邦、＃、ｊ４．≦コ、９２・・・光源（又
は光ビーム発生手段又は光源手段）、 評、＃、侘、！コ、杯、！＃・・・光路、ム、　Ｕ　、
　ｆｌ　、　ｊ４Ｅ　、　４０　、４４　、　Ｉｔ　、
　９４・・・センナ（又は検出手段）、 ４１・・・モジュール、 ７０・・・ハウジング、 ７Ｊ　、　／Ｊｔ　、　／杯、　／＄４　、１４Ｉｔ・
・・チャンネル、フ参・・・ケーブルコネクタ、 ７４・・・左側側部、 ７１′・・・右側側部、 ７１・・・回路基板（又はプリント配線基板）、ｔｏ・
・・穴、 Ｉコ・・・ビン、 １４１・・・ブラケット、 ｔ６・・・ガラス板、 デＯ・・・電子光学系、 デｔ・・・出力線、 １００・・・限界値検出器、 １０コ・・・データプロセッサ、 ｌ岬・・・プリプロセッサ、 ／ＤＡ　、　／ａｔ　、　Ｉ／ダ・・・線路、Ｉｌｏ・
・・タイマ、 ／ｌｌコクセツク、 ／／Ａ…マイクロブ四セッサ、 ／／１・・・算術プロセッサ、 ｌ勿・・・出力線路、 ／ＪＪ・・・自動パッケージ取扱装置、／Ａｌｌ・・・
樋状部、 ／２４　、　１３ｇ・・・レール、 ／ＪＤ・・・保持部、 ｉ、ｙコ・・・ブラケット、 ／み・・・アーム、 ＩＪ＆・・・選別機構、 ／４Ｉコ・・・自在出力装置、 １４ｇ　、　／９０・・・停止手段。 特許比　願人　　　　シナ→プシ目ン　インコーボレー
テッド図面の １７１阻内容に変更なし〕 −７１− Ｃり 派 手続補正書（方式） 昭和Ｓｔ年／１月２日 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １、事件の表示 勢履ＷｓＳり一／Ｊ亭？ｔＪ号 ２」１の名称 ９−Ｆ整列状態検査装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　　　　ｑＩＩＷＩｆ出願人シナーセ
プシ曹ン　インコーぽレーテッド７、補正の内容（１）
別紙の選り

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ／）有軸物体から延びていて、該軸と平行な第一ライン
   に沿う曲がり又は該第−ラインに直交する第ニラインに
   沿う曲がり或いは前記第整列状態を検査する装置におい
   て： １）前記第ニラインに沿う第一光路を通り前記リードと
   交差するような第−光ビームを生ずるための第−光ビー
   ム発生手段； ｂ）前記第−光ビームを検出するための第一検出手段； Ｃ）前記第一ライン及び第二°フィンとある角度をなし
   ている第二光路を通り前記リードと交差するよ６な第二
   光ビームを生ずるための第二光ビーム発生手段；及び ４）前記第二光ビームを検出するための第二検出手段 を具えることを特徴とするリード整列状態検査装置。 −）　前記第−光ビーム発生手段は第一光源を具えるこ
   とを特徴とする特許請求の範Ｈ７記載の装置。 Ｊ）前記第二光ビーム発生手段は第二光源を具えること
   を特徴とする特許請求の範１１Ｊ記載の装置。 亭）　前記第−及び第二検出手段は光検出器を夫々具え
   ていることを特徴とする特許請求の範ＨＪ記載の装置。 り最適条件として前記角度を第−及び第ニラインに対し
   ４１１ｊ’とすることを特徴とする特許請求の範囲ｌ記
   載の装置。 ４）有軸物体から複数本の第−及び第二リードが延びて
   おり、前記物体の第一側部に前記第一リードが位置し及
   び第二側部に前記第二す−ドが位置しており、前記軸と
   平行な第一ラインに沿う曲がり又は該第−ラインに直交
   する第ニラインに沿う曲がり或いは前記第一ラインに沿
   う曲がり成分及び第ニラインに沿う曲がり成分を組合わ
   せた曲がりを有する一本以上の第−及び第二リードの整
   列状態を検査する装置において： ａ）前記第ニラインに沿う第一光路を進み前記第一リー
   ドのみと交差するような第一光′ビームを生ずるための
   第一光ビーム発生手段； ｂ）　　前記第一光ビームを検出するための第一検出手
   段； ｅ）　前記第ニラインに沿う第゛＝光路を進み前記第二
   リードのみと交差するような第二光ビームを生ずるため
   の第二光ビーム発生手段； ｄ）前記第二光ビームを検出するための第二検出手段； ・）前記第−及び第ニラインとある角度をなした第三光
   路を進み前記第一リードのみと交差するような第三光ビ
   ームを生ずるための第三光ビーム発生手段； ｔ）前記第三光ビームを検出するための第三検出手段； ｇ）　前記第−及び第ニラインとある角度をなした第四
   光路な進み前記第二リードのみと交差するような第四光
   ビームを生ずるための第四光、ビーム発生手段；及び ｈ）前記第四光ビームを検出するための第四検出手段 全員えることを特徴とするリード整列状態検査装電。 り）前記物体は前端部を有しており、さらにａ）前記第
   一〜第四光路の前方にあって前記前端部を横切る方向に
   延在してこれと交差出来る第五光路を進むようになした
   第五光ビームを生ずるための第五光ビーム発生手段： ｂ）前記第五光ビームを検出するための第五検出手段； Ｃ）前記第一〜第四光路の後方の前記第五光路から所定
   距離のところにあって＠１前端部を横切る方向に延在し
   てこれと交差出来る第六光路を進むようになした第六光
   ビームを生ずるための第六光ビーム発生手段；及び ｄ）　　ＩＩｆｆＥ１１大光ビームを検光ビームめの第
   一検出手段 を具えることを特徴とする特＊Ｕ求の範Ｎ４記載の装置
   。 ｔ）前記物体はカバー及びベースを有し、前記第一リー
   ド及び第二リードを前記ベース上に該ベースとカバーと
   の間で支持し及び前記ベース及びカバーが相対的にずれ
   て整列されている場合には、 ａ）前記カバーを横切る°方向に延在しがっこれと交差
   出来る第五光路を進むような第五光ビームを生ずるため
   の第五光ビーム発生手段； ｂ）前記第五光ビームを検出するための第五検出手段； ＠）前記ベースを横切る方向に延在しかつこれと交差出
   来る第六光路を進むような第六光ビームを生ずるための
   第六光ビーム発生手段；及び ｄ）前記第六光ビームを検出Ｔるための第六検出手段 を具えることを特徴とする特許請求の範Ｈ４記稜の装置
   。 ９）有軸物体から複数本の第−及び第二リードが誕びて
   おり、前記物体の第一側部に前記第一リードが位置し及
   び第二側部に前記第二リードが位置しており、前記軸と
   平行な第一ラインに沿う曲がり又は該第−ラインに直交
   する第ニラインに沿う曲がり或いは前記第一ラインに沿
   う曲がり成分及び第ニラインに沿う曲がり成分を組合わ
   せた曲がりを有する一本以上の第−及び第二リードの整
   列状態を検査するための独立完備のモジュールにおいて
   ：ａ）前記物体が移動出来るチャンネルを画成する第一
   側部と該第−側部から離間した第二側部上を有するハウ
   ジング； ｂ）リード整列データを発生するための光学手段を有す
   る第−及び第二回路基板； Ｃ）前記ハウジングの前記第一側部上に前記第一回路基
   板を支持Ｔるための第一支持手段；及び ｄ）前記ハウジングの前記第二側部上に前記第二回路基
   板を支持するための第二支持手段 を具える独立完備モジュール。 １０）　　前記第−及び第二回路基板はそれぞれ複数個
   の整列穴を含み、前記第−及び第二支持手段はそれぞれ
   前記整列穴を受ける複数個の整列ピンを含むことを特徴
   とする特許請求の範ＷＩ９記載の独立完備モジュール。 ／／）２前記ハウジングの第一側部上の前記第一支持手
   段に支持された前記第一回路基板と、前記ハウジングの
   第二側部上の前記第二支持手段に支持された前記第二回
   路基板との間隔を前記物体の大きさに対して予め定めて
   おくことを特徴とする特許請求の範囲！記載の独立完備
   モジュール。 ｌコ）前記光学手段はリード整列データを発生し：さら
   に ａ）前記第二回路基板に支持され、前記第ニラインに沿
   う第一光路を進みかつ前記第一リードのみと交差するよ
   うな第一光ビームを生ずる第一光ビーム発生手段； １１）　　前記第一回路基板に支持され前記第一光ビー
   ムを検出するための第一検出手段；・）前記第一回路基
   板に支持され、前記第ニラインに沿う第二光路を進みか
   つ前記第二リードのみと交差するような第二光ビームな
   生ずるための第二光ビーム発生手段；−）　前記第二回
   路基板に支持され前記第二光ビームを検出するための第
   二検出手段；・）前記第二回路基板に支持され、前記第
   −及び第ニラインとある角度をなした第三光路を進みか
   つ前記第一リードのみと交差Ｔるような第三光ビームを
   生ずるための第三光ビーム発生手段； ｆ）前記第一回路基板に支持され前記第一光ビームを検
   出するための第三検出子°段；ｇ）前記第一回路手段に
   支持され、第−及び第二ツインとある角度をなした第四
   光路を進みかつ前記第二リードのみと交差するような第
   四光ビームを生ずるための第四光ビーム発生手段；及び ｈ）前記第二回路手段に支持され前記第四光ビームを検
   出するための第四検出手段 を具えることを特徴とする独立完備モジュールＯ ／Ｊ）　　前記物体は前端部な有し、さらに前記光学　
   　一手段は ａ）前記第一〜第四光路の前方にあって前記前端部な横
   切る方向に延在してこれと交差出来る第五光路を進むよ
   うになした第五光ビームを生ずるための第五光ビーム発
   生手段； １）　前記第五光ビームを検出するための第五検出手段
   ； Ｃ）　前記第一〜第四光路の後方の前記第五光路から所
   定距離のところにあって前記前端部な横切る方向に延在
   してこれと交差出来る第六光路を進むような第六光ビー
   ムを生ずるための第六光ビーム先主季遣；及び−）前記
   ゛第六光ビームを検出Ｔるための第六検出手段 管具えることを特徴とする特許請求の範囲／Ｊ記記載独
   立完備モジュール。 ｌり）前記物体はカバー及びベースを有し、前記第一リ
   ード及び第二リードを前記ベース上に酸ペースとカバー
   との間で支持し及び前記ベース及びカバーが相対的にず
   れて整列されている場合には、 ａ）　前記カバーを横切る方向に延在しかつこれと交差
   出来る第五光路を進むような第五光ビームを生ずるため
   の第五光ビーム発生手段； ｂ）前記第五光ビームを検出するための第五検出手段； Ｃ）前記ベースを横切る方向に延在しかつこれと交差出
   来る第六光路な進むような第六光ビームを生ずるための
   第六光ビーム発生手段；及び ｄ）前記第六光ビームを検出するための第六検出手段 を具えることを特徴とする特許請求の範囲ｌコ記載の独
   立完備モジュール。 ｔＳ）　　物体上に互いに離間配置された＊を個のリー
   ドの整列状態を検査Ｔる装置において：鼻）前記リード
   間の間隔の情報【有するデータを生ずる光学手段；及び ｂ）前記データに応答し前記リード間の間隔を決定する
   データ処理手段 を具えることを特徴とするリード整列状態検査装置・ ノ４）前記光学手段は前記リード上の一点に対応するデ
   ータを生ずることを特徴とする特許請求の範＠ｔｓ記載
   の装置。 Ｉり）　前記光学手段はそれｆれのリード上の単一点に
   対応Ｔるデー＃な生ずること管特徴とする特許請求の範
   ＠１２＠職の装置。 ／ｆ）　　前記光学手段は ａ）前記リードと交差する光路な進む光ビームを生ずる
   ための光ビーム発生手段；及びｂ）前記光ビームを検出
   し該検出光ビームに応答してデータを出方させるための
   検ｍ手段 を具えることを特徴とする特許請求の範Ｉ！ｌｊ記載の
   装置。 ／９）　　前記検出手段から出方されたデータをパルス
   波形信号とし、該パルス波形信号の各パルスは前記リー
   ドの一つと対応することを特徴とする特許請求の範囲１
   ９記載の装置。 〃）　前記データ処理手段は前記パルス波形信号のパル
   スに応答して前記リード間の距離を算出する算出手段を
   具えることを特徴とする特許請求の範囲１９記載の装置
   。 Ｊ／）　　前記物体は前記光ビーム発生手段及び検出手
   段に対し移動出来ると共に前記算出手段は烏）前記ハル
   ス間の時間を表わ丁タイミングデータを発生Ｔるタイミ
   ングデータ発生手段；及び ｂ）前記タイミングデータな前記リード間の距離を表わ
   す距離データに変換するための変換手段を具えることを
   特徴とする特許請求の範Ｈ〃記載の装置。 −）　前記物体は軸を有し、前記リードは該軸と平行な
   第一ラインに沿う曲がり、又は＊Ｓ−ラインに直交する
   第ニラインに沿う曲がり或いは前記第一ラインに沿う曲
   がり成分及び−二ラインに沿う曲が、り成分を組合わせ
   た曲がりを有している場合に、前記光学手段は＠）前記
   第ニラインに沿う第一光路を進み前記リードの各々と安
   着するような第−光ビーームを生ずる第−光ビーム発生
   手段； ｂ）該第−光ビームを検出し前記第一ラインに沿う方向
   の前記リード間の間隔の情報を有する第一出力データを
   生ずるための第一検出手段； Ｃ）　前記第−及び第ニラインとある角度をなした第二
   光路を進み前記リード七交差するような第二光ビームを
   生ずるための第二光ビーム発生手段： ｄ）　＊第二光ビームを検出し前記第−及び第ニライン
   に沿う方向の前記リード間の間隔の組合わせ情報を有す
   る第一出力データを生ずるための第二検出手段 を具えることを特徴とする特許請求の＠　＠　１２記載
   の装置。 ＪＪ）　　前記データ処理手段は ａ）前記第一出力データに応答して前、記第−ラインに
   沿う方向の前記リード間距離を決定する第一決定手段；
   及び ｂ）　　＃ｌＪ！−出カデータカデータ出力データに応
   答して前記第二ティンに沿う方向のリード間距離を決定
   する第二決定手段 を具えることを特徴とする特許請求の範Ｗ１一記載の装
   置。 μ）前記第二決定手段は前記第二出力データの情報から
   前記第一出力データの情報を減算するための減算手段を
   具えることを特徴とする特許請求の範ＷｉｌＪ記載の装
   置。 コ）軸と、第一端部と、第一リードが位１１ｔＴる第一
   側部と〜第二り・−ドが位置する第二側部とを有する物
   体から複数個の互いに離間した前記第一リードと複数個
   の互いに離間した前記第二リードとが延在しており、前
   記第一及直交する第ニラインに沿う上反り曲がり或いは
   前記第一ラインに沿う平行曲がり成分及び前記第ニライ
   ンに沿う上反り曲がり成分の組合わせ曲がりを有する少
   なくとも一本の第一・及び第二リードの整列状態を検査
   Ｔる装置において： ａ）物体を移動゛させるための移動手段；ｂ）前記第一
   ティンに沿う方向の前記第一リードの平行曲がり及び前
   記第二リードの平行曲がりの情報を有する第一データを
   発生すると共に、前記第−及び第ニラインに沿う方向の
   前記第一リードの組合わせ曲がり及び前記第二リードの
   組合わせ曲がりの情報を有Ｔる第二データな発生するた
   めの光学手段であって該光学手段に対し前記物体が移動
   出来るようになされた当該光学手段；及び Ｃ）前記第一データに応答して、前記第一ラインに沿う
   方向の前記第一リードの平行曲がり及び第二リードの平
   行曲がりを検出すると共に、前記第−及び第二データに
   応答して、前記第ニラインに沿う方向の前記第一リード
   の上反り曲がり及び前記第二り−ドの上反り曲がりを検
   出するためのデータ処理手段 を具えることを特徴とするリード整列状態検査装置。 ム）前記移動手段は前記物体を前記光学手段を横切る方
   向に向ける重力付与手段を具えることを特徴とする特許
   請求の範１１Ｊｊ記職の、装置＠コク）前記光学手段は ａ）前記第ニラインに沿う第一光路を進み前記第一リー
   ドのみの一点と交差するような第一光ビームを生ずるた
   めの第一光源手段；ｂ）前記第一光ビームを検、出し前
   記第一ラインに沿う方向の前記第一リード間の間隔の情
   報を有する第一出力デ、−＃を生ずる第一検出手段； ｅ）前記第ニラインに沿う第二光路を進み前記第二リー
   ドのみの一点と交差するような第二光ビームを生ずるた
   めの第二光源手段；ｄ）前記第二光ビ、−五を検出し前
   記第一ラ、インに沿う方向の前記第二リード間の間隔の
   情報を有する第二出力データーを生ずるための第二検出
   手段； ・）前記第−及び第ニラインとある角度をなした第三光
   路を進み前記第一リードのみの一点と交差するような第
   三光ビームを生ずるための第三光源手段； ｆ）　前記第三光ビームを検出し前記第−及び第ニライ
   ンに沿う方向の前記第一ツイン間の間隔の組合わせ情報
   を有する第三出力データを生ずるための第三検出手段； ぎ）　前記第−及び第ニラインとある角度をなした第四
   光路を進み前記第二リードのみの一点と交差するような
   第四光ビームを生ず　　５るための第四光源手段； ｋ）前記第四光ビームを検出し前記第−及び　　。 第ニラインに沿う方向の前記第二リード間の間隔の組合
   わせ情報を有する第四出力データを生ずるための第四検
   出手段２； ｉ）前記第一〜第四光路の前方にあ手前端部な横切る方
   向に延在する第五光路な進み該前端部と交差するような
   第五光ビームを１　゛するための第五光源手段； ｊ）前記第五光ビームを検出し第五出力データを生ずる
   第五検出手段； ｋ）前記第一〜第四光路の後方にありかつ前記第五光路
   から所定距離のところにあって前記前端部を横切る方向
   に延在する第六光路を進み該前端部と交差するような第
   六光ビームを生ずるための第六光源手段； ｌ）前記第六光ビームを検出し第六出力データを生ずる
   ための第六検出手段 を具え、前記第五出力データ及び第六出力データは前記
   物体の速度情報を有していることを特徴とする特許請求
   の範１１ａｔ記載の装置φコ）前記物体は形状を有し、
   前−記移動手段は前記物体を案内するためのレールを具
   え、該レールは前記物体の形状に適合した形状を有する
   ことを特徴とする特許請求の範ＨＪｊ記載の装置。