JPH0338541Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ダストの排出を嫌う場所において使
用するのに適した２ポート電磁弁に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

半導体装置等に用いる２ポート電磁弁で、ウエ
ハに直接送給流体が接するような状態で使用する
電磁弁は、弁のオンオフにより発生するダストを
除去する必要がある。また、上記半導体装置ばか
りでなく、各種の分野においてダストの発生を抑
制した２ポート電磁弁が要求されている。

一般にダストは、物の衝突、摺動により発生
し、特に衝突よりも摺動の方が極端にその発生が
多くなる。そして、通常の電磁弁においては、可
動鉄心の摺動ばかりでなく、スプリングとそれを
受けるスプリング座の間等にも摺動部分があり、
これらの部分での金属ダストの発生を避けること
ができない。また、摺動部分に樹脂をコーテイン
グしても、樹脂のダストが多量に発生することに
なるため、問題の解決には至らない。

〔考案が解決しようとする問題点〕

本考案の目的は、上述したような摺動部分を持
たず、可動鉄心を構成する弁体が弁座に接離する
のみの動作で弁の開閉を行えるようにし、それに
よつてダストの発生を効果的に抑制した弁構造を
有する２ポート電磁弁を提供しようとするもので
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本考案の２ポート電
磁弁は、入口ポートから出口ポートに至る流路に
弁座を設けると共に、上記弁座に接離してそれを
開閉する弁体を設けた弁本体と、上記弁体を開閉
動作させる電磁操作部を備えた２ポート電磁弁に
おいて、上記弁体を、板状をなす磁極片を低発塵
材からなる可撓部材で被覆することにより構成
し、その可撓部材の弾性部により弁体を弁座に圧
接するための弾性を持たせると共に、その可撓部
材に設けた通孔により弁体両面の圧力を均等化し
て、該可撓部材の周縁支持部を弁本体に支持さ
せ、 上記電磁操作部においては、コイルを捲回した
コアーに上記弁体の磁極片に対面する磁極面を持
たせることによつて構成される。

〔作 用〕

２ポート電磁弁におけるコイルへの非通電状態
においては、弁体が可撓部材の弾性部によつて与
えられる弾力により弁座に着座し、弁体はその背
後に作用する流体圧力により弁座を封止してい
る。

コイルに通電すると、コアーが上記弾性部の力
に抗して弁体における磁極片を吸着し、それによ
つて弁座が開放される。

このような弁体の開閉に際し、上記２ポート電
磁弁には弁体の摺動部分やスプリング等の摺動部
分がなく、弁体が弁座に接離するに過ぎないた
め、ダストの発生が最少限に留められ、その排出
が抑制される。

〔実施例〕

第１図ないし第３図は、本考案の２ポート電磁
弁の実施例を示している。

この２ポート電磁弁は、弁本体１と電磁操作部
２を備え、上記弁本体１には、入口ポート３、出
口ポート４、及びそれらの間の流路中に位置する
弁室５が設けられ、その弁室５に弁座６を開口さ
せている。

上記弁座６に接離してそれを開閉する弁体８
は、板状をなす磁極片９をテフロン（登録商標）
等の低発塵材からなる可撓部材１０で被覆するこ
とにより構成されている。この弁体８は、弁本体
１と電磁操作部２との間に介在せしめられるスト
ラプシール１１と、それに対向状態に設置された
弁座６との間に配設され、その可撓部材１０の周
縁支持部１２を弁室５の周囲において弁本体１と
電磁操作部２間に挟着することにより支持されて
おり、その周縁支持部１２と磁極片９の埋入部分
との間に、弁体８を弁座６に圧接するための弾性
を持たせた弾性部１３、及び可撓部材１０とスト
ラプシール１１との間に圧力流体を流入させて両
面の圧力を均等化するための通孔１４を設けてい
る。上記弾性部１３は、弁座６に対する弁体８の
当り面を一定にするためにも作用するものであ
る。また、弁体８が流体の圧力によりストラプシ
ール１１に対して圧接されて全面的に密接し、そ
の背後への流体の流入が制限されるのを防止する
ため、可撓部材１０におけるストラプシール１１
との対向面には、突条１５が設けられている。

一方、上記電磁操作部２は、弁本体１に対面す
る複数の磁極面２２を持つたコアー２１にコイル
２３を捲回し、それらに対して上記磁極面２２の
部分を除いた支持板２４を当接することにより構
成されている。この支持板２４は非磁性材料によ
り形成し、流体圧力によるストラプシール１１の
変形を防止するもので、上記ストラプシール１１
は、磁極面２２と磁極片９表面間の距離を小さく
するために薄膜状に形成するが、上記支持板２４
によりその変形が防止される。

第１図は、上記２ポート電磁弁におけるコイル
２３への非通電状態を示し、弁体８が可撓部材１
０の弾性部１３の弾力により弁座６に着座してい
る。この場合に、弁体８は、弁座６の開口面積
と、入口ポート３と出口ポート４の圧力差P₁−
P₂との積に相当する力により封止されている。

コイル２３に通電すると、コアー２１が磁極片
９を吸着し、それに伴つて弁体８がストラプシー
ル１１側に吸着されるので、弁座６が開放され
る。

このような弁体８の開閉に際し、上記２ポート
電磁弁には摺動部分がなく、即ち、通常の電磁弁
のような可動鉄心の摺動がないばかりでなく、ス
プリングとそれを受けるスプリング座の間等にお
ける摺動がなく、磁極片９に可撓部材１０を被着
した弁体８が弁座６とストラプシール１１とに交
互に当接するに過ぎないため、ダストの発生が最
少限に留められ、その排出が抑制される。この場
合に、一般的なダストの発生は、前述のように、
部材の衝突よりも摺動の方が極端に多くなるが、
上記２ポート電磁弁においては、摺動部分が全く
存在しないため、ダストの発生が著しく抑制され
る。

従つて、上記２ポート電磁弁は、半導体装置等
の、弁のオンオフにより発生するダストを抑制す
る必要がある各種分野において、有効に利用する
ことができる。

第２図及び第３図に示す実施例においては、平
面形状が矩形状の磁極片を持つた同様に矩形状の
弁体を用いているが、それらは第４図及び第５図
の実施例に示すように平面形状を円形に構成する
こともできる。この場合に、その平面形状は第２
図及び第３図の実施例と相違するが、各部の機
能、作用等は実質的に相違するところがないの
で、図中の同一または相当部分に同一の符号を付
してその説明を省略する。

〔考案の効果〕

このような本考案の２ポート電磁弁によれば、
弁本体内における弁開閉機構に摺動部分を持た
ず、可動鉄心を構成する弁体が弁座に接離するの
みの動作で弁の開閉を行うことができ、ダストの
発生を十分に抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の２ポート電磁弁の実施例を示
す断面図、第２図はその電磁操作部の下面図、第
３図はその弁体の平面図、第４図は他の実施例に
おける電磁操作部の下面図、第５図は同弁体の平
面図である。 １……弁本体、２……電磁操作部、３……入口
ポート、４……出口ポート、６……弁座、８……
弁体、９……磁極片、１０……可撓部材、１２…
…周縁支持部、１３……弾性部、１４……通孔、
２１……コアー、２２……磁極面、２３……コイ
ル。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 入口ポートから出口ポートに至る流路に弁座を
   設けると共に、上記弁座に接離してそれを開閉す
   る弁体を設けた弁本体と、上記弁体を開閉動作さ
   せる電磁操作部を備えた２ポート電磁弁におい
   て、 上記弁体を、板状をなす磁極片を低発塵材から
   なる可撓部材で被覆することにより構成し、その
   可撓部材の弾性部により弁体を弁座に圧接するた
   めの弾性を持たせると共に、その可撓部材に設け
   た通孔により弁体両面の圧力を均等化して、該可
   撓部材の周縁支持部を弁本体に支持させ、 上記電磁操作部においては、コイルを捲回した
   コアーに上記弁体の磁極片に対面する磁極面を持
   たせた、 ことを特徴とする２ポート電磁弁。