JPH0357080B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、タンタル酸リチウム単結晶の単一分
域化方法に関するものであり、特には金板、金
線、金メツキ膜または金蒸着膜からなる電極を用
いることにより電極面に着色物の付着をともなう
ことなく、能率よく単一分域化を行う方法に関す
る。

（従来の技術） 従来、チヨクラルスキー法によるＸ軸引上げタ
ンタル酸リチウム単結晶を単一分域化する方法と
しては、引上げ単結晶の側面すなわちＺ軸方向の
面にたとえば帯状の形状をした正負電極を単結晶
を挟むようにして対向配置し、キユーリー温度以
上一般には610℃以上の温度に加熱しながら両電
極間に電圧を印加することにより単一分域化する
方法が知られている。この方法において電極とし
てはもつぱり白金（Pt）が使用されているので
あるが白金電極を使用すると白金電極の結晶側表
面に異物（着色物）が付着形成し、接触抵抗損と
なるのでこれを除去することが必要であり、単一
分域化の作業が非能率的であつた。

（発明の構成） 本発明者らはかかる従来の問題点にかんがみ鋭
意研究した結果、電極として金板、金線、金メツ
キ膜または金蒸着膜からなるものを使用すれば異
物（着色物）の付着形成がなく、しかも白金電極
の場合にみられる結晶体中への電極材料の拡散と
いう問題点も、金電極の場合には起らないことを
確認し本発明を完成した。

すなわち本発明は、チヨクラルスキー法引上げ
タンタル酸リチウム単結晶の側面に金板、金線、
金メツキ膜または金蒸着膜を用いたものからなる
正負電極を対向して形成し、両電極間に電圧を印
加して単一分域化することを特徴とするタンタル
酸リチウム単結晶の単一分域化方法に関するもの
である。

本発明に使用される電極は金板、金線、銅など
の基板面に金メツキ膜または金蒸着膜を形成した
ものとされるが、その電極の形態について例示す
れば第１図イ〜ニに示すとおりである。すなわち
第１図イ〜ロは板状電極を示したものであり、イ
図は厚さは0.05〜１mm付近の金電極１、ロ図は、
銅等の基板２の表面に金メツキ膜または金蒸着膜
３を形成した電極である。

さらにハ図は金メツシユ電極４、ニ図は金フエ
ルト電極５を示したものであり、ハ図の金メツシ
ユを構成する金線として0.1mm径付近のものが使
用される。なお、この場合目幅については特に制
限はないが通常は１mm以下であることが望まし
い。ニ図の金フエルト５を構成する金線としては
0.01〜0.1mm径付近のもが使用され、フエルトの
厚さは通常１mm以下で充分である。

以上例示した各図の電極を構成する金材質につ
いては金のみに限定されるものでなく、これには
金と銅もしくは銀等との合金からなる材質のもの
も使用することができる。

第２図はチヨクラルスキー法で引上げたタンタ
ル酸リチウム単結晶を単一分域化するために、そ
の単結晶の側面に帯状電極（板状電極）を設置し
た状態を示す概略斜視図である。同図において１
０は単結晶であり、１１はそれを支えるためのア
ルミナ台、１２は帯状電極である。単一分域化を
良好に行わせるために、単結晶１０と帯状電極１
２間には通常タンタル酸リチウム単結晶等の粉体
をペースト状とした充填物１３を介在させる。な
お、同図中１４は電極板をおさえるためのバンド
である。

上記のようにして正負電極を設置し、加熱炉中
で所定温度に加熱しながら両電極間に電圧を印加
することにより単一分域化（ポーリング）を行
う。

本発明の金電極を用いる方法によれば、該金電
極の表面（結晶側表面）に異物（着色物）の付着
形成がないので、白金電極の場合のような単一分
域化の操作毎に電極表面の着色物を除去する煩雑
な作業が回避され、したがつて単一分域化の作業
能率がきわめてよいという利点が与えられる。ま
た白金電極の場合には単一分域化の操作時に電極
材料が単結晶中に拡散する傾向が認められ、問題
となつていたのであるが、本発明の金電極を用い
る方法の場合にはかかる拡散の問題は認められな
い。

なお、本発明の方法を実施するに当つての、結
晶体側面における電極の設置条件、加熱温度条
件、電圧印加条件等については従来と同様でよ
く、特別の条件を採用する必要はない。

つぎに具体的実施例をあげる。

実施例 チヨクラルスキー法で製造したＸ軸引上げタン
タル酸リチウム単結晶（直径80mm長さ110mm）の
Ｚ軸方向の側面に、第１図イに示す形状の金材質
からなる板状電極を第２図に示すように設置し、
加熱炉中で630℃の温度に加熱しながら90Vの電
圧を印加してポーリングを行つた。

この結果、結晶内への金の拡散現象は認められ
ず、また電極の結晶体側の面は第３図イに示すよ
うに、着色物・異物の形成がなく、きれいな状態
であり、次の作業に支障なく再使用できた。な
お、結晶体は完全にポーリングされていた。

他方比較のために、上記金材質からなる板状電
極の代りに白金材料からなる同形の電極を用いた
ほかは同様にしてポーリングを行つたところ、結
晶内への白金の拡散現象が起こり、また電極の結
晶体側の面は第３図ロに示すように着色物・異物
の形成が認められた。この電極面の着色物・異物
を取除くのにてまひまがかかり作業能率が阻害さ
れた。またポーリングされた結晶体は内部に白金
が拡散しており品質に劣るものであつた。

【図面の簡単な説明】

第１図イ，ロ，ハおよびニは金材質からなる電
極をそれぞれ例示したものであり、第２図はタン
タル酸リチウム単結晶の側面に板状の正負電極を
設置した概略斜視図を示したものである。さらに
第３図イ，ロは単結晶をポーリングするために使
用した後の電極の結晶体側の面をそれぞれ示した
ものである。 １……板状電極、２……基板、３……金メツキ
膜または金蒸着膜、４……金メツシユ電極、５…
…金フエルト電極、１０……単結晶、１１……ア
ルミナ台、１２……電極、１３……充填物、１４
……バンド。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ チヨクラルスキー法引上げタンタル酸リチウ
   ム単結晶の側面に金板、金線、金メツキ膜または
   金蒸着膜を用いたものからなる正負電極を対向し
   て形成し、両電極間に電圧を印加して単一分域化
   することを特徴とするタンタル酸リチウム単結晶
   の単一分域化方法。