JPH0373453U - - Google Patents
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- JPH0373453U JPH0373453U JP13558589U JP13558589U JPH0373453U JP H0373453 U JPH0373453 U JP H0373453U JP 13558589 U JP13558589 U JP 13558589U JP 13558589 U JP13558589 U JP 13558589U JP H0373453 U JPH0373453 U JP H0373453U
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- shaped insulator
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- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
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Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面概略図、
第２図は該実施例に於ける板状絶縁物の平面図、
第３図は第２図のＡ−Ａ矢視図、第４図は従来例
を示す断面概略図である。 １……真空容器、４……ウエーハ、８……直流
電源、１１……板状絶縁物、１５……熱授受手段
、１６，１８……溝、１７……ヘリウム供給装置
を示す。
第２図は該実施例に於ける板状絶縁物の平面図、
第３図は第２図のＡ−Ａ矢視図、第４図は従来例
を示す断面概略図である。 １……真空容器、４……ウエーハ、８……直流
電源、１１……板状絶縁物、１５……熱授受手段
、１６，１８……溝、１７……ヘリウム供給装置
を示す。
Claims (1)
- ドライエツチング及びＣＶＤ等の処理装置に用
いられる静電吸着装置に於いて、真空容器内に配
設され、所要の熱授受手段で熱授受が行われる板
状絶縁物に静電吸着用電極を埋設し、該静電吸着
用電極に直流電源を接続し、前記板状絶縁物の被
処理基板載置面に同心状多重に溝を刻設し、該溝
を相互に連通すると共に該溝を所要の位置で板状
絶縁物外部と連通させ、該溝にヘリウムガスを供
給するヘリウムガス供給装置を連通したことを特
徴とする静電吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989135585U JP2537739Y2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 静電吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989135585U JP2537739Y2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 静電吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373453U true JPH0373453U (ja) | 1991-07-24 |
| JP2537739Y2 JP2537739Y2 (ja) | 1997-06-04 |
Family
ID=31682846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989135585U Expired - Lifetime JP2537739Y2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 静電吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2537739Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006168772A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | マチ付き封筒 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55115047U (ja) * | 1979-02-06 | 1980-08-13 | ||
| JPS5922340A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-04 | Toshiba Corp | 静電チヤツク装置 |
| JPS60115226A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-21 | Hitachi Ltd | 試料の温度制御方法及び装置 |
| JPS6395644A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 静電チヤツク |
| JPH01200625A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-11 | Toshiba Corp | 半導体ウェーハ処理装置 |
| JPH01135585U (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-18 | ||
| JPH01251735A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Corp | 静電チャック装置 |
| JPH0622213A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-28 | Nec Corp | 動画像フィルタ |
-
1989
- 1989-11-22 JP JP1989135585U patent/JP2537739Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS55115047U (ja) * | 1979-02-06 | 1980-08-13 | ||
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006168772A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | マチ付き封筒 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2537739Y2 (ja) | 1997-06-04 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |