JPS6365235U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6365235U JPS6365235U JP15995986U JP15995986U JPS6365235U JP S6365235 U JPS6365235 U JP S6365235U JP 15995986 U JP15995986 U JP 15995986U JP 15995986 U JP15995986 U JP 15995986U JP S6365235 U JPS6365235 U JP S6365235U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum chamber
- load lock
- vacuum
- lock chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係るイオン注入装置の実施例
の一部を切欠いた斜視図である。第２図は従来の
イオン注入装置全体の概略構成図、第３図はウエ
イフロータイプのエンドステーシヨンの断面図、
第４図はベルト搬送タイプのエンドステーシヨン
の斜視図である。 １…半導体ウエーハ、２…真空チヤンバー、３
…ロード側ロードロツク室、４…アンロード側ロ
ードロツク室、７…ウエーハホルダー、１２…横
穴。
の一部を切欠いた斜視図である。第２図は従来の
イオン注入装置全体の概略構成図、第３図はウエ
イフロータイプのエンドステーシヨンの断面図、
第４図はベルト搬送タイプのエンドステーシヨン
の斜視図である。 １…半導体ウエーハ、２…真空チヤンバー、３
…ロード側ロードロツク室、４…アンロード側ロ
ードロツク室、７…ウエーハホルダー、１２…横
穴。
Claims (1)
- イオンビームを照射するための横穴を有する真
空チヤンバーと、該真空チヤンバー内に配された
回転体の周線に略水平状に保持または吊設される
複数のウエーハホルダーと、上記真空チヤンバー
に添設されてチヤンバー内を高真空に保持したま
ま上記ウエーハホルダーに半導体ウエーハを連続
的にロード及びアンロードするロード側ロードロ
ツク室及びアンロード側ロードロツク室とを具備
したことを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15995986U JPS6365235U (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15995986U JPS6365235U (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6365235U true JPS6365235U (ja) | 1988-04-30 |
Family
ID=31084878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15995986U Pending JPS6365235U (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6365235U (ja) |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP15995986U patent/JPS6365235U/ja active Pending