JPH0369918A - 液晶パネルの製造方法 - Google Patents
液晶パネルの製造方法Info
- Publication number
- JPH0369918A JPH0369918A JP20760189A JP20760189A JPH0369918A JP H0369918 A JPH0369918 A JP H0369918A JP 20760189 A JP20760189 A JP 20760189A JP 20760189 A JP20760189 A JP 20760189A JP H0369918 A JPH0369918 A JP H0369918A
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- JP
- Japan
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- substrate
- film
- rotation
- spin head
- alignment material
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、液晶パネルの製造方法、特に配向膜の形成方
法に関する。
法に関する。
液晶パネルの大型化にともない、配向膜や表示セルの厚
さなどの均一性に対する要求は、−層厳しさを増してい
る。
さなどの均一性に対する要求は、−層厳しさを増してい
る。
３、発明の詳細な説明
〔概 要〕
液晶パネルの製造方法、特に配向膜の形成方法に関し、
回転塗布法により配向材料膜を形成する際に、〔従来の
技術〕 液晶表示パネル用の配向膜はポリイミドなどの有機高分
子材料からなる。
技術〕 液晶表示パネル用の配向膜はポリイミドなどの有機高分
子材料からなる。
かねてより、配向膜の形成は、回転塗布法により基板表
面にポリイミドのような配向材料塗布した後、比較的低
温で予備乾燥を行い、その後高温の加熱処理を施して硬
化（キュア）させるという工程で行なっていた。
面にポリイミドのような配向材料塗布した後、比較的低
温で予備乾燥を行い、その後高温の加熱処理を施して硬
化（キュア）させるという工程で行なっていた。
上記予備乾燥は、溶媒を乾燥させるほか、水分の吸着や
ゴミの付着を防止する目的で行なわれる工程である。こ
の工程は、スピナーと呼ばれる回転塗布装置を用いて行
なわれる回転塗布法が完了した後に、基板をスピナーか
ら取り出してから行なわれる。
ゴミの付着を防止する目的で行なわれる工程である。こ
の工程は、スピナーと呼ばれる回転塗布装置を用いて行
なわれる回転塗布法が完了した後に、基板をスピナーか
ら取り出してから行なわれる。
ところが上記従来方法では、第２図（ａ）に示すように
、スピンヘッド６に搭載した基板上に滴下した配向材料
２は、ヘッド６が回転（矢印Ｂ参照）することにより基
板ｌの周縁側に向かって広がり（矢印Ａ参照）、余分な
液は大部分が振り飛ばされる。しかし、一部は表面張力
と遠心力が釣り合って飛び切らず、図示したように周縁
部に盛り上がった形状の液溜まり４を形成する。
、スピンヘッド６に搭載した基板上に滴下した配向材料
２は、ヘッド６が回転（矢印Ｂ参照）することにより基
板ｌの周縁側に向かって広がり（矢印Ａ参照）、余分な
液は大部分が振り飛ばされる。しかし、一部は表面張力
と遠心力が釣り合って飛び切らず、図示したように周縁
部に盛り上がった形状の液溜まり４を形成する。
回転中は基板１の周縁部以外は、塗布した配向材料膜２
°は均一な膜厚となっているにもかかわらず、配向材料
膜２゛ は回転を止める時にまだ乾燥していないため、
第２図（ｂ）に示すように、液溜まり４の液が逆戻りし
く矢印Ｃ参照）、膜厚の均一性を損なう結果となる。
°は均一な膜厚となっているにもかかわらず、配向材料
膜２゛ は回転を止める時にまだ乾燥していないため、
第２図（ｂ）に示すように、液溜まり４の液が逆戻りし
く矢印Ｃ参照）、膜厚の均一性を損なう結果となる。
そのため従来の配向膜の形成方法では、膜厚に同心円状
の厚さむらを生じ、表示品質が低下する原因となってい
た。
の厚さむらを生じ、表示品質が低下する原因となってい
た。
本発明は回転塗布法により配向材料膜を形成する際に、
基板回転中の膜厚の均一性をそのまま維持し得るように
することを目的とする。
基板回転中の膜厚の均一性をそのまま維持し得るように
することを目的とする。
本発明は、基板上に滴下した配向材料を、基板を回転さ
せることにより基板表面全域に広げて、前記基板表面に
配向材料膜を形成するに際し、前記基板回転中に配向材
料膜を乾燥させる。
せることにより基板表面全域に広げて、前記基板表面に
配向材料膜を形成するに際し、前記基板回転中に配向材
料膜を乾燥させる。
配向材料を回転塗布中に乾燥してしまうので、その時点
で配向材料膜は流動性を失っている。そのため、回転を
止めても基板周縁部の余分な液が逆戻りすることはなく
、従って配向材料膜は基板回転時の膜厚をそのまま維持
するので、膜厚の均一性を保つことができる。
で配向材料膜は流動性を失っている。そのため、回転を
止めても基板周縁部の余分な液が逆戻りすることはなく
、従って配向材料膜は基板回転時の膜厚をそのまま維持
するので、膜厚の均一性を保つことができる。
以下第１図により本発明の一実施例を説明する。
配向材料を塗布する基板１をスピンヘッド６に載置する
。このスピンヘンドロは裏面にヒーター７を設けておき
、スピンヘッド６をヒーター７により凡そ４０℃に加熱
しておく。
。このスピンヘンドロは裏面にヒーター７を設けておき
、スピンヘッド６をヒーター７により凡そ４０℃に加熱
しておく。
基板１上に配向材料としてポリイミド２を滴下したのち
、基板１を真空吸着してスピンへラド６に固定し、約１
）００Ｏｒｐで回転させる。凡そ６０秒の後スピンヘッ
ド６の回転を停止する。この時既に、基板１上のポリイ
ミド膜２′は乾燥しているため、このあと予備乾燥を行
なう必要はなく、直ちに約２５０℃程度の高温でキュア
を行なう。
、基板１を真空吸着してスピンへラド６に固定し、約１
）００Ｏｒｐで回転させる。凡そ６０秒の後スピンヘッ
ド６の回転を停止する。この時既に、基板１上のポリイ
ミド膜２′は乾燥しているため、このあと予備乾燥を行
なう必要はなく、直ちに約２５０℃程度の高温でキュア
を行なう。
この結果、得られた配向膜はヘッド回転中の形状を保つ
。従って、基板１の周縁部の液溜まり４以外は、はぼ均
一な膜厚を維持する。
。従って、基板１の周縁部の液溜まり４以外は、はぼ均
一な膜厚を維持する。
この液溜まり４は表示部から離れているので、表示には
何ら関係しない。また、このあとの工程で、電極の末端
を露出させるため、基板１の周縁部の配向膜を除去する
ので、本工程で液溜まり４が残留しても、問題はない。
何ら関係しない。また、このあとの工程で、電極の末端
を露出させるため、基板１の周縁部の配向膜を除去する
ので、本工程で液溜まり４が残留しても、問題はない。
このあとは通常の工程に従ってすすめてよく、ラビング
処理その他を施して、液晶表示パネルが充放する。
処理その他を施して、液晶表示パネルが充放する。
以上説明した如く本発明によれば、回転塗布による配向
膜の膜厚分布を均一化することができるので、表示むら
のない液晶パネルを作製できる。
膜の膜厚分布を均一化することができるので、表示むら
のない液晶パネルを作製できる。
第１図は本発明一実施例説明図、
第２図は従来技術の問題点説明図である。
図において、１は基板、２は配向材料、２”は配向材料
膜、４は液溜まり、６はスピンヘッド、７はヒーターを
示す。 年発口肛尤茫例戟ｒ＝ｐ図 第１図
膜、４は液溜まり、６はスピンヘッド、７はヒーターを
示す。 年発口肛尤茫例戟ｒ＝ｐ図 第１図
Claims (2)
- （１）基板上に滴下した配向材料を、基板を回転させる
ことにより基板表面全域に広げて、前記基板表面に配向
材料膜を形成するに際し、 前記基板回転中に配向材料膜を乾燥させる工程を含むこ
とを特徴とする液晶パネルの製造方法。 - （２）前記基板を搭載する回転台に、加熱手段を付設し
、該加熱手段により基板回転中に基板表面の配向材料膜
を乾燥させることを特徴とする請求項１記載の液晶パネ
ルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20760189A JPH0369918A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 液晶パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20760189A JPH0369918A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 液晶パネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0369918A true JPH0369918A (ja) | 1991-03-26 |
Family
ID=16542479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20760189A Pending JPH0369918A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 液晶パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0369918A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010094309A (ko) * | 2000-04-06 | 2001-10-31 | 김순택 | 레벨링을 개선하는 롤러 도포법을 통한 배향제의 기판상의인쇄방법 |
| KR100466391B1 (ko) * | 2001-05-30 | 2005-01-13 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 스핀코팅을 이용한 액정표시장치의 제조방법 |
-
1989
- 1989-08-09 JP JP20760189A patent/JPH0369918A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010094309A (ko) * | 2000-04-06 | 2001-10-31 | 김순택 | 레벨링을 개선하는 롤러 도포법을 통한 배향제의 기판상의인쇄방법 |
| KR100466391B1 (ko) * | 2001-05-30 | 2005-01-13 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 스핀코팅을 이용한 액정표시장치의 제조방법 |
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