JPH0391200A - メモリ障害情報を捕捉し圧縮する装置及び方法 - Google Patents

メモリ障害情報を捕捉し圧縮する装置及び方法

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JPH0391200A
JPH0391200A JP2220142A JP22014290A JPH0391200A JP H0391200 A JPH0391200 A JP H0391200A JP 2220142 A JP2220142 A JP 2220142A JP 22014290 A JP22014290 A JP 22014290A JP H0391200 A JPH0391200 A JP H0391200A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 A、産業上の利用分野 本発明は、冗長解析のための実時間データ・エラー捕捉
及び圧縮のための装置及び方法に関する。
B、従来の技術 メモリ装置(たとえば、RAM)の欠陥のあるメモリ行
または列を修理するための冗長構成を解析修理を実施す
るには、装置のメモリ・アレイに関するすべての障害情
報を捕捉し、解析しなければならない。いくつかの方法
が、当技術分野で知られている。
米国特許第4458995号明細書は、試験中のRAM
のビット数までの値をカウントすることができるカウン
タを設け、まず2段階テストでワード線ごとに、次いで
ビット線ごとに障害をカウントする方法を開示している
米国特許第4460999号明細書及び米国特許第44
80997号明細書(上記の米国特許第4480999
号に関連している)は、サイズ及び配列が試験中のRA
Mと面対称な構成のエラー捕捉RAMを使用し、テスト
を行なって、メモリ・アレイに沿って発生するメモリ障
害をエラー捕捉RAMの対応する位置に記録する方法を
開示している。
冗長解析を行なうため障害情報をエラー捕捉RAMから
抽出するには1、時間のかかるソフトウェア・ルーチン
または特別のハードウェアが必要である。上記の従来の
装置及び方法は、試験中の装置(DUT)のサイズの拡
大に伴ってエラー捕捉RAMのコストが増大し、さらに
、障害情報の抽出の複雑さも増して、一般にエラー捕捉
RAMを何回も走査する必要が生じ、かなりの時間を消
費するので不利である。
米国特許第4588178号明細書及び米国特許第48
39915号明細書(上記の米国特許第4588178
号に関連している)は、障害位置を決定するためのアレ
イ・テスト装置、及び障害を冗長線で置き換える方法を
対象としている。アナログ加算器を使って障害をカウン
トシ、障害のある行と列のアドレスを別々の並列リスト
に記憶する。この両方のアドレスを各障害ごとに記憶す
る必要がある。このような配列を用いると、サイクル・
タイムのためにこの回路の速度が低下し、またビット障
害アドレス・ラッチ及び障害マトリックスがかなり大き
くなる。
米国特許第4827053号明細書は、予備線をもつ半
導体メモリ装置を修理する方法を開示している。予備線
または予備ブロックを用いる可能なすべての解を、装置
の試験結果の解析によって得、次いで、すべての可能な
解を装置の品質と信頼性に関する条件のもとで選別して
、最適解を求める。
米国特許第4628509号明細書は、障害を記憶する
ためのルックアップ・テーブルとしてRAMを利用する
ことにより、障害線を冗長線で置き換えるように設計さ
れたアレイ・テスト装置を開示している。回路の速度の
低下があり、また障害カウンタが多少の障害を失う可能
性のある形で配列されているという欠点がある。
C1発明が解決しようとする課題 本発明の目的は、障害情報を捕捉して解析するといつ、
ランダム・アクセス・メモリ(RAM)上での冗長解析
が可能な方法及び装置を提供することである。
本発明の他の目的は、テスト速度で障害の捕捉及び圧縮
が可能な方法及び装置を提供することである。
本発明の他の目的は、圧縮された障害データをハードウ
ェアの解析装置が作用するマトリックスに直接にロード
することが可能な方法及び装置を提供することである。
本発明の他の目的は、テストと修理解析を同時に行なう
ことの可能な方法及び装置を提供することである。
本発明の他の目的は、修理時間が短縮できる方法及び装
置を提供することである。
本発明の他の目的は、テスト時間に影響を与えない方法
及び装置を提供することである。
本発明の他の目的は、メモリの修理及び解析能力をもつ
改良されたメモリ・テスタを提供することである。
本発明の他の目的は、メモリ・アレイのテストで生じる
エラー信号の予め選択されたビットをマスクして、障害
情報がエラー信号のマスクされていないビットからだけ
誘導されるようにするため、エラー・レジスタを所定の
エラー・マスク値で事前設定できるようにすることであ
る。
本発明の他の目的は、メモリ・アレイのテストで生じる
アドレス信号の予め選択されたビットをマスクして、マ
スクされていないアドレス・ビットがエリア値に対応す
る障害からだけ障害情報が誘導されるよろにするため、
マスク・レジスタを所定のアドレス・マスク値で事前設
定し、かつエリア・レジスタをどのアドレスが重要であ
るかを示すビットを含む所定のエリア値で事前設定でき
るようにすることである。
本発明の他の目的は、所望のどの圧縮マトリックスのサ
イズもプログラマブルに定義できるようにすることであ
る。
本発明の他の目的は、試験中のメモリ・アレイの修理が
、メモリ・アレイ内の利用可能な数の冗長な行と列を用
いて実施できないことを即時に指示するあぶれの通知を
含めることである。
00課題を解決するための手段 本発明の上記その他の目的は、DUT(試験中の装置)
のメモリ・アレイに関連する利用可能な冗長構成に関係
するサイズをもつ、本質的に冗長修理の限界を定義する
、圧縮マトリックスを利用することにより、DUTメモ
リ・アレイのテストからの障害情報を捕捉し圧縮する装
置及び方法を提供することによって達成される。圧縮マ
トリックスは、DUTメモリ・アレイ中のメモリ・セル
の数より少ない数のセルを含み、圧縮行及び圧縮列のマ
トリックスとして配列されている。圧縮マトリックス内
の圧縮行の数Rは、(冗長メモリ行の所定数)×(冗長
メモリ列の所定数+1)に等しく、圧縮マトリックス内
の圧縮列の数Cは、(冗長メモリ列の所定数)×(冗長
メモリ行の所定数+1)に等しい。また、DUTメモリ
・アレイのテストと同時に圧縮マトリックスに障害情報
をロードする手段と、記憶するための行と列を選択し、
各圧縮列及び圧縮行の少なくとも一部分に障害情報の異
なる列アドレス部分または行アドレス部分を割り当て、
記憶された列及び行アドレス部分に応じて圧縮列及び圧
縮行の選択を行なう手段も提供される。比較回路は、各
圧縮列及び圧縮行ごとに、各列及び行に沿ってセットさ
れたマトリックス◆セルのカウントを所定の冗長値と比
較する。このカウントが冗長値より大きくなると、メモ
リ・アレイの列または行が「要置換(mustfix)
 Jとされ、「要置換」と指定されたメモリ・アレイの
列または行と同一の列アドレス部分または行アドレス部
分を持つ障害情報の行アドレス部分または列アドレス部
分を記憶することがブロックされる。
E、実施例 議論を始める前にいくつかの規定を行なっておく。
本明細書における記載では、論理回路(たとえば、AN
Dゲート、ORゲートなど)で組み立られた部品と配置
構成及び、この論理ゲートに関連する入力端子または入
力線上の論理レベル(たとえば、論理”1”、論理″O
?′など)についてしばしば論じるが、実施例に記載す
る回路構成の一部または全体について、反対の極性(す
なわち、記載されたものとは逆の極性)の論理ゲート及
び論理レベルを使って本発明を実施することも、当業者
の能力の範囲内で行なえるものであり、それも本発明の
範囲に含まれることを明白に了解されたい。さらに、他
の処理回路や手段(たとえば、マイクロプロセッサ)を
利用した論理ゲートや他の回路の一部または全体の機能
を実施することも、当業者の能力範囲内で行なえるもの
であり、それも本発明の範囲内に含まれるものである。
本発明では、1列」及び1行」の術語は、それぞれ図面
を縦にして見たときのマトリックスの垂直線及び水平線
を示すものであり、X軸及びY軸と同意である。ただし
、このような指定は任意的なものであり、本発明の範囲
から逸脱せずに別の指定を行なうこともできることを明
白に了解されたい。
図面中で、第2図は、本発明が適用される代表的な試験
下の装置(DUT)のメモリ・アレイ区分に関連する冗
長行及び冗長列を示すブロック図である。さらに具体的
には、CUTlooは、4つのアレイ区域に細分された
メモリ・アレイをもつ。すなわち、メモリ・アレイ(A
)は、4つの冗長行110A及び4つの冗長列12OA
をもち、メモリ・アレイ(B)は、4つの冗長行110
B及び4つの冗長列120Bをもち、メモリ・アレイ(
C)は、4つの冗長行110C及び4つの冗長列120
Cをもち、メモリ・アレイ(D)は、4つの冗長行11
0D及び4つの冗長列120Dをもつ。
冗長行110及び冗長列120は、それが関連するメモ
リ・アレイ内の欠陥のある行または列の交換用の行また
は列として使われる。たとえば、冗長行110A及び冗
長列120Aは、メモリ・アレイ(A)内の欠陥のある
行または列の交換用の行または列として使われる。
エラー捕捉RAMをサイズ及び配列の点で試験中のRA
Mと面対称の構成にする上述の方法とは違って、冗長解
析では、「圧縮された」障害情報があればよく、このよ
ろな圧縮された障害情報を実時間で記憶できる場合、エ
ラー捕捉RAMが必要でないことが判明した。
さらに具体的に述べれば、メモリ・アレイ障害の捕捉と
圧縮をテスト速度で行なうようにするために、本発明で
は、圧縮された障害データを圧縮されたマトリックスに
直接にロードする。そうすルト、ハードウェア解析装置
は、データに作用して要修理の行及び列(前述)を決定
することができ、次いで圧縮されたデータをさらに次の
解析回路に出力することができる。この方法は、テスト
と修理解析が同時に行なえるので、テスト時間に対して
影響を与えずに修理時間を最小にする究極の解決策であ
る。
本発明の圧縮マトリックスについて論する前に、さらに
次の限定を行なっておく。
各メモリ・アレイ区分には別々の冗長行110及び冗長
列120が関連しているので、本発明によるテスト及び
修理解析は、メモリ・アレイ(A)ないしCD)の各区
分について個別に実行される。
各メモリ・アレイ区分についてのこれらの試験及び修理
解析は、本発明の1つの実施例を利用して時間的に離れ
た順次動作として行なうこともでき、また本発明の複数
の実施例を並列に利用して同時動作として行なうことも
できる。
話を簡潔にするため、以下の説明では、テスト及び修理
解析は、単一のメモリ・アレイ(A)の区分で行なうも
のとする。
第3図は、本発明の好ましい実施例で圧縮された障害情
報を記憶するのに利用する、20×20マトリツクスに
相当する圧縮マトリックスを簡潔に図示したものである
。さらに、具体的に述べると、20X20マトリツクス
200は、行l〜20及び列1〜20を持つ。この20
X20マトリツクスの全体にわたって、記号”−”は、
障害情報が記憶されていないマトリックス(セル)位置
を示し、記号”*”は、障害情報が記憶されているマト
リックス(セル)位置を示す。
圧縮マトリックス200に関して、留意すべき2つの重
要な態様がある。
第一に、圧縮マトリックスの行と列とは、次の説明で明
らかなように、DUTのメモリ・アレイ区分の行と列に
直接には対応しない。
第二に、一般に、ある行または列に沿って検出された障
害の数が、修理のために利用できる反対方向の列または
行(すなわち、行に対しては冗長列、列に対しては冗長
行)の数(以下「要置換障害数」という)に達した時直
ちに、その行または列は「要置換」として指定される。
この規則の理論的根拠は、それぞれ反対方向の冗長列ま
たは冗長行を使って修理した時は、余分の修理(プログ
ラミング)時間がかかり、かつ、この検出された障害を
修理するために反対方向の冗長列または冗長行がすべて
使い果たされることがあることがわかっているときは、
検出された障害を修理するために単一の冗長行または冗
長列を直ちに指定し使用する方が、テスト時間及び冗長
構成使用の点でより経済的だからである。この例では、
メモリ・アレイ(A)を修理するのに使える冗長行11
0Aが4行と冗長列12OAが4列ある。したがって、
第3図に示すように、それぞれアドレスADD RX 
11A D D RX 2、ADDRX3、ADDRX
4が割り当てられている列1〜4はそれぞれ、エラー・
カウントが4”であり、したがって「要置換」列として
指定される(要置換データの欄に論理値1′1′″で示
されている)。同様にそれぞれアドレスADDRY17
、A D D RY + e、ADDRYls、A D
 D RY2Oが割り当てられている行17〜20はそ
れぞれ、エラー・カウントが14″であり、したがって
「要置換」行として指定される(要置換データの欄に論
理値″1′″で示されている)。
前述の「要置換」規則、及び試験下のメモリ・アレイの
利用可能な行と列の冗長度によって、必要とされる圧縮
マトリックスのサイズが定義される。次の説明で示すよ
うに、「要置換」行または列に沿って「要置換障害数」
を超える追加の障害があっても、本発明によるテスト及
び修理解析の間は無視される。したがって、圧縮マトリ
ックス中で必要とされる行数Rを決定する際に、各列(
この例では、4つ)が、「要置換障害数」 (この例で
は4、したがって列に関する解析には合計16の圧縮マ
トリックス行が必要となる)に等しい数の独自の圧縮マ
トリックス行を必要とし、さらに、冗長列では修理され
ない追加の独自な行を修理するために、メモリ・アレイ
冗長行の数(この例では4)に等しい数の圧縮マトリッ
クス行も必要となる。同様な解析を行なって、圧縮マト
リックス中で必要とされる列の数Cを決定する。
典型的な冗長構成の実施態様では、メモリ・アレイ内の
冗長行の数は冗長列の数に等しい。このような場合、本
発明に関して必要とされる圧縮マトリックスは、(圧縮
マトリックスの行数と列数が等しい)正方マトリックス
であり、必要とされるマトリックス・サイズのサイズA
”の決定に関する前述の解析は一般に次式で表すことも
できる。
式1:A=[(冗長列の数)×(冗長行の数〉]+(冗
長行の数) あるいは、 式2 : A=(冗長列の数)×[(冗長行の数)+1
]4つの冗長列と4つの冗長行があるこの例では、式1
 (A= (4X4)+4)または式2(4×(4+1
))!Pら”A”=20となり、したがって、本発明に
よるテスト及び修理解析には20×20マトリツクスが
必要となる。
2つの冗長列及び2つの冗長行がある例では、”A”=
8となり、したがって、本発明によるテスト及び修理解
析には6×6マトリツクスが必要となる。
さらに、定義されるマトリックスが両輪に関して対称で
ある必要はなく、たとえば、2×3の冗長構成が利用可
能な場合、8X127) IJフックス用いることがで
きる。本発明では冗長線の1本が処理欠陥または障害に
よって使用不能になった状況で、障害情報の捕捉及び圧
縮と修理解析が行なえるので、この特徴は重要である。
本発明のもう一つの利点は、あふれ通知用配置構成に関
して後述するように、所望のどんなマトリックス・サイ
ズでもプログラマブルに定義できることである。
要するに、本発明の配置構成及び圧縮マ) IJフック
スマトリックス・サイズによって、冗長修理の限界が規
定される。さらに具体的に述べると、捕捉されたエラー
が圧縮マトリックス内に収まるように圧縮できない(す
なわち、後述のようにあぶれが通知される)場合は、D
UTが利用可能な冗長構成を用いて修理できず、DUT
テスト、データの捕捉及び圧縮をただちに停止させて、
テスト時間を節減することができることになる。さらに
、その逆は成立せず、全エラーの捕捉及び圧縮が圧縮マ
トリックスに収まっても、DUTが利用可能な冗長構成
によって修理できるとの保証にはならないことに留意さ
れたい。その例は、後述の説明で示すことにする。
第1図は、冗長解析のために実時間でデータ・エラーの
捕捉及び圧縮ができる、障害情報の捕捉及び圧縮用装置
の好ましい実施例のブロック図である。
第1図に示された実施例の外部で、DUTの順次(また
は他の形式の)アドレッシング及びメモリ・テストが、
周知の周辺装置または方法(図示せず)によって行なわ
れ、yアドレスYADDR3401エラー302、及び
XアドレスXADDR320が生成されて、第3図の好
ましい実施例に供給される。
エラー302は、18本のビット線304に沿ってエラ
ー選択ラッチ308に供給され、そこでエラー信号が生
成されて1本のビット線308上に出力され、(l軸)
セル・エネーブル回路330と(l軸)セル・エネーブ
ル回路350に供給される。
X7FL/スXADDR320は、12本(7)ヒyト
線322に沿って(l軸)エリア選択ラッチ324に供
給され、ラッチ324は、12本のビット線828に沿
って最終的にX・アドレスをパスし、かつ、4個のブロ
ック信号(後述する)を生成して4本のビット線32B
上に出力する。
(l軸)セル・エネーブル回路330は、12本のビッ
ト線328を介してXアドレスを、4本のビット線32
6を介してエネーブル1〜4信号を、線308を介して
エラー信号を、線356を介してX不一致(YNCMP
)信号を、線338を介してXブロック(XBLK)信
号を、また4本のビット線372Aを介してブロック1
〜4信号を受け取る。それに応答して、(l軸)セル・
エネーブル回路330は、20×20マトリツクス20
0への入力として20本の列線332の1本上にX信号
を、また20本の信号線334の1本上に要置換X信号
を、また線337上にあふれ信号を発生する。
同様に、yアドレスYADDR340は、12本のビッ
ト線342を介して(l軸)エリア選択ラッチ344に
供給され、ラッチ344は、12本のビット線348に
沿って最終的にXアドレスをパスし、かつ4個のブロッ
ク信号(後述する)を生成して4本のビット線348上
に出力する。
(l軸)セル・エネーブル回路350は、12本のビッ
ト線348を介してXアドレスを、4本のビット線34
6を介してエネーブル1〜4信号を、線308を介して
エラー信号を、線336を介してX不一致(XNCMP
)信号を、線358を介してyブロック(YBLK)信
号を、また4本のビット線372Bを介してブロック1
〜4信号を受け取る。それに応答してN  C”l軸)
セル・エネーブル回路350は、20×20マトリツク
ス200への入力として20本の列線352の1本上に
Y信号を、20本の信号線354の1本上に要置換Y信
号を、また線357上にあふれ信号を発生する。
ブロック・レジスタ370(すなわち、370A及び3
70B)は、ブロック1〜4信号を線372Aに沿って
(l軸)セル・エネーブル回路330へ、また線372
Bに沿って(l軸)セル・エネーブル回路350へ出力
する。
要置換Y回路380は、20×20マトリツクスからの
出力を20本の線202を介して受け取り、20本の線
382に沿って解析検出器384に信号を出力する。
解析検出器384は、20本の線382を介して信号を
受け取り、線388及び388に沿って解ラッチ390
に信号を出力し、ラッチ390は線399を介して信号
を受け取り、解を出力する。
線382及び394に沿って解ラッチ回路390と全組
合せパターン回路395の間でも信号が伝達され、全組
合せパターン回路395は線306上に信号を出力する
最後に、要置換X回路387は、線386を介して信号
を受け取り、線398に沿って20×20マトリツクス
に、また線39θに沿って解答ラッチ回路に信号を出力
する。
第4図は、第3図に示したエラー選択ラッチの構造をさ
らに詳細に示すブロック図である。さらに具体的に述べ
ると、線304上のエラーをパイプ(P I PE)装
置410で受け取る。(本明細書では、第4図その他の
図面のPIPER置は、本発明のこの実施例を通じて適
切なデータの流れを保証するために種々のPIPE装置
間に一種の同期を与えて、到来データの受信及び送出を
行なウラッチ装置であると定義する。)PIPE装置4
10は、エラーを18個のANDゲートで構成される比
較回路430に出力する。比較回路430はまたエネー
ブル・レジスタ420から線422を介して18個のエ
ラー・エネーブル信号を受け取る。
前述の説明で明らかなように、本発明のこの好ましい実
施例は、幅18ビットまでのエラー信号を受け取ること
ができ、エネーブル・レジスタ420で論理″1″(エ
ネーブル時)と論理″O″(ディスエーブル時)を適切
にセットすることにより、この18個のビットのすべて
または一部を監視することができる。たとえば、下位4
ビツト(LSB)だけが必要な場合、論理値”ooo。
oooooooo i t i i″がエネーブル・レ
ジスタ420中にセットされそこから出力されると、1
8個のANDゲートが下位4ビツトを除くすべてのエラ
ー信号ビットを有効にブロックする。18個のAND演
算された信号は比較器430から線432に沿って幅1
8ビット(すなわち、18人力)のORゲート450に
出力され、そこで、OR演算され、線452上にエラー
信号が出力される。この出力エラー信号は、元の幅18
ビットのエラー信号のエネーブルされたビットのいずれ
かでエラーが指示される場合に生成されることは明らか
である。PIPE装置470は、本発明のこの実施例を
通じて適切なデータの流れを保証するために出力エラー
信号を受け取り送出する。
第5A図は、第1図に示したエリア選択ラッチの構造を
さらに詳細に示すブロック図である。話を簡潔にするた
めに、第5A図の説明は主に(X軸)エリア選択ラッチ
324に関して行ない、さらに、4つのエリア選択部分
502.504.506及び508は構造が同一である
ので、1つのエリア選択部分502のみについて詳細に
説明する。
エリア選択部分502のPIPE装置520は、線32
2を介して入力Xアドレスを受け取り、線522に沿っ
てこの人力Xアドレスをマスク比較回路550及びPI
PE装置560に送出する。
Xアドレス(”A”と呼ぶ)に加えて、比較回路550
はマスク・レジスタ回路530から線532を介して1
2ビツトのマスク信号(C″′と呼ぶ)を、またエリア
・レジスタ540から線542を介して12ビツトのエ
リア信号(”B”と呼ぶ)を受け取る。比較回路550
は、12個の論理比較回路で構成され、各比較回路は、
Xアドレス、エリア・レジスタ回路540及びマスク・
レジスタ回路530のそれぞれからの単一ビットA1B
及びCの様々な集合を比較する。
この比較回路の好ましい実施例が、回路552−1とし
てブロック形式で示されており、第6A図により詳細に
示されている。さらに具体的に説明すると、比較回路5
52−1は、1個のNANDゲートと、2個のANDゲ
ートと、1個のNORゲートで構成され、次の論理真理
値表に示されるように、その出力D−1は通常低レベル
(論理l″O″′)であり、1対になったA入力とB入
力が同一であるか、またはC入力が低レベルのときに、
高レベル状態(すなわち、論理″1″)になるように配
置されている。
盈 12個の論理比較回路からの12個の出力(たとえば、
D−1)はすべて、12人力ANDゲー)554 (第
6B図に詳細に示す)のそれぞれ異なる入力に接続され
、12個の比較回路からの12個の入力がすべてエネー
ブル状態になっている場合に、ANDゲート554は、
高レベル(すなわち、論理”1”)のエネーブル出力信
号を線556に沿ってPIPE装置560に出力する。
PIPE装!1F580は、本発明のこの実施例を通じ
て適切なデータの流れを保証するために、Xアドレスと
エネーブル出力信号を送出する。
エリア選択部分502.504.50B及び508から
のエネーブル出力信号は、それぞれ、エネーブル1、エ
ネーブル2、エネーブル3及びENABLE4と呼ばれ
る。
前述の説明で明らかなように、これらのエリア選択部分
は幅12ビットまでのアドレス信号を受け取ることがで
き、入りアドレスがそのエリア選択部分に関係するメモ
リ・エリアに属するか否かを判定するために、この12
ビツトのすべてまたは一部を監視することができる。こ
のような選択的監視は、マスク・レジスタ530で論理
″′1”(入力アドレス・ビットA及びエリア・レジス
タ・ビ、)Hのうちから選択したビットの比較を可能に
する)及び論理″0″(入力アドレス・ビットA及びエ
リア・レジスタ・ビットBのうちから選択したビットの
比較を不能にし、あるいは”don’tcare″比較
であると指示する)を適切にセットすることによって行
なえる。好ましい1手法では、通常、最上位ピッ)CM
SB)を使って当該のメモリ・エリアを監視する。
たとえば、12個のXアドレス・ビット(8にのXアド
レスに相当する)を用いる実施例では、論理値” t 
t 1ooooooooo”がマスク・レジスタ530
中にセットされそこから出力されると、Xアドレスの上
位3ビツトが比較され、下位9ビツトがdon’t c
are ”比較であると指示される。さらに具体的に述
べると、マスク・レジスタ530から論理値がl″1″
の上位3つの″C″ビットが出力されると、(上位3ビ
ツトに関連する)上位3つの論理比較回路が使用可能に
なり、入力アドレス・ビットAとエリア・レジスタ・ビ
ットBの比較を実行する。一方、マスク・レジスタ回路
530から論理値がIO1′の下位8つのC”ビットが
出力されると、9個の論理比較回路がすべてロックされ
て、常に論理1’llWを出力するようになる。したが
って、ANDゲート554で実行されるAND演算は、
上位3ビツトだけに依存することになる。
マスク値がマスク・レジスタ530中でセットされて、
Xアドレスの”don’t care”ビットをマスク
した後、当該のメモリ・エリアの論理ビット値を示すた
めに、もつ1つのエリア値をエリア・レジスタ540中
でセットしなければならない。
第5B図に示した例では、図を見るとわかるように、論
理” 101XXXXXXXXX” (ただし、Xは、
マスク・レジスタ530によってマスクされる不要ビッ
トを示す)がセットされて、上位3ビツトとして値′″
101′″をもつ障害だけが、このエリア選択部分50
2で処理されるセル選択にとって必要であることを示す
。典型的な状況の例として第6B図を用いると、第5B
図の第1の入力アドレスの上位3ビツトをエリア・レジ
スタ中のそれと比較した結果、一致することが判明し、
したがって、この第1の入力アドレスは、このエリア選
択ラッチにとって必要なメモリ・エリアに属し、エネー
ブル出力信号は論理*1vwである。
同様な解析が第3の入力アドレスについても行なえる。
それとは対照的に、第5B図の第2(中間)の入力アド
レスの上位3ビツトをエリア・レジスタ中のそれと比較
した結果、不一致であることが判明し、したがって、こ
の第2の入力アドレスは、このエリア選択ラッチにとっ
て必要なメモリ・エリアに属せず、エネーブル出力信号
は論理″O″である。
第7図は、本発明の好ましい実施例のセル・エネーブル
及びあふれ通知用配置構成のブロック図である。説明を
簡潔にするため、(X軸)セル・エネーブル回路330
と(y軸)セル・エネーブル回路350とは同一の構造
であるので、第7図の説明は、主に(X軸)セル・エネ
ーブル回路330に関して行なう。
前述したように、(X軸)セル・エネーブル回路330
は、12本のビット線328を介してXアドレスを、4
本のビット線326A−Dを介してエネーブル1〜4信
号を、線308を介してエラー信号を、線356を介し
てy不一致(YNCMP)すなわちNo  HIT信号
を、線338を介してXブロック(XBLK)信号を、
また4本のビット線372Aを介してブロック1〜4信
号を受け取る。それに応答して、(X軸)セル・エネー
ブル回路330は、20本の列線332(たとえば、3
32−1.332−2など)の1本上に20X20マト
リツクス200への入力としてのX信号を、20本の信
号線334の1本上に要置換X信号を、また線337上
にあふれフラグ信号を発生する。
(X軸)セル・エネーブル回路330は、あふれAND
ゲー)7211722.723及び724(それぞれ、
ANDゲート1.2.3及び4とも称する)を含む。こ
れらのあふれANDゲートはそれぞれ、X不一致(XN
CMP)すなわちNOHIT信号と、線308からのエ
ラー信号と、直前の段からのエネーブル信号(第1のあ
ふれANDゲート721については、Xエネーブル4信
号が循環されてゲート721に入力されることになる)
と、やはり直前の段からのFULL信号(第1のあふれ
ANDゲート721については、XFULL4FULL
信号てゲート721に入力されることになる)と、ブロ
ック信号を受け取る。あふれANDゲート721.72
2.723及び724はいずれも、あふれ状態を検出し
て通知するようにプログラミングすることができ(後述
する)、そうプログラミングされると、そのANDゲー
トは、このANDゲートへの前述の入力がすべて論理″
1′″のときにだけ、このようなあぶれを通知する。
この点に関して留意すべき重要な態様は、ブロック・レ
ジスタ370Aからのブロック1〜4信号を選択的に使
用して、あふれに関する様々に異なるマトリックス・サ
イズをプログラミング(すなわち、使用可能に)するこ
とができることである。
たとえば、ブロック1、ブロック2、ブロック3、ブロ
ック4信号にそれぞれ対応する順次ビットをもつ論理値
″1000″がブロック・レジスタ370から出力され
、それぞれあふれANDゲート1.2.3.4に入力さ
れた場合、あふれANDゲート1だけが使用可能になっ
て、次のエラー信号の際に、すなわち、この場合には1
2個の(X軸)セル選択回路がすべてアドレス値を記憶
し終わった後に発生するあぶれだけを検出する。したが
って、論理値”tooo”は、20×20マトリツクス
のあぶれを検出するように、あふれANDゲートをプロ
グラミングする。別の例を挙げると、論理値”0010
”がブロック・レジスタ370から出力され、あふれA
NDゲート1.2.3.4にそれぞれ入力された場合、
あふれANDゲートだけが使用可能になって、次のエラ
ー信号の際に、すなわち、最初の10個の(X軸)セル
選択回路がアドレス値を記憶し終わった後に発生するあ
ぶれだけを検出する。したがって、論理値”0010”
は、10×10マトリツクスのあぶれを検出するように
、あふれANDゲートをプログラミングする。
今まで図示し説明してきたあふれ通知用配置構成を、A
NDゲートの追加または交換あるいはその両方によって
、所望のマトリックス・サイズを適当なブロック信号で
プログラマブルに定義することができるように修正する
ことは、十分に当業者の能力の範囲内にあり、本発明の
範囲内に含まれることをさらに理解されたい。例を挙げ
ると、lxl、2x2.3x3及び4×4の典型的なメ
モリ・アレイ冗長構成に対する障害の捕捉及び圧縮にそ
れぞれ必要な2x2、exe、12X12及び20X2
0マトリツクスをプログラマブルに定義できるように、
第2、第6、第12及び第20番目の(X軸)及び(y
軸)セル選択回路からFULL信号を受け取るために、
あふれANDゲートを別の形で接続することもできる。
本発明の重要な特徴は、あぶれを通知し検出できること
である。さらに具体的に述べれば、要するに本発明の配
置構成と圧縮マトリックスのマトリックス・サイズによ
って、冗長修理の範囲が限定される。捕捉されたエラー
を圧縮マトリックスに収まるように圧縮することができ
ない場合、あぶれが通知され、利用可能な冗長構成を用
いてDUTが修理できないことになる。その場合、DU
Tのテスト、データの捕捉及び圧縮を直ちに停止させて
、テスト時間を節減することができる。さらに、その逆
は成立せず、全エラーの捕捉及び圧縮が圧縮マトリック
スに収まっても、DUTが利用可能な冗長構成によって
修理できるとの保証にはならないことに留意されたい。
その例は後で述べる。
(X軸)セル・エネーブル回路330は、さらに(X軸
)5セル選択回路7401742,744.74Bを含
む。5セル選択回路はそれぞれ、線358を介してy不
一致(YNCMP)信号を、線338を介してXブロッ
ク(XBLK)信号を、直前の段からFULL信号(最
初の6セル選択回路740については、XFULLFU
LL信号されて5セル選択回路740に関連するORゲ
ートへ入力されることになる)を、(X軸)エリア選択
ラッチ324からエネーブル信号を、線308を介して
エラー信号を、線328を介してXアドレスを、線33
6を介してX不一致信号(XNCMP)またはNOHI
T信号を受け取る。それに応答して、5セル選択回路は
それぞれ、線358上にyブロック信号(YBLK)を
、線336上にX不一致信号(XNCMP)すなわちN
HIT信号を、FULL信号を、20本の信号線334
の1本上に要置換X信号を、また20×20マトリツク
ス200への入力として20本のビット線332の1本
(たとえば、332−1 : 332−2など)上にX
信号を発生する。
第8図は、本発明の好ましい実施例の(X軸)セル選択
回路の1つ及び20X20マトリツクス・セルの1つの
構造をさらに詳細に示すブロック図及び論理ゲート図で
ある。さらに具体的には、(X軸)5セル選択回路74
0の第1のセル選択回路800と第2のセル選択回路8
01の一部、及び第1の圧縮マトリックス・セル1−1
とその他の圧縮マトリックス・セル1−2.2−L 2
−2の一部が示されている。20個の(X軸)セル選択
回路と20個の(y軸)セル選択回路とは類似の構造で
あり、さらに400個の圧縮マトリックス・セルすべて
も類似の構造なので、話を簡潔にするために、第8図の
説明は、主に第1セル選択回路800と第1の圧縮マト
リックス・セル1−1について行なろ。
テストの前に、20個の(X軸)セル選択回路と20個
の(y軸)セル選択回路の各アドレス・ラッチ810は
、DUTのメモリ・アレイ区分のどの行及び列にも対応
しないように、また線818上にアドレス無効(すなわ
ち、論理”O”)を出力するよつに初期設定される。さ
らに、20個の(X軸)セル選択回路と20個の(y軸
)セル選択回路の各限界レジスタ872は、冗長行及び
冗長列の数(この例では′″4″)に等しい値′″D”
を含むように初期設定され、各カウンタ870は、ゼロ
・カウントを含むように初期設定される。限界レジスタ
回路とカウンタ回路のこの初期設定の結果、比較回路8
74は、論理″O”を「同等」線上に出力して、AND
ゲート878を使用不能にし、論理″1″を「以下」線
上に出力して、ANDゲート844を使用可能にし、論
理l″Ov′を「以上」線上に出力して、ANDゲート
880を使用不能にする。各ラッチ850のリセット入
力は、ラッチ・ノード851に論理* 0 ?lを含む
ようにすべての圧縮マトリックス・セルをリセットする
のに利用される。ブロック・レジスタ370(第1図)
は、それぞれ所望のブロック1、ブロック2、ブロック
3及びブロック4信号に対応する順次ビットをもつ論理
値を含むように初期設定される。エネーブル・レジスタ
420(第4図)は、該当ビットを除くすべてのエラー
信号ビットを有効にブロックする論理値を含むように初
期設定される。マスク・レジスタ530は、その1”ビ
ットが、Xアドレス及びYアドレスの予め選択されたビ
ットを比較のためマスクされない状態に留め、そのNo
”ビットが、Xアドレス及びYアドレスの残りのビット
を”don’tcare″比較としてマスクする、論理
値を含むように初期設定される。最後に、エリア・レジ
スタ540は、当該のメモリ・エリアの論理ビット値を
示すエリア値を含むように初期設定される。
第8図で、第1のセル選択回路800は、線328を介
してXアドレスを受け取り、このXアドレスは、アドレ
ス・ラッチ810の入力端子に供給される。アドレス・
ラッチ810のラッチ機能は、ANDゲート814から
のロード出力及び線812上のFULL信号によって制
御される。さらに具体的には、アドレス・ラッチ810
がDUTアドレスのXアドレス部分にラッチできるため
の、第1の前提条件は、線812を介して受け取った論
理値″′1″′によってラッチ回路810が使用可能に
なることである。初期設定後(DUTアドレスがラッチ
される時まで)に、第1のアドレス・ラッチ810は、
第12番目のセル選択回路からの循環されたXFULL
4FULL信号に、論理″1″を線812を介してブロ
ック・レジスタ310から受け取る。というのは、通常
は初期設定後に第12番目のセル選択回路から出力され
る論理″O?′は、第1のセル・セレクタ回路の動作を
ブロックするからである。
第2の前提条件は、制御ANDゲート814へのすべて
の入力信号が論理″1″になるまで、アドレス・ラッチ
810の「ロード」動作が行なわれないことである。さ
らに具体的には、ロード動作を行なうには、FULL信
号入力が1”でなければならず(このようなことは、前
に説明したように、初期設定の直後に第1セル選択回路
で典型的に起こる)、エネーブル信号が+v1wでなけ
ればならず(すなわち、現入力アドレスが、エリア選択
ラッチ324にセットされている当該のメモリ・エリア
に属するものでなければならない)、エラー信号が1″
でなければならず(すなわち、元のエラー信号のマスク
されていないいずれかのビットによってエラーが指示さ
れなければならない)、XBLK信号が1”でなければ
ならず(すなわち、ナでに「要修理」のフラグが立てら
れたメモリ・アレイの線上にエラーが発生してはならな
い)、クロック信号が”1”でなければならず、XNC
MP信号が1″でなければならず(現アドレスが、他の
アドレス・ラッチ回路にすでに記憶されているどのアド
レスとも一致してはならない)、最後にTV倍信号1″
でなければならない(すなわち、このアドレス・ラッチ
が妥当なアドレス値をすでに含んでいてはならない)。
上記の前提条件がす゛べて満足されるとすると、制御A
NDゲート814は、線816上に論理”1″を発生し
、この信号はアドレス・ラッチ810に、現在その端子
に印加されている入力アドレスをラッチさせ記憶させる
。この線816上の論理″1″ロード信号はまた。OR
ゲート842を通り、エネーブルされたANDゲート8
44を通り、(X軸)線X−1に沿って伝播して、AN
Dゲート852に到達する。ANDゲート852は、マ
トリックス・セル・ラッチ850へのセット入力ゲート
として動作する。(カウンタ870は、カウント値ゼロ
を含み、したがって、比較回路874は「同等j線に沿
って論理レベル″O″を出力するので、ANDゲート8
76は使用禁止になり、論理″1″1″信(線X−1に
沿って)その中を伝播して、カウンタを増分するカウン
ト・パルスとして動作できるようにすることができなく
なることに留意されたい。) この例では、とのyアドレスも(y軸)セル選択回路に
前もってラッチされていないものと仮定する。したがっ
て、現アドレスのXアドレス部分が(前述のように)第
1(x軸)セル選択回路にラッチされる間に、Xアドレ
ス部分が第1の(y軸)セル選択回路にラッチされてお
り、したがって、論理”1″信号が(y軸)線Y−1に
沿って伝播し、(X軸)線X−1に沿って論理+vlt
tが到着するのとほぼ同時にANDゲート852に到着
する。ANDゲート852にこれらの信号が同時に到着
すると、ラッチ850がラッチされて、ノード851に
論理値″1″が記憶される。さらに、ノード851の論
理値tt Onから論理値”1″への遷移がインバータ
回路854を通して供給され、ANDゲート856の出
力を論理値”1″から論理値″O″に変化させる。この
ANDゲート論理値”1″から論理値″O″への遷移は
、ダイオード増幅回路858を通してXカウント−1線
880及びYカウント−1線862にカウント・パルス
として提供され、これらの線に関連するカウンタに供給
され、そのカウントを増分させる。
たとえば、カウンタ870をカウント?′1″に増分さ
せる。(話を簡潔にし、図が込み入らないようにするた
めに、カウント線(たとえば、Xカウント−1、Yカウ
ント−1)は、第3図または第7図には示されていない
) 要約すると、前述の動作の終了時には、現入力アドレス
のXアドレス部分がアドレス・ラッチ810中にラッチ
済みであり、アドレス比較回路830の(A)側に出力
及び印加中であり、論理”工”のアドレス有効信号が線
818に沿って出力され、アドレス比較回路830を使
用可能にし、かつインバータ820中を伝播して制御A
NDゲート814がロード信号を発生できなくさせ、カ
ウンタ870がカウントf′1′″に増分されており、
第2図で”木”210で示すように、(捕捉されたエラ
ーを表す値)論理1’llWが圧縮マトリックス・セル
1−1に記憶済みである。
以下の例では、第2のエラー人カアドレスは、第1のエ
ラーとXアドレス部分は同じだがXアドレス部分が異な
るものと仮定する。
Xアドレス部分が線328に沿って第1セル選択回路8
00に到達すると、アドレス比較回路830は、現Xア
ドレスをアドレス・ラッチ810にすでに記憶されてい
るXアドレスに一致するものとして認識し、したがって
、アドレス比較回路は論理l″1″の比較信号を線83
2上に出力する。
この比較信号は20人力NORゲート899中を伝播し
て、XNCMP線336に沿って論理″O”レベルを生
成し、この論理″O″レベルが次のセル選択回路801
のANDゲートに供給され、それによってこのANDゲ
ートがこの冗長Xアドレスをロードするのを防止する。
(20人力NORゲート899は第1セル選択回路80
0の処理専用のものではなく、その20個の入力端子そ
れぞれが、20個の(X軸)セル選択回路のそれぞれか
ら比較信号を受け取ることに留意されたい。)比較信号
はまた、ANDゲート840中を通り(すなわち、クロ
ック・パルスと同時に)、ORゲー)842、依然とし
て使用可能状態のANDゲート844中を通り、(X輪
)線X−1に沿って伝播する。この動作と同時に、「新
しい」 (以前にラッチされず、または捕捉されなかっ
た)Xアドレス部分が第2の(y軸)セル選択回路中に
ラッチされ、それにより、論理″1″′信号が(y軸)
線Y−2に沿って伝播して、(X軸)線X−1に沿って
論理″1″が到着するのとほぼ同時にマトリックス・セ
ル1−2のANDゲートに到着する。このマトリックス
・セル1−2に対するラッチの設定、及び線Xカウント
−1とXカウント−2上でのクロック信号の発生は上記
と同様である。
動作が完了すると、(捕捉されたエラーを表す)第2図
で“*”211で示すように、論理FF1ffが圧縮マ
トリックス・セル1−2に記憶される。
第1及び第2のエラーと同じXアドレス部分をもつが、
それぞれ異なる「新しい」Xアドレス部分をもつ入力ア
ドレスを有する、例示的な第3及び第4のエラーについ
ても、上述の説明と同様であり、(捕捉されたエラーを
表す)論理″1″が生成され、第2図で”*″212及
び213で示すように、圧縮マトリックス・セル1−3
及び1−4(図示せず)に記憶される。
第4のエラーが上述のように処理された後に、カウンタ
870(第8図)はカウント値″4″を含み、この値は
冗長値”R″と値が等しい。Rはこの例では4である。
したがって、比較回路874は、論理レベルtwinを
「同等」線、「以下」線及び「以上」線上に出力する。
例示的な第5のエラーは、第1ないし第4のエラーと同
じXアドレス部分をもつが、異なる「新しい」Xアドレ
ス部分をもつ入力アドレスを有するもので、本発明のさ
らに重要な動作を例示するものである。
第5のエラーに出会うと、Xアドレス部分は線328に
沿って第1セル選択回路800に到達し、アドレス比較
回路830は、現在のXアドレスをアドレス・ラッチ8
10にすでに記憶されているXアドレスに一致するもの
として認識し、したがって、アドレス比較回路は、論理
″′1′の比較信号を線832上に出力する。この比較
信号は、20入力NORゲート899中を伝播してXN
CMP線336に沿って論理レベル″O″′を生成し、
この論理レベル″O″″が次のセル選択回路801のA
NDゲートに供給され、それによってこのANDゲート
がこの冗長Xアドレスをロードするのを防止する。比較
信号はまた、ANDゲート840中を通り(すなわち、
クロック・パルスと同時に)、ORアゲ−842、依然
として使用可能状態のANDゲート844中を通り、(
X軸)線X−1に沿って伝播する。
比較信号は、さらに(「以上」線に沿った論理レベルが
”1′″であるため、このとき使用可能状態にある)A
NDゲー)8801NORゲート888中を伝播して、
常時「ハイ」 (すなわち、”1″使用可能)レベルの
信号YBLKを「ロー」(”O”使用禁止)レベルに変
化させる。(2ONORゲート898は、第1セル選択
回路800の処理専用のものではなく、その20個の入
力端子それぞれが、20(X軸)セル選択回路のそれぞ
れからANDゲートの信号880を受け取ることに留意
されたい。) 「ロー」レベルのYBLK信号は、線358に沿って(
y軸)セル選択回路に伝播し、特に、(y軸)制御AN
Dゲート(図示しないが、ANDゲート814に相当)
を使用禁止にして、20個の(y軸)セル選択回路のす
べてが現エラーのXアドレス部分をラッチまたは捕捉す
るのを防止する。このことの理°論的根拠は、(すでに
、エラー・カウント″4″をもつ)X列1が、「要置換
」列として指示されるようにスケジュールされ、したが
って、この列に沿って現在及び未来に出会うエラーを修
理するので、限られた数の(y軸)セル選択回路を引き
続き使用してこれらのエラーを捕捉するのは本質的に冗
長であり、非効率的であることにある。
現(すなわち、第5)エラーの「新しい」yアドレスは
(y軸)セル選択回路によって以前にラッチまたは捕捉
されておらず、またYBLK信号によってそろならない
よつに防止されているので、20個の(y軸)セル選択
回路のどれも、論理″1“信号を生成しない。したがっ
て、この論理″1″″信号は、(y軸)線(たとえば、
Y−1、Y−2など)の1つに沿って伝播して、マトリ
ックス・セル(たとえば、セル−1、セル−2など)の
ANDゲートに、(X軸)X−1線に沿って論理“1”
が到着するのと同時に到着することはなく、シたがって
、X列1に沿って次のマトリックス・セルがセットされ
ることはない。さらに、どの(y軸)アドレス比較回路
(図示しないが、アドレス比較回路830に相当)もア
ドレスの一致を検出せず、したがって(y軸)セル・エ
ネーブル回路350からのy不一致YNCMP信号は論
理″″1”(すなわち、ハイ)レベルに留まる。
この論理″1”のYNCMP信号は、「同等」線からの
現論理”1”信号とともに、ANDゲート876を使用
可能にして、論理”1″信号がX−1線に沿って伝播し
て、カウンタ870をカラン)”5”に増分させるカウ
ント・パルスとして働くことができるようにする。した
がって、カウンタ870(第8図)は、このとき限界レ
ジスタ872に記憶された冗長値”D″(この例では、
4″)より高いカウント値を含んでおり、したがって、
比較回路874の出力は、「同等」線及びr以下」線の
それぞれ上で論理レベル″O″に、また「以上」線上で
論理レベル″1″に遷移し、それを維持する。「以下」
線上の論理レベル″0”は、線334−1上に出力され
る要置換Xを表す。「以上」線GE上の論理レベル*l
*は監視を続けて、線328上の入力アドレスのXアド
レス部分がアドレス・ラッチ810に記憶されたものと
一致するとき、ANDゲート880及びN。
Rゲート889がYBLK信号を発生することを許し、
この「要置換」列に関して修理されるようにすでに指定
されたエラーのyアドレスの捕捉がさらに起こるのをブ
ロックする。
例示的な第6のエラーは、20個の(X軸)セル選択回
路が、異なるDUTエラー・アドレスを順次ラッチまた
は捕捉し、まず最初に第1の(X軸)セル選択回路80
0(前述)が第1のDUTエラー・アドレスを捕捉し、
次いで順次(すなわち、次に利用できる)セル選択回路
が、次に発生するCUTアドレスを捕捉するのを説明す
るのに役立つ。さらに具体的には、テストを行なうとき
、新しいDUTのX列に沿って障害が検出されたときに
限って、利用可能な各(すなわち、次の順番の)セル選
択列にDUTの異なるXアドレス値が割り当てられ、関
連付けられる。同様に、新しいOUTのY列に沿って障
害が検出されたときに限って、利用可能な各(すなわち
、次の順番の)セル選択行にDUTの異なるYアドレス
値が割り当てられ、関連付けられる。
第6のエラーは、これまでにラッチまたは捕捉されたも
のとは異なるXアドレス部分及びXアドレス部分をもつ
入力アドレスを有するものと仮定する。
第1の(X軸)セル選択回路についていえば、アドレス
・ラッチ810は、すでに第1のDUTエラー・アドレ
スをラッチ済みであり、また、制御ANDゲート814
がロード信号をさらに発生しアドレス・ラッチ810に
出力できないようにするために、論理″1″のアドレス
有効信号を(第1のエラー・アドレスの捕捉時から)線
818上に出力済みである。さらに、アドレス比較回路
830は、現(第6エラー)Xアドレスが以前に記憶さ
れた(第1の)Xアドレスと一致しないものとして認識
し、したがって、このアドレス比較回路は、線832上
の通常論理″O″の比較信号CMPまたは線336上の
通常論理Wl?lのXNCMP信号を変更しない。
第2のCx軸)セル選択回路801についていえば、線
328に沿ったXアドレス部分がアドレス・ラッチ88
5の入力端子に与えられる。アドレス・ラッチ895の
ラッチ機能は、第1のセル選択回路800について前述
したのと同様にして、ANDゲート896からのロード
出力と線897上のFULL信号とによって制御される
。しかし、前のアドレス・ラッチ810による論理”t
″のアドレス有効信号出力は、ANDゲート888への
FULL信号入力として利用され、線897上に存在す
る。要するに、20個の(X軸)セル選択回路に異なる
OUTエラー・アドレスを順次ラッチないし捕捉させる
のは、このアドレス有効信号の「順送り」であることに
注目されたい。
他の(前述の)前提条件がすべて満足されたとすると、
制御ANDゲート89Bは、線894上に論理″1″を
生成する。この論理″1′″は、アドレス・ラッチ81
0にその入力端子に現在印加されている入力(第6エラ
ー)アドレスをラッチ・インさせ、記憶させる。さらに
、圧縮マトリックス・セル2−1(第2図に”*″22
0で示される)中で論理″1″をセットし、この第2の
X列に関連するカウンタを増分する(第2のエラー例に
ついて前述した動作と同様)一連の動作が進行する。
同シメモリ・アレイの(すなわち、同一のXアドレス部
分をもつが、それ、ぞれ異なるXアドレス部分をもつ入
力アドレスを有する)行(y軸)線に沿って発生する多
数のエラーの捕捉及び圧縮は、メモリ・アレイの列(X
軸)線について前述したのと同様にして行なわれ、その
結果、(捕捉されたエラーを表す)論理″′1″が、例
えば第2図に品*”280128112B2及び263
で示すよつに、圧縮マトリフクス200の行(y軸)線
に沿って記憶される。
本発明は、エラー捕捉及び圧縮と「要置換」解析(すな
わち、「要置換J DUT行及び列のフラグ立て)だけ
を行なうものである。本発明を用いてすべての捕捉と圧
縮が完了すると、アドレス・ラッチ(例えば、810)
に含まれる「要置換」信号、圧縮された障害情報、及び
捕捉されたCUTエラー・アドレスを読み出して、例え
ば、要置換Y回路380、解析検出回路384、解答ラ
ッチ回路3901全組合せパターン回路395及び要置
換X回路887によってさらに処理される。
その詳細は本発明の一部ではないが、このような追加回
路は、追加の「疎修理」解析、すなわち、利用可能な冗
長構成を利用して修理が行なえるか否かを決定するため
の、「非要置換」に関する障害情報の解析を行なう。
各アドレス・ラッチ810を接続する直列経路(図示せ
ず)を用いて捕捉されたDUTアドレスを出力できるこ
とに加えて、マトリックス・セル・ノード851にラッ
チされて記憶された、圧縮された障害情報に対応する論
理値″1”を、マスク・イン線及びYOR線の組合せを
用いて出力することができる。
さらに具体的に述べると、ANDゲート892が、マス
ク・イン線によって処理される列に沿って、そのノード
861に論理Wl*が記憶されたどのマトリックス・セ
ルに対しても使用可能となるように、要置換X回路38
7を使って、順次的な時間的に離れた論理レベル”1″
′を20本のマスク・イン線890(例えば、マスク・
イン−1)のそれぞれに沿って供給することができる。
このようなマトリックス・セルでは、論理値″1″がA
NDゲート892によってYOR線に印加される。マス
ク・イン線(例えば、マスク・イン−1)に沿って配列
され、それによって処理される20個のマトリックス・
セルに対する出力値は、20本のYOR線に沿って並列
に読み出される。
すでに述べたように、全エラーの捕捉及び圧縮が圧縮マ
トリックス内に収まるとしても、DUTが利用可能な冗
長構成によって修理できるとの保証にはならない。−例
を挙げると、例えば、マトリックス・セル280(第3
図)内で、第3図に”*”で示すように32個のエラー
が捕捉され圧縮され、かつ追加のエラーが捕捉され圧縮
された場合、この圧縮障害情報に関するDUTを利用可
能な冗長構成によって修理することはできない。
第9図は、3つの「要修理」状況を伴う圧縮された障害
情報を有し、かつ冗長修理を行なうために「疎解析」を
さらに必要とする、圧縮マトリックスを簡単に図示した
ものである。さらに具体的には、第9図は、「要置換」
解析で列3及び4と行12に沿って「要置換」が提示さ
れ、かっ「疎解析」で、さらに追加の列1及び2と行1
3及び14を用いてうまく修理できることが提示される
状況の例である。
本発明の好ましい実施例によって「要修理冗長解析」を
行なった後に、「疎冗長解析」を行なって最適解を得る
ことができるが、このような場合は、IBM  TDB
  Vol、29、No、6.1886年11月、pp
、275B−2758に所載の「冗長構成用の最適解生
成回路(BESTSOLtlTIOHGEHERATO
RFORREDUNDANCY) J  (著者不明)
に開示され記述されているような最適解生成回路を使用
できる。
以上本発明の具体的な実施例について説明し図示したが
、本明細書で論じなかった多くの修正及び変更は当業者
ならすぐに思いつくものであり、したがって、特許請求
の範囲はこのような修正及び対等物をもカバーすると解
釈すべきである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、冗長解析のための実時間のデータ・エラー捕
捉及び圧縮が可能な、障害情報を捕捉し圧縮するための
装置の好ましい実施例のブロック図である。 第2図は、本発明が適用される、代表的な試験中の装置
のメモリ・アレイ区分に関連する冗長行及び冗長列を示
すブロック図である。 第3図は、本発明の好ましい実施例で圧縮された障害情
報を記録するのに利用される、20×20マトリツクス
に相当する圧縮マトリックスを単純化して示した図であ
る。 第4図は、第1図に示したエラー選択ラッチの構造をさ
らに詳細に示すブロック図である。 第5A図は、第3図に示したエリア選択ラッチの1つの
構造をさらに詳細に示すブロック図である。 第5B図は、第5A図に示したエリア選択ラッチの動作
の説明に役立つ図である。 第6A図は、第5A図に示したマスク比較回路の構造を
さらに詳細に示す論理ゲート図である。 第6B図は、第5A図に示したマスク比較回路内で使用
されるANDゲートの構造をさらに詳細に示す論理ゲー
ト図である。 第7図は、本発明の好ましい実施例のセル・エネーブル
/あふれ通知用配置構成のブロック図である。 第8図は、本発明の好ましい実施例の(X軸)セル選択
の1つ及び20X20マトリツクス・セルの1つの構造
をさらに詳細に示すブロック図及び論理ゲート図である
。 第9図は、圧縮された障害情報を3つの「要修理」状況
で示し、冗長修理を実施するための「疎解析」をさらに
必要とする、圧縮マトリックスを単純化して示した図で
ある。

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)行と列のマトリックスとして配列された複数のメ
    モリ・セルを有し、かつ所定数の冗長行及び所定数の冗
    長列に配列された複数の冗長セルを有するメモリ・アレ
    イのテストから得られる障害情報を冗長修理のために捕
    捉し圧縮する装置であって、 圧縮マトリックス手段内に上記障害情報を捕捉し圧縮す
    る捕捉/圧縮手段を含み、上記圧縮マトリックス手段が
    、上記メモリ・アレイ内のメモリ・セルの数より少ない
    、圧縮行と圧縮列のマトリックスに配列された複数のマ
    トリックス・セルを含み、上記圧縮マトリックス手段内
    の圧縮行の数Rが(冗長行の上記の所定数)×(冗長列
    の上記の所定数+1)に等しく、上記圧縮マトリックス
    手段内の圧縮列の数Cが(冗長列の上記所定数)×(冗
    長行の上記の所定数+1)に等しいことを特徴とする、
    メモリ障害情報を捕捉し圧縮する装置。
  2. (2)上記捕捉/圧縮手段が、 メモリ・アレイのテストと同時に上記障害情報を上記圧
    縮マトリックス手段にロードする手段を含むことを特徴
    とする、 請求項1に記載の装置。
  3. (3)上記ロード手段が、 上記障害情報の異なる列アドレス部分を記憶し、少なく
    とも上記圧縮列の一部分の各圧縮列にそれを割り当て、
    記憶された列アドレス部分に応じて圧縮列の選択を行な
    う、列選択手段、及び 上記障害情報の異なる行アドレス部分を記憶し、少なく
    とも上記圧縮行の一部分の各圧縮行にそれを割り当て、
    記憶された行アドレス部分に応じて圧縮行の選択を行な
    う、行選択手段 を含むことを特徴とする、請求項2に記載の装置。
  4. (4)上記マトリックス・セルが、それぞれ上記圧縮行
    及び圧縮列のうちの選択されたものを用いてセットする
    ことが可能であり、 上記列選択手段が、 各圧縮列ごとに、上記の各圧縮列に沿ってセットされた
    マトリックス・セルの列カウントを維持するための列カ
    ウンタ手段、及び 各圧縮列ごとに、上記の各圧縮列に沿ってセットされた
    マトリックス・セルの上記列カウントを所定の冗長値と
    比較し、上記列カウントが上記冗長値より大きくなった
    とき、上記の各圧縮列の列アドレス部分によって定義さ
    れるメモリ・アレイ列を「要置換」列として指定し、上
    記各圧縮列と同一の列アドレス部分をもつ、後続の障害
    情報の行アドレス部分を記憶することをブロックするた
    めの列比較手段を含み、 上記行選択手段が、 各圧縮行ごとに、上記の各圧縮行に沿ってセットされた
    マトリックス・セルの行カウントを維持するための行カ
    ウンタ手段、及び 各圧縮行ごとに、上記の各圧縮行に沿ってセットされた
    マトリックス・セルの上記行カウントを所定の冗長値と
    比較し、上記行カウントが上記冗長値より大きくなった
    とき、上記の各圧縮行の行アドレス部分によって定義さ
    れるメモリ・アレイ行を「要置換」行として指定し、上
    記各圧縮行と同一の行アドレス部分をもつ、後続の障害
    情報の列アドレス部分を記憶することをブロックするた
    めの行比較手段を含むことを特徴とする、 請求項3に記載の装置。
  5. (5)上記装置が、上記の数C及びRよりそれぞれ多い
    数の圧縮列及び圧縮行を含み、上記装置がさらに、 所定の圧縮列及び圧縮行からあふれ信号を受け取り、所
    定の圧縮列及び圧縮行からの上記あふれ信号に基づいて
    、所定の圧縮マトリックスの少なくとも1つが圧縮列及
    び圧縮行の上記の数C及びRに対応するような、上記圧
    縮マトリックス手段の所定の圧縮マトリックスを定義す
    るためのあふれ手段を含むことを特徴とする、 請求項4に記載の装置。
  6. (6)上記の数C及びRの圧縮列及び圧縮行を有する上
    記所定の圧縮マトリックスのいずれか1つからのあふれ
    信号は、試験中のメモリ・アレイの修理が、上記所定の
    数の冗長行及び上記所定の数の冗長列を用いて行なえな
    いことを示すことを特徴とする、 請求項5に記載の装置。
  7. (7)上記列選択手段が、ブロックされた列アドレス部
    分を除き、順次列アドレス部分をその発生順に記憶する
    ことによって列アドレス部分を記憶し、上記行選択手段
    が、ブロックされた行アドレス部分を除き、順次行アド
    レス部分をその発生順に記憶することによって行アドレ
    ス部分を記憶することを特徴とする、 請求項8に記載の装置。
  8. (8)上記装置が、上記メモリ・アレイの上記テストの
    結果生ずるエラー信号の複数のビットを受け取ることが
    でき、上記障害情報の一部分が上記エラー信号の所定ビ
    ットから導出され、上記装置がさらに、 エラー・マスク値を登録するエラー・レジスタ手段、及
    び 上記エラー・マスク値を用いて上記エラー信号の複数の
    ビットのうちのあらかじめ選択されたものをマスクして
    、障害情報の上記部分が上記所定の選択されたエラー信
    号のビットのみから導出されるようにする、エラー比較
    手段を含むことを特徴とする、 請求項7に記載の装置。
  9. (9)上記装置が、上記メモリ・アレイの上記テストの
    結果生ずる入力アドレス信号の複数のビットを受け取る
    ことができ、上記障害情報の一部分が上記アドレス信号
    の所定のビットから導出され、上記装置がさらに、 アドレス・マスク値を登録するマスク・レジスタ手段、 エリア値を登録するエリア・レジスタ手段、及び 上記アドレス・マスク値を用いて上記入力アドレス信号
    の複数のビットのうちのあらかじめ選択されたものをマ
    スクして、障害情報の上記部分がアドレス信号の上記所
    定ビットのみから導出されるようにし、アドレス信号の
    上記所定ビットを上記エリア値と比較し、比較で一致し
    たとき、入力アドレス信号が上記装置にとって重要なこ
    とを示すエネーブル信号を出力する、アドレス比較手段
    を含むことを特徴とする、 請求項8に記載の装置。
  10. (10)上記障害情報が、メモリ・セルの障害を表すエ
    ラー値と、上記メモリ・アレイに関する上記障害の列及
    び行アドレス位置をそれぞれ表すxアドレス部分及びy
    アドレス部分を含むことを特徴とする、 請求項9に記載の装置。
  11. (11)上記圧縮マトリックス手段が、R×C、R^2
    及びC^2のいずれかに等しい数のマトリックス・セル
    を含むことを特徴とする、 請求項10に記載の装置。
  12. (12)行と列のマトリックスとして配列された複数の
    メモリ・セルを有し、かつ所定数の冗長行及び所定数の
    冗長列に配列された複数の冗長セルを有するメモリ・ア
    レイのテストから得られる障害情報を冗長修理のために
    捕捉し圧縮する方法であって、 圧縮マトリックス手段内の上記障害情報を捕捉し圧縮す
    るステップを含み、上記圧縮マトリックス手段が、上記
    メモリ・アレイ内のメモリ・セルの数より少ない、圧縮
    行及び圧縮列のマトリックスに配列された複数のマトリ
    ックス・セルを含み、上記圧縮マトリックス手段内の圧
    縮行の数Rが、(冗長行の上記の所定数)×(冗長列の
    上記の所定数+1)に等しく、上記圧縮マトリックス手
    段内の圧縮列の数Cが(冗長列の上記の所定数)×(冗
    長行の上記の所定数+1)に等しいことを特徴とする、
    メモリ障害情報を捕捉し圧縮する方法。
  13. (13)上記捕捉・圧縮ステップが、メモリ・プレイの
    テストと同時に上記障害情報を上記圧縮マトリックス手
    段にロードするステップを含むことを特徴とする、 請求項12に記載の方法。
  14. (14)上記ロード・ステップがさらに、 上記障害情報の異なる列アドレス部分を記憶し、少なく
    とも上記圧縮列の一部分の各圧縮列にそれを割り当て、
    記憶された列アドレス部分に応じて圧縮列を選択するス
    テップ、及び 上記障害情報の異なる行アドレス部分を記憶し、少なく
    とも上記圧縮行の一部分の各圧縮行にそれを割り当て、
    記憶された行アドレス部分に応じて圧縮行を選択するス
    テップを含むことを特徴とする、 請求項13に記載の方法。
  15. (15)上記マトリックス・セルが、それぞれ上記圧縮
    行及び圧縮列のうちの選択されたものを用いてセットす
    ることが可能であり、 上記の異なる列アドレス部分を記憶し割り当てるステッ
    プが、 各圧縮列ごとに、上記の各圧縮列に沿ってセットされた
    マトリックス・セルの列カウントを維持するステップ、
    及び 各圧縮列ごとに、上記の各圧縮列に沿ってセットされた
    マトリックス・セルの上記列カウントを所定の冗長値と
    比較し、上記列カウントが上記冗長値より大きくなった
    とき、上記の各圧縮列の列アドレス部分によぅて定義さ
    れるメモリ・アレイ列を「要置換」列として指定し、上
    記各圧縮列と同一の列アドレス部分をもつ、後続の障害
    情報の行アドレス部分を記憶することをブロックするス
    テップを含み、 上記の異なる行アドレス部分を記憶し割り当てるステッ
    プが、 各圧縮行ごとに、上記の各圧縮行に沿ってセットされた
    マトリックス・セルの行カウントを維持するステップ、
    及び 各圧縮行ごとに、上記の各圧縮行に沿ってセットされた
    マトリックス・セルの上記行カウントを所定の冗長値と
    比較し、上記行カウントが上記冗長値より大きくなった
    とき、上記の各圧縮行の行アドレス部分によって定義さ
    れるメモリ・アレイ行を「要置換」行として指定し、上
    記各圧縮行と同一の行アドレス部分をもつ、後続の障害
    情報の列アドレス部分を記憶することをブロックするス
    テップを含むことを特徴とする、 請求項14に記載の方法。
  16. (16)上記の数C及びRよりそれぞれ多い数の圧縮列
    及び圧縮行があり、上記方法がさらに、 所定の圧縮列及び圧縮行からあふれ信号を受け取り、所
    定の圧縮列及び圧縮行からの上記あふれ信号に基づいて
    、上記所定の圧縮マトリックスの少なくとも1つが圧縮
    列及び圧縮行の上記の数C及びRに対応するような、上
    記圧縮マトリックス手段の所定の圧縮マトリックスを定
    義する、ステップを含むことを特徴とする、 請求項15に記載の方法。
  17. (17)上記の数C及びRの圧縮列及び圧縮行を有する
    上記所定の圧縮マトリックスのいずれか1つからのあふ
    れ信号は、試験中のメモリ・アレイの修理が、上記所定
    の数の冗長行及び上記所定の数の冗長列を用いて行なえ
    ないことを示すことを特徴とする、 請求項16に記載の方法。
  18. (18)上記列アドレス部分の記憶が、ブロックされた
    列アドレス部分を除き、順次列アドレス部分をその発生
    順に記憶することによって行なわれ、かつ 上記行アドレス部分の記憶が、ブロックされた行アドレ
    ス部分を除き、順次行アドレス部分をその発生順に記憶
    することによって行なわれることを特徴とする、 請求項17に記載の方法。
  19. (19)上記メモリ・アレイの上記テストの結果生ずる
    エラー信号の複数のビットを受け取ることができ、上記
    障害情報の一部分が上記エラー信号の所定のビットから
    導出され、上記方法がさらに、エラー・マスク値を登録
    するステップ、及び上記エラー・マスク値を用いて上記
    エラー信号の複数のビットのうちのあらかじめ選択され
    たものをマスクして、障害情報の上記部分が上記エラー
    信号の所定のビットのみから導出されるようにするステ
    ップを含むことを特徴とする、 請求項18に記載の方法。
  20. (20)上記メモリ・アレイの上記テストの結果生ずる
    入力アドレス信号の複数のビットを受け取ることができ
    、上記障害情報の一部分が上記アドレス信号の所定のビ
    ットから導出され、上記方法がさらに、 アドレス・マスク値を登録するステップ、 エリア値を登録するステップ、及び 上記アドレス・マスク値を用いて上記入力アドレス信号
    の複数のビットのうちのあらかじめ選択されたものをマ
    スクして、障害情報の上記部分がアドレス信号の上記所
    定ビットのみから導出されるようにし、アドレス信号の
    上記所定ビットを上記エリア値と比較し、比較で一致し
    たとき、入力アドレス信号が上記装置にとって必要なこ
    とを示すエネーブル信号を出力するステップを含むこと
    を特徴とする、 請求項19に記載の方法。
  21. (21)上記障害情報が、メモリ・セルの障害を表すエ
    ラー値と、上記メモリ・アレイに関する上記障害の列及
    び行アドレス位置をそれぞれ表すxアドレス部分及びy
    アドレス部分を含むことを特徴とする、 請求項20に記載の方法。
  22. (22)上記圧縮マトリックス手段が、R×C、R^2
    及びC^2のいずれかに等しい数のマトリックス・セル
    を含むことを特徴とする、 請求項21に記載の方法。
  23. (23)行及び列に配列された複数のセルと冗長行及び
    冗長列を有する半導体メモリ・アレイ内の障害セルのテ
    ストを行なうためのテスタであって、上記テスタが、 その行数が(上記アレイ内の冗長行の数)×(上記アレ
    イ内の冗長列の数+1)に等しく、その列数が(上記ア
    レイ内の冗長列の数)×(上記アレイ内の冗長行の数+
    1)に等しい、行と列に配列された、アレイ内のセルの
    数より少ない複数のセルを含む障害マトリックスと、 行エネーブル回路及び列エネーブル回路を含み、上記障
    害マトリックスにテスタで検出された障害セルに関する
    情報をロードする手段とを含むことを特徴とするテスタ
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