JPH04109409A - 磁気ヘッド及びその製造法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造法Info
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- JPH04109409A JPH04109409A JP2229390A JP22939090A JPH04109409A JP H04109409 A JPH04109409 A JP H04109409A JP 2229390 A JP2229390 A JP 2229390A JP 22939090 A JP22939090 A JP 22939090A JP H04109409 A JPH04109409 A JP H04109409A
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- magnetic
- recording medium
- magnetic head
- magnetic recording
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はメタル磁性粉を含むメタル型磁気記録媒体及び
磁性薄膜を磁性層とした金属薄膜型磁気記録媒体に適用
される磁気ヘッド及びその製造法に関するものである。
磁性薄膜を磁性層とした金属薄膜型磁気記録媒体に適用
される磁気ヘッド及びその製造法に関するものである。
従来の技術
磁気記録の分野では、記録密度の高密度化が磁気記録媒
体及び磁気ヘッドの改善を通して行われている。
体及び磁気ヘッドの改善を通して行われている。
磁気記録媒体を例に取ると、Ｆ ｅ２ｏ３゜Ｃｏ−Ｆｅ
２０８．ＣｒＯ２等で代表される酸化物磁性粉に代わっ
て、Ｃｏ、Ｃｏ−Ｆｅ等の金属並びに合金系の磁性粉を
含む磁気記録媒体（メタル粉型磁気記録媒体で略してＭ
Ｐ磁気記録媒体と呼ばれる）や、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等を
主体とする金属並びに合金からなる磁性薄膜を磁性層と
する磁気記録媒体（金属薄膜型磁気記録媒体で略してＭ
Ｅｍ気記録媒体と呼ばれる）の実用化が行われている。
２０８．ＣｒＯ２等で代表される酸化物磁性粉に代わっ
て、Ｃｏ、Ｃｏ−Ｆｅ等の金属並びに合金系の磁性粉を
含む磁気記録媒体（メタル粉型磁気記録媒体で略してＭ
Ｐ磁気記録媒体と呼ばれる）や、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等を
主体とする金属並びに合金からなる磁性薄膜を磁性層と
する磁気記録媒体（金属薄膜型磁気記録媒体で略してＭ
Ｅｍ気記録媒体と呼ばれる）の実用化が行われている。
上記ＭＰ及びＭＥ磁気記録媒体（これらめ磁気記録媒体
を単に金属系磁気記録媒体と略称する）の進出に伴い、
磁気へラドコア材料の磁気飽和並びに高周波域での透磁
率が問題となり、このような観点から高密度記録媒体の
対応ヘノ’ｒとしてセンダスト合金、非晶質合金等の金
属磁性薄膜を多層化した磁気”’ｖ ノドが実用化され
ている。
を単に金属系磁気記録媒体と略称する）の進出に伴い、
磁気へラドコア材料の磁気飽和並びに高周波域での透磁
率が問題となり、このような観点から高密度記録媒体の
対応ヘノ’ｒとしてセンダスト合金、非晶質合金等の金
属磁性薄膜を多層化した磁気”’ｖ ノドが実用化され
ている。
第８図、第９図そして第１０図はこれら金属系磁気記録
媒体に使用される磁気へ、・ドの一例を示す。第８図は
磁気ヘットの平面図であり（媒体は紙面内を走行）、第
９図は金属系磁気記録媒体の側面からみた磁気ヘットの
磁気コアの正面図であり、第１０図は斜視図である。
媒体に使用される磁気へ、・ドの一例を示す。第８図は
磁気ヘットの平面図であり（媒体は紙面内を走行）、第
９図は金属系磁気記録媒体の側面からみた磁気ヘットの
磁気コアの正面図であり、第１０図は斜視図である。
４１ａは金属系磁気記録媒体、４１ｂは金属系磁気記録
媒体４１． ａの走行方向を示し、４１ｃは磁気ヘット
の回転方向を示す。
媒体４１． ａの走行方向を示し、４１ｃは磁気ヘット
の回転方向を示す。
４１は層間絶縁層（図では示されていない）を介して多
層化した軟磁性の金属磁性薄膜部であり、４２が金属磁
性薄膜部４１を挟持する基板、４３がギャップ、４４が
巻線溝、４５が磁気ヘッドコア半体４１ｄ並びに４１ｅ
を接着するためのガラスである。
層化した軟磁性の金属磁性薄膜部であり、４２が金属磁
性薄膜部４１を挟持する基板、４３がギャップ、４４が
巻線溝、４５が磁気ヘッドコア半体４１ｄ並びに４１ｅ
を接着するためのガラスである。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記構成の磁気ヘッドを磁気記録装置内に搭載
して金属系磁気記録媒体を磁気記録装置内で低ｌ！環境
下で走行させると次に記載するような問題が生しる。金
属系磁気記録媒体と接する磁気ヘットの摺動部内で摺動
部を構成している磁気コアの磁性薄膜部４１上で焼き付
き現象が発生し、磁気ヘット出力の大きな低下が見られ
る。
して金属系磁気記録媒体を磁気記録装置内で低ｌ！環境
下で走行させると次に記載するような問題が生しる。金
属系磁気記録媒体と接する磁気ヘットの摺動部内で摺動
部を構成している磁気コアの磁性薄膜部４１上で焼き付
き現象が発生し、磁気ヘット出力の大きな低下が見られ
る。
これは、金属系磁気記録媒体に対する磁気・＼、・トに
よる記録及び再生の信転性を損なう欠壱、があった。
よる記録及び再生の信転性を損なう欠壱、があった。
課題を解決するための手段
本発明の目的は従来の欠点を解消し金属系磁気記録媒体
に対する高信顛性の記録及び再生を可能にした磁気ヘッ
ドを提供することである。
に対する高信顛性の記録及び再生を可能にした磁気ヘッ
ドを提供することである。
上記目的を達成するために、本発明の磁気へ・ノドは金
属系磁気記録媒体と接触する磁気ヘッドの摺動部の一部
に、固体潤滑剤を含む多孔質性酸化物材を配して構成さ
れる。また本発明の磁気ヘッドを製造するための方法と
して、磁気へ・ノドコアのテープ摺動部からその積層方
向の一部に切欠部を設ける工程と、前記切欠部に固体潤
滑剤を含んだ非磁性の多孔質性酸化物材を被着する工程
と、前記多孔質性酸化物材とへ７トコアを含む前面を必
要な形状に研磨する工程とを構成する。
属系磁気記録媒体と接触する磁気ヘッドの摺動部の一部
に、固体潤滑剤を含む多孔質性酸化物材を配して構成さ
れる。また本発明の磁気ヘッドを製造するための方法と
して、磁気へ・ノドコアのテープ摺動部からその積層方
向の一部に切欠部を設ける工程と、前記切欠部に固体潤
滑剤を含んだ非磁性の多孔質性酸化物材を被着する工程
と、前記多孔質性酸化物材とへ７トコアを含む前面を必
要な形状に研磨する工程とを構成する。
作用
金属系磁気記録媒体と接触する磁気ヘッドの摺動部の一
部に固体潤滑剤を含む多孔質性酸化物材を配しているた
めに、低湿環境下で金属系磁気テープを走行させても、
多孔質性酸化物材中の固体潤滑剤が摺動部内に間欠的に
供給されるために、摺動部内の多層構造の磁性薄膜と金
属系磁気記録媒体が円滑な走行を行うことができ、従来
発生していた多層構造の磁性薄膜上の焼き付き現象が大
幅に改善でき、磁気ヘッド出力の大きな低下が低減でき
る。
部に固体潤滑剤を含む多孔質性酸化物材を配しているた
めに、低湿環境下で金属系磁気テープを走行させても、
多孔質性酸化物材中の固体潤滑剤が摺動部内に間欠的に
供給されるために、摺動部内の多層構造の磁性薄膜と金
属系磁気記録媒体が円滑な走行を行うことができ、従来
発生していた多層構造の磁性薄膜上の焼き付き現象が大
幅に改善でき、磁気ヘッド出力の大きな低下が低減でき
る。
実施例
本発明の実施例を第１図、第２図及び第３図に基づいて
説明する。第１図は本発明の磁気ヘッドを磁気記録媒体
と摺接する側からみた平面図であり、第２図は磁気記録
媒体の側面からみた磁気ヘッドの磁気コアの正面図であ
り、第３図は斜視図である。
説明する。第１図は本発明の磁気ヘッドを磁気記録媒体
と摺接する側からみた平面図であり、第２図は磁気記録
媒体の側面からみた磁気ヘッドの磁気コアの正面図であ
り、第３図は斜視図である。
ｌａは金属系磁気記録媒体、１ｂは金属系磁気記録媒体
１ａの走行方向を示し、ＩＣは磁気ヘッドの回転方向を
示す。１は眉間絶縁層（図では示されていない）を介し
て多層積層された軟磁性の金属磁性薄膜部であり、２が
金属磁性薄膜部１を挟持する基板、３が磁気ギャップ、
４が巻線溝、５が磁気ヘッドコア半体１ｄ並びにＩｅを
接着するためのガラスである。
１ａの走行方向を示し、ＩＣは磁気ヘッドの回転方向を
示す。１は眉間絶縁層（図では示されていない）を介し
て多層積層された軟磁性の金属磁性薄膜部であり、２が
金属磁性薄膜部１を挟持する基板、３が磁気ギャップ、
４が巻線溝、５が磁気ヘッドコア半体１ｄ並びにＩｅを
接着するためのガラスである。
摺動部の一部に設けられた切欠部６ａ内には固体潤滑剤
を含む多孔質性酸化物材６が被着される。
を含む多孔質性酸化物材６が被着される。
軟磁性の金属磁性薄膜１はＦｅ−Ａｊ！−３４系合金（
センダストと呼ばれる）やＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ系アモルフ
ァス合金等で構成される。眉間絶縁層にはＳ ｒ ０２
薄膜が望ましい。
センダストと呼ばれる）やＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ系アモルフ
ァス合金等で構成される。眉間絶縁層にはＳ ｒ ０２
薄膜が望ましい。
基板２はＮｉ−Ｚｎ系フェライト、結晶性ガラス、セラ
ミックス等で構成される。
ミックス等で構成される。
固体潤滑剤を含んだ多孔質性酸化物材６を構成する一例
を第４図、第５図、第６図及び第７図を用いて説明する
。
を第４図、第５図、第６図及び第７図を用いて説明する
。
金属磁性薄膜１を両側から基板２で挟んだ−・７ドコア
半体１ｄ、１ｅをギヤノブ面３で重ね巻線溝４からガラ
ス５で一体に接着レヘノ１ギヤ、プ方向に積層面を横断
する段差部６ａを設ける。段差部６ａはダイヤモンド砥
石等を用い精密切削加工によって容易に行なうことがで
きる。さらに第６図に示すように、段差部６ａには固体
潤滑剤と酸化物材を同時に溶射あるいはスパンタリング
により被着部の温度、雰囲気のガス種、圧力、印加電圧
等の積層条件を特定化して固体潤滑剤を含んだ多孔質性
酸化物材を被着する。
半体１ｄ、１ｅをギヤノブ面３で重ね巻線溝４からガラ
ス５で一体に接着レヘノ１ギヤ、プ方向に積層面を横断
する段差部６ａを設ける。段差部６ａはダイヤモンド砥
石等を用い精密切削加工によって容易に行なうことがで
きる。さらに第６図に示すように、段差部６ａには固体
潤滑剤と酸化物材を同時に溶射あるいはスパンタリング
により被着部の温度、雰囲気のガス種、圧力、印加電圧
等の積層条件を特定化して固体潤滑剤を含んだ多孔質性
酸化物材を被着する。
その後、第６図に一点鎖線で示す位置まで研磨仕上げす
ることによって第７図のヘッドを得る。
ることによって第７図のヘッドを得る。
固体潤滑剤としてはＭｏＳ２．黒鉛、ＰｂＯ。
Ｎａ２Ｍｏｂ、等の無機化合物、ＷＢ−ＡｇＮｉ、Ｍｏ
−ＭｏＳ２ 、Ａｇ−ＰＴＦＥＷＳｅ２等の混合物が望
ましい。
−ＭｏＳ２ 、Ａｇ−ＰＴＦＥＷＳｅ２等の混合物が望
ましい。
酸化物材としてはＮ１Ｏ−ＺｎＯ系、Ｚｎ０Ｆｅ２０３
系等の酸化物、Ａｌ２Ｏ２，ＺｒＯ２等が望ましい。
系等の酸化物、Ａｌ２Ｏ２，ＺｒＯ２等が望ましい。
さらに具体的な実施例を説明する。
実施例１
基本的には第１図、第２図及び第３図に示した磁気ヘッ
ドで構成される。第３図における基板２に、非磁性のＮ
ｉ −Ｚ ｎ系フェライトを選び、軟磁性の磁性薄膜
１としてＣｏ−Ｎ ｂ −Ｚ ｒ系アモルファス合金ス
パッタ膜を１層当りの厚みを３μｍ、層間絶縁層として
の５１０２膜を０．２μｍ、積層数７の多層構造とした
。摺動部の一部にＭ ｏ Ｓ ２固体潤滑剤を含んだ多
孔質性アルミナ材を配した。
ドで構成される。第３図における基板２に、非磁性のＮ
ｉ −Ｚ ｎ系フェライトを選び、軟磁性の磁性薄膜
１としてＣｏ−Ｎ ｂ −Ｚ ｒ系アモルファス合金ス
パッタ膜を１層当りの厚みを３μｍ、層間絶縁層として
の５１０２膜を０．２μｍ、積層数７の多層構造とした
。摺動部の一部にＭ ｏ Ｓ ２固体潤滑剤を含んだ多
孔質性アルミナ材を配した。
そして試作した磁気ヘッドを市販の８ミリビデオデツキ
と概ね等価な試作デツキのシリンダー内にヘッド突き出
し量を３５μｍとして装填した。
と概ね等価な試作デツキのシリンダー内にヘッド突き出
し量を３５μｍとして装填した。
そして上記試作デツキを温度が２５°Ｃ５相対湿度が１
０％の環境内に入れ、テープ長さが２時間長である金属
薄膜型の磁気テープを２００バス走行させた後のヘッド
出力及びそのときの磁気ヘット表面とりわけ軟磁性薄膜
表面上を観察した。その結果を第１表に示す。
０％の環境内に入れ、テープ長さが２時間長である金属
薄膜型の磁気テープを２００バス走行させた後のヘッド
出力及びそのときの磁気ヘット表面とりわけ軟磁性薄膜
表面上を観察した。その結果を第１表に示す。
第１表
第１表中、◎は良好な状態、×はヘッド出力の低下が顕
著であり焼き付きによるヘットダメージをうけているこ
とを示す。また第１表中の比較例１は従来の磁気ヘッド
を用いて実施例１と同様の試験を行った結果を示す。
著であり焼き付きによるヘットダメージをうけているこ
とを示す。また第１表中の比較例１は従来の磁気ヘッド
を用いて実施例１と同様の試験を行った結果を示す。
発明の効果
本発明の磁気へ、ドによれば金属系磁気記録媒体と接触
する磁気ヘッドの摺動部に多層構造の磁性薄膜部以外に
固体潤滑剤を含む多孔質性酸化物材を配しているために
、低湿環境下で金属系磁気テープを走行させても、多孔
質性酸化物材中の固体潤滑剤が摺動部内に間欠的に供給
でき、そのために、摺動部内の多層構造の磁性薄膜と金
属系磁気記録媒体が円滑な走行を行うことができ、従来
発生していた多層構造の磁性薄膜上の焼き付き現象が大
幅に改善でき、磁気へント出力の大きな低下が低減でき
る。そのために、本発明は金属系磁気記録媒体に対する
高信頼性の記録及び再生を行うことができ、その実用上
の効果は大なるものである。
する磁気ヘッドの摺動部に多層構造の磁性薄膜部以外に
固体潤滑剤を含む多孔質性酸化物材を配しているために
、低湿環境下で金属系磁気テープを走行させても、多孔
質性酸化物材中の固体潤滑剤が摺動部内に間欠的に供給
でき、そのために、摺動部内の多層構造の磁性薄膜と金
属系磁気記録媒体が円滑な走行を行うことができ、従来
発生していた多層構造の磁性薄膜上の焼き付き現象が大
幅に改善でき、磁気へント出力の大きな低下が低減でき
る。そのために、本発明は金属系磁気記録媒体に対する
高信頼性の記録及び再生を行うことができ、その実用上
の効果は大なるものである。
第１図は本発明の第１の実施例による磁気ヘッドの平面
図、第２図は同磁気ヘッドの正面図、第３図は同磁気ヘ
ッドの斜視図、第４図から第７図は本発明の磁気ヘッド
の製造法を斜視図を使って概略的に示した図、第８図は
従来例として用いた磁気ヘッドの平面図、第９図は同磁
気ヘッドの正面図、第１０図は同磁気ヘッドの斜視図で
ある。 １・・・・・・軟磁性の金ｒＩＸ磁性薄膜部、１ａ・・
・・・・磁気記録媒体、１ｂ・・・・・・磁気記録媒体
の走行方向、ＩＣ・・・・・・磁気ヘッドの回転方向、
ｌｄ、Ｉｅ・・・・・・磁気コア半休、２・・・・・・
基板、３・・・・・・ギャップ、４・・・・・・巻線溝
、５・・・・・・ガラス、６・・・・・・固体潤滑剤を
含む多孔質性酸化物材、６ａ・・・・・・切欠部、７・
・・・・・ヘッド形状と寸法位置、４工・・・・・・軟
磁性の金ｍ磁性薄膜部、４１ａ・・・・・・磁気記録媒
体、４１． ｂ・・・・・・磁気記録媒体の走行方向、
４１（＋・・・・・・磁気へｙ）の回転方向、４１ｄ、
４１ｅ・・・・・・磁気コア半体、４２・・・・・・基
板、４３・・・・・・ギャップ、４４・・・・・・巻線
溝、４５・・・・・・ガラス。 代理人の氏名 弁理士小鍜治 明 ほか２老臣 Ｃ ！！ 棹Ｃ 瓢暫ｅｏ壮 ― 憾 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第１０図
図、第２図は同磁気ヘッドの正面図、第３図は同磁気ヘ
ッドの斜視図、第４図から第７図は本発明の磁気ヘッド
の製造法を斜視図を使って概略的に示した図、第８図は
従来例として用いた磁気ヘッドの平面図、第９図は同磁
気ヘッドの正面図、第１０図は同磁気ヘッドの斜視図で
ある。 １・・・・・・軟磁性の金ｒＩＸ磁性薄膜部、１ａ・・
・・・・磁気記録媒体、１ｂ・・・・・・磁気記録媒体
の走行方向、ＩＣ・・・・・・磁気ヘッドの回転方向、
ｌｄ、Ｉｅ・・・・・・磁気コア半休、２・・・・・・
基板、３・・・・・・ギャップ、４・・・・・・巻線溝
、５・・・・・・ガラス、６・・・・・・固体潤滑剤を
含む多孔質性酸化物材、６ａ・・・・・・切欠部、７・
・・・・・ヘッド形状と寸法位置、４工・・・・・・軟
磁性の金ｍ磁性薄膜部、４１ａ・・・・・・磁気記録媒
体、４１． ｂ・・・・・・磁気記録媒体の走行方向、
４１（＋・・・・・・磁気へｙ）の回転方向、４１ｄ、
４１ｅ・・・・・・磁気コア半体、４２・・・・・・基
板、４３・・・・・・ギャップ、４４・・・・・・巻線
溝、４５・・・・・・ガラス。 代理人の氏名 弁理士小鍜治 明 ほか２老臣 Ｃ ！！ 棹Ｃ 瓢暫ｅｏ壮 ― 憾 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第１０図
Claims (2)
- （１）軟磁性薄膜を基板で挟んだ磁気ヘッドにおいて、
金属系磁気記録媒体と接触する磁気ヘッド摺動部の一部
に固体潤滑剤を含む多孔質性酸化物材を配した事を特徴
とした磁気ヘッド。 - （２）軟磁性薄膜を基板で挟んだ磁気ヘッドについて、
磁気ヘッドコアのテープ摺動部からその積層方向の一部
に切欠部を設ける工程と、前記切欠部に固体潤滑剤を含
んだ非磁性の多孔質性酸化物材を被着する工程と、前記
多孔質性酸化物材とヘッドコアを含む前面を必要な形状
に研磨する工程を有したことを特徴とした磁気ヘッドの
製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2229390A JPH04109409A (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 磁気ヘッド及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2229390A JPH04109409A (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 磁気ヘッド及びその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04109409A true JPH04109409A (ja) | 1992-04-10 |
Family
ID=16891450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2229390A Pending JPH04109409A (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 磁気ヘッド及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04109409A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8488273B2 (en) * | 2008-04-25 | 2013-07-16 | Panasonic Corporation | Magnetic recording/reproduction device for metal-thin-film magnetic tape |
-
1990
- 1990-08-29 JP JP2229390A patent/JPH04109409A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8488273B2 (en) * | 2008-04-25 | 2013-07-16 | Panasonic Corporation | Magnetic recording/reproduction device for metal-thin-film magnetic tape |
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