JPH04110748U - アークイオンプレーテイング装置における回転テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ブラシ等を利用せずに、自転テーブルを支持
する中心軸側から各公転テーブルにバイアス電圧を印加
する。 【構成】 中心軸32に自転テーブル50が回転自在に支持
され、この自転テーブル50に、固定軸54廻りに回転自在
な公転テーブル53が複数個設けられる。中心軸32は絶縁
材31を介して固定フレーム30から電気的に絶縁され、ま
た自転テーブル50の回転に連動させて各公転テーブル53
を回転させるチェーン58,60 には導電性のものが用いら
れている。そして、中心軸32からチェーン58,60 を経由
して各公転テーブル53にバイアス電圧を印加するように
なっている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、アークイオンプレーティング装置における回転テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図４はアークイオンプレーティング装置の基本的な構成を示す。図４において 、１は真空容器、２は蒸発源で、アーク電源の陰極に接続されている。３は回転 テーブルで、バイアス電源の陰極に接続されており、この回転テーブル3 上に被 コーティング物4 が載置されている。５はプロセスガス入口、６は排気口である 。

【０００３】 真空中で蒸発源2 を陰極としてアーク放電を起こすと、アークは蒸発源2 表面 上にアークスポットを形成し、その表面上をランダムに走り廻る。そして、アー クスポットに集中するアーク電流のエネルギにより、蒸発材料が瞬時に溶融蒸発 すると同時に金属イオンとなり、真空中に飛び出す。一方、バイアス電圧を被コ ーティング物4 に印加すると、金属イオンが加速されて反応ガス粒子と共に被コ ーティング物4 の表面に密着し、緻密な膜を生成する。

【０００４】 回転テーブル3 は、従来、図５及び図６に示すように、自転テーブル7 と、そ の周縁部に配置された複数個の公転テーブル8 とを備え、自転テーブル7 上の被 コーティング物4 が金属イオン流に対して均一にさらされ、また被コーティング 物4 に、真空容器1 等から絶縁した状態でバイアス電圧が印加されるようになっ ている。

【０００５】 即ち、図５及び図６において、９は中空状の中心軸で、この中心軸9 に軸受10 を介して遊星枠11が回転自在に支持されている。遊星枠11の周縁部には軸受12を 介して回転軸13が等間隔おきに配置され、また各回転軸13の上下に、回転台14と 、フレーム15に固定の内歯ギヤー16に咬合する遊星ギヤー17とが設けられている 。そして、各回転台14上に、絶縁ガイシ18を介して公転テーブル8 が取付けられ ている。

【０００６】 中心軸9 上には絶縁ガイシ19を介して固定台20が、遊星枠11上には絶縁ガイシ 21を介して中間台22が夫々取付けられており、その中間台22上に絶縁ガイシ23を 介して自転テーブル7 が取付けられている。固定台20にはバイアス電源のテーブ ルが接続され、この固定台20から第１ブラシ24、中間台22、第２ブラシ25を介し て各公転テーブル8 にバイアス電圧を印加するように構成されている。第１ブラ シ24は図７に示すように固定台20に、第２ブラシ25は図８に示すように中間台22 に夫々設けられている。

【０００７】 この回転テーブル3 においては、遊星枠11が中心軸9 廻りに回転すると、これ と一体に自転テーブル7 が自転する。一方、回転軸13の遊星ギヤー17が内歯ギヤ ー16に咬合しているので、遊星枠11の自転と共に回転軸13廻りに公転テーブル8 が公転する。また、この時、バイアス電圧は、固定台20、ブラシ24、中間台22、 ブラシ25を経て公転テーブル8 に印加される。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

従来の回転テーブル3 では、固定台20、中間台22及び公転テーブル8 を絶縁ガ イシ18,19,21,23 により中心軸9 、遊星枠11、自転テーブル7 から電気的に絶縁 しておき、ブラシ24,25 を利用して固定台20から中間台22を経て公転テーブル8 にバイアス電圧を印加する構造を採っている。従って、ブラシ24,25 の摩耗があ るため、定期的なメンテナンスを必要とし、メンテナンスを怠れば接触不良が発 生し、被コーティング物4 のコーティング不良が生じる。

【０００９】 本考案は、かかる点に鑑み、ブラシを利用せずに各公転テーブルにバイアス電 圧を印加できるようにすることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】 本考案は、固定側の中心軸32により支持された自転テーブル50に複数個の公転 テーブル53を備え、公転テーブル53上に被コーティング物を載せるようにしたア ークイオンプレーティング装置における回転テーブルにおいて、中心軸32と固定 側の間に、中心軸32、自転テーブル50及び公転テーブル53を固定側から電気的に 絶縁する絶縁材31を介在し、自転テーブル50の回転に連動させて各公転テーブル 53を駆動するように導電性のチェーン58,60 を設けたものである。

【００１１】

【作用】

自転テーブル50が中心軸32廻りに自転すると、チェーン58,60 を介して各公転 テーブル53が自転しながら公転する。そして、中心軸32に印加された電圧は、チ ェーン58,60 を介して各公転テーブル53に印加される。このようにチェーン58,6 0 を経由して各公転テーブル53に電圧を印加することにより、摩耗・メンテナン スの問題を防止できる。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基いて詳述する。図１及び図２において、30は 固定フレームで、この固定フレーム30上に絶縁材31を介して中空状の中心軸32が ボルトにより取付けられている。33は回転枠で、中心のボス部34及び軸受35を介 して中心軸32に回転自在に套嵌支持されており、ボス部34の下端に入力スプロケ ット36が固定されている。37は駆動軸で、固定フレーム30に軸受38を介して回転 自在に支持されている。また駆動軸37の上端にはフランジ部39上に絶縁材40を介 して駆動スプロケット41が、下端には伝動スプロケット42が夫々固定されている 。駆動スプロケット41はチェーン43を介して入力スプロケット36に、伝動スプロ ケット42はチェーン44、中間スプロケット45、中間軸46、ベベルギヤー47等を介 して図外の駆動モータに夫々連動連結されている。中間スプロケット45、ベベル ギヤー47は中間軸46の上下にあり、また中間軸46は下部フレーム48に回転自在に 支持されている。49はテンションスプロケットである。

【００１３】 50は自転テーブルであって、回転枠33上にスペーサ51を介して固定されている 。この自転テーブル50の周縁部には周方向に等間隔おきに８個の丸孔52が形成さ れており、その各孔52に公転テーブル53が夫々配置されている。 各公転テーブル53はその上面側に被コーティング物を載置するためのものであ って、回転枠33に固定された中空状の固定軸54に軸受55を介して回転自在に支持 されている。そして、各公転テーブル53の下端には連動スプロケット56が固設さ れ、また１個の公転テーブル53には上下中間部に回動スプロケット57が固設され ている。各連動スプロケット56には、周方向に隣合う各公転テーブル53を互いに 逆方向に回転させるように導電性のチェーン58がジグザグ状に巻掛けられている 。また、回動スプロケット57には中心軸32の上端部に固定された固定スプロケッ ト59との間に導電性のチェーン60が巻掛けられている。

【００１４】 中心軸32は固定フレーム30との間に介在された絶縁材31により固定フレーム30 から電気的に絶縁され、また駆動スプロケット41は絶縁材40により駆動軸37、固 定フレーム30等から電気的に絶縁されている。従って、中心軸32、回転枠33、自 転テーブル50及び公転テーブル53は、固定フレーム30側から電気的に完全に絶縁 されており、その中心軸32の下端部にバイアス電源のケーブルが接続されている 。

【００１５】 上記構成において、駆動モータを起動すると、ベベルギヤー47、中間軸46、中 間スプロケット45、チェーン44、伝動スプロケット42を介して駆動軸37が回転す る。そして、この駆動軸37の駆動スプロケット41からチェーン43、入力スプロケ ット36を介して回転枠33が中心軸32廻りに回転し、自転テーブル50が回転枠33と 一体に自転する。

【００１６】 この時、各公転テーブル53は回転枠33、自転テーブル50と共に中心軸32廻りに 回転し公転するが、その公転テーブル53の１個に設けられた回動スプロケット57 と固定スプロケット59との間にチェーン60が巻掛けられ、また各公転テーブル53 の連動スプロケット56にチェーン58がジグザグ状に巻掛けられているため、自転 テーブル50の自転に伴なって各公転テーブル53が固定軸54廻りに回転する。従っ て、各公転テーブル53は固定軸54廻りに回転しながら、中心軸32廻りに公転する 。

【００１７】 一方、バイアス電源からケーブルを経て中心軸32の下部にバイアス電圧が印加 される。そして、この中心軸32の電圧は、固定スプロケット59、チェーン60、回 動スプロケット57を経て１個の公転テーブル53に印加されると共に、この１個の 公転テーブル53から連動スプロケット56、チェーン58を介して他の各公転テーブ ル53に印加される。

【００１８】 このようにチェーン58,60 を介して中心軸32から各公転テーブル53に電圧を印 加すれば、チェーン58,60 とスプロケット56,57,59間には必ず金属接触部がある ので、スパークを発生することなく各公転テーブル53に電圧を印加できる。即ち 、中心軸32から軸受35、回転枠33、固定軸54、軸受55を経て各公転テーブル53に 印加する場合には、軸受35,55 を経由するため、スパーク発生の恐れがあるが、 チェーン58,60 を経由して電圧を印加することによりスパークの発生を防止でき る。また従来のブラシを利用するもののような摩耗、メンテナンスの問題も生じ ない。

【００１９】 図３は本考案の別の実施例を示す。各公転テーブル53を連動させるチェーン58 は、この図３に示すように各連動スプロケット56を取囲むべく、これら連動スプ ロケット56に巻掛けても良く、この場合には各公転テーブル53は固定軸54廻りに 同一方向に回転する。

【００２０】

【考案の効果】

本考案によれば、中心軸32と固定側の間に、中心軸32、自転テーブル50及び公 転テーブル53を固定側から電気的に絶縁する絶縁材31を介在し、自転テーブル50 の回転に連動させて各公転テーブル53を駆動するように導電性のチェーン58,60 を設けているので、中心軸32からチェーン58,60 を経て各公転テーブル53に電圧 を印加できる。従って、従来のブラシを利用するものに比較して摩耗、メンテナ ンスの問題もなく、しかもスパークの発生を伴うことなく電圧を印加できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す回転テーブルの断面図
である。

【図２】本考案の一実施例を示す回転テーブルの平面図
である。

【図３】本考案の他の実施例を示す回転テーブルの平面
図である。

【図４】アークイオンプレーティング装置の断面図であ
る。

【図５】従来の回転テーブルの平面図である。

【図６】従来の回転テーブルの断面図である。

【図７】従来の第１ブラシ部分の平面図である。

【図８】従来の第２ブラシ部分の平面図である。

【符号の説明】

３１ 絶縁材 ３２ 中心軸 ３３ 回転枠 ５０ 自転テーブル ５３ 公転テーブル ５４ 固定軸 ５６ 連動スプロケット ５７ 回動スプロケット ５８ チェーン ５９ 固定スプロケット ６０ チェーン

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定側の中心軸(32)により支持された自
   転テーブル(50)に複数個の公転テーブル(53)を備え、公
   転テーブル(53)上に被コーティング物を載せるようにし
   たアークイオンプレーティング装置における回転テーブ
   ルにおいて、中心軸(32)と固定側の間に、中心軸(32)、
   自転テーブル(50)及び公転テーブル(53)を固定側から電
   気的に絶縁する絶縁材(31)を介在し、自転テーブル(50)
   の回転に連動させて各公転テーブル(53)を駆動するよう
   に導電性のチェーン(58)(60)を設けたことを特徴とする
   アークイオンプレーティング装置における回転テーブ
   ル。