JPH08337871A - アークイオンプレーテイング装置における回転テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 公転専用のテーブルを用意することなく、被
コーティング物を自公転させずに公転のみさせると共
に、大きな被コーティング物でも公転させて、被コーテ
ィング物の表面に皮膜を形成させ得るアークイオンプレ
ーテイング装置の回転テーブルを提供する。 【構成】 公転テーブル７の自公転テーブル８に囲まれ
た内側部位に、被コーティング物４を載置するために、
自公転テーブル８よりも極く僅かに高くなる厚さを有す
る載置台部７ａを配設する構成とすれば、この載置台部
７ａの上に大きな被コーティング物４を載置して公転さ
せることができるので、小さな被コーティング物４は勿
論のこと、大きな被コーティング物４でも公転させて、
被コーティング物の表面に皮膜を形成させることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、アークイオンプレーテ
イング装置における回転テーブルの改善に係り、特に汎
用性に優れたアークイオンプレーテイング装置における
回転テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のアークイオンプレーテイング装置
の基本的な構成を、その断面図の図７を参照しながら以
下に説明すると、符号１は真空容器、符号２は蒸発源
で、アーク電源の陰極に接続されている。符号３は後述
する構成になる回転テーブルであって、バイアス電源の
陰極に接続されており、回転テーブル３の上に被コーテ
ィング物４が載置されている。符号５はプロセスガス入
口であり、また符号６は排気口である。

【０００３】従って、真空中で蒸発源２を陰極としてア
ーク放電を起こすと、アークは蒸発源２の表面上にアー
クスポットを形成して、その表面上をランダムに走り廻
る。そして、アークスポットに集中するアーク電流のエ
ネルギーにより、蒸発材料が瞬時に溶融蒸発すると同時
に金属イオンとなって真空中に飛び出す。一方、バイア
ス電圧を被コーティング物４に印加すると、金属イオン
が加速されて反応ガス粒子と共に被コーティング物４の
表面に密着するので、被コーティング物４の表面に緻密
な膜を形成される。

【０００４】このようなアークイオンプレーテイング装
置に使用されている回転テーブル３としては、例えば本
願出願人が実願平４−１１０７１号公報において提案し
た構成のものがある。以下、この回転テーブル３を、そ
の平面図の図８と、その断面図の図９とを参照しながら
説明すると、符号３０は固定フレームで、固定フレーム
３０の上に絶縁材３１を介して中空状の中心軸３２がボ
ルトで固着されている。符号３３は回転枠で、中心のボ
ス部３４および軸受３５を介して中心軸３２に回転自在
に套嵌支持されており、ボス部３４の下端に入力スプロ
ケット３６が固定されている。符号３７は駆動軸で、固
定フレーム３０に軸受３８を介して回転自在に支持され
ている。また、駆動軸３７の上端にはフランジ部３９の
上に絶縁材４０を介して駆動スプロケット４１が、下端
には伝動スプロケット４２がそれぞれ固定されている。
駆動スプロケット４１はチェーン４３を介して入力スプ
ロケット３６に、伝動スプロケット４２はチェーン４
４、中間スプロケット４５、中間軸４６、ベベルギヤ４
７等を介して図外の駆動モータにそれぞれ連続連結され
ている。中間スプロケット４５、ベベルギヤ４７は中間
軸４６の上下にあり、また中間軸４６は下部フレーム４
８に回転自在に支持されている。符号４９はテンション
スプロケットである。

【０００５】符号５０は公転テーブルで、回転枠３３の
上にスペーサ５１を介して固定されている。この公転テ
ーブル５０の周縁部には、周方向に等間隔おきに８個の
丸孔５２が形成されており、その各孔５２に自公転テー
ブル５３がそれぞれ配置されている。各自公転テーブル
５３はその上面側に被コーティング物６１を載置するた
めのものであって、回転枠３３に固定された中空状の固
定軸５４に軸受５５を介して回転自在に支持されてい
る。そして、各自公転テーブル５３の下端には連動スプ
ロケット５６が固設され、また１個の自公転テーブル５
３には上下中間部に回動スプロケット５７が固設されて
いる。各連動スプロケット５６には、周方向に隣合う各
自公転テーブル５３を互いに逆方向に回転させるように
導電性のチェーン５８がジグザグ状に巻掛けられてい
る。また、回動スプロケット５７には、中心軸３２の上
端部に固定された固定スプロケット５９との間に導電性
のチェーン６０が巻掛けられている。

【０００６】中心軸３２は固定フレーム３０との間に介
在された絶縁材３１により固定フレーム３０から電気的
に絶縁され、また駆動スプロケット４１は絶縁材４０に
より駆動軸３７、固定フレーム３０等から電気的に絶縁
されている。従って、中心軸３２、回転枠３３、公転テ
ーブル５０および自公転テーブル５３は、固定フレーム
３０側から電気的に完全に絶縁されており、その中心軸
３２の下端部にバイアス電源のケーブルが接続されてい
る。

【０００７】従って、駆動モータを起動すると、ベベル
ギヤ４７、中間軸４６、中間スプロケット４５、チェー
ン４４、伝動スプロケット４２等を介して駆動軸３７が
回転する。そして、この駆動軸３７の駆動スプロケット
４１からチェーン４３、入力スプロケット３６を介して
回転枠３３が中心軸３２廻りに回転し、公転テーブル５
０が回転枠３３と一体に公転する。このとき、各自公転
テーブル５３は回転枠３３、公転テーブル５０と共に中
心軸３２廻りに回転し公転するが、その自公転テーブル
５３の１個に設けられた回動スプロケット５７と固定ス
プロケット５９との間にチェーン６０が巻掛けられ、ま
た各自公転テーブル５３の連動スプロケット５６にチェ
ーン５８がジグザクに巻掛けられているため、公転テー
ブル５０の公転に伴って各自公転テーブル５３は図８に
おいて示す矢印方向、つまり隣合う自公転テーブル５３
が互いに逆方向廻りに自公転するものである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来例に係るアークイ
オンプレーテイング装置における回転テーブルでは、公
転テーブルは隣合う自公転テーブルを互いに逆方向に回
転させるためのものであって、被コーティング物を載置
することを目的としていない。従って、被コーティング
物を自公転させずに公転のみさせる場合や、自公転テー
ブルに載置することができないほど大きな被コーティン
グ物をコーティング処理しようとする場合には、回転テ
ーブル全体を公転専用のテーブルに取換える必要がある
ので、上記のような場合には取換作業のためにアイドル
時間を要するだけでなく、設備費についても不利になる
という解決すべき課題があった。

【０００９】従って、本発明は、公転専用のテーブルに
取換えるまでもなく、被コーティング物を自公転させず
に公転のみさせる場合や、自公転テーブル５３に載置す
ることができないほど大きな被コーティング物でも、容
易にコーティング処理するために載置することを可能な
らしめる汎用性に優れたアークイオンプレーテイング装
置における回転テーブルの提供を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の請求項１に係るアークイオンプレーテイン
グ装置における回転テーブルが採用した手段は、中心軸
９により回転自在に支持された公転テーブル７に複数の
自公転テーブル８を備えたアークイオンプレーテイング
装置における回転テーブルにおいて、前記公転テーブル
７の自公転テーブル８に囲まれた内側部位に、被コーテ
ィング物４を載置する載置台部７ａを設け、この載置台
部７ａの高さを前記自公転テーブル８の被コーティング
物４の載置面よりも高くしたことを特徴とするものであ
る。

【００１１】また、本発明の請求項２に係るアークイオ
ンプレーテイング装置における回転テーブルが採用した
手段は、請求項１に記載のアークイオンプレーテイング
装置における回転テーブルにおいて、前記載置台部７ａ
を着脱自在にしたことを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】本発明の請求項１に係るアークイオンプレーテ
イング装置における回転テーブルによれば、公転テーブ
ル７の自公転テーブル８に囲まれた内側部位に設けた載
置台部７ａの高さが自公転テーブル８の被コーティング
物４の載置面よりも高いので、例え載置台部７ａからは
み出すような大型の被コーティング物４であっても、自
公転テーブル８に影響を与えることなく、載置台部７ａ
に載置された被コーティング物４を公転させることがで
きる。

【００１３】本発明の請求項２に係る回転テーブルによ
れば、載置台部７ａを着脱自在にしたので、これを公転
テーブル７の自公転テーブル８に囲まれた内側部位に配
設することにより、自公転テーブル８に影響を与えるこ
となく、載置台部７ａに載置された被コーティング物４
を公転させることができる。また、載置台部７ａを取は
ずすと、自公転テーブル８の載置面からはみ出すような
大型の被コーティング物４でも自公転テーブル８に載置
することができる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例に係るアークイオンプ
レーテイング装置における回転テーブルを、その平面図
の図１と、その断面図の図２と、第１ブラシ部分の平面
図の図３と、第２ブラシ部分の平面図の図４と、被コー
ティング物の載置状態説明図の図５（ａ），（ｂ）また
は（ｃ）とを参照しながら説明する。但し、アークイオ
ンプレーテイング装置自体の構成については、従来と同
様であるから、その構成に係る説明は割愛する。

【００１５】図１と図２とに示す符号３は回転テーブル
で、この回転テーブル３は公転テーブル７と、その周縁
部に配置された複数個の自公転テーブル８とを備えてい
る。公転テーブル７の自公転テーブル８の内側には、高
さが自公転テーブル８の載置面より極く僅か高くなるよ
うに設定された厚さの着脱自在な載置台部７ａが配設さ
れている。そして、従来と同様に、自公転テーブル８お
よび載置台部７ａの上の被コーティング物４が金属イオ
ン流に対して均一に晒され、また被コーティング物４
に、真空容器等から絶縁された状態でバイアス電圧が印
加されるように構成されている。なお、公転テーブル７
と載置台部７ａとの相対する側に位置合わせのためにイ
ンロー部が設けられていることが好ましい。また、載置
台部７ａは公転テーブル７と一体構成であっても良い。

【００１６】より詳しくは、符号９は中空状の中心軸で
あって、図２に示すように、この中心軸９に軸受１０を
介して遊星枠１１が回転自在に支持されている。この遊
星枠１１の周縁部には軸受１２を介して回転軸１３が等
間隔おきに配置されており、またそれぞれの回転軸１３
の上下には回転台１４と、フレーム１５に固定されたイ
ンターナルリングギヤ１６に噛合するプラネタリギヤ１
７が設けられている。そして、前記回転台１４の上に、
絶縁碍子１８を介して自公転テーブル８が取付けられて
いる。

【００１７】中心軸９の上には、絶縁碍子１９を介して
固定台２０が、遊星枠１１の上には絶縁碍子２１を介し
て中間台２２がそれぞれ取付けられており、その中間台
２２の上に絶縁碍子２３を介して自公転テーブル７が取
付けられている。固定台２０にはバイアス電源のケーブ
ルが接続されており、この固定台２０から第１ブラシ２
４、中間第２２、第２ブラシ２５を介して各自公転テー
ブル８にバイアス電圧を印加するように構成されてい
る。第１ブラシ２４は、図３に示すように、固定台２０
に、また台２ブラシ２５は、図４に示すように、中間台
２２にそれぞれ取付けられている。

【００１８】以下、上記構成になる回転テーブル３の使
用態様を説明すると、遊星枠１１が中間軸９廻りに回転
すると、これと一体に公転テーブル７が公転する。一
方、回転軸１３のプラネタリギヤ１７がインターナルリ
ングギヤ１６に噛合しているので、遊星枠１１の自転と
共に回転軸１３廻りに自公転テーブル８が自公転する。
また、このとき、バイアス電圧は固定台２０、ブラシ２
４、中間台２２、ブラシ２５を経て自公転テーブル８に
印加される。

【００１９】従って、本実施例に係る回転テーブル３に
よれば、公転テーブル７の自公転テーブル８の内側部位
に、高さが自公転テーブル８の載置面より極く僅か高く
なるように設定された厚さの載置台部７ａを配設するだ
けで、図５（ａ）に示すように載置台部７ａの上にだけ
載置されている大型の被コーティング物４の表面に、図
５（ｂ）に示すように自公転テーブル８の上にだけ載置
されている被コーテング物４の表面に、または図５
（ｃ）に示すように公転テーブル７の載置台部７ａの上
と自公転テーブル８の上との両方に載置されている被コ
ーテング物４の表面にそれぞれ皮膜を形成させることが
できる。

【００２０】そのため、従来の回転テーブルのように、
被コーティング物を自公転させずに公転のみさせる場合
や、自公転テーブルに載置することができないほど大き
な被コーティング物をコーティング処理しようとする場
合でも、回転テーブル全体を公転専用のテーブルに取換
える必要がなく、取換えのためのアイドル時間が不要に
なるので、サイズが雑多な多品種少量の被コーティング
物のコーティング作業能率が向上すると共に、公転専用
のテーブルを用意する必要がないので、公転専用のテー
ブルと載置台部７ａとの比較において、アークイオンプ
レーテイング装置の設備費に関しても経済的に有利にな
る。

【００２１】次に、本発明の他の実施例に係るアークイ
オンプレーテイング装置における回転テーブルを、その
断面図の図６を参照しながら以下に説明すると、本実施
例が上記実施例と相違するところは、同図から良く理解
されるように、自公転テーブル８を回転させる回転構成
の相違にある。より詳しくは、プラネタリギヤ１７に噛
合して自公転テーブル８を回転させるインターナルリン
グギヤ１６を外歯ギヤ１６（固定）に置換したものであ
る。従って、公転テーブル７が回転されると、外歯ギヤ
１６に噛合してプラネタリギヤ１７が回転し、このプラ
ネタリギヤ１７の回転により自公転テーブル８が回転さ
れるので、本実施例は上記実施例と同効である。但し、
この実施例では、自公転テーブル８は公転テーブル７と
同方向に回転する。

【００２２】なお、以上では、同方向に回転する複数の
自公転テーブルを有する回転テーブルを例として説明し
たが、従来例のように複数の自公転テーブルのうち、隣
合う自公転テーブルが互いに逆方向に回転する回転テー
ブルに対しても、本発明に係る技術的思想を適用するこ
とができるので、上記実施例によって本発明の技術的思
想の範囲が限定されるものではなく、また本発明の技術
的思想を逸脱しない範囲内における設計変更等は自由自
在である。

【００２３】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の請求項１
または２に係るアークイオンプレーテイング装置におけ
る回転テーブルによれば、回転テーブルを公転専用のテ
ーブルに取換えるまでもなく、公転テーブル７の自公転
テーブル８の内側部位に載置台部７ａを配設するだけ
で、被コーティング物を自公転させずに公転のみさせる
場合や、自公転テーブル５３に載置することができない
ほど大きな被コーティング物でも、容易にコーティング
処理することができるので、公転専用のテーブルの取換
作業が不要になると共に、公転専用のテーブルが不要で
あるため経済的に有利になるという多大な効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る回転テーブルの平面図で
ある。

【図２】本発明の実施例に係る回転テーブルの断面図で
ある。

【図３】本発明の実施例に係る回転テーブルの第１ブラ
シ部分の平面図である。

【図４】本発明の実施例に係る回転テーブルの第２ブラ
シ部分の平面図である。

【図５】図５（ａ），図５（ｂ）または図５（ｃ）は、
本発明の実施例に係る回転テーブルへの被コーティング
物の載置状態説明図である。

【図６】本発明の他の実施例に係る回転テーブルの断面
図である。

【図７】従来のアークイオンプレーテイング装置の基本
的な構成を示す断面図である。

【図８】従来例に係る回転テーブルの平面図である。

【図９】従来例に係る回転テーブルの断面図である。

【符号の説明】

３…回転テーブル ４…被コーティング物 ７…公転テーブル，７ａ…載置台部 ８…自公転テーブル ９…中心軸 １１…遊星枠 １３…回転軸 １４…回転台 １５…フレーム １６…インターナルリングギヤまたは外歯ギヤ １７…プラネタリギヤ ２０…固定台 ２２…中間台 ２４…第１ブラシ ２５…第２ブラシ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中心軸９により回転自在に支持された公
   転テーブル７に複数の自公転テーブル８を備えたアーク
   イオンプレーテイング装置における回転テーブルにおい
   て、前記公転テーブル７の自公転テーブル８に囲まれた
   内側部位に、被コーティング物４を載置する載置台部７
   ａを設け、この載置台部７ａの高さを前記自公転テーブ
   ル８の被コーティング物４の載置面よりも高くしたこと
   を特徴とするアークイオンプレーテイング装置における
   回転テーブル。
2. 【請求項２】 前記載置台部７ａを着脱自在にしたこと
   を特徴とする請求項１に記載のアークイオンプレーテイ
   ング装置における回転テーブル。