JPH04110751U - アークイオンプレーテイング装置における回転テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 公転テーブルの直径よりも長い寸法の被コー
ティング物であっても、回転中に被コーティング物が互
いに接触しないように各公転テーブル上に載せることを
目的とする。 【構成】 中心軸32に自転テーブル50が回転自在に支持
され、この自転テーブル50に、固定軸54廻りに回転自在
な公転テーブル53が複数個設けられる。各公転テーブル
53はその連動スプロケット56にジグザグ状に巻掛けられ
たチェーン58により連動連結され、また中心軸32に固定
された固定スプロケット59と、１個の公転テーブル53に
固定された回動スプロケット57間にチェーン60が巻掛け
られている。従って、隣合う公転テーブル53同士は互い
に逆方向に回転する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、アークイオンプレーティング装置における回転テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図４はアークイオンプレーティング装置の基本的な構成を示す。図４において 、1 は真空容器、2 は蒸発源で、アーク電源の陰極に接続されている。3 は回転 テーブルで、バイアス電源の陰極に接続されており、この回転テーブル3 上に被 コーティング物4 が載置されている。5 はプロセスガス入口、6 は排気口である 。

【０００３】 真空中で蒸発源2 を陰極としてアーク放電を起こすと、アークは蒸発源2 表面 上にアークスポットを形成し、その表面上をランダムに走り廻る。そして、アー クスポットに集中するアーク電流のエネルギにより、蒸発材料が瞬時に溶融蒸発 すると同時に金属イオンとなり、真空中に飛び出す。一方、バイアス電圧を被コ ーティング物4 に印加すると、金属イオンが加速されて反応ガス粒子と共に被コ ーティング物4 の表面に密着し、緻密な膜を生成する。

【０００４】 回転テーブル3 は、従来、図５及び図６に示すように、自転テーブル7 と、そ の周縁部に配置された複数個の公転テーブル8 とを備え、自転テーブル8 上の被 コーティング物4 が金属イオン流に対して均一にさらされ、また被コーティング 物4 に、真空容器1 等から絶縁した状態でバイアス電圧が印加されるようになっ ている。

【０００５】 即ち、図５及び図６において、9 は中空状の中心軸で、この中心軸9 に軸受10 を介して遊星枠11が回転自在に支持されている。遊星枠11の周縁部には軸受12を 介して回転軸13が等間隔おきに配置され、また各回転軸13の上下に、回転台14と 、フレーム15に固定の内歯ギヤー16に咬合する遊星ギヤー17とが設けられている 。そして、各回転台14上に、絶縁ガイシ18を介して公転テーブル8 が取付けられ ている。

【０００６】 中心軸9 上には絶縁ガイシ19を介して固定台20が、遊星枠11上には絶縁ガイシ 21を介して中間台22が夫々取付けられており、その中間台22上に絶縁ガイシ23を 介して自転テーブル7 が取付けられている。固定台20にはバイアス電源のケーブ ルが接続され、この固定台20から第１ブラシ24、中間台22、第２ブラシ25を介し て各公転テーブル8 にバイアス電圧を印加するように構成されている。第１ブラ シ24は図７に示すように固定台20に、第２ブラシ25は図８に示すように中間台22 に夫々設けられている。

【０００７】 この回転テーブル3 においては、遊星枠11が中間軸9 廻りに回転すると、これ と一体に自転テーブル7 が自転する。一方、回転軸13の遊星ギヤー17が内歯ギヤ ー16に咬合しているので、遊星枠11の自転と共に回転軸13廻りに公転テーブル8 が公転する。また、この時、バイアス電圧は、固定台20、ブラシ24、中間台22、 ブラシ25を経て公転テーブル8 に印加される。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

従来の回転テーブル7 では、各回転軸13の下端の遊星ギヤー17を内歯ギヤー16 に咬合させて、自転テーブル7 の回転に連動して各公転テーブル8 を回転させる ようにしているので、各公転テーブル8 は全て同方向に回転する。そのため、図 ５に仮想線で示すように、公転テーブル8 上に、それよりもはみ出す大きさの被 コーティング物4 を載せると、各公転テーブル8 が回転軸13廻り回転する時に、 隣合う被コーティング物4 が互い接触することになる。従って、公転テーブル8 上に載置し得る被コーティング物4 の長さに制限があり、公転テーブル8 の直径 よりも長いような被コーティング物4 の場合には利用し得ない欠点がある。

【０００９】 本考案は、かかる点に鑑み、公転テーブルの直径よりも長い被コーティング物 でも、回転中に接触しないように載せ得る回転テーブルを提供することを目的と する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、中心軸32により回転自在に支持された自転テーブル50に複数個の公 転テーブル53を備え、公転テーブル53上に被コーティング物61を載せるようにし たアークイオンプレーティング装置における回転テーブルにおいて、隣合う各公 転テーブル53同士が逆方向に回転するように、自転テーブル50の回転に連動して 各公転テーブル53を回転させる駆動手段を設けたものである。

【００１１】

【作用】

自転テーブル50が中心軸32廻りに回転すると、駆動手段が自転テーブル50の回 転に連動して各公転テーブル53をその軸心廻りに回転させる。この時、各公転テ ーブル53は、隣合う公転テーブル53同士が逆方向となるように回転する。従って 、公転テーブル53の直径よりも長い被コーティング物61を載置する場合には、そ の位相をずらせて載置する等によって、被コーティング物61の接触、ぶつかりを 防止でき、より長い被コーティング物61の載置が可能である。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳述する。図１及び図２において、30 は固定フレームで、この固定フレーム30上に絶縁材31を介して中空状の中心軸32 がボルトにより取付けられている。33は回転枠で、中心のボス部34及び軸受35を 介して中心軸32に回転自在に套嵌支持されており、ボス部34の下端に入力スプロ ケット36が固定されている。37は駆動軸で、固定フレーム30に軸受38を介して回 転自在に支持されている。また駆動軸37の上端にはフランジ部39上に絶縁材40を 介して駆動スプロケット41が、下端には伝動スプロケット42が夫々固定されてい る。駆動スプロケット41はチェーン43を介して入力スプロケット36に、伝動スプ ロケット42はチェーン44、中間スプロケット45、中間軸46、ベベルギヤー47等を 介して図外の駆動モータに夫々連続連結されている。中間スプロケット45、ベベ ルギヤー47は中間軸46の上下にあり、また中間軸46は下部フレーム48に回転自在 に支持されている。49はテンションスプロケットである。

【００１３】 50は自転テーブルであって、回転枠33上にスペーサ51を介して固定されている 。この自転テーブル50の周縁部には周方向に等間隔おきに８個の丸孔52が形成さ れており、その各孔52に公転テーブル53が夫々配置されている。 各公転テーブル53はその上面側に被コーティング物61を載置するためのもので あって、回転枠33に固定された中空状の固定軸54に軸受55を介して回転自在に支 持されている。そして、各公転テーブル53の下端には連動スプロケット56が固設 され、また１個の公転テーブル53には上下中間部に回動スプロケット57が固設さ れている。各連動スプロケット56には、周方向に隣合う各公転テーブル53を互い に逆方向に回転させるように導電性のチェーン58がジグザグ状に巻掛けられてい る。また回動スプロケット57には中心軸32の上端部に固定された固定スプロケッ ト59との間に導電性のチェーン60が巻掛けられている。

【００１４】 中心軸32は固定フレーム30との間に介在された絶縁材31により固定フレーム30 から電気的に絶縁され、また駆動スプロケット41は絶縁材40により駆動軸37、固 定フレーム30等から電気的に絶縁されている。従って、中心軸32、回転枠33、自 転テーブル50及び公転テーブル53は、固定フレーム30側から電気的に完全に絶縁 されており、その中心軸32の下端部にバイアス電源のケーブルが接続されている 。

【００１５】 上記構成において、駆動モータを起動すると、ベベルギヤー47、中間軸46、中 間スプロケット45、チェーン44、伝動スプロケット42等を介して駆動軸37が回転 する。そして、この駆動軸37の駆動スプロケット41からチェーン43、入力スプロ ケット36を介して回転枠33が中心軸32廻りに回転し、自転テーブル50が回転枠33 と一体に自転する。

【００１６】 この時、各公転テーブル53は回転枠33、自転テーブル50と共に中心軸32廻りに 回転し公転するが、その公転テーブル53の１個に設けられた回動スプロケット57 と固定スプロケット59との間にチェーン60が巻掛けられ、また各公転テーブル53 の連動スプロケット56にチェーン58がジグザグ状に巻掛けられているため、自転 テーブル50の自転に伴って各公転テーブル53が固定軸54廻りに図１の矢印方向に 夫々回転する。従って、各公転テーブル53は、隣合う一対の公転テーブル53同士 が逆方向となるように固定軸54廻りに回転するので、被コーティング物61が公転 テーブル53の直径よりも大である場合にも、回転中における被コーティング物61 同士の接触、ぶつかりをなくすことができる。

【００１７】 即ち、各公転テーブル53上に被コーティング物61を最初に載せる際に、隣合う 公転テーブル53上の被コーティング物61の位相をずらす等、互いに接触しないよ うな位置に載せておけば、その後に各公転テーブル53が固定軸54廻りに自転して も、被コーティング物61相互の接触、ぶつかりを防止できる。依って、同じ寸法 の公転テーブル53であっても、より長い被コーティング物61を載せることができ る。

【００１８】 一方、バイアス電源からケーブルを経て中心軸32の下部にバイアス電圧が印加 される。そして、この中心軸32の電圧は、固定スプロケット59、チェーン60、回 動スプロケット57を経て１個の公転テーブル53に印加されると共に、この１個の 公転テーブル53から連動スプロケット56、チェーン58を介して他の各公転テーブ ル53に印加される。

【００１９】 このようにチェーン58,60 を介して中心軸32から各公転テーブル53に電圧を印 加すれば、チェーン58,60 とスプロケット56,57,59間には必ず金属接触部がある ので、スパークを発生することなく各公転テーブル53に電圧を印加できる。 図３は本考案の別の実施例を示す。即ち、図１及び図２の実施例では、自転テ ーブル50の回転に連動して各公転テーブル53を回転させる駆動手段をスプロケッ ト56,57,59とチェーン58,60 により構成し、特にチェーン58を各連動スプロケッ ト56にジグザグ状に巻掛けて、隣合う各公転テーブル53を逆方向に回転させるよ うにしている。しかし、駆動手段は、これに限定されるものではなく、図３に示 すように、各公転テーブル53のボス部の下端に連動ギヤー62を設け、隣接する各 公転テーブル53の連動ギヤー62同士を互いに咬合させても良い。なお、この場合 には、連動ギヤー62を介して各公転テーブル53にバイアス電圧を印加することに なる。

【００２０】

【考案の効果】

本考案によれば、隣合う各公転テーブル53同士が逆方向に回転するように、自 転テーブル50の回転に連動して各公転テーブル53を回転させる駆動手段を設けて いるので、公転テーブル53の直径よりも長い被コーティング物61であっても、回 転中に互いに接触しないように各公転テーブル53上に載せることが可能である。 従って、同じ公転テーブル53でも長い被コーティング物61を載せ得る利点がある 。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す回転テーブルの平面図
である。

【図２】本考案の一実施例を示す回転テーブルの断面図
である。

【図３】本考案の他の実施例を示す回転テーブルの平面
図である。

【図４】アークイオンプレーティング装置の断面図であ
る。

【図５】従来の回転テーブルの平面図である。

【図６】従来の回転テーブルの断面図である。

【図７】従来の第１ブラシ部分の平面図である。

【図８】従来の第２ブラシ部分の平面図である。 31 絶縁材 32 中心軸 33 回転枠 50 自転テーブル 53 公転テーブル 54 固定軸 56 連動スプロケット 57 回動スプロケット 58 チェーン 59 固定スプロケット 60 チェーン 61 被コーティング物

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 中心軸(32)により回転自在に支持された
   自転テーブル(50)に複数個の公転テーブル(53)を備え、
   公転テーブル(53)上に被コーティング物(61)を載せるよ
   うにしたアークイオンプレーティング装置における回転
   テーブルにおいて、隣合う各公転テーブル(53)同士が逆
   方向に回転するように、自転テーブル(50)の回転に連動
   して各公転テーブル(53)を回転させる駆動手段を設けた
   ことを特徴とするアークイオンプレーティング装置にお
   ける回転テーブル。