JPH0417862Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0417862Y2 JPH0417862Y2 JP15987688U JP15987688U JPH0417862Y2 JP H0417862 Y2 JPH0417862 Y2 JP H0417862Y2 JP 15987688 U JP15987688 U JP 15987688U JP 15987688 U JP15987688 U JP 15987688U JP H0417862 Y2 JPH0417862 Y2 JP H0417862Y2
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- Japan
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- thermal expansion
- bolt
- high thermal
- threaded part
- expansion material
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- Expired
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Landscapes
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- Connection Of Plates (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［考案の目的］
（産業上の利用分野）
本考案は高熱膨張材製ボルトに関し、特にプラ
ズマエツチング装置のエツチング室内部で使用さ
れるものである。
ズマエツチング装置のエツチング室内部で使用さ
れるものである。
（従来の技術）
周知の如く、プラスマエツチング装置において
は、高熱膨張材製ボルトが使用されている。とこ
ろで、かかるボルトとして、ステンレス製ボルト
やNi・Cr等のメツキをした鉄製ボルトが考えら
れる。しかし、プラズマエツチング装置では被エ
ツチング物への重金属汚染を回避するため、プラ
ズマにさらされる部分には上記ボルトは通常使用
しない。また、塩素系ガスを点火ガスとしてエツ
チングを行うため、腐蝕されやすい材料やプラズ
マなどでエツチングされやすい材料でのボルトも
使用しない。こうしたことから、アルミニウムに
アルマイト処理をしたボルト（アルミニウム合金
製ボルト）を用いることが多い。
は、高熱膨張材製ボルトが使用されている。とこ
ろで、かかるボルトとして、ステンレス製ボルト
やNi・Cr等のメツキをした鉄製ボルトが考えら
れる。しかし、プラズマエツチング装置では被エ
ツチング物への重金属汚染を回避するため、プラ
ズマにさらされる部分には上記ボルトは通常使用
しない。また、塩素系ガスを点火ガスとしてエツ
チングを行うため、腐蝕されやすい材料やプラズ
マなどでエツチングされやすい材料でのボルトも
使用しない。こうしたことから、アルミニウムに
アルマイト処理をしたボルト（アルミニウム合金
製ボルト）を用いることが多い。
しかしながら、例えばプラスマエツチング装置
のエツチング合金製ボルトがプラズマによつて加
熱されるため、熱膨張によつて相手方メネジと焼
付けを起こしてしまう。なお、これを防止するた
め真空グリースや二硫化モリブデンなどの潤滑材
を使用することが考えられるが、エツチングに影
響を与えたり、ゴミ発生の原因となるため、焼付
け対策とはなり得ない。
のエツチング合金製ボルトがプラズマによつて加
熱されるため、熱膨張によつて相手方メネジと焼
付けを起こしてしまう。なお、これを防止するた
め真空グリースや二硫化モリブデンなどの潤滑材
を使用することが考えられるが、エツチングに影
響を与えたり、ゴミ発生の原因となるため、焼付
け対策とはなり得ない。
こうしたことから、アルミニウム合金製ボルト
を軽く締める方法が取られている。しかし、この
締結力は微妙であり、軽く締めると緩み易く、逆
に強く締めすぎるとボルトを取りはずすときボル
トの頭部をねじ切る場合がある。
を軽く締める方法が取られている。しかし、この
締結力は微妙であり、軽く締めると緩み易く、逆
に強く締めすぎるとボルトを取りはずすときボル
トの頭部をねじ切る場合がある。
（考案が解決しようとする課題）
本考案は上記事情に鑑みてなされたもので、ネ
ジ部にすり割りを設けることにより、熱膨張によ
る焼付けを防止し得る高熱膨張材製ボルトを提供
することを目的とする。
ジ部にすり割りを設けることにより、熱膨張によ
る焼付けを防止し得る高熱膨張材製ボルトを提供
することを目的とする。
［考案の構成］
（課題を解決するための手段）
本考案は、プラズマエツチング装置のエツチン
グ室内部で使用される高熱膨張材製ボルトにおい
て、頭部と、これと一体化しているネジ部とから
なり、このネジ部にすり割りを設けたことを特徴
とする高熱膨張材製ボルトである。
グ室内部で使用される高熱膨張材製ボルトにおい
て、頭部と、これと一体化しているネジ部とから
なり、このネジ部にすり割りを設けたことを特徴
とする高熱膨張材製ボルトである。
（作用）
本考案によれば、ネジ部にすり割りを設ける構
造とすることにより、ボルト自身が加熱された場
合、ネジ部の半径方向の熱膨張はすり割りの空間
に逃げる。そのため、半径方向に応力が加わらな
くなり、焼付け現象を回避することができる。
造とすることにより、ボルト自身が加熱された場
合、ネジ部の半径方向の熱膨張はすり割りの空間
に逃げる。そのため、半径方向に応力が加わらな
くなり、焼付け現象を回避することができる。
（実施例）
以下、本考案の一実施例を第１図Ａ，Ｂを参照
して説明する。但し、同図Ａは側面図、同図Ｂは
同図ＡのＸ−Ｘ線に沿う断面図である。
して説明する。但し、同図Ａは側面図、同図Ｂは
同図ＡのＸ−Ｘ線に沿う断面図である。
図中の１は、アルミニウム合金製の頭部２と、
これと一体化したアルミニウム合金製のネジ部３
とからなる高熱膨張材製ボルトである。前記ネジ
部３にはすり割り３ａが設けられている。ここ
で、すり割り３ａの長さＬ、幅Ｗは、ネジ部３の
ネジ切りでない部分の長さをL1、ネジ部３のネ
ジ切り部分の長さをL2、ネジ部３の径をＤとし
た場合、 Ｌ＝L2−２×Ａ Ｗ＝0.2×Ｄ となる。
これと一体化したアルミニウム合金製のネジ部３
とからなる高熱膨張材製ボルトである。前記ネジ
部３にはすり割り３ａが設けられている。ここ
で、すり割り３ａの長さＬ、幅Ｗは、ネジ部３の
ネジ切りでない部分の長さをL1、ネジ部３のネ
ジ切り部分の長さをL2、ネジ部３の径をＤとし
た場合、 Ｌ＝L2−２×Ａ Ｗ＝0.2×Ｄ となる。
こうした構造の高熱膨張材製ボルトは、第２図
に示す如く常温では実線で示す状態にあり、加熱
時は点線で示す状態にある。
に示す如く常温では実線で示す状態にあり、加熱
時は点線で示す状態にある。
しかして、上記実施例に係る高熱膨張材製ボル
トよれば、アルミニウム合金製の頭部２と、これ
と一体化したアルミニウム合金製のネジ部３とか
らなり、しかも前記ネジ部３にすり割り３ａが設
けられた構成となつているため、第３図に示す如
くボルト１を真空チヤンバ４で使用した場合、ボ
ルト自身が加熱されても、ネジ部３の半径方向の
熱膨張は真空チヤンバ４の下穴部の空間５に逃げ
る。そのため、ネジ部３の半径方向に応力が加わ
らなくなり、焼付け減少を回避することができ
る。また、上記空間５に残る気体をネジ部３のす
り割りを通して急速に排気する効果をもつ。
トよれば、アルミニウム合金製の頭部２と、これ
と一体化したアルミニウム合金製のネジ部３とか
らなり、しかも前記ネジ部３にすり割り３ａが設
けられた構成となつているため、第３図に示す如
くボルト１を真空チヤンバ４で使用した場合、ボ
ルト自身が加熱されても、ネジ部３の半径方向の
熱膨張は真空チヤンバ４の下穴部の空間５に逃げ
る。そのため、ネジ部３の半径方向に応力が加わ
らなくなり、焼付け減少を回避することができ
る。また、上記空間５に残る気体をネジ部３のす
り割りを通して急速に排気する効果をもつ。
なお、上記実施例では、ボルトの材質としてア
ルミニウム合金を用いた場合について述べたが、
これに限定されない。
ルミニウム合金を用いた場合について述べたが、
これに限定されない。
［考案の効果］
以上詳述した如く本考案によれば、ネジ部にす
り割りを設けることにより、熱膨張による焼付け
を防止し得、しかもネジ部の挿入箇所に対応した
真空チヤンバなどの相手材の空間部に残る気体を
すり割りを通して教則に排気する効果を有する高
熱膨張材製ボルトを提供できる。
り割りを設けることにより、熱膨張による焼付け
を防止し得、しかもネジ部の挿入箇所に対応した
真空チヤンバなどの相手材の空間部に残る気体を
すり割りを通して教則に排気する効果を有する高
熱膨張材製ボルトを提供できる。
第１図Ａは本考案にの一実施例に係る高熱膨張
材製ボルトの側面図、同図Ｂは同図ＡのＸ−Ｘ線
に沿う断面図、第２図は同ボルトのネジ部の常温
時、加熱時の状態の説明図、第３図は同ボルトを
真空チヤンバに組込んだ状態の説明図である。 １……高熱膨張材製ボルト、２……頭部、３…
…ネジ部、３ａ……すり割り、４……真空チヤン
バ。
材製ボルトの側面図、同図Ｂは同図ＡのＸ−Ｘ線
に沿う断面図、第２図は同ボルトのネジ部の常温
時、加熱時の状態の説明図、第３図は同ボルトを
真空チヤンバに組込んだ状態の説明図である。 １……高熱膨張材製ボルト、２……頭部、３…
…ネジ部、３ａ……すり割り、４……真空チヤン
バ。
Claims (1)
- プラズマエツチング装置のエツチング室内部で
使用される高熱膨張材製ボルトにおいて、頭部
と、これと一体化しているネジ部とからなり、こ
のネジ部にすり割りを設けたことを特徴とする高
熱膨張材製ボルト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15987688U JPH0417862Y2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15987688U JPH0417862Y2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0280210U JPH0280210U (ja) | 1990-06-20 |
| JPH0417862Y2 true JPH0417862Y2 (ja) | 1992-04-21 |
Family
ID=31441462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15987688U Expired JPH0417862Y2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0417862Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-08 JP JP15987688U patent/JPH0417862Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0280210U (ja) | 1990-06-20 |
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