JPH0419305B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0419305B2 JPH0419305B2 JP61163751A JP16375186A JPH0419305B2 JP H0419305 B2 JPH0419305 B2 JP H0419305B2 JP 61163751 A JP61163751 A JP 61163751A JP 16375186 A JP16375186 A JP 16375186A JP H0419305 B2 JPH0419305 B2 JP H0419305B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- nozzle
- throat
- metal fitting
- hardware
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、鋼板やフイルム等の帯状材を連続
的に真空処理室に導く際に使用されるロール式シ
ール構造に関するものである。
的に真空処理室に導く際に使用されるロール式シ
ール構造に関するものである。
［従来の技術］
従来、帯状材を連続的に真空処理室に導く際、
真空処理室の入側に多数の真空室からなる差動排
気装置を設け、逐次減圧しつつ帯状材を送給する
ことが行われている。各真空室２間のシールは、
第３図に示すように、帯状材１が掛け回されるロ
ール３の上下にロールカバー４を狭い間〓を存し
て設け、漏洩流体が流れにくくすることによつて
シールしている。そして大気に接する第１段の真
空室２の入口では、第４図に示すようにロールカ
バー４の一部に、ロール３との間で絞り部６を形
成するカバー５を設けてエゼクタを構成し、この
絞り部６を通して高圧ガスを吹出すことによりシ
ール性を向上させるようにしている。
真空処理室の入側に多数の真空室からなる差動排
気装置を設け、逐次減圧しつつ帯状材を送給する
ことが行われている。各真空室２間のシールは、
第３図に示すように、帯状材１が掛け回されるロ
ール３の上下にロールカバー４を狭い間〓を存し
て設け、漏洩流体が流れにくくすることによつて
シールしている。そして大気に接する第１段の真
空室２の入口では、第４図に示すようにロールカ
バー４の一部に、ロール３との間で絞り部６を形
成するカバー５を設けてエゼクタを構成し、この
絞り部６を通して高圧ガスを吹出すことによりシ
ール性を向上させるようにしている。
［発明の解決しようとする問題点］
しかし、上記のエゼクタのノズル部はロール３
の周面に添つて形成されるのでノズルの断面形状
が非対称となる。このためノズル部での流れが不
安定となる。また、この種のエゼクタでは吸引性
能に限界があり、大気圧の0.4倍即ち300Torrま
での真空しか得られない。
の周面に添つて形成されるのでノズルの断面形状
が非対称となる。このためノズル部での流れが不
安定となる。また、この種のエゼクタでは吸引性
能に限界があり、大気圧の0.4倍即ち300Torrま
での真空しか得られない。
この発明は流れが安定で且つ高い真空度を得ら
れるようにしたシール構造を提供することを目的
とするものである。
れるようにしたシール構造を提供することを目的
とするものである。
［問題点を解決するための手段、作用］
帯状材のロール式シール構造で、ロールと、こ
のロールとの間で第２スロート部を形成すべく該
ロールに対向して設けられた該ロールと同じ曲率
面を有する円弧状金物と、上記第２スロート部に
臨んで上記ロールと円弧状金物との間に設けられ
た中心部に第１スロート部を有する断面三角形状
のノズル金物とからなり、このノズル金物の上下
面と上記ロール及び円弧状金物との間に対称に形
成される２次流れ流路の先端部を上記第１スロー
ト部と第２スロート部間に形成される中間拡大部
に臨ませる。
のロールとの間で第２スロート部を形成すべく該
ロールに対向して設けられた該ロールと同じ曲率
面を有する円弧状金物と、上記第２スロート部に
臨んで上記ロールと円弧状金物との間に設けられ
た中心部に第１スロート部を有する断面三角形状
のノズル金物とからなり、このノズル金物の上下
面と上記ロール及び円弧状金物との間に対称に形
成される２次流れ流路の先端部を上記第１スロー
ト部と第２スロート部間に形成される中間拡大部
に臨ませる。
こうして、第１スロート部を含む面に対して、
対称に２次流れ流路が形成されるので安定した流
れとなる。また２重スロート構造であるので、吸
引性能を増大することができる。
対称に２次流れ流路が形成されるので安定した流
れとなる。また２重スロート構造であるので、吸
引性能を増大することができる。
［実施例］
本発明の一実施例を第１図により説明する。図
中１１はロール３と同じ曲率面を有する断面円弧
状の金物で、その中心線をロール３の中心線上に
位置させて、ロール３との間で第２スロート部S2
を形成している。１２は中心部に第１スロート部
S1を形成した断面三角形状のノズル金物で、円弧
状金物１１とロール３との間にその先端部を上記
第２スロート部S2に向けて設けられている。こう
してノズル金物１２の上、下面と円弧状金物１１
及びロール３の外周面との間に２次流れ流路１
３，１３が形成されている。そしてこれら流路１
３，１３の先端部は、第１スロート部S1の出側末
拡がり部の延長面と円弧状金物１１及びロール３
の外周面との交点で定められる中間拡大部SBに向
けられている。また２次流れ流路１３，１３の後
端部は、ロールカバー４又は配管１４を介して真
空室２に接続され、その間の流路抵抗が等しくな
るように絞り等により調整されている。
中１１はロール３と同じ曲率面を有する断面円弧
状の金物で、その中心線をロール３の中心線上に
位置させて、ロール３との間で第２スロート部S2
を形成している。１２は中心部に第１スロート部
S1を形成した断面三角形状のノズル金物で、円弧
状金物１１とロール３との間にその先端部を上記
第２スロート部S2に向けて設けられている。こう
してノズル金物１２の上、下面と円弧状金物１１
及びロール３の外周面との間に２次流れ流路１
３，１３が形成されている。そしてこれら流路１
３，１３の先端部は、第１スロート部S1の出側末
拡がり部の延長面と円弧状金物１１及びロール３
の外周面との交点で定められる中間拡大部SBに向
けられている。また２次流れ流路１３，１３の後
端部は、ロールカバー４又は配管１４を介して真
空室２に接続され、その間の流路抵抗が等しくな
るように絞り等により調整されている。
こうして、２次流れ流路１３，１３は第１スロ
ート部S1を含む面に対して対称に形成され、ま
た、第１スロート部S1と第２スロート部S2との間
に中間拡大部SBのある２重スロート構造が形成さ
れる。
ート部S1を含む面に対して対称に形成され、ま
た、第１スロート部S1と第２スロート部S2との間
に中間拡大部SBのある２重スロート構造が形成さ
れる。
ノズル部分の拡大図を第２図ｂに示す。このよ
うなノズルは第２図ａのようにモデル化できる。
例えばロール３の半径150mm、第２スロート部S2、
第１スロート部及び中間拡大部SBの間隔をそれぞ
れ５mm、１mm及び６mmとした場合、ノズルの軸線
に添つた圧力勾配は第２図ｃに示すようになる。
中間拡大部SBでは0.017Poが得られ、Poを3.4atm
とした場合58Torrとなり、従来の300Torrに比
べ格段と高い真空度が得られる。こうして２次流
れ流路の吸引性能を高め且つ安定した吸引を行う
ことができる。
うなノズルは第２図ａのようにモデル化できる。
例えばロール３の半径150mm、第２スロート部S2、
第１スロート部及び中間拡大部SBの間隔をそれぞ
れ５mm、１mm及び６mmとした場合、ノズルの軸線
に添つた圧力勾配は第２図ｃに示すようになる。
中間拡大部SBでは0.017Poが得られ、Poを3.4atm
とした場合58Torrとなり、従来の300Torrに比
べ格段と高い真空度が得られる。こうして２次流
れ流路の吸引性能を高め且つ安定した吸引を行う
ことができる。
［発明の効果］
この発明は、上記のようなもので、ノズル部を
対称形とすることにより安定した吸引性能が得ら
れ、また２重スロート式のエゼクタノズルとする
ことにより、吸引性能を従来より増大させること
ができる。こうしてシール性を向上させることが
できる。
対称形とすることにより安定した吸引性能が得ら
れ、また２重スロート式のエゼクタノズルとする
ことにより、吸引性能を従来より増大させること
ができる。こうしてシール性を向上させることが
できる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第
２図ａ，ｂ，ｃはそれぞれノズル部のモデル図、
ノズル部の拡大図及びノズル内の圧力勾配図、第
３図、第４図は従来のシール構造の説明図及びノ
ズル部の拡大説明図である。 １……帯状材、３……ロール、１……円弧状金
物、１２……ノズル金物、１３……２次流れ流
路、S1……第１スロート部、S2……第２スロート
部、SB……中間拡大部。
２図ａ，ｂ，ｃはそれぞれノズル部のモデル図、
ノズル部の拡大図及びノズル内の圧力勾配図、第
３図、第４図は従来のシール構造の説明図及びノ
ズル部の拡大説明図である。 １……帯状材、３……ロール、１……円弧状金
物、１２……ノズル金物、１３……２次流れ流
路、S1……第１スロート部、S2……第２スロート
部、SB……中間拡大部。
Claims (1)
- １ 帯状材のロール式シール構造で、ロールと、
このロールとの間で第２スロート部を形成すべく
該ロールに対向して設けられた該ロールと同じ曲
率面を有する円弧状金物と、上記第２スロート部
に臨んで上記ロールと円弧状金物との間に設けら
れた中心部に第１スロート部を有する断面三角形
状のノズル金物とからなり、このノズル金物の上
下面と上記ロール及び円弧状金物との間に対称に
形成される２次流れ流路の先端部を上記第１スロ
ート部と第２スロート部間に形成される中間拡大
部に臨ませたことを特徴とするシール構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16375186A JPS6320473A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16375186A JPS6320473A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320473A JPS6320473A (ja) | 1988-01-28 |
| JPH0419305B2 true JPH0419305B2 (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=15780002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16375186A Granted JPS6320473A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320473A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5861449U (ja) * | 1981-10-16 | 1983-04-25 | 三菱重工業株式会社 | ロ−ルシ−ル装置 |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP16375186A patent/JPS6320473A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6320473A (ja) | 1988-01-28 |
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