JPH04196220A - 密閉型容器 - Google Patents
密閉型容器Info
- Publication number
- JPH04196220A JPH04196220A JP2326873A JP32687390A JPH04196220A JP H04196220 A JPH04196220 A JP H04196220A JP 2326873 A JP2326873 A JP 2326873A JP 32687390 A JP32687390 A JP 32687390A JP H04196220 A JPH04196220 A JP H04196220A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- liquid
- gas
- pressure
- chemical liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、半導体等電子材料や精密機器等の薬液処理
工程に用いられる各種薬液を充填する密閉型容器に関す
るものである。
工程に用いられる各種薬液を充填する密閉型容器に関す
るものである。
［従来の技術］
第３図は従来の密閉型容器を示す斜示図であり、図にお
いて、（＋）は剛性体で形成された液収納容器本体、（
３）は内部液取り出し口、（５）は口金支持、（７）は
外部より気体を送り込み圧力を加えるガス送入口である
。
いて、（＋）は剛性体で形成された液収納容器本体、（
３）は内部液取り出し口、（５）は口金支持、（７）は
外部より気体を送り込み圧力を加えるガス送入口である
。
第４図は第３図の密閉型容器の詳細を示す断面図であり
、図において（６）は液収納容器本体［１に収められた
薬液、（８）は導入管である。
、図において（６）は液収納容器本体［１に収められた
薬液、（８）は導入管である。
次に動作について説明する。ガス送入口（７）により例
えば窒素を加える。ガス送入口（７）より窒素が加えら
れると液収納容器本体（１）の内圧が高くなる。
えば窒素を加える。ガス送入口（７）より窒素が加えら
れると液収納容器本体（１）の内圧が高くなる。
圧力が高くなることにより薬液（６）に圧力が加わり導
入管（８）を通じて内部液取り出し口（３）より薬液（
６）が排出される。
入管（８）を通じて内部液取り出し口（３）より薬液（
６）が排出される。
［発明が解決しようとする課題］
従来の密閉型容器は以上のように構成されているので、
送液時には密閉容器中の薬液（６）に直接圧送するため
の気体が接触するため、気体が薬液中に取り込まれ気体
中の不純物が取り込まれる。また気体が取り込まれるこ
とにより薬液（６）中に気泡が生じることがある。
送液時には密閉容器中の薬液（６）に直接圧送するため
の気体が接触するため、気体が薬液中に取り込まれ気体
中の不純物が取り込まれる。また気体が取り込まれるこ
とにより薬液（６）中に気泡が生じることがある。
通常、液収納容器本体（１）の材質はｓＵｓ等を用いて
いることが多い。しかし、薬液（６）に接している面で
は乾燥、浸水がくり返えされ容器内部が劣化しやすくな
る。また薬液（６）そのものも、気体と接することで濃
度等変化してしまうなどの問題点があった。
いることが多い。しかし、薬液（６）に接している面で
は乾燥、浸水がくり返えされ容器内部が劣化しやすくな
る。また薬液（６）そのものも、気体と接することで濃
度等変化してしまうなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、薬液に直接気体を触れさせずに薬液を送り出
すことができる密閉型容器を得ることを目的とする。
たもので、薬液に直接気体を触れさせずに薬液を送り出
すことができる密閉型容器を得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
この発明に係る密閉型容器は、密閉型容器内部に、新た
に伸縮可能な内部容器を設けるとともに。
に伸縮可能な内部容器を設けるとともに。
外部容器と内部容器の隙間に加圧用気体または液体を流
入できるようにしたものである。
入できるようにしたものである。
［作用］
この発明における密閉型容器は、内側に設けられた伸縮
可能な内部容器に蓄わえられた薬液は、内部容器と外部
容器との間に圧力を加えることにより内部容器が加圧さ
れて体積が減少し、中の薬液が押しだされ外部へ供給す
ることができる。
可能な内部容器に蓄わえられた薬液は、内部容器と外部
容器との間に圧力を加えることにより内部容器が加圧さ
れて体積が減少し、中の薬液が押しだされ外部へ供給す
ることができる。
〔実施例］
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図及び第２図において（Ｉ）（ま剛性体で形成された密
閉容器、（２）は伸縮可能に形成された内部容器で、密
閉容器（１）と所定の間隔をあけて密閉容器（１）の内
部に設けられている。（３）は内部液取り出し口で、密
閉容器（１）の一端を貫通して内部容器（２）と接続さ
れている。（４）；よ流体供給Ｕｉで、密閉容器（１）
と内部容器（２）との間隔と接続するように、密閉容器
（１１の一端に取り付けられている。、（５）は内部液
取り出し口（３）を支持する［゛全支持、（６）は内部
容器（２）に充填された薬液である。
図及び第２図において（Ｉ）（ま剛性体で形成された密
閉容器、（２）は伸縮可能に形成された内部容器で、密
閉容器（１）と所定の間隔をあけて密閉容器（１）の内
部に設けられている。（３）は内部液取り出し口で、密
閉容器（１）の一端を貫通して内部容器（２）と接続さ
れている。（４）；よ流体供給Ｕｉで、密閉容器（１）
と内部容器（２）との間隔と接続するように、密閉容器
（１１の一端に取り付けられている。、（５）は内部液
取り出し口（３）を支持する［゛全支持、（６）は内部
容器（２）に充填された薬液である。
次に動作について説明する。第２図に示すように、内部
容器（２）内に薬液（６）が充填された状態で、流入口
（４）より気体叉は液体などの流体を所定の圧力で注入
すると、密閉された液収納容器（１）と内部容器（２）
との間に流体が流入し、内部容器（２）の外部に圧力が
加わる。圧力が加えられたことで内部容器（２）は圧縮
され体積が減少し、内部液取り出し口（３）より薬液（
６）が取り出される。
容器（２）内に薬液（６）が充填された状態で、流入口
（４）より気体叉は液体などの流体を所定の圧力で注入
すると、密閉された液収納容器（１）と内部容器（２）
との間に流体が流入し、内部容器（２）の外部に圧力が
加わる。圧力が加えられたことで内部容器（２）は圧縮
され体積が減少し、内部液取り出し口（３）より薬液（
６）が取り出される。
［発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、密閉型容器を２重にし
内部容器を軟質材質によって伸縮可能にし、外部容器と
内部容器との間に圧力を加えることにより、内部容器か
ら薬液を取り出すように構成したので、薬液が外部の気
体叉は液体に触れることなく取りだせるため薬液の汚染
、劣化がなく、また、圧力をかけるために流入する気体
叉は液体の温 湿度を調整することにより容易に内部薬
液の温度調整をすることが可能となる等の効果がある。
内部容器を軟質材質によって伸縮可能にし、外部容器と
内部容器との間に圧力を加えることにより、内部容器か
ら薬液を取り出すように構成したので、薬液が外部の気
体叉は液体に触れることなく取りだせるため薬液の汚染
、劣化がなく、また、圧力をかけるために流入する気体
叉は液体の温 湿度を調整することにより容易に内部薬
液の温度調整をすることが可能となる等の効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による密閉型容器を示す斜
視図、第２図は第１図を詳細に示す断面図、第３図は従
来の密閉型容器を示す斜視図、第４図は第３図を詳細に
示す断面図である。 （１）は密閉容器、（２）は内部容器、（３）は内部液
取り出し口、（４）は流入口である。 なお、図中、同一符号は同一、叉は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図 Ｉ、箋閉容銘 Ｊ１］１重ジ枢上口 ４、ジ荒入口 第２図 ２ 円上ン各篠 第３図 第４図
視図、第２図は第１図を詳細に示す断面図、第３図は従
来の密閉型容器を示す斜視図、第４図は第３図を詳細に
示す断面図である。 （１）は密閉容器、（２）は内部容器、（３）は内部液
取り出し口、（４）は流入口である。 なお、図中、同一符号は同一、叉は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図 Ｉ、箋閉容銘 Ｊ１］１重ジ枢上口 ４、ジ荒入口 第２図 ２ 円上ン各篠 第３図 第４図
Claims (1)
- 気体を送り容器内部を加圧することにより容器内部に満
たされた液体を容器外へ送り出すか、または内部取り込
み口を減圧することにより容器内部の液体を容器外へ引
き出すようにしたものにおいて、上記容器の内部に伸縮
可能な内部容器を設けて上記外部取り込み口と接続し、
上記容器と上記内部容器との間に流体を充填できるよう
にしたことを特徴とする密閉型容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326873A JPH04196220A (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 密閉型容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326873A JPH04196220A (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 密閉型容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04196220A true JPH04196220A (ja) | 1992-07-16 |
Family
ID=18192689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2326873A Pending JPH04196220A (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 密閉型容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04196220A (ja) |
-
1990
- 1990-11-27 JP JP2326873A patent/JPH04196220A/ja active Pending
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