JPH0421342B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体装置の電気特性を連続的に試験
してこれらを良品と不良品とに選別する半導体装
置用試験装置において、良品と不良品とに選別し
てシユートされて来る半導体装置を夫々別々に収
縮するための選別収縮装置に関する。 〔発明の技術的背景〕 例えばIC（半導体集積回路装置）等の半導体装
置では、製造された個々の製品について気的な特
性試験を行ない、これらを良品と不良品とに選別
することが必要とされる。そして、大量の製品に
ついて連続的かつ自動的に上記の試験および選別
を行なうために、従来から所謂高速ハンドラー装
置を備えた半導体装置用試験装置が使用されてい
る。 第１図は上記従来の半導体装置用試験装置を示
す概略説明図である。同図において、１は連続的
に供給される半導体装置を単列に並べるための試
験前シユート部である。該試験前シユート部１で
単列に並べられた半導体装置a₁，a₂…は、試験前
シユート部１のすぐ下流に配設された試験ヘツド
部２へ一個づつシユートされるようになつてい
る。試験ヘツド部２ではシユートされて来た半導
体装置の電気特性が試験され、良品か不良かを判
定された半導体装置は選別シユート部３へシユー
トされる。そして、試験ヘツド部２が空になつた
後、次の半導体装置が試験前シユート部１からシ
ユートされて来る。なお、上記半導体装置の試験
は、試験ヘツド部２に接続された図示しない試験
器で行なわれる。他方、選別シユート部３は、試
験ヘツド部２からシユートされて来た半導体装置
が良品である場合には前記図示しない試験器から
の指令を受けてこれをそのすぐ下流に配設されて
いる良品シユート部４へシユートする。また、シ
ユートされた来た半導体装置が不良品である場合
には、選別シユート部３は前記図示しない試験器
からの指令により90゜回転し、回転した向きに配
設されている不良品シユート部５へ不良品半導体
装置をシユートするようになつている。そして、
良品シユート部４および不良品シユート部５の
夫々は、その先端に設けられた収納器と共にシユ
ートされて来た半導体装置を収納するための収納
装置を構成している。 第２図は上記従来の収納装置を概略的に示す平
面図である。同図において、６は良品シユート４
または不良品シユート部５の先端に配設された収
納器である。該収納器６はシユート部４または５
に固定された支持板７に支持されており、かつ支
持板７に固定された駆動用エアシリンダ８により
横方向へ移動可能に設けられている。図中想像線
で示す６′はその移動範囲を示している。また、
収納器６の上端部付近には、良品シユート部４ま
たは不良品シユート部５に固定された駆動用検知
器９が設けられている。１０は選別シユート部３
から半導体装置がシユートされて来たことを検知
するための検知器である。選別シユート部３から
上記収納装置へ半導体装置がシユートされて来る
と、検知器１０でこれが検知されると共に半導体
装置はシユート部４または５を通して収納器６へ
シユートされ、該収器９の一つの収納列に次々と
積み上げられて行く。そして、半導体装置が駆動
用検知器９の位置まで積み上げられて当該収納列
が満たされると、駆動用検知器９がこれを検知し
て駆動用エアシリンダ８を駆動させ、満たされて
いない隣の収納列へ半導体装置がシユートされて
来るように収納器を移動させる。こうして収納器
６の全体に半導体装置が満たされるまで同様の収
納動作が繰り返される。 〔背景技術の問題点〕 上記従来の収納装置を半導体装置用試験装置の
一部を用い、良品および不良品に選別してシユー
トされて来る半導体装置を夫々別々に収納しよう
とすれば、上述のように良品用および不良品とし
て夫々１セツト、計２セツト配設しなければなら
ない。そのために、装置のコンパクト化が計れな
いという問題があり、また、個々の収納装置の稼
動率が低く効率的でないといつた問題があつた。 他方、従来の半導体装置用試験装置における全
体的な問題として、単列のシユート回路系で構成
されていることおよび選別シユート部３が不良品
を選別するために上述のように90゜回転する余分
な動作が必要とされること等の要因により全体的
なマシーンインデツクスが大きくなり、これが作
業能率の向上ひいては全体的な生産性の向上を計
る上で障害になるという問題があつた。そこで、
全体のシユート回路系を試験前ヘツド部から分岐
して夫々に試験ヘツド部を含む複数の並列シユー
ト回路系とすると共に、これに対応し得る効率的
な選別シユート部を採用した効率のよい半導体装
置用試験装置が望まれていた。そして、この基本
的な構想を実現した半導体装置用試験装置では、
収納装置としてもそれに適合し得る効率的なもの
が要求されることになる。 〔発明の目的〕 本発明の第１の目的は、半導体装置用試験装置
において良品および不良品に選別してシユートさ
れて来る半導体装置を一つの装置で夫々別々に収
納できるコンパクトで効率のよい選別収納装置を
提供することである。 本発明の第２の目的は、前記基本的な構想を実
現した半導体装置用試験装置にうまく適合し得る
効率のよい選別収納装置を提供することである。 なお、前記基本的な構想による半導体装置用試
験装置を実現するためには、例えば試験前シユー
ト部１から単列で供給される半導体装置を分岐し
た夫々のシユート回路に分配するための装置、お
よび従来の選別シユート部３とは全く異なつた機
構の選別シユート装置が必要とされることは言う
までもない。しかし、これら自体は本発明の範囲
外であるからその詳細については省略し、本発明
の選別収納装置の直前に配設されることになる前
記選別シユート装置についてのみ必要に応じて適
宜説明を加えることとする。 〔発明の概要〕 本発明の選別収納装置における第１の特徴は、
選別された良品の半導体装置がシユートされて来
る少なくとも一つの良品シユート列と、選別され
た不良品の半導体装置がシユートされて来る少な
くとも一つの不良品シユート列とを設けることに
より、一つの選別収納装置で良品および不良品の
半導体装置を夫々別々に収納できるようにしたこ
とである。 本発明の選別収納装置における第２の特徴は、
前記良品シユート列あるいは不良品シユート列を
必要に応じて複数設けることにより、既述の基本
的構想を実現した半導体装置用試験装置に適合で
きるようにしたことである。 〔発明の実施例〕 第３図は本発明における第１および第２の特徴
を備えた選別収納装置の一実施例を示す概略平面
図であり、第４図はその−線に沿う概略断面
図である。これらの図において１１は選別収納装
置である。該選別収納装置１１には、第４図に明
瞭に示されるように、上方支持枠１２および下方
支持枠１３で限定された一つの良品シユート列１
４が形成されている。また、同様の構成からなる
二つの不良品シユート列１５₁，１５₂が良品シユ
ート列１４の両側に設けられている。なお、これ
らの図において、不良品シユート列１５₁，１５₂
はその配設位置のみを示している。この不良品シ
ユート列１５₁，１５₂の下流には両者共通の不良
品収納ボツクス１６が配置される。他方、良品シ
ユート列１４の下端部には、第４図に明瞭に示さ
れるようにその下方支持枠１３に固定された支持
板１７が設けられている。該支持板１７は、良品
シユート列１４の下流に配設される良品収納器１
８を横方向に移動可能な状態で支持するようにな
つている。この支持板１７には前記良品収納器１
８に連結されてこれを横方向へ移動させるための
駆動用エアシリンダ１９が設けられている。な
お、図中想像線で示す１８′はこの横方向の移動
範囲を示している。更に、良品シユート列１４の
下端部にはその上方支持枠１２に固定され、前記
良品収納器１８の上端部位置まで垂下された駆動
用検知器２０が設けられている。該駆動用検知器
２０は良品収納器１８における良品シユート列１
４直下の収納列が満たされたことを検知し、前記
駆動用エアシリンダ１９を駆動させて良品収納器
１８を横方向に移動させる。また、良品シユート
列１４にはシユートされて来た半導体装置を検知
するための検知器２１が設けられている。該検知
器２１は光フアイバーセンサからなり、シユート
列１４を限定する下方支持枠１３に埋設されてい
る。 なお、図中３０は半導体装置用試験装置におい
て既述の基本的な構想を実現するために構成され
た選別シユート装置である。該選別シユート装置
３０には前段部から半導体装置がシユートされて
来る二つのシユート部３１₁，３１₂が並列に設け
られている。そして、選別シユート装置３０の前
段部としては二つの試験ヘツド部４０₁，４０₂が
並列に配設され、夫々の試験ヘツド部４０₁，４
０₂は交互に試験済みの半導体装置を選別シユー
ト装置３０へシユートするように構成される。選
別シユート装置３０のシユート部３１₁，３１₂
は、試験ヘツド部４０₁，４０₂からシユートされ
て来た半導体装置が検知器である場合にはこれを
係留する一方、不良品の場合にはそのまま通過さ
せ、また係留した良品の半導体装置を選別収納装
置１１へシユートできるようになつている。また
選別シユート装置３０は一体になつて横方向に移
動できるようになつている。そして、シユート部
３１₁は試験ヘツド部４０₁および選別収納装置の
不良品シユート列１５₁と連通する位置で、試験
ヘツド部４０₁から半導体装置のシユートを受け
た後、良品シユート列１４と連通する位置へ移動
したときに係留された良品半導体装置をシユート
するようになつている。また、シユート部３１₂
は試験ヘツド部４０₂および選別収納装置の不良
品シユート列１５₂と連通する位置で、試験ヘツ
ド部４０₂から半導体装置のシユートを受けた後、
良品シユート列１４と連通する位置へ移動したと
きに係留された良品半導体装置をシユートするよ
うになつている。 上記実施例になる選別収納装置１１の作用は次
の通りである。 選別シユート装置３０が第３図にあつてシユー
ト部３１₂が試験ヘツド部４０₂から半導体装置の
シユートを受ける場合、シユートされて来た半導
体装置が不良品であれば、この不良品はシユート
部３１₂をそのまま通過して選別収納装置の不良
品シユート列１５₂へシユートされ、不良品収納
ボツクス１６へ収納される。他方、選別シユート
装置３０のシユート部３１₂へシユートされて来
た半導体装置が良品であれば、この良品はシユー
ト部３１₂内に係留される。 こうしてシユート部３１₂へのシユートが終了
すると、選別シユート装置３０はそのシユート部
３１₂が選別収納装置１１の良品シユート列１４
と連通する位置に移動する。この位置において、
選別シユート装置３０のシユート部３１₁は選別
収納装置の不良品列１５₁と連通し、また前段部
に配設された試験ヘツド部４０₁と連通するよう
になる。 上記の移動が完了したとき、選別シユート装置
３０のシユート部３１₂に係留されていた良品の
半導体装置は選別収納装置１１の良品シユート列
１４へシユートされ、これと同時に選別シユート
装置３０のシユート部３１₁へ半導体装置が試験
ヘツド部４０₁からシユートされて来る。良品シ
ユート列１４へシユートされた良品の半導体装置
はそのまま良品収納器１５へ収納される。他方、
選別シユート装置３０のシユート部３１₁へシユ
ートされた半導体装置は、それが不良品であれば
そのまま不良品シユート列１５₁へシユートされ
て不良品収納ボツクス１６に収納され、良品であ
る場合にはシユート部３１₁内に係留される。 次に、選別シユート装置３０は再び第３図の位
置に移動し、シユート部３１₁に係留されていた
良品の半導体装置が良品シユート列１４へシユー
トされて良品収納器１８に収納され、シユート部
３１₂では半導体装置が試験ヘツド部４０₂からシ
ユートされて来る。 以上の動作が繰り返し行なわれることにより、
良品収納器１８には良品の半導体装置が選別して
収納され、また不良品収納ボツクス１６には不良
品の半導体装置が選別して収納される。このと
き、良品収納器１８に収納される半導体装置は検
知器２０により検出されるから、検知器２０をカ
ウンターに接続しておけば良品収納器１８に収納
された良品の数をカウントすることができる。ま
た、収納器１８における良品シユート列１４の直
下の部分が半導体装置で満たされると、駆動用検
知器２０がこれを検知し、収納器１８が駆動用エ
アシリンダ１９により１列分だけ左側に移動され
る結果、満杯になつた隣の列へ良品の半導体装置
が収納されていく。こうして、良品収納器１８の
全体が良品で満たされれば、良品収納器１８を新
しいものと取り替えて上述の動作が継続される。 上述のようにこの実施例の選別収納装置によれ
ば、一つの収納装置だけで良品および不良品の半
導体装置を夫々別々に収納することができるか
ら、従来の収納装置を２セツト設ける場合に比較
して据付面積が小さくてすみ、かつ稼動率を向上
することができる。また、試験ヘツド部を二つ設
け、更にそれに対応した効率のよい選別シユート
装置を設けることにより、既述の基本的な構成を
実現した半導体装置用試験装置に適合した選別収
納装置として使用できることは上記の説明から明
らかである。 更に、上記実施例の選別収納装置は、二つの試
験ヘツド部４０₁，４０₂の夫々が複数の半導体装
置を同時に試験できるようにして更にマシーンイ
ンデツクスを小さくした半導体装置用試験装置に
おいてもそのまま使用することができるが、これ
についての詳細な説明は省略する。 なお、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、種々の変更が可能である。例えば、不良
品シユート列１５₁，１５₂の何れかを省略して
も、第１図の従来の半導体装置用試験装置におけ
る選別収納装置として用いることは可能である。
ただし、この場合は不良品シユート列１５と第１
図の不良品シユート部５とを連結するための連結
シユート部を設ける必要がある。 また、良品シユート列１４および不良品シユー
ト列１５₁，１５₂の数は半導体装置用試験装置に
おける選別シユート装置３０以前の構成に応じて
適宜増加することができる。 更に、良品収納器１８を横方向へ移動させるた
めの駆動装置としてはエアシリンダ以外にも種々
の駆動装置を用いることができ、検知器２０とし
ては光フアイバーセンサの他に光電スイツチある
いはマイクロスイツチ等を用いることも可能であ
る。 〔発明の効果〕 以上詳述したように、本発明によれば半導体装
置用試験装置において良品と不良品とに選別して
シユートされて来る半導体装置を夫々別々に収納
でき、しかも従来の半導体装置用試験装置の問題
点を解決した効率的な半導体装置用試験装置にも
良好に適合し得るコンパクトで稼動率の高い選別
収納装置を提供できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の半導体装置用試験装置の概略説
明図、第２図は従来の収納装置の概略平面図、第
３図は本発明の一実施例になる選別収納装置の概
略平面図、第４図は第３図−線に沿う概略断
面図である。 １１…選別収納装置、１２…上方支持枠、１３
…下方支持枠、１４…良品シユート列、１５₁，
１５₂…不良品シユート列、１６…不良品収納ボ
ツクス、１７…支持板、１８…良品収納器、１９
…駆動用エアシリンダ、２０…駆動用検知器、３
０…選別シユート装置、４０₁，４０₂…試験ヘツ
ド部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 自重落下でシユートされてきた不良品の半導
   体装置を自重落下により不良品収納ボツクスへ送
   給するために設けられた少なくとも一つの不良品
   シユート列と、 選別されて自重落下でシユートされた来た良品
   の半導体装置を自重落下により対応する良品収納
   器へ送給するために、前記不良品シユート列に対
   して並列に設けられた少なくとも一つの良品シユ
   ート列と、 該良品シユート列のすぐ下流に設けられて前記
   良品収納器を横方向に移動可能に支持する支持板
   と、 前記良品収納器の移動を可能とする駆動装置と
   を具備し、 前記不良品シユート列に対応してその上流に前
   段部として設けられた試験ヘツドから、良品と不
   良品とに選別してシユートされて来る半導体装置
   を、前記試験ヘツドの直ぐ下流に設けられた選別
   シユート装置を用いて、不良品は該選別シユート
   装置の選別シユート列を通してそのまま前記不良
   品シユート列へ通過させる一方、良品は該選別シ
   ユート列内に係留し、続いて該選別シユート列を
   前記良品シユート列上に平行移動させた後に係留
   されている良品を前記良品シユート列へ落下させ
   ることにより、良品と不良品とを別々に収納する
   ようにした選別収納装置であつて、 前記良品収納器が多数の収納列を有し、その一
   つの収納列が満たされたことを検知して前記駆動
   装置を駆動させるための駆動用検知器を設けたこ
   とを特徴とする選別収納装置。 ２ 前記良品シユート列にシユートされて来た良
   品の半導体装置を検知するための検知器を設けた
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   選別収納装置。 ３ 前記検知器として光フアイバーセンサを用い
   たことを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載
   の選別収納装置。 ４ 前記光フアイバーセンサが前記シユート列を
   限定する壁体に埋設されていることを特徴とする
   特許請求の範囲第３項に記載の選別収納装置。