JPH0425871U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0425871U JPH0425871U JP6597490U JP6597490U JPH0425871U JP H0425871 U JPH0425871 U JP H0425871U JP 6597490 U JP6597490 U JP 6597490U JP 6597490 U JP6597490 U JP 6597490U JP H0425871 U JPH0425871 U JP H0425871U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reactor
- line
- exhaust line
- vapor phase
- growth apparatus
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 claims 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例としての有機金属気
相成長装置の断面図、第２図は断面図で示す従来
の有機金属気相成長装置を用いるフローチヤート
である。 １……反応炉、２……ガス導入ライン、３……
フランシ、４……サセプタ、５……ウエーハ、６
……ＲＦコイル、７……ベントライン、８……リ
アクタ排気ライン、９……冷却水、１０……強制
接触体、１１……フイルタ、Ｖ−１，Ｖ−２……
バルブ。
相成長装置の断面図、第２図は断面図で示す従来
の有機金属気相成長装置を用いるフローチヤート
である。 １……反応炉、２……ガス導入ライン、３……
フランシ、４……サセプタ、５……ウエーハ、６
……ＲＦコイル、７……ベントライン、８……リ
アクタ排気ライン、９……冷却水、１０……強制
接触体、１１……フイルタ、Ｖ−１，Ｖ−２……
バルブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 反応炉と、これに原料ガスを導入する導入
ラインと、反応炉からのリアクタ排気ラインと、
原料ガスを適宜に反応炉をバイパスさせて排気す
るベントラインを有し、前記排気ラインにベント
ラインを合流させてなる気相成長装置において、
ベントラインとリアクタ排気ラインの合流点より
下流側で、かつ、排気ラインのストツプバルブと
の間にガスの強制接触体とフイルタを設けたこと
を特徴とする有機金属気相成長装置。 (2) 強制接触体が、その内部にウール状の材料
を充填した構造体であることを特徴とする請求項
(1)の有機金属気相成長装置。 (3) フイルタを２個以上直列にベントラインと
リアクタ排気ラインの合流点と排気ラインのスト
ツプバルブの間に挿入し、前段のフイルタを強制
接触体の役割をさせることを特徴とする請求項(1
)の有機金属気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6597490U JPH0425871U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6597490U JPH0425871U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425871U true JPH0425871U (ja) | 1992-03-02 |
Family
ID=31598290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6597490U Pending JPH0425871U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425871U (ja) |
-
1990
- 1990-06-25 JP JP6597490U patent/JPH0425871U/ja active Pending
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