JPH04308727A - 光情報記録媒体用基板成型用ロール状スタンパの作製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００１】

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は、光学的に情報の記録・
再生を行う光情報記録媒体用基板を作製するローラー・
グルーブ成型法に用いる、シート状スタンパを備えたロ
ール状スタンパの作製方法に関するものである。

【０００３】

【０００２】

【０００４】

【従来の技術】公開特許公報５６−８７２０３、５６−
８４９２１および５２−８２２０４にそれぞれ記載され
ているように、情報記録媒体用基板の情報記録面には、
トラッキング用溝、情報用ピット等のグルーブが形成さ
れている。情報記録媒体用基板にグルーブを形成する方
法としては、■情報記録媒体用基板の材料が、熱可塑性
樹脂からなる場合には、インジェクション成型法やコン
プレッション成型法、ローラー・グルーブ成型法または
、■光硬化性樹脂組成物を硬化させて、情報記録媒体の
グルーブ形成用スタンパのレプリカを透明樹脂基板に転
写するいわゆる２Ｐ成型法、２Ｐローラー・グルーブ成
型法、さらに、■樹脂モノマーまたは溶剤を含んだプレ
ポリマーを用いる注型成型法等が知られている。

【０００５】

【０００３】前記■のローラー・グルーブ成型法では、
光情報記録媒体用基板のトラック用グルーブをロール・
ツー・ロール方式の連続一貫工程で形成することができ
、この場合、情報記録媒体用基板成型用ロール状スタン
パを用いる（以下、「ロール状スタンパ」と記す）。 このロール状スタンパの製造方法としては、特願昭６３
−２６４６９１に記載されているように、ペーパー状ガ
ラスマスクを用いローラへ密着露光を施し、直接刻印に
よりロール状スタンパを製作する方法が知られている。

【０００６】

【０００４】しかし、上述した直接刻印によりロール状
スタンパを製作する方法では、１本のロール状スタンパ
に対して、複数個の情報記録媒体の所定パターン（トラ
ッキング用溝、情報用ピット等からなる、スパイラル、
同心円状又は、ストライプ状パターン）が形成されてい
るため、例えば、１〜数個の情報記録媒体の所定パター
ンに、欠陥が発生した場合、そのロール状スタンパを交
換する必要があり、複数個の情報記録媒体の所定パター
ンを、直接刻印により形成したロール状スタンパでは、
１個当たりの情報記録媒体の所定パターンの利用効率が
非常に低い。また、生産効率を向上させるためには、１
本のロール状スタンパに、より多くの情報記録媒体基板
の所定パターンを、直接刻印により形成しなければなら
ない。そのために、ロール状スタンパのローラー径は大
きくなり、重量も増え、このロール状スタンパを交換す
ることは、大きな労力を要するといった欠点があった。 この様な欠点を解決するため、同特願昭６３−２８５８
７３に記載されているように、電鋳法によりシート状ス
タンパを作製し、このシート状スタンパを、接着剤を介
し、形状記憶合金を用いてロールに固定するように構成
されているものもある。しかし、この方法においても、
ロールとの間に接着剤を介し、複数個の情報記録媒体成
型用シート状スタンパを固定することにより、ロール状
スタンパを製作しているために、次のような欠点があっ
た。

【０００７】

【０００５】シート状スタンパからの接着剤のはみ出し
があるために、それを取り除くのに労力がかかる。また
、接着剤がはみ出した状態でローラー・グルーブを成型
すると、約２０時間程度で経時変化を起こし、接着剤自
体が欠陥の原因となる。シート状スタンパの固定にして
も、ローラー径が大きくなるにしたがって、接着工程で
の作業に手間がかかり、接着固定装置が必要な場合には
、接着固定装置も大型化することが懸念される。

【０００８】

【０００６】従来、このような欠点を解決するため、１
〜複数個の情報記録媒体の所定パターンの施されたガラ
ス原盤に、導電化膜をスパッタリングし、その後Ｎｉ電
鋳を施すことによって得られるフレキシブルスタンパを
製作する（以下、フレキシブルスタンパを長尺フレキシ
ブルスタンパと記す。）。この長尺フレキシブルスタン
パに、ＥＢ溶着（エレクトロン・ビーム溶着）、銀ろう
溶着あるいはＹＡＧレーザー溶着等の方法によりスタン
パ固定具を固定する。さらに、溝加工の施された鏡面ロ
ールの溝に、前記長尺フレキシブルスタンパをくさび、
つる巻ばね、形状記憶合金、バイメタル等を用いてテン
ションの掛けられる機構にし、その固定具を挿入して取
付けることにより、ロール状スタンパの交換を無くし、
さらに、安価なロール状スタンパを提供できる。

【０００９】

【０００７】

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、ＥＢ溶着（エレクトロン・ビーム溶着）、銀
ろう溶着、ＹＡＧレーザー溶着等の方法によりスタンパ
固定具を長尺フレキシブルスタンパに固定するために、
次のような問題点がある。

【００１１】

【０００８】（１）溶着方法にＥＢ溶着（エレクトロン
・ビーム溶着）またはＹＡＧレーザー溶着等を用いた場
合には、長尺フレキシブルスタンパに熱歪みが生じ、情
報記録媒体用基板に転写するための所定パターンが変形
する。

【００１２】

【０００９】（２）溶着方法に銀ろう溶着、はんだ溶着
等を用いた場合には、長尺フレキシブルスタンパの凹凸
の微細パターン部まで熱が加わり、凹凸の微細パターン
部に付着したゴミ等が焼き付いてしまい、情報記録媒体
用基板に転写するための所定パターンに欠陥が発生する
。

【００１３】

【００１０】（３）ローラー・グルーブ成型法のロール
状スタンパにおいては、基板材料の押出し方向と直交す
る方向に、段差等の凹凸があることは好ましくないが、
スタンパ固定具と長尺フレキシブルスタンパとをそれら
の固定段差を小さな状態で固定するためには、スタンパ
固定具および溶着治具を複雑な形状にする必要があり、
ロール状スタンパの製造コストが高くなる。

【００１４】

【００１１】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、情報記録媒体用基板に転写
するための所定パターンに変形や欠陥等が発生せず、製
造コストが安い光情報記録媒体用基板成型用ロール状ス
タンパの作製方法を提供することを目的とする。

【００１５】

【００１２】

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、光を用いて記録再生する光情報記録媒体用
基板にパターンを形成するための光情報記録媒体用基板
成型用ロール状スタンパの作製方法であって、情報記録
媒体用基板にパターンを転写するためのシートに、電鋳
法により複数の固定具材を一体的にそれぞれ設けてシー
ト状スタンパを形成するとともに、前記複数の固定具材
とそれぞれ嵌合する複数の溝を鏡面ロールの周面に軸方
向に延設し、前記シート状スタンパの各固定具材を鏡面
ロールの複数の溝にそれぞれ嵌挿させて固定するもので
ある。

【００１７】

【００１３】また、ガラス基板に、情報記録媒体用基板
に転写するための所定パターンをパターニングしてシー
ト状のガラス原盤を作製する工程と、次にガラス原盤に
導電化膜を形成する工程と、導電化処理が施されたガラ
ス原盤に、電鋳法により金属膜を形成する工程と、形成
された金属膜を研磨する工程と、研磨面の所定の位置に
マスキングを施す工程と、再び電鋳を行うことにより、
マスキングが施されていない前記研磨面に固定具材を形
成する工程と、固定具材と金属膜とを一体とした状態で
ガラス基板より剥離してシート状スタンパを作製し、該
シート状スタンパを鏡面ロールに固定する工程とを有す
る。

【００１８】

【００１４】さらに、ガラス基板に、情報記録媒体用基
板に転写するための所定パターンをパターンニングして
シート状のガラス原盤を作製する工程と、次にガラス原
盤に導電化膜を形成する工程と、導電化処理が施された
ガラス原盤に、電鋳法により第１の金属膜を形成する工
程と、形成された第１の金属膜を研磨する工程と、研磨
面の所定の位置にマスキングを施すとともに、マスキン
グが施されていない前記研磨面に固定具材本体を固定す
る工程と、再び電鋳を行うことにより固定具材本体を第
２の金属膜により被覆して固定具材を形成する工程と、
固定具材と第１の金属膜とを一体とした状態でガラス基
板より剥離してシート状スタンパを作製し、該シート状
スタンパを鏡面ロールに固定する工程とを有する。

【００１９】

【００１５】

【００２０】

【作用】上記のとおり構成された本発明では、光情報記
録媒体用基板にパターンを形成するためのシートに、電
鋳法により固定具材を一体的に形成してシート状スタン
パを得るものなので、シート状スタンパに熱が加わらず
熱歪みが発生しないとともに、所定パターンに熱が加わ
らない。また、シート状スタンパに溶着痕等の凹凸も発
生せず、このシート状スタンパを接着剤を介さずに鏡面
ロールに固定するので、固定段差が小さい。

【００２１】

【００１６】

【００２２】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。 （第１実施例）図１の（Ａ）〜（Ｈ）は、本発明の光情
報記録媒体用基板成型用ロール状スタンパの作製方法の
第１実施例の各工程をそれぞれ説明するための図であり
、図２は本実施例の電鋳工程においてガラス原盤に外周
電極板を取付けた状態の斜視図である。

【００２３】

【００１７】先ず、青板ガラス等のガラス基板６にフォ
トレジスト７を形成する（図１の（Ａ）参照）。このフ
ォトレジスト７としては、Ａｚ１３７０（社名：ヘキス
ト・ジャパン）を用い、ガラス基板６に滴下し、スピナ
ーで３０００×１０−７ｍｍの膜厚に塗布したものであ
る。 その後、温度９０℃、時間３０ｍｉｎ　の条件でプレベ
ークを行った。なお、ここで用いた青板ガラス等のガラ
ス基板６の大きさは３００ｍｍ×３４０ｍｍ、　板厚は
１０ｍｍである。次に、レーザー露光装置、具体的には
Ｍｉｒｒｏｒ　Ｐｒｏｊｅｃｉｏｒ　Ｍａｓｋ　Ａｌｉ
ｇｎｅｒ・ＭＰＡ−１５００（社名：キヤノン）の露光
装置を用い、フォトレジスト７を露光して情報記録媒体
基板に転写するための複数個の所定パターン７ａ（スト
ライプ状）を形成し、現像液Ａｚ３１２ＭＩＦ（社名：
ヘキスト・ジャパン）で現像することにより、トラッキ
ング用溝、情報用ピット等の、凹凸の微細パターンを形
成し、光カード用のシート状のガラス原盤８を製作する
（図１の（Ｂ）参照）。

【００２４】

【００１８】さらに、電鋳法により金属膜を形成するた
めの前処理として、スパッター装置、蒸着装置等の成膜
装置を用い、導電化処理を行う。ここでは、膜厚１００
０×１０−７〜２０００×１０−７ｍｍのニッケル膜を
スパッター装置により成膜することで、ガラス原盤８上
に導電化膜９を形成した（図１の（Ｃ）参照）。次に、
導電化膜９が施されたガラス原盤８に電鋳法によりニッ
ケルの金属膜１３を形成する。このとき、まず、電鋳槽
（不図示）内のニッケルチップを＋側電極、導電化膜９
の施されたガラス原盤８を−側電極にそれぞれセットす
る。電極板としては、図２に示すような、外周電極板１
４を用い、ガラス原盤８と電源とを通電させる。外周電
極板１４を用いるのは、内周電極板と比較した場合に、
金属膜１３の膜厚分布が良いためである。

【００２５】

【００１９】次に、スルファミン酸ニッケル電鋳液中で
、導電化膜９の施されたガラス原盤８を２０〜３０　ｒ
ｐｍの回転数で回転させながら、通電電流の時間積分値
１６０〜２４０ＡＨ（アンペア・アワー）の条件で２０
０〜３００μｍ　のニッケル金属を析出させ、金属膜１
３を形成した（図１の（Ｄ）参照）。ここで使用した電
鋳液は、以下のごとき組成のものである。

【００２６】

【００２０】スルファミン酸ニッケル・４水塩［Ｎｉ（
ＮＨ２　ＳＯ３　）２・４Ｈ２　Ｏ］：５００　ｇ／ｌ
、硼酸［Ｈ３　ＢＯ３　］：３５〜３８　ｇ／ｌ、ピッ
ト防止剤：２．５ｍｌ／ｌ。上述した各工程を経ること
により、電鋳膜としての金属膜１３の施されたガラス原
盤８を製造した。次に、ガラス原盤８の金属膜１３を研
磨する（図１の（Ｅ）参照）。研磨剤としてＰＯＬＩＰ
ＬＡ７００（商品名）を用い、表面粗さ１００×１０−
７〜２００×１０−７ｍｍ、板厚２００μｍ　±１０μ
ｍ　に仕上げた。マスク材１をガラス原盤８の一端より
２０ｍｍだけ離れた箇所に設置し、金属膜１３の研磨面
の所定部分をマスキングする（図１の（Ｆ）参照）。マ
スク材１の材料として特に限定はなく、不導体のもので
あれば何でも良い。例えば、硬質塩化ビニル、アクリル
、あるいは粘着剤の塗布された保護フィルムのようなも
のでも良い。また、予め、電鋳基板ホルダー（不図示）
の上板にマスキングできる機構を設けておいても良い。 今回は、大きさ３００ｍｍ×３００ｍｍ、板厚５ｍｍの
シリコンシートのマスク材１を金属膜１３上の所定の箇
所に設置することによりマスキングを行った。

【００２７】

【００２１】次に、再びＮｉ電鋳を施すことにより、マ
スク材１（図１の（Ｆ）参照）が設置されていない金属
膜１３の両端部に２つの固定具材２ａ，２ｂをそれぞれ
一体的に形成し、マスク材１を取除く（図１の（Ｇ）参
照）。ここでは、スルファミン酸ニッケル電鋳液中で、
マスク材１が設置され、かつ金属膜１３の施されたガラ
ス原盤８を２０〜３０　ｒｐｍで回転させながら、通電
電流の時間積分値４０００ＡＨ（アンペア・アワー）の
条件で厚さ５〜６ｍｍ程度のニッケル金属を析出させる
ことで、２つの固定具材２ａ，２ｂをそれぞれ形成した
。

【００２８】

【００２２】最後に、各固定具材２ａ，２ｂに研削加工
等を施して形状を整える。その後、各固定具材２ａ，２
ｂの両端部に、後述する鏡面ロールに固定するための２
段円柱状の孔４ａ〜４ｄ（図３および図７参照）をそれ
ぞれあけ、加工の施された各固定具材２ａ，２ｂと金属
膜１３とを一体とした状態で、前記ガラス基板６より剥
離させ、表面に付着しているフォトレジスト７（図１の
（Ｂ）参照）を除去することにより、図３で示すような
、ライン・アンド・スペース：９．５μｍ　／２．５μ
ｍ　、段差：２５００×１０−７〜３０００×１０−７
ｍｍのストライプ状案内溝の形成され、かつ各固定具材
２ａ，２ｂが一体のシート状スタンパが得られた（図１
の（Ｈ）参照）。そして、一方の固定具材２ａの両端部
の角部をそれぞれ切除した（図３および図６の（Ｂ）参
照）。

【００２９】

【００２３】次に、図４に示すように、放電加工、バイ
ト加工、ドレス加工等の方法により、各固定具材２ａ，
２ｂ（図３参照）とそれぞれ嵌合する溝５ａ，５ｂを鏡
面ロール５の周面に軸方向にそれぞれ延設し、鏡面ロー
ル５の一方の溝５ａの両端部位に一対のねじ穴１０ａ，
１０ｅ（図７参照）、一対のねじ穴１０ｂ，１０ｆをそ
れぞれ形成するとともに、他方の溝５ｂの両端部位にも
ねじ穴１０ｃ，１０ｄをそれぞれ形成した。この鏡面ロ
ール５は、その内部に熱媒体が循環する構造になってい
る。そして、図５、図６の（Ａ）、（Ｂ）および図７に
示すように、シート状スタンパの各固定具材２ａ，２ｂ
を鏡面ロール５の一端側から溝５ａ，５ｂにそれぞれ嵌
挿した後、各溝５ａ，５ｂに、２段円柱状の孔２０をそ
れぞれ有するくさび１６ａ，１６ｂをそれぞれ挿入して
、２つの固定具材２ａ，２ｂの間隔を広げて、シート状
スタンパに鏡面ロール５の周方向に張力を加える。この
状態で、シート状スタンパは鏡面ロール５に一様に密着
され、また、各くさび１６ａ，１６ｂのそれぞれの孔２
０は前記溝５ａのねじ孔１０ｅ，１０ｆとそれぞれ合致
している。４本のねじ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ
を各固定具材２ａ，２ｂの孔４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄに
それぞれ挿入して、各ねじ穴１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，
１０ｄにそれぞれねじ込み、各固定具材２ａ，２ｂを鏡
面ロール５にそれぞれ強固に固定する。そして、２つの
くさび１６ａ，１６ｂの各孔２０にねじ１５ｅ，１５ｆ
をそれぞれ挿入して、ねじ穴１０ｅ，１０ｆにそれぞれ
ねじ込み、各くさび１６ａ，１６ｂを鏡面ロール５にそ
れぞれ固定する。 （第２実施例）図８の（Ａ）〜（Ｈ）は本発明の第２実
施例の各工程をそれぞれ説明するための図であり、図８
の（Ａ）〜（Ｅ）は図１の（Ａ）〜（Ｅ）と同様である
ので、それらの説明は省略する。

【００３０】

【００２４】マスク材１１をガラス原盤１８の一端より
２０ｍｍだけ離れた箇所に設置して第１の金属膜として
の金属膜２３の研磨面の一部分をマスキングし、マスク
材１１が設置されていない金属膜２３の両端部に２つの
固定具材本体３ｃ，３ｄをそれぞれ仮固定する（図８の
（Ｆ）参照）。この際、例えば、瞬間接着剤で仮固定し
ても良く、あるいは予めネジ穴加工、研削加工等を施し
て形状を整えた、固定具材本体３ｃ，３ｄを用いても良
い。次に、再びＮｉ電鋳を施し、２つの固定具材本体３
ｃ，３ｄの表面に第２の金属膜としての金属膜３３ａ，
３３ｂをそれぞれ形成することで、固定具材３ｅ，３ｆ
を形成し、マスク材１１（図８の（Ｆ）参照）を取除く
（図８の（Ｇ）参照）。ここでは、スルファミン酸ニッ
ケル電鋳液中で、前記マスク材１１及び固定具材本体３
ｃ，３ｄがそれぞれ設置され、かつ金属膜２３の施され
たガラス原盤１８を２０〜３０　ｒｐｍの回転数で回転
させながら、通電電流の時間積分値４００ＡＨ（アンペ
ア・アワー）の条件でのニッケル金属を析出させること
で、固定具材本体３ｃ，３ｄの表面に金属膜３３ａ，３
３ｂをそれぞれ形成した。最後に、２つの固定具材３ｅ
，３ｆ及び第１の金属膜２３を一体とした状態で前記ガ
ラス基板１６より剥離させ、表面に付着しているフォト
レジスト１７（図８の（Ｇ）参照）を除去することによ
り、ライン・アンド・スペース：９．５μｍ　／２．５
μｍ　、段差：２５００×１０−７〜３０００×１０−
７ｍｍのストライプ状案内溝の形成され、かつ固定具材
３ｅ，３ｆを一体に備えたシート状スタンパが得られた
（図８の（Ｈ）参照）。これ以降の工程は第１実施例の
ものと同様であるので、その説明は省略する。

【００３１】

【００２５】本実施例は、固定具材本体３ｃ，３ｄを用
いているため、第１実施例と比較して、電鋳工程時にお
ける通電電流の時間積分値を１／１０以下にすることが
でき、時間短縮の効果があった。

【００３２】

【００２６】

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、電鋳法
により各固定具材が一体的に設けられたシート状スタン
パを作製するものなので、溶着工程を省略することがで
き、その結果、熱歪みによる所定パターンの変形や欠陥
等の少ない高品質なロール状スタンパを供給することが
できる。しかも、溶着痕等の凹凸が発生しないので、固
定段差が小さく高精度で、しかも安価なロール状スタン
パを製作することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光情報記録媒体用基板成型用ロール状
スタンパの作製方法の第１実施例の各工程をそれぞれ説
明するための工程図である。

【図２】第１実施例の電鋳工程においてガラス原盤に外
周電極板を取付けた状態の斜視図である。

【図３】本実施例で作製されたシート状スタンパの斜視
図である。

【図４】本実施例に係る鏡面ロールの斜視図である。

【図５】本実施例で得られた光情報記録媒体用基板成型
用ロール状スタンパの概略斜視図である。

【図６】図５の要部を示す図であり、（Ａ）は側面図、
（Ｂ）は上面図である。

【図７】図６の（Ａ）の上部拡大図である。

【図８】本発明の第２実施例の各工程をそれぞれ説明す
るための工程図である。

【符号の説明】

１，１１　　　　マスク材 ２ａ，２ｂ　　　　固定具材 ３ｃ，３ｄ　　　　固定具材本体 ３ｅ，３ｆ　　　　固定具材 ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，２０　　　　孔５　　　　鏡
面ロール ５ａ，５ｂ　　　　溝 ６，１６　　　　ガラス基板 ７，１７　　　　フォトレジスト ７ａ，１７ｂ　　　　所定パターン ８，１８　　　　ガラス原盤 ９，１９　　　　導電化膜 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆ　　
　　穴 １３，２３，３３ａ，３３ｂ　　　　金属膜１４　　　
　外周電極板 １５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆ　　
　　ねじ １６ａ，１６ｂ　　　　くさび

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　光を用いて記録再生する光情報記録媒
   体用基板にパターンを形成するための光情報記録媒体用
   基板成型用ロール状スタンパの作製方法であって、情報
   記録媒体用基板にパターンを転写するためのシートに、
   電鋳法により複数の固定具材を一体的にそれぞれ設けて
   シート状スタンパを形成するとともに、前記複数の固定
   具材とそれぞれ嵌合する複数の溝を鏡面ロールの周面に
   軸方向に延設し、前記シート状スタンパの各固定具材を
   鏡面ロールの複数の溝にそれぞれ嵌挿させて固定する光
   情報記録媒体用基板成型用ロール状スタンパの作製方法
   。
2. 【請求項２】　　ガラス基板に、情報記録媒体用基板に
   転写するための所定パターンをパターニングしてシート
   状のガラス原盤を作製する工程と、次にガラス原盤に導
   電化膜を形成する工程と、導電化処理が施されたガラス
   原盤に、電鋳法により金属膜を形成する工程と、形成さ
   れた金属膜を研磨する工程と、研磨面の所定の位置にマ
   スキングを施す工程と、再び電鋳を行うことにより、マ
   スキングが施されていない前記研磨面に固定具材を形成
   する工程と、固定具材と金属膜とを一体とした状態でガ
   ラス基板より剥離してシート状スタンパを作製し、該シ
   ート状スタンパを鏡面ロールに固定する工程とを有する
   請求項１に記載の光情報記録媒体用基板成型用ロール状
   スタンパの作製方法。
3. 【請求項３】　　ガラス基板に、情報記録媒体用基板に
   転写するための所定パターンをパターニングしてシート
   状のガラス原盤を作製する工程と、次にガラス原盤に導
   電化膜を形成する工程と、導電化処理が施されたガラス
   原盤に、電鋳法により第１の金属膜を形成する工程と、
   形成された第１の金属膜を研磨する工程と、研磨面の所
   定の位置にマスキングを施すとともに、マスキングが施
   されていない前記研磨面に固定具材本体を固定する工程
   と、再び電鋳を行うことにより固定具材本体を第２の金
   属膜により被覆して固定具材を形成する工程と、固定具
   材と第１の金属膜とを一体とした状態でガラス基板より
   剥離してシート状スタンパを作製し、該シート状スタン
   パを鏡面ロールに固定する工程とを有する請求項１に記
   載の光情報記録媒体用基板成型用ロール状スタンパの作
   製方法。